單晶硅棒的切割工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種切單晶硅材料的切割工裝,特別是一種單晶硅棒的切割工裝。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅多線切割機(jī)是一種切割單晶硅棒從而得到單晶硅片的機(jī)械設(shè)備。其結(jié)構(gòu)中設(shè)有升降機(jī)構(gòu)和兩根主輥,升降機(jī)構(gòu)的下方連接硅棒工件,每根主輥的外周分別螺旋設(shè)置凹槽,兩根主輥的凹槽內(nèi)繞制同一根鋼線,鋼線設(shè)置在硅棒工件的下方。進(jìn)行硅棒切割時,兩根主輥的轉(zhuǎn)動帶動鋼線來回運動,升降機(jī)構(gòu)帶動硅棒工件向下移動,通過鋼線和料漿的配合實現(xiàn)多線切割成若干硅片。
[0003]但是,現(xiàn)有單晶硅多線切割機(jī)在對單晶硅棒進(jìn)行切割時,通常硅棒是通過粘在帶有硅膠的玻璃并粘在鐵板上,然后再將鐵板通過緊固件或者氣動元件壓緊在切割臺上。上述結(jié)構(gòu)的切割工裝在實際使用時,單晶硅棒從切割臺上拆卸或者安裝比較麻煩,同時考慮到同一根單晶硅棒在切割過程中還需要進(jìn)行調(diào)頭等操作,因此上述結(jié)構(gòu)的切割工裝會直接影響單晶硅棒的切片效率。
[0004]因此,申請人認(rèn)為有必要對上述現(xiàn)有的單晶硅棒的切割工裝進(jìn)行進(jìn)一步的結(jié)構(gòu)改進(jìn)。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供是一種能夠提高單晶硅多線切割機(jī)的單晶硅片切割效率的切割工裝。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型所設(shè)計的一種單晶硅棒的切割工裝,包括單晶硅多線切割機(jī)上的切割升降臺,在上述切割升降臺的安裝臺面上固定鋪設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置,在該電磁鐵裝置的下方通過磁力吸合有單晶硅載物臺,在該單晶硅載物臺的底表面上設(shè)有用于固定待切割單晶硅棒的硅膠粘合層;當(dāng)上述的電磁鐵裝置處于失電消磁狀態(tài)時,該電磁鐵裝置與單晶硅載物臺兩者脫開。
[0007]上述中所提供的一種單晶硅棒的切割工裝,由于其結(jié)構(gòu)中的所述切割工作臺的安裝臺面上設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置。因此,當(dāng)上述結(jié)構(gòu)的切割工裝在單晶硅多線切割機(jī)上具體使用時,操作人員打開電源便可以將粘接有單晶硅棒的單晶硅載物臺方便的通過磁力吸合在切割升降臺上,待上一根單晶硅棒切片完成后,只要切斷上述中原本保持通電狀態(tài)的電磁鐵裝置的電源,那么整個單晶硅載物臺邊可以方便地取下。
[0008]一種技術(shù)方案的優(yōu)選,上述單晶硅載物臺主要包括載物臺座體以及固定覆蓋在上述載物臺座體上的載物臺蓋體,其中在載物臺座體與載物臺蓋體兩者之間增設(shè)有電加熱膜組件。
[0009]上述優(yōu)選方案中的單晶硅載物臺在具體使用時,可以通過電加熱膜組件產(chǎn)生的熱量將殘留在單晶硅載物臺上的硅膠殘留物加熱融化,然后方便清除。
[0010]本實用新型得到的一種單晶硅棒的切割工裝,其在單晶硅多線切割機(jī)上具體使用后,能夠很大程度上簡化切割機(jī)上單晶硅棒的拆裝工序,提升切割機(jī)的單晶硅片切割效率。
【附圖說明】
[0011]圖1是實施例1所提供一種單晶硅棒的切割工裝的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0012]圖2是實施例2所提供一種單晶硅棒的切割工裝的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖中:切割升降臺1、安裝臺面2、電磁鐵裝置3、單晶硅載物臺4、單晶硅棒5、硅膠粘合層6、載物臺座體7、載物臺蓋體8、電加熱膜組件9。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。
[0015]實施例1:
[0016]如圖1所示,本實施例中所提供的一種單晶硅棒的切割工裝,包括單晶硅多線切割機(jī)上的切割升降臺1,在上述切割升降臺I的安裝臺面2上固定鋪設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置3,在該電磁鐵裝置3的下方通過磁力吸合有單晶硅載物臺4,在該單晶硅載物臺4的底表面上設(shè)有用于固定待切割單晶硅棒5的硅膠粘合層6 ;當(dāng)上述的電磁鐵裝置3處于失電消磁狀態(tài)時,該電磁鐵裝置3與單晶硅載物臺4兩者脫開。
[0017]上述中所提供的一種單晶硅棒的切割工裝,由于其結(jié)構(gòu)中的所述切割工作臺的安裝臺面2上設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置3。因此,當(dāng)上述結(jié)構(gòu)的切割工裝在單晶硅多線切割機(jī)上具體使用時,操作人員打開電源便可以將粘接有單晶硅棒5的單晶硅載物臺4方便的通過磁力吸合在切割升降臺I上,待上一根單晶硅棒5切片完成后,只要切斷上述中原本保持通電狀態(tài)的電磁鐵裝置3的電源,那么整個單晶硅載物臺4邊可以方便地取下。
[0018]實施例2:
[0019]本實施例中所提供的一種單晶硅棒的切割工裝,其大體結(jié)構(gòu)與實施例1相一致,如圖2所示,但是本實施例中所述單晶硅載物臺4主要包括載物臺座體7以及固定覆蓋在上述載物臺座體7上的載物臺蓋體8,其中在載物臺座體7與載物臺蓋體8兩者之間增設(shè)有電加熱膜組件9。
[0020]上述技術(shù)方案中的單晶硅載物臺4在具體使用時,可以通過電加熱膜組件9產(chǎn)生的熱量將殘留在單晶硅載物臺4上的硅膠殘留物加熱融化,然后方便清除。
【主權(quán)項】
1.一種單晶硅棒的切割工裝,包括單晶硅多線切割機(jī)上的切割升降臺(1),其特征是在上述切割升降臺(I)的安裝臺面(2)上固定鋪設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置(3),在該電磁鐵裝置(3)的下方通過磁力吸合有單晶硅載物臺(4),在該單晶硅載物臺(4)的底表面上設(shè)有用于固定待切割單晶硅棒(5)的硅膠粘合層(6);當(dāng)上述的電磁鐵裝置(3)處于失電消磁狀態(tài)時,該電磁鐵裝置(3)與單晶硅載物臺(4)兩者呈脫開狀態(tài)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒的切割工裝,其特征是上述單晶硅載物臺(4)主要包括載物臺座體(7)以及固定覆蓋在上述載物臺座體(7)上的載物臺蓋體(8),其中在載物臺座體(7)與載物臺蓋體(8)兩者之間增設(shè)有電加熱膜組件(9)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種切單晶硅材料的切割工裝,特別是一種單晶硅棒的切割工裝,包括單晶硅多線切割機(jī)上的切割升降臺,在上述切割升降臺的安裝臺面上固定鋪設(shè)有能夠接通或者切斷電源的電磁鐵裝置,在該電磁鐵裝置的下方通過磁力吸合有單晶硅載物臺,在該單晶硅載物臺的底表面上設(shè)有用于固定待切割單晶硅棒的硅膠粘合層;當(dāng)上述的電磁鐵裝置處于失電消磁狀態(tài)時,該電磁鐵裝置與單晶硅載物臺兩者呈脫開狀態(tài)。本實用新型解決了單晶硅棒在單晶硅多線切割機(jī)的切割升降臺上方便進(jìn)行固定的技術(shù)問題,在單晶硅多線切割機(jī)上具體使用后,能夠很大程度上簡化切割機(jī)上單晶硅棒的拆裝工序,提升切割機(jī)的單晶硅片切割效率。
【IPC分類】B28D5/04, B28D7/04
【公開號】CN204658730
【申請?zhí)枴緾N201520391355
【發(fā)明人】鐘平
【申請人】寧波科論太陽能有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年6月9日