本實用新型涉及一種半導(dǎo)體用劃片刀片。
背景技術(shù):
現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體用劃片刀片的刀刃主要以金剛石粉加粘接劑使用高溫?zé)Y(jié)在鋁制刀片框架上,金剛石粉末的研磨非常困難,一致性很難控制,用粘接劑粘在刀片框架上導(dǎo)致刀刃表面高低不平,在劃片的時候,很容易造成半導(dǎo)體晶體的蹦缺,甚至控制不好的時候易出現(xiàn)芯片本體的內(nèi)裂、暗裂等問題,導(dǎo)致芯片完全報廢。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
為了彌補(bǔ)以上不足,本實用新型提供了一種能有效提高劃片的品質(zhì),提高劃片速度,刀片壽命高的半導(dǎo)體用劃片刀片。
本實用新型的技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體用劃片刀片,包括刀片本體,所述刀片本體包括刀片框架,所述刀片框架與刀刃對應(yīng)的位置固定設(shè)置有混合在一起的金剛石粉末和氧化鋁粉末。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述金剛石粉末、氧化鋁粉末和粘結(jié)劑高溫?zé)Y(jié)在所述刀片框架上。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述氧化鋁粉末的顆粒度小于金剛石粉末的平均顆粒度。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述氧化鋁粉末的顆粒度大大小于金剛石粉末的平均顆粒度大小。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述氧化鋁粉末的均勻度高。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述氧化鋁粉末的硬度適中。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述刀片框架為鋁制框架。
作為優(yōu)選的技術(shù)方案,所述刀片本體安裝在刀座上,所述刀片本體呈現(xiàn)環(huán)形,所述刀座也呈環(huán)形,所述刀片本體和所述刀座同軸安裝。
由于采用了上述技術(shù)方案,一種半導(dǎo)體用劃片刀片,包括刀片本體,所述刀片本體包括刀片框架,所述刀片框架與刀刃對應(yīng)的位置固定設(shè)置有混合在一起的金剛石粉末和氧化鋁粉末;金剛石粉末和粘接劑的里面添加氧化鋁粉末,氧化鋁粉末的均勻度好,且硬度適中,顆粒度大大小于金剛石粉末的平均大小,在劃片過程中起到以下作用:
第一,緩和不同大小金剛石顆粒間的刀刃的露出度,使得金剛石顆粒的刃口在刀片同一水平線在露出度是一致的。
第二,氧化鋁粉本身有研磨的作用,在劃片過程中半導(dǎo)體晶體的表面在被金剛石劃開的同時,氧化鋁粉起研磨作用,可以大大消除晶體本身的在被切割時產(chǎn)生的應(yīng)力,從而達(dá)到更好的切割品質(zhì)。
第三,加入氧化鋁粉后每顆金剛石顆粒的刃口露出度一致性大大提高后,刀片的壽命大大提高了。平均統(tǒng)計:使用本發(fā)明后的刀片,劃片的品質(zhì)提高20%,劃片速度提高30%,刀片壽命相比原來提高了35%。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附加值。
圖1是本實用新型實施例中刀片本體的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實用新型實施例中刀片本體安裝在刀座上的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
如圖1和圖2所示,一種半導(dǎo)體用劃片刀片,包括刀片本體5,所述刀片本體包括刀片框架3,所述刀片框架3與刀刃對應(yīng)的位置固定設(shè)置有混合在一起的金剛石粉末1和氧化鋁粉末2。
優(yōu)選的,所述金剛石粉末1、氧化鋁粉末2和粘結(jié)劑高溫?zé)Y(jié)在所述刀片框架3上。
所述氧化鋁粉末2的顆粒度小于金剛石粉末1的平均顆粒度。
優(yōu)選的,所述氧化鋁粉末2的顆粒度大大小于金剛石粉末1的平均顆粒度大小。
進(jìn)一步的,所述氧化鋁粉末2均勻度高。
進(jìn)一步的,所述氧化鋁粉末2的硬度適中。
所述刀片框架3為鋁制框架。
所述刀片本體5安裝在刀座4上,所述刀片本體5呈現(xiàn)環(huán)形,所述刀座4也呈環(huán)形,所述刀片本體5和所述刀座4同軸安裝。
金剛石粉末和粘接劑的里面添加氧化鋁粉末,氧化鋁粉末的均勻度好,且硬度適中,顆粒度大大小于金剛石粉末的平均大小,在劃片過程中起到以下作用:
第一,緩和不同大小金剛石顆粒間的刀刃的露出度,使得金剛石顆粒的刃口在刀片同一水平線在露出度是一致的。
第二,氧化鋁粉本身有研磨的作用,在劃片過程中半導(dǎo)體晶體的表面在被金剛石劃開的同時,氧化鋁粉起研磨作用,可以大大消除晶體本身的在被切割時產(chǎn)生的應(yīng)力,從而達(dá)到更好的切割品質(zhì)。
第三,加入氧化鋁粉后每顆金剛石顆粒的刃口露出度一致性大大提高后,刀片的壽命大大提高了。平均統(tǒng)計:使用本發(fā)明后的刀片,劃片的品質(zhì)提高20%,劃片速度提高30%,刀片壽命相比原來提高了35%。
以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征及本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。