本申請(qǐng)屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種棒體承載機(jī)構(gòu)及晶棒劃線機(jī)。

背景技術(shù)：

1、在硅片的生產(chǎn)過程中，需要對(duì)拉晶工序生成的晶棒進(jìn)行檢測(cè)，以根據(jù)檢測(cè)結(jié)果對(duì)晶棒進(jìn)行劃線，后道切割工序以劃線作為晶棒截?cái)嗟幕鶞?zhǔn)。

2、現(xiàn)有的晶棒劃線機(jī)在實(shí)施劃線操作時(shí)，通常是通過人工來旋轉(zhuǎn)承載組件上的晶棒，存在工作效率低和費(fèi)時(shí)費(fèi)力的缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種棒體承載機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中晶棒在實(shí)施劃線時(shí)通過人工旋轉(zhuǎn)晶棒存在工作效率低和費(fèi)時(shí)費(fèi)力的缺點(diǎn)；另外，本申請(qǐng)還提供一種包括上述棒體承載機(jī)構(gòu)的晶棒劃線機(jī)。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本申請(qǐng)實(shí)施例采用如下技術(shù)方案：

3、第一方面，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N晶棒承載機(jī)構(gòu)，其包括安裝座和n套承載組件，其中：

4、n套承載組件沿第一方向間隔安裝在安裝座上，相鄰兩套承載組件沿著第一方向間距可調(diào)，承載組件被配置為承載沿第一方向延伸的棒體以及驅(qū)動(dòng)棒體旋轉(zhuǎn)，n為不小于2的正整數(shù)；

5、每套承載組件包括旋轉(zhuǎn)組件和第一驅(qū)動(dòng)組件，旋轉(zhuǎn)組件用于承載棒體，旋轉(zhuǎn)組件連接在第一驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)端上，第一驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所承載的棒體旋轉(zhuǎn)。

6、通過設(shè)置n套承載組件以在棒體的延伸方向上承載棒體的不同部位，實(shí)現(xiàn)對(duì)棒體的可靠支撐；在對(duì)棒體進(jìn)行檢測(cè)或劃線等操作時(shí)，通過設(shè)置的旋轉(zhuǎn)組件驅(qū)動(dòng)承載組件以帶動(dòng)所承載的棒體自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，無需人工操作，提高了工作效率，節(jié)省了人力；同時(shí)相鄰兩套承載組件的間距可調(diào)，以適用不同長(zhǎng)度的棒體，提高了棒體承載機(jī)構(gòu)的兼容性。

7、可選的，承載組件還包括安裝件，旋轉(zhuǎn)組件和第一驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在安裝件上；

8、每套承載組件的安裝件均可沿第一方向往復(fù)移動(dòng)地安裝在安裝座上；

9、或者，至少有一套承載組件的安裝件固定在安裝座上，剩余承載組件的安裝件可沿第一方向往復(fù)移動(dòng)地安裝在安裝座上。

10、通過設(shè)置安裝件安裝每套承載組件，實(shí)現(xiàn)相鄰兩套承載組件沿著第一方向的間距可調(diào)，以適配不同長(zhǎng)度的棒體。

11、可選的，旋轉(zhuǎn)組件包括第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸，第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在安裝件上，第一驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸平行間隔設(shè)置且沿第一方向延伸，第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸上均沿第一方向間隔設(shè)置有多個(gè)支撐輪，第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸上的支撐輪共同支撐棒體。

12、通過設(shè)置平行間隔排布的第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸及兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸上的支撐輪，實(shí)現(xiàn)對(duì)棒體形成支撐，并隨著第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸同步同方向轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)棒體旋轉(zhuǎn)。

13、可選的，第一驅(qū)動(dòng)組件包括第一驅(qū)動(dòng)件、驅(qū)動(dòng)軸和傳動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在安裝件上，驅(qū)動(dòng)軸通過傳動(dòng)組件與第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸傳動(dòng)連接，第一驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)軸通過傳動(dòng)組件帶動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸同方向同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

14、通過設(shè)置第一驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)軸通過傳動(dòng)組件帶動(dòng)第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)旋轉(zhuǎn)組件的驅(qū)動(dòng)，滿足承載和旋轉(zhuǎn)棒體的要求。

15、可選的，傳動(dòng)組件包括兩套齒輪副，其中一套齒輪副對(duì)應(yīng)第一旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置，另一套齒輪副對(duì)應(yīng)第二旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置，每套齒輪副均包括第一齒輪和第二齒輪，第一齒輪安裝在驅(qū)動(dòng)軸上，第二齒輪安裝在相應(yīng)的第一旋轉(zhuǎn)軸或第二旋轉(zhuǎn)軸上，同套的第一齒輪和第二齒輪相嚙合。

16、通過設(shè)置兩套齒輪副對(duì)應(yīng)與第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸傳動(dòng)，滿足第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)的要求。

17、可選的，棒體承載機(jī)構(gòu)還包括第二驅(qū)動(dòng)組件，第二驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)安裝座沿第二方向移動(dòng)。

18、通過設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)組件，實(shí)現(xiàn)承載組件沿不同于第一方向的第二方向移動(dòng)，從而滿足不同的使用場(chǎng)景。

19、可選的，第二驅(qū)動(dòng)組件包括第二驅(qū)動(dòng)件、第一驅(qū)動(dòng)齒輪和第一齒條，第二驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在安裝座上，第二驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端安裝第一驅(qū)動(dòng)齒輪，第二驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，第一齒條沿第二方向延伸，第一驅(qū)動(dòng)齒輪與第一齒條相嚙合。

20、通過設(shè)置第二驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第一驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，第一驅(qū)動(dòng)齒輪與沿第二方向排布的第一齒條配合傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)安裝座沿著第二方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，滿足對(duì)棒體的移載要求。

21、可選的，可移動(dòng)的安裝件處對(duì)應(yīng)設(shè)有第三驅(qū)動(dòng)組件，第三驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)安裝件在安裝座上沿第一方向往復(fù)移動(dòng)，第三驅(qū)動(dòng)組件包括第三驅(qū)動(dòng)件、第二驅(qū)動(dòng)齒輪和第二齒條，第三驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在安裝件上，第三驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端安裝第二驅(qū)動(dòng)齒輪，第三驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，第二齒條固定于安裝座上且沿第一方向延伸，第二驅(qū)動(dòng)齒輪與第二齒條相嚙合。

22、通過設(shè)置第三驅(qū)動(dòng)件驅(qū)動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，第二驅(qū)動(dòng)齒輪與沿第一方向排布的第二齒條配合傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)安裝件沿著第一方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)，滿足相鄰兩套承載組件的間距可調(diào)節(jié)的要求。

23、第二方面，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N晶棒劃線機(jī)，包括上述的棒體承載機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)，棒體為晶棒，檢測(cè)機(jī)構(gòu)和劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)被配置為能夠沿晶棒的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，其中：

24、棒體承載機(jī)構(gòu)被配置為承載晶棒以及驅(qū)動(dòng)晶棒旋轉(zhuǎn)；

25、檢測(cè)機(jī)構(gòu)被配置為對(duì)晶棒實(shí)施檢測(cè)；

26、劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)被配置為根據(jù)檢測(cè)機(jī)構(gòu)的檢測(cè)結(jié)果在晶棒的相應(yīng)位置處劃線或打標(biāo)。

27、通過設(shè)置棒體承載機(jī)構(gòu)承載晶棒并實(shí)現(xiàn)晶棒自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，通過設(shè)置檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)晶棒各處實(shí)施檢測(cè)，再通過設(shè)置劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)在晶棒上目標(biāo)位置劃線或打標(biāo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒自動(dòng)化檢測(cè)及劃線、打標(biāo)處理，提高了晶棒的加工效率和加工自動(dòng)化程度。

28、可選的，檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)、直徑檢測(cè)機(jī)構(gòu)和電阻率檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中：

29、視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)被配置為對(duì)晶棒進(jìn)行拍攝檢測(cè)，以對(duì)晶棒的外觀進(jìn)行檢測(cè)；

30、直徑檢測(cè)機(jī)構(gòu)被配置為對(duì)晶棒的直徑進(jìn)行檢測(cè)；

31、電阻率檢測(cè)機(jī)構(gòu)被配置為對(duì)晶棒的電阻率進(jìn)行檢測(cè)。

32、通過設(shè)置視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)、直徑檢測(cè)機(jī)構(gòu)和電阻率檢測(cè)機(jī)構(gòu)分別對(duì)晶棒的外觀、直徑和電阻率進(jìn)行檢測(cè)，進(jìn)而根據(jù)檢測(cè)結(jié)果確定劃線、打標(biāo)的目標(biāo)位置，以提高劃線精準(zhǔn)度及晶棒后續(xù)的加工質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述棒體承載機(jī)構(gòu)包括安裝座和n套承載組件，其中：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述承載組件還包括安裝件，所述旋轉(zhuǎn)組件和所述第一驅(qū)動(dòng)組件設(shè)置在所述安裝件上；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)組件包括第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸，所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸均可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述安裝件上，所述第一驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸平行間隔設(shè)置且沿所述第一方向延伸，所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸上均沿所述第一方向間隔設(shè)置有多個(gè)支撐輪，所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸上的支撐輪共同支撐棒體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括第一驅(qū)動(dòng)件、驅(qū)動(dòng)軸和傳動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)軸可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述安裝件上，所述驅(qū)動(dòng)軸通過傳動(dòng)組件與所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸傳動(dòng)連接，所述第一驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，所述驅(qū)動(dòng)軸通過所述傳動(dòng)組件帶動(dòng)所述第一旋轉(zhuǎn)軸和所述第二旋轉(zhuǎn)軸同方向同步轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)組件包括兩套齒輪副，其中一套齒輪副對(duì)應(yīng)所述第一旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置，另一套齒輪副對(duì)應(yīng)所述第二旋轉(zhuǎn)軸設(shè)置，每套齒輪副均包括第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪安裝在所述驅(qū)動(dòng)軸上，所述第二齒輪安裝在相應(yīng)的所述第一旋轉(zhuǎn)軸或所述第二旋轉(zhuǎn)軸上，同套的所述第一齒輪和所述第二齒輪相嚙合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述棒體承載機(jī)構(gòu)還包括第二驅(qū)動(dòng)組件，所述第二驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)所述安裝座沿第二方向移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)組件包括第二驅(qū)動(dòng)件、第一驅(qū)動(dòng)齒輪和第一齒條，所述第二驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在所述安裝座上，所述第二驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端安裝所述第一驅(qū)動(dòng)齒輪，所述第二驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述第一驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，所述第一齒條沿所述第二方向延伸，所述第一驅(qū)動(dòng)齒輪與所述第一齒條相嚙合。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的棒體承載機(jī)構(gòu)，其特征在于，可移動(dòng)的所述安裝件處對(duì)應(yīng)設(shè)有第三驅(qū)動(dòng)組件，所述第三驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)所述安裝件在所述安裝座上沿所述第一方向往復(fù)移動(dòng)，所述第三驅(qū)動(dòng)組件包括第三驅(qū)動(dòng)件、第二驅(qū)動(dòng)齒輪和第二齒條，所述第三驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在所述安裝件上，所述第三驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端安裝所述第二驅(qū)動(dòng)齒輪，所述第三驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)，所述第二齒條固定于安裝座上且沿所述第一方向延伸，所述第二驅(qū)動(dòng)齒輪與所述第二齒條相嚙合。

9.一種晶棒劃線機(jī)，其特征在于，所述晶棒劃線機(jī)包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的棒體承載機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)和劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)，所述棒體為晶棒，檢測(cè)機(jī)構(gòu)和劃線打標(biāo)機(jī)構(gòu)被配置為能夠沿晶棒的長(zhǎng)度方向移動(dòng)，其中：

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶棒劃線機(jī)，其特征在于，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括視覺檢測(cè)機(jī)構(gòu)、直徑檢測(cè)機(jī)構(gòu)和電阻率檢測(cè)機(jī)構(gòu)，其中：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開一種棒體承載機(jī)構(gòu)及晶棒劃線機(jī)，其中，棒體承載機(jī)構(gòu)包括安裝座和n套承載組件，n套承載組件沿第一方向間隔安裝在安裝座上，相鄰兩套承載組件沿著第一方向間距可調(diào)，承載組件被配置為承載沿第一方向延伸的棒體以及驅(qū)動(dòng)棒體旋轉(zhuǎn)；每套承載組件包括旋轉(zhuǎn)組件和第一驅(qū)動(dòng)組件，旋轉(zhuǎn)組件用于承載棒體，旋轉(zhuǎn)組件連接在第一驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)端上，第一驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)組件旋轉(zhuǎn)，以帶動(dòng)所承載的棒體旋轉(zhuǎn)。通過設(shè)置n套承載組件以承載棒體的不同部位，實(shí)現(xiàn)對(duì)棒體的可靠支撐；在對(duì)棒體進(jìn)行檢測(cè)或劃線等操作時(shí)，通過設(shè)置的旋轉(zhuǎn)組件驅(qū)動(dòng)承載組件以帶動(dòng)所承載的棒體自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，無需人工操作，提高了工作效率，節(jié)省了人力。

技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名,請(qǐng)求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫松瓷機(jī)電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240314
技術(shù)公布日：2024/12/19