1.一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,包括兩個(gè)測(cè)量支柱(8),其特征在于,所述測(cè)量支柱(8)中間有連接繩(15)與T型連接桿(16)相連,所述T型連接桿(16)下端與壓力傳感器(11)相連;所述壓力傳感器(11)的下端與下連接桿(17)相連;所述下連接桿(17)通過(guò)連接繩(15)與長(zhǎng)形盒(12)相連,所述長(zhǎng)形盒(12)里面裝有配重液(18),所述測(cè)量支柱(8)支承在線網(wǎng)(5)的兩根相鄰被測(cè)線(9)上,所述被測(cè)線(9)在晶錠(2)的向下的力作用下偏離平衡位置成一角度A,所述晶錠(2)的中間夾著導(dǎo)電薄片(6),所述導(dǎo)電薄片(6)用電線(13)與萬(wàn)用表(14)一端相連,所述萬(wàn)用表(14)另一極用電線(13)與測(cè)量支柱(8)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述測(cè)量支柱(8)直徑為0.5-1毫米,長(zhǎng)度為兩被測(cè)線(9)之間距離的1.2-2倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述萬(wàn)用表(14)監(jiān)測(cè)測(cè)量支柱(8)和導(dǎo)電薄片(6)之間的通路的電阻。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述配重液(18)逐漸加入,其重量正好等于萬(wàn)用表(14)顯示電阻增大信號(hào)出現(xiàn),被測(cè)線(9)脫離晶錠(2)及導(dǎo)電薄片(6)導(dǎo)致電阻增大,此時(shí)晶錠(2)對(duì)被測(cè)線(9)作用力F約等于測(cè)量支柱(8)施加的重力G,記錄壓力傳感器(11)的壓力值。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述配重液(18)可以為切割用的砂漿或者乙二醇或者切割過(guò)程中使用的冷卻液。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述導(dǎo)電薄片(6)厚度為0.1-1毫米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置,其特征在于所述壓力傳感器(11)的輸出信號(hào)通過(guò)電線(13)與壓力顯示模組(10)相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7所述的一種多線切割機(jī)線網(wǎng)張力測(cè)量裝置的線張力測(cè)量方法,其特征在于包括如下步驟:
1)準(zhǔn)備工件:所述晶錠(2)和導(dǎo)電薄片(6)用膠(21)粘結(jié)到晶托(3)上后整體安裝到到線切工作臺(tái)(4)上,測(cè)量出測(cè)量支柱(8)、連接繩(15)、T型連接桿(16)、壓力傳感器(11)的重量,記為G1;
2)開(kāi)始切割,需要測(cè)量位置暫停,進(jìn)行測(cè)量:測(cè)量線網(wǎng)(5)在晶錠(2)側(cè)面偏離平衡位置的距離D;將測(cè)量支柱(8)支在晶錠(2)的兩側(cè)面的被測(cè)線(9)上,萬(wàn)用表(14)調(diào)節(jié)到電阻檔,萬(wàn)用表(14)輸入端用電線(13)分別與導(dǎo)電薄片(6)和測(cè)量支柱(8)連接,往長(zhǎng)形盒(12)逐漸加入配重液(18),直到電阻發(fā)生明顯變化,記錄壓力顯示模塊(10)的重量值,記為G2;
3)計(jì)算線網(wǎng)張力:線網(wǎng)(5)線弓角度A近似為
(1)
被測(cè)線張力T為
(2)
公式(1)中L為兩導(dǎo)輪(1)的中心距,W為實(shí)驗(yàn)時(shí)兩晶錠(2)與導(dǎo)電薄片(6)粘結(jié)后的寬度,公式(2)中G=G1+G2;
4)重復(fù)步驟2和3,測(cè)量不同位置的鋼線,計(jì)算出線網(wǎng)(5)的張力分布情況。