玻璃片材制造裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種玻璃片材制造裝置。一種玻璃片材制造裝置，包含：成形室，通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材；及緩冷室，沿著所述玻璃片材的移動(dòng)方向?qū)λ霾Ａ倪M(jìn)行緩冷；所述緩冷室由多個(gè)間隔壁分隔出以對(duì)所述玻璃片材進(jìn)行溫度控制，在所述間隔壁的每一個(gè)設(shè)置著供所述玻璃片材通過的狹縫，且所述玻璃片材制造裝置包含空氣噴出裝置，所述空氣噴出裝置朝向通過至少一個(gè)所述狹縫的玻璃片材的主表面噴出流體而減小沿著所述玻璃片材的主表面流動(dòng)的氣流。
【專利說明】玻璃片材制造裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種玻璃片材制造裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]作為液晶顯示裝置或有機(jī)EL顯示裝置、顯示裝置用覆蓋玻璃等平板顯示器的顯示部的零件，使用平坦度極高的玻璃板。在以下的說明中，將這種玻璃板稱為平板顯示器用玻璃基板，或者簡稱為玻璃基板、玻璃片材。
[0003]玻璃片材例如通過溢流下拉法而制造。溢流下拉法是在成形裝置中，通過使熔融玻璃從成形體的上部溢出而成形玻璃片材。之后，沿著向鉛垂下方延伸的搬送路徑連續(xù)地移送玻璃片材，從而玻璃片材從成為粘性區(qū)域的溫度區(qū)經(jīng)過成為粘彈性區(qū)域、彈性區(qū)域的溫度區(qū)被冷卻至接近室溫。為了維持、提高玻璃片材的品質(zhì)，要求進(jìn)行通過所述搬送路徑時(shí)的玻璃片材的溫度管理。
[0004][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0005][專利文獻(xiàn)]
[0006][專利文獻(xiàn)I]日本專利特開2009-173525
[0007][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開平08-183628
[0008][專利文獻(xiàn)3]日本專利特表2009-502706
實(shí)用新型內(nèi)容
[0009][實(shí)用新型所要解決的問題]
[0010]為了提高玻璃片材的品質(zhì)，要求更嚴(yán)格地進(jìn)行成形裝置內(nèi)的玻璃片材的溫度管理。本實(shí)用新型的課題在于管理成形裝置內(nèi)的玻璃片材搬送路徑的環(huán)境，提供高品質(zhì)的玻璃片材。
[0011][解決問題的技術(shù)手段]
[0012]本實(shí)用新型的玻璃片材的制造方法包括:成形步驟，通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材；及緩冷步驟，沿著所述玻璃片材的移動(dòng)方向?qū)λ霾Ａ倪M(jìn)行緩冷；所述緩冷步驟是通過為了個(gè)別地對(duì)所述玻璃片材進(jìn)行溫度控制而由多個(gè)間隔壁分隔出之緩冷部來執(zhí)行，在所述間隔壁的每一個(gè)形成著成為玻璃片材的通路的狹縫，且所述玻璃片材的制造方法具備如下構(gòu)成:噴出抑制沿著通過所述間隔壁的至少一個(gè)所述狹縫的所述玻璃片材的主表面產(chǎn)生的因溫度差引起的上升氣流的流體。
[0013]而且，本實(shí)用新型的玻璃片材制造裝置包含:成形室，通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材；及緩冷室，沿著所述玻璃片材的移動(dòng)方向?qū)λ霾Ａ倪M(jìn)行緩冷；所述緩冷室由多個(gè)間隔壁分隔出以對(duì)所述玻璃片材進(jìn)行溫度控制，在所述間隔壁的每一個(gè)設(shè)置著供所述玻璃片材通過的狹縫，且所述玻璃片材制造裝置還包含空氣噴出裝置，所述空氣噴出裝置朝向通過所述間隔壁的至少一個(gè)所述狹縫的玻璃片材的主表面噴出流體而減小沿著所述玻璃片材的主表面流動(dòng)的氣流。
[0014]優(yōu)選地，所述間隔壁的一個(gè)是在所述移動(dòng)方向的下游側(cè)分隔出所述緩冷室的間隔壁，所述玻璃片材是通過所述狹縫而排出。
[0015]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置設(shè)置在與所述玻璃片材通過所述狹縫時(shí)的所述玻璃片材的所述移動(dòng)方向的位置對(duì)應(yīng)的所述移動(dòng)方向的位置。
[0016]優(yōu)選地，在所述緩冷室的下游側(cè)，設(shè)置著切斷從所述緩冷室連續(xù)地移送的所述玻璃片材的切斷室，
[0017]所述空氣噴出裝置通過朝向從所述緩冷室向所述切斷室移送的所述玻璃片材的主表面噴出氣體，而減小從所述切斷室朝向所述緩冷室流動(dòng)的上升氣流。
[0018]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的狹縫狀的送風(fēng)口，從所述送風(fēng)口噴出的空氣量為2?10m3/秒。
[0019]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口形成為矩形狀，所述矩形狀具有在與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向、及與所述長邊方向正交的短邊方向，所述送風(fēng)口的短邊方向的長度可以變更。
[0020]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口形成為矩形狀，所述矩形狀具有在與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向、及與所述長邊方向正交的短邊方向，所述送風(fēng)口的長邊方向的長度比與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上的所述狹縫的長度長。
[0021]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口的開口方向是從與所述玻璃片材延伸的平面方向垂直的方向朝所述玻璃片材的移動(dòng)方向傾斜15?75。。
[0022]優(yōu)選地，面向所述狹縫的所述間隔壁的端面中的朝向所述玻璃片材的主表面的部分相對(duì)于所述玻璃片材的主表面接近或退避。
[0023]優(yōu)選地，所述空氣噴出裝置相對(duì)于所述玻璃片材的主表面接近或退避。
[0024]本實(shí)用新型的玻璃積層體是堆疊多個(gè)玻璃基板而成，其特征在于:所述多片玻璃基板的熱收縮偏差小于5%。而且，也可以將多個(gè)玻璃基板隔著間隔紙進(jìn)行積層。
[0025][實(shí)用新型的效果]
[0026]根據(jù)本實(shí)用新型，能在所需的溫度分布下進(jìn)行玻璃片材的搬送路徑上的玻璃片材的冷卻(玻璃片材的降溫)，而可以提供高品質(zhì)且無品質(zhì)偏差的玻璃片材。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是表示本實(shí)施方式的玻璃基板的制造步驟的流程圖的圖。
[0028]圖2是用以說明本實(shí)施方式的玻璃基板的制造步驟的圖。
[0029]圖3是用以說明本實(shí)施方式的成形裝置的示意圖。
[0030]圖4是用以說明本實(shí)施方式的空氣供給裝置的示意圖。
[0031]圖5是用以說明通過本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法而制造的玻璃基板、及玻璃積層體的示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0032]作為使用本實(shí)用新型的玻璃片材的領(lǐng)域，可舉出顯示裝置。例如，在液晶顯示裝置中，通過使對(duì)封入至玻璃基板之間的液晶施加的電場發(fā)生變化來改變液晶的定向，而可以顯示動(dòng)態(tài)圖像。因?yàn)樵谑挂壕э@示裝置顯示圖像時(shí)必須使電場發(fā)生變化，所以要在玻璃基板形成用以施加電壓且控制電壓的導(dǎo)通斷開的配線及薄膜晶體管(Thin FilmTransistor, TFT)。
[0033]平板顯示器用玻璃基板如果是用于例如液晶顯示裝置，那么呈現(xiàn)長方形的薄板狀形態(tài)。液晶顯示用玻璃基板通常厚度薄于1_，為0.3?0.7_左右，且為了從一片玻璃取得多個(gè)面板而使用大型的玻璃基板。也將所述大型的玻璃基板稱為母玻璃。
[0034]母玻璃的大小習(xí)慣以代的叫法來表達(dá)，例如第六代的母玻璃的大小為1500mmX 1850_。母玻璃是通過將成形為板狀的玻璃板切斷成規(guī)定的大小而獲得。
[0035]而且，用于TFT的半導(dǎo)體元件正在采用低溫多晶娃(LTPS, Low TemperaturePolySilicon)或氧化物半導(dǎo)體。原因在于，這些半導(dǎo)體的電子遷移率高于非晶硅，且集成化、高清化較為有利。另一方面，在這些遷移率高的TFT的制造中必需將玻璃的溫度加熱處理(退火)至450度，且視情況要加熱處理(退火)至更高溫度的步驟，因此有加熱處理時(shí)的玻璃基板的熱收縮成為問題的情況。
[0036]此外，在液晶顯示裝置中伴隨高清化，在貼合TFT側(cè)面板與CF (Co lor Fi I ter，濾色器)側(cè)面板時(shí)，即便是少許的間距偏移也不能容許。但是，如果玻璃基板存在應(yīng)變，那么有產(chǎn)生通過面板切斷而切斷的玻璃板之間產(chǎn)生間距偏移之類的問題的情況。
[0037]另一方面，即便在因熱收縮等而導(dǎo)致圖案發(fā)生偏移之類的情形時(shí)，通過最新的面板制造技術(shù)，只要為一定范圍內(nèi)便可以在曝光機(jī)等進(jìn)行修正。進(jìn)而，即便在玻璃基板面內(nèi)有圖案的偏移方式不同的部分，也可以在各部分進(jìn)行修正。然而，如果在同一批次的玻璃基板中熱收縮率有一定以上的偏差，那么必須針對(duì)各個(gè)玻璃進(jìn)行制造步驟的調(diào)整，或者必須針對(duì)各個(gè)玻璃進(jìn)行利用曝光機(jī)的修正，因此生產(chǎn)性方面有較大問題。所以，相比于熱收縮的大小，各個(gè)玻璃基板的特性偏差成為更大的問題。
[0038]目前，要求進(jìn)行應(yīng)變更小、熱收縮量更小、熱收縮率的偏差更小的玻璃的制造。因此，在玻璃制造步驟中，要求進(jìn)行比以往更嚴(yán)格的條件管理來實(shí)現(xiàn)所述要求。因此，本實(shí)用新型提供一種即便在通過下拉法制造玻璃片材的情形時(shí)也可以取得應(yīng)變或熱收縮量、熱收縮率的偏差較小的玻璃基板的顯示裝置用玻璃的制造方法、及顯示裝置用玻璃的制造裝置。而且，提供一種內(nèi)部應(yīng)變或熱收縮量、熱收縮率的偏差較小的玻璃積層體。
[0039]以下，對(duì)玻璃片材的制造及經(jīng)管理內(nèi)部應(yīng)變、熱收縮量、熱收縮率的玻璃基板進(jìn)行說明，所述制造是通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材，且將所述玻璃片材向下方移送使之從粘性狀態(tài)經(jīng)過粘彈性狀態(tài)冷卻至成為彈性體狀態(tài)的溫度區(qū)，所述制造中包括空氣噴出裝置，是在所述彈性體狀態(tài)的所述玻璃片材通過具有規(guī)定間隙的空間時(shí)，朝向所述玻璃片材的主表面噴出流體。
[0040]一面參照附圖，一面對(duì)使用本實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置I制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法進(jìn)行說明。
[0041](I)玻璃基板的制造方法的概要
[0042]圖1是本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法的流程圖。
[0043]如圖1所示，玻璃基板是經(jīng)過包含熔解步驟Tl、澄清步驟T2、成形步驟T3、緩冷步驟T4、切斷步驟T5的各種步驟而制造。以下，對(duì)這些步驟進(jìn)行說明。
[0044]在熔解步驟Tl中，通過在熔解裝置100內(nèi)加熱并熔解玻璃原料而使之成為熔融玻璃。玻璃原料包含具有Si02、Al2O3等的組成。
[0045]在澄清步驟T2中，將從熔融裝置100經(jīng)由移送管200供給的熔融玻璃進(jìn)行澄清。具體而言，在澄清裝置300內(nèi)使熔融玻璃中所含的氣體成分從熔融玻璃中釋出?；蛘撸瑢⑷廴诓Ａе兴臍怏w成分吸收到熔融玻璃中。經(jīng)澄清的熔融玻璃由移送管400供給至成形裝置500。
[0046]在成形裝置500中，實(shí)施成形步驟T3與緩冷步驟T4。在成形步驟T3中，將熔融玻璃成形為玻璃片材G。本實(shí)施方式中，通過溢流下拉法成形板狀的玻璃片材G (成形步驟T3)，并對(duì)成形的玻璃片材G進(jìn)行冷卻(緩冷步驟T4)。
[0047]將經(jīng)成形裝置成形、緩冷的玻璃片材G移送至切斷步驟T5。
[0048]例如，在切斷步驟T5中，將經(jīng)冷卻的玻璃片材G視需要每當(dāng)玻璃片材G的移動(dòng)方向(圖3的上下方向)的規(guī)定長度進(jìn)行切斷而制造玻璃基板Gl。此外，將每當(dāng)規(guī)定長度切斷而成的玻璃基板Gl進(jìn)一步切斷成規(guī)定尺寸，并進(jìn)行端面的研削/研磨、端面及主表面的清洗、出貨檢查，而制造出作為制品的玻璃基板11。然后，對(duì)于如圖5所示的捆包構(gòu)件15，將多片玻璃基板11隔著間隔紙(插入片材)12積層并進(jìn)行捆包(成為玻璃積層體10)。之后，在所述玻璃積層體10的捆包形態(tài)下進(jìn)行搬送并供給至面板制造步驟。
[0049](2)本實(shí)施方式的說明
[0050]使用圖3對(duì)本實(shí)施方式的成形裝置500進(jìn)行說明。成形裝置500是指用以進(jìn)行成形步驟T3及緩冷步驟T4的裝置，但也可以包括設(shè)置在切斷室513的切斷裝置512。本實(shí)施方式中，切斷裝置512包含在成形裝置500中。這里也一并對(duì)切斷步驟T5進(jìn)行說明。
[0051]成形裝置500包含:外壁506a，用以將成形裝置500的內(nèi)側(cè)的空間與外部隔離；及間隔壁506b，在玻璃片材G的移動(dòng)方向上分隔成形裝置500的內(nèi)側(cè)的空間以執(zhí)行各步驟。而且，進(jìn)行各步驟的空間也可以分隔為兩個(gè)以上的空間，在本實(shí)施方式中緩冷室508由區(qū)隔壁506c分隔為兩個(gè)。此外，本說明書中，將外壁506a、間隔壁506b、區(qū)隔壁506c統(tǒng)稱為壁構(gòu)件506。
[0052]本實(shí)施方式中，如圖3所示，包括收容成形體501的上部成形室504、設(shè)置在上部成形室504的下游側(cè)的下部成形室505、及設(shè)置在下部成形室505的下游側(cè)的緩冷室508。而且，在緩冷室508的下游側(cè)設(shè)置著切斷室513。進(jìn)行各步驟的室504、508、513由間隔壁(分隔壁)506b分隔，并且在上下方向上相鄰的兩個(gè)室之間設(shè)置著用以供玻璃片材G向下游移動(dòng)的空間連結(jié)部(狹縫)。上部成形室504與下部成形室505通過空間連結(jié)部531而連接，下部成形室505與緩冷室508通過空間連結(jié)部532而連接，緩冷室508與切斷室513通過空間連結(jié)部533而連接。
[0053]在上部成形室504內(nèi)具備成形體501，在下部成形室505內(nèi)具備輥507，在緩冷室508內(nèi)具備輥509，在分隔緩冷室508與切斷室513的間隔壁506b具備空氣噴出裝置520，在切斷室513內(nèi)具備切斷裝置。具備空氣噴出裝置520的間隔壁506b是在移動(dòng)方向的下游側(cè)分隔出緩冷室508的間隔壁，玻璃片材G是通過空間連結(jié)部533而排出。也就是說，空氣噴出裝置520設(shè)置在與玻璃片材G通過空間連結(jié)部533時(shí)的玻璃片材G的上下方向(移動(dòng)方向)的位置對(duì)應(yīng)的上下方向位置。而且，在上部成形室、下部成形室、緩冷室分別具備未圖示的加熱單元，且設(shè)置成可以在由間隔壁分隔的各室內(nèi)個(gè)別地進(jìn)行溫度調(diào)整。由此，可以控制熔融玻璃、或由熔融玻璃成形的玻璃片材G的溫度。
[0054]這里，對(duì)玻璃的移動(dòng)進(jìn)行說明。成形體501具有將經(jīng)過熔解裝置100、澄清裝置300由移送管400供給的熔融玻璃成形為帶狀玻璃的功能。成形體501形成為在一方向延伸的形狀，且沿相對(duì)于其長邊方向垂直的方向切斷的截面形狀具有楔形形狀，且成形體501是由磚構(gòu)成。在成形體501中沿著長邊方向形成著向上方開放的槽部502。供給至槽部502的熔融玻璃503從上方溢出并沿著成形體501的兩側(cè)壁移動(dòng)。然后，熔融玻璃503在成形體501的下端部合流而形成玻璃片材G。
[0055]在成形裝置500的上部成形室成形為板狀的玻璃片材G向鉛垂下方降下，通過空間連結(jié)部531而移動(dòng)至下部成形室505。在所述上部成形室504中，玻璃是維持粘性狀態(tài)向下方降下，玻璃粘度會(huì)逐漸變高而形成玻璃片材G。
[0056]在下部成形室505中，將在上部成形室504中形成為帶狀的玻璃片材G保持為規(guī)定寬度，并且與輥507的旋轉(zhuǎn)速度相應(yīng)地拉伸玻璃片材G使之成為規(guī)定厚度。此外，將玻璃片材G的寬度方向稱為圖3的紙面深度方向。然后，成為規(guī)定厚度的玻璃片材G通過空間連結(jié)部532向緩冷室508移動(dòng)。在下部成形室505中，玻璃因被奪取熱而成為粘彈性狀態(tài)，且進(jìn)一步變化為彈性狀態(tài)。
[0057]在緩冷室508中，在規(guī)定的溫度分布下將經(jīng)過上部成形室504及下部成形室505而形成為規(guī)定寬度與規(guī)定厚度的玻璃片材G降溫，由此調(diào)整玻璃片材G的熱收縮特性，或者抑制玻璃片材G的內(nèi)部應(yīng)變。具體而言，熱收縮特性的調(diào)整是通過在以輥509保持玻璃片材G并使之下降時(shí)，讓所述玻璃片材G以規(guī)定時(shí)間通過形成在緩冷室內(nèi)的溫度區(qū)(800°C?4000C )而進(jìn)行。而且，內(nèi)部應(yīng)變的調(diào)整是通過跨及玻璃片材G的寬度方向管理玻璃冷卻速度而進(jìn)行。
[0058]在上部成形室504、下部成形室505、緩冷室508設(shè)置著未圖示的加熱單元，控制熔融玻璃503、玻璃片材G的溫度，并且控制各室內(nèi)的溫度。而且，也可以在下部成形室505設(shè)置未圖示的冷卻單元，所述冷卻單元與成形體501的下端部隔開，且用以促進(jìn)進(jìn)入至下部成形室508的玻璃片材G的冷卻。而且，用以測定各室內(nèi)的溫度的多個(gè)溫度傳感器設(shè)置在各室的內(nèi)外。
[0059]設(shè)置在下部成形室505、緩冷室508的加熱單元在玻璃片材G的移動(dòng)方向上設(shè)置為多段，且各加熱單元可以在玻璃片材G的寬度方向上分割地設(shè)置。由此，可以在玻璃片材G的移動(dòng)方向、寬度方向上每一定長度分開對(duì)其進(jìn)行溫度控制。
[0060]通過緩冷室而降溫至規(guī)定溫度的玻璃片材G通過空間連結(jié)部533進(jìn)入至大致室溫的切斷室。然后，利用切斷裝置512將玻璃片材G切斷而形成玻璃基板Gl。
[0061]接下來，使用圖3、圖4說明空氣噴出裝置。
[0062]在玻璃片材G的移動(dòng)方向上的緩冷室508的出口側(cè)或切斷室513的入口側(cè)，設(shè)置著用以供玻璃片材G從緩冷室508移動(dòng)至切斷室513的空間連結(jié)部533?？臻g連結(jié)部533是以具有足以讓玻璃片材G通過的寬度的方式設(shè)置在緩冷室508的緩冷室底壁510的間隙。緩冷室底壁510是在下游側(cè)分隔出緩冷室508的間隔壁，玻璃片材G是通過空間連結(jié)部533而排出。面向空間連結(jié)部533的緩冷室底壁510的端面中的朝向玻璃片材G的主表面的部分也可以相對(duì)于玻璃片材G的主表面接近或退避，以使得可以對(duì)空間連結(jié)部533的狹縫間隔進(jìn)行調(diào)節(jié)。狹縫間隔是與玻璃片材G的厚度方向相同的方向上的空間連結(jié)部533的距離。空間連結(jié)部533的狹縫間隔是與玻璃片材G的厚度方向相同的方向上的空間連結(jié)部533的長度。因可以調(diào)節(jié)空間連結(jié)部533的狹縫間隔，而可以擴(kuò)寬空間連結(jié)部533的狹縫間隔，減小上升氣流的風(fēng)速(降低風(fēng)壓)，或者縮小空間連結(jié)部533的狹縫間隔，加快上升氣流的風(fēng)速(提高風(fēng)壓)。此外，如果擴(kuò)寬空間連結(jié)部533的狹縫間隔，那么通過空間連結(jié)部533的上升氣流的空氣的量會(huì)增加，如果縮小空間連結(jié)部533的狹縫間隔，那么通過空間連結(jié)部533的上升氣流的空氣的量會(huì)減少。
[0063]本實(shí)用新型中，以抑制空氣通過所述空間連結(jié)部533從切斷室513向緩冷室508流入的方式形成著作為氣流阻斷裝置的空氣噴出裝置。因移動(dòng)至切斷室513的玻璃片材G的主表面的溫度與切斷室513的溫度相比具有溫度差，而會(huì)產(chǎn)生沿著玻璃片材G的主表面流動(dòng)的上升氣流。為了抑制所述上升氣流，而從空氣噴出裝置噴出如成為與上升氣流相對(duì)向的風(fēng)的氣體。如圖3所示，空氣噴出裝置優(yōu)選在空間連結(jié)部533的兩側(cè)以與玻璃片材G的主表面相對(duì)的方式設(shè)置。
[0064]從未圖示的空氣供給裝置對(duì)空氣噴出裝置520供給空氣，空氣通過本體部521內(nèi)部從設(shè)置在噴出部522的狹縫狀的送風(fēng)口 523噴出。如圖4所示，送風(fēng)口 523形成為矩形狀，所述矩形狀具有在與玻璃片材G的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向(符號(hào)523a的兩箭頭所指的方向)、及與長邊方向523a正交的短邊方向(符號(hào)523b的兩箭頭所指的方向)。而且，通過將送風(fēng)口的寬度(短邊方向長度)523b設(shè)置為可變，可以調(diào)整噴出力。本實(shí)施方式中，采用將空氣噴出裝置的本體部521的上表面設(shè)置在緩冷室底壁510的切斷室側(cè)上部的形態(tài)。而且，風(fēng)量、風(fēng)壓的變更是通過調(diào)整空氣噴出裝置或調(diào)整送風(fēng)口 523的寬度523b而進(jìn)行。本實(shí)施方式中，以對(duì)玻璃片材G的兩面以均等的風(fēng)量、風(fēng)壓噴出空氣的方式調(diào)整空氣噴出裝置的位置或送風(fēng)口 523的寬度523b。而且，本實(shí)施方式中，傾斜地設(shè)置空氣噴出裝置本體部521的設(shè)置噴出部522的前端524。具體而言，空氣噴出裝置的送風(fēng)口523的開口方向是從與玻璃片材G延伸的平面方向垂直的方向朝玻璃片材G的移動(dòng)方向傾斜15?75° (例如約45° )。前端534是以在與送風(fēng)口 523的開口方向相同的方向上延伸的方式形成。送風(fēng)口 523的開口方向相對(duì)于所述垂直的方向傾斜的傾斜角度等于90°減去玻璃片材G的移動(dòng)方向與空氣的風(fēng)向所成的角度(之后敘述)所得的角度。以使從空氣噴出裝置520的送風(fēng)口 523噴出的空氣的風(fēng)向從玻璃片材G的垂直方向朝玻璃片材G的行進(jìn)方向側(cè)傾斜規(guī)定角度而進(jìn)行吹送的方式形成空氣噴出裝置。
[0065]此外，空氣噴出裝置520及送風(fēng)口 523優(yōu)選跨及比玻璃片材G所通過的空間連結(jié)部533(狹縫)的長度寬的寬度而設(shè)置。換言之，例如送風(fēng)口 523的長邊方向的長度優(yōu)選比與玻璃片材G的寬度方向相同的方向上的空間連結(jié)部533的長度長。所謂玻璃片材G所通過的空間連結(jié)部533的長度，是指在與玻璃片材G的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向的長度。此外，送風(fēng)口 523也可以使寬度523b的長度根據(jù)長邊方向的區(qū)域的不同而不同，由此使矩形狀的形狀變化。更具體而言，送風(fēng)口 523也可以針對(duì)長邊方向的每規(guī)定長度的區(qū)域獨(dú)立地變更寬度523b的長度。由此，當(dāng)在玻璃片材G的寬度方向上上升氣流的風(fēng)量、風(fēng)速存在差異時(shí)，能夠以對(duì)應(yīng)長邊方向的各個(gè)部位的上升氣流的噴出量噴出空氣。
[0066]而且，空氣噴出裝置520也可以相對(duì)于玻璃片材G的主表面接近或退避。作為這種情況的示例，可以舉出如下情況:在如上所述那樣可以使緩冷室底壁510相對(duì)于玻璃片材G的主表面接近或退避的情形時(shí)，空氣噴出裝置520追隨緩冷室底壁510進(jìn)行接近或退避。
[0067]這里，對(duì)通過空氣噴出裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)而進(jìn)行的上升氣流的抑制進(jìn)行說明。
[0068]當(dāng)玻璃片材G進(jìn)入至切斷室513時(shí)，玻璃片材G的主表面具有100°C?250°C左右的溫度。因此，由玻璃片材G加熱的空氣與周圍的空氣一起在玻璃片材G的主表面形成上升氣流511。如圖3所示，空氣噴出裝置520是以成為與從切斷室513向緩冷室508流動(dòng)的氣流511相對(duì)向的風(fēng)的方式噴出空氣521。本實(shí)施方式中，以玻璃片材G的移動(dòng)方向與空氣的風(fēng)向所成的角度成為15?75° (例如約45° )的方式跨及成形裝置500的寬度(與玻璃片材G的寬度方向相同的方向上的長度)的全長設(shè)置空氣噴出裝置520，由此抑制上升氣流流入至緩冷室508內(nèi)。
[0069](3)熱收縮特性的調(diào)整
[0070]本實(shí)施方式中，當(dāng)玻璃片材G通過緩冷室508內(nèi)時(shí)，一面將玻璃片材G的溫度長期保持在比應(yīng)變點(diǎn)低50°C的溫度左右的狀態(tài)，一面對(duì)玻璃片材G進(jìn)行緩冷，由此制造在平板顯示器的顯示裝置的制造(以下稱為面板制造)工藝中實(shí)現(xiàn)高良率的玻璃基板。
[0071]通過使比應(yīng)變點(diǎn)低50°C的溫度左右的溫度下的玻璃的緩冷時(shí)間較長，可以減小顯示裝置的工藝退火溫度450°C?600°C下的玻璃的熱收縮。另一方面，比應(yīng)變點(diǎn)低50°C的溫度左右的溫度下的保持時(shí)間必須對(duì)于要利用切斷裝置512切斷的各個(gè)玻璃基板為固定。原因在于，如果有要利用切斷裝置512切斷的各個(gè)玻璃基板G保持在比應(yīng)變點(diǎn)低50°C的溫度左右的時(shí)間產(chǎn)生偏差之類的情況，那么各個(gè)玻璃基板的熱收縮量不同。
[0072]本實(shí)施方式中，通過使用所述空氣噴出裝置，而抑制空氣從切斷室513向緩冷室508流入，減小成形裝置500內(nèi)的溫度、尤其是緩冷室508內(nèi)的溫度變動(dòng)。由此，可以使會(huì)對(duì)顯示裝置的工藝退火溫度下的熱收縮量產(chǎn)生影響的“比應(yīng)變點(diǎn)低50°C的溫度左右的溫度下的保持時(shí)間”在要利用切斷裝置512切斷的各玻璃基板之間為大致固定。
[0073](4)內(nèi)部應(yīng)變的調(diào)整
[0074]本實(shí)施方式中，以如下方式進(jìn)行加熱單元的操作:在下部成形裝置的上游側(cè)對(duì)寬度方向的兩端部進(jìn)行急冷而形成玻璃片材G之后，從下部成形裝置的下游側(cè)至緩冷室508的上游側(cè)，使玻璃片材G的中央部從寬度方向的外側(cè)開始緩緩地冷卻并凝固。中央部的寬度方向的急劇的溫度變化會(huì)使玻璃片材G的內(nèi)部應(yīng)變增大，因此在寬度方向設(shè)置平緩的溫度梯度。具體而言，以使玻璃片材G的中央部從寬度方向外側(cè)開始緩緩地冷卻的方式調(diào)整寬度方向、移動(dòng)方向的加熱單元的設(shè)定。此外，所謂玻璃片材G的中央部是夾在兩端部間的寬度方向的區(qū)域，也是用于面板制造的區(qū)域。
[0075]如上所述，在玻璃片材G的冷卻過程中，要求以不會(huì)發(fā)生內(nèi)部應(yīng)變的方式進(jìn)行玻璃片材G的寬度方向的冷卻順序、冷卻速度的管理。因此，在下部成形室及緩冷室中必須利用加熱單元控制從玻璃片材G的散熱。然而，如果成形裝置500內(nèi)的環(huán)境溫度或氣流混亂，那么即便使用設(shè)置在成形裝置500內(nèi)的未圖示的加熱器，也無法排除這種混亂的影響，導(dǎo)致玻璃片材G的冷卻條件混亂，無法實(shí)現(xiàn)所要求的低內(nèi)部應(yīng)變。
[0076]因此，本實(shí)施方式中，通過使用所述空氣噴出裝置，而抑制空氣從切斷室513向緩冷室508流入，使成形裝置500內(nèi)的環(huán)境溫度或氣流的變動(dòng)變小，由此精度良好地通過未圖示的加熱單元的輸出控制進(jìn)行玻璃片材G的冷卻管理。
[0077]以上，已基于附圖對(duì)本實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但具體構(gòu)成并不限于所述實(shí)施方式，可以在不脫離實(shí)用新型主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行變更。而且，本實(shí)施方式中，所謂應(yīng)變點(diǎn)，表示玻璃粘度為log n = 14.5左右的玻璃板的溫度，所謂緩冷點(diǎn)，表示log η = 13左右的玻璃板的溫度。
[0078](5)本實(shí)用新型的玻璃基板的制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式
[0079]接下來，說明使用以上所說明的顯示裝置用玻璃基板的制造裝置的玻璃基板的制造方法的優(yōu)選實(shí)施方式及實(shí)施例。
[0080]本實(shí)施方式的一例中，為了制造第六代的母玻璃，而使用可以成形具有約2000mm的寬度的玻璃片材G的成形體501,制造小于1mm、具體而言為0.3?0.7mm的厚度的玻璃基板。本實(shí)施例中，成形0.4mm的玻璃片材G。
[0081]作為通過本實(shí)用新型而制造的玻璃基板，例示出以玻璃基板的質(zhì)量％表示而含有以下成分的玻璃基板。而且，作為平板顯示器(液晶顯示器或等離子體顯示器等)用玻璃基板，例示出玻璃板以質(zhì)量％表示而含有以下主成分的玻璃基板。
[0082]Si02: 50 ?70% (55 ?65%、57 ?64%、58 ?62% )、
[0083]Al2O3:5 ?25% (10 ?20%、12 ?18%、15 ?18% )。
[0084]此外，括弧內(nèi)的示出內(nèi)容為各成分的優(yōu)選含有率，越靠左側(cè)為越優(yōu)選的數(shù)值。
[0085]尤其優(yōu)選含有
[0086]S12:50 ?70%、
[0087]B2O3:5 ?18%、
[0088]Al2O3:10 ?25%、
[0089]MgO:0 ?10%、
[0090]CaO:0 ?20%、
[0091]SrO:0 ?20%、
[0092]BaO:0 ?10%、
[0093]R0:5?20% (其中，R為選自Mg、Ca、Sr及Ba中的至少一種)。進(jìn)而，優(yōu)選含有R' 20超過0.20%且為3.0%以下(其中，R'為選自L1、Na及K中的至少一種)。而且，優(yōu)選含有澄清劑合計(jì)0.05?1.5%，且實(shí)質(zhì)上不含有八8203、Sb2O3及PbO。而且，更優(yōu)選玻璃中的氧化鐵的含有量為0.01?0.2%。此外，就玻璃的特性而言，優(yōu)選應(yīng)變點(diǎn)為690°C以上的玻璃。
[0094]空氣噴出裝置520是以跨及空間連結(jié)部533的長邊方向的全長噴出空氣的方式相對(duì)于空間連結(jié)部533在長邊方向上較寬地設(shè)置。而且，空氣噴出裝置520與玻璃片材G的距離是在25mm?150mm的范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。所謂空氣噴出裝置520與玻璃片材G的距離，是指從空氣噴出裝置520的送風(fēng)口 523至玻璃片材G的最短距離。將從送風(fēng)口 523噴出的空氣的溫度設(shè)為20°C?80°C，將空氣的流量設(shè)為2?1m3/秒，將最大靜壓設(shè)為19.6kPa。
[0095]此外，根據(jù)本實(shí)用新型創(chuàng)作者的研究可知，用以抑制上升氣流511向緩冷室508內(nèi)流入的空氣的風(fēng)量、風(fēng)壓即便為所述較低的水平，也充分地發(fā)揮效果。確認(rèn)到通過以所述風(fēng)量、風(fēng)壓進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，便不存在切斷室513內(nèi)揚(yáng)塵的問題。也就是說，即便使用刀輪進(jìn)行玻璃片材的切斷，通過以所述風(fēng)量、風(fēng)壓使用空氣噴出裝置，也可以抑制玻璃屑附著在切斷后的玻璃基板G的表面等。
[0096](6)實(shí)施例的效果
[0097]測定由本實(shí)施例制造并加工成制品尺寸的玻璃基板的熱收縮特性。具體而言，將堆入在圖5所示的玻璃積層體10的任意部位的玻璃基板切斷，設(shè)為測定用樣品片而進(jìn)行熱收縮量的測定。樣品片是從玻璃基板的中央部切出了多片。作為熱收縮量的測定方法，使用能以規(guī)定的溫度梯度升溫至600°C以上的退火裝置，在退火裝置內(nèi)重復(fù)兩次從室溫升溫至550°C (升溫時(shí)間為10°C /min)且在550°C下保持I小時(shí)的退火，通過公知的劃線法測定這時(shí)的收縮量。
[0098]不使空氣噴出裝置運(yùn)轉(zhuǎn)而制造的玻璃積層體中的玻璃基板的熱收縮量的測定結(jié)果在50ppm?60ppm的范圍內(nèi)，有20%左右的偏差，差異較大，相對(duì)于此，通過使空氣噴出裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的本實(shí)施例而制造的玻璃積層體中的玻璃基板的熱收縮量在48ppm?50ppm的范圍內(nèi)，可以將差異抑制得較小，為4%左右的偏差。
[0099]本實(shí)施例中，可以減小熱收縮量的偏差，并且也可以減小熱收縮量的絕對(duì)值。原因在于，如上所述，通過本實(shí)用新型的空氣噴出裝置，可以抑制向緩冷室流入的上升氣流，減小緩冷室508的環(huán)境溫度的變動(dòng)，從而減小所需溫度區(qū)內(nèi)的玻璃片材G的停留時(shí)間的偏差。
[0100]例如，示出通過使用本實(shí)施例，可以穩(wěn)定地制造適合于制造用于高清顯示面板的LTPS-TFT元件的、熱收縮量較小為50ppm以下的玻璃基板。
[0101]接下來，對(duì)由本實(shí)施例所得的玻璃基板的內(nèi)部應(yīng)變進(jìn)行評(píng)估。具體而言，對(duì)于堆疊在圖5所示的玻璃積層體10的任意位置的玻璃基板，使用Un1pt公司制造的雙折射測定裝置，測定玻璃基板面內(nèi)的相位差。此外，相位差與主應(yīng)力差成比例。在片狀玻璃的制造中，經(jīng)驗(yàn)上可知相位差與主應(yīng)力有成正比的關(guān)系，因此本實(shí)用新型中，將雙折射測定所得的相位差用于玻璃基板的內(nèi)部應(yīng)變的評(píng)估。
[0102]不使空氣噴出裝置運(yùn)轉(zhuǎn)而制造的玻璃積層體中的玻璃基板的測定出的相位差的最大值為1.2nm以上，且在玻璃基板的面內(nèi)的任意部位，均在1.2?2.3nm的范圍內(nèi)測定出。相對(duì)于此，測定從通過使空氣噴出裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的本實(shí)施例而制造的玻璃積層體中抽出的多個(gè)玻璃基板，結(jié)果各玻璃基板的測定值的最大值均為0.1xm以下，且在各玻璃基板的面內(nèi)的任意部位也均為0.5?0.1xm的范圍內(nèi)。也就是說，根據(jù)本實(shí)用新型的玻璃基板的制造方法，可以減小玻璃基板的內(nèi)部應(yīng)變的絕對(duì)值與偏差這兩方面。
[0103]本實(shí)施例中，可以減小內(nèi)部應(yīng)變的偏差，并且也可以減小內(nèi)部應(yīng)變的最大值。原因在于，通過抑制上升氣流，可以減小成形裝置500內(nèi)的氣流的混亂，而使玻璃片材G的冷卻過程中的溫度分布穩(wěn)定。由此，可以減小構(gòu)成圖5所示的玻璃積層體的玻璃基板的品質(zhì)偏差，在積層著例如400片至1000片玻璃基板的玻璃積層體中，也可以維持穩(wěn)定的品質(zhì)。
[0104]而且，在成形裝置500內(nèi)，通過在玻璃板的溫度成為緩冷點(diǎn)以上的區(qū)域抑制爐內(nèi)環(huán)境的溫度的變動(dòng)，可以抑制玻璃板的應(yīng)變。通過在玻璃板的溫度成為緩冷點(diǎn)?應(yīng)變點(diǎn)附近的區(qū)域抑制爐內(nèi)環(huán)境的溫度的變動(dòng)，可以抑制玻璃板產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)變。通過抑制玻璃板的溫度成為應(yīng)變點(diǎn)以下的區(qū)域內(nèi)的爐內(nèi)環(huán)境的溫度變動(dòng)，可以防止玻璃板的翹曲等。通過抑制從切斷室向緩冷室流入的上升氣流，也可以對(duì)所述內(nèi)容進(jìn)行更有效的調(diào)整。
[0105](6)變化例 I
[0106]改變玻璃組成，與所述實(shí)施例同樣地制造多片玻璃基板并獲得玻璃積層體。評(píng)估熱收縮量、內(nèi)部應(yīng)變。玻璃組成含有S12 70?75%'B2O3 I?6%'Al2O3 10?15%、MgOO?5%, CaO O ?5%、SrO O ?5%、BaO 2 ?10%、RO 5 ?18% (其中，R 為選自 Mg、Ca、Sr及Ba中的至少一種)。就玻璃的特性而言是應(yīng)變點(diǎn)為700°C?730°C的玻璃。
[0107]評(píng)估從玻璃積層體中抽出的玻璃基板，結(jié)果熱收縮量在30?31ppm的范圍內(nèi)，偏差在3%左右的范圍內(nèi)。而且，也通過雙折射的測定對(duì)內(nèi)部應(yīng)變的大小、偏差進(jìn)行評(píng)估，結(jié)果測定值與實(shí)施例同樣地被抑制為小于0.7nm，可以確認(rèn)到對(duì)于應(yīng)變點(diǎn)更高的玻璃也發(fā)揮本實(shí)用新型的效果。
[0108](7)變化例 2
[0109]對(duì)于實(shí)施例1、變化例I的玻璃片材改變玻璃片材G的厚度，制造厚度為0.3mm的玻璃基板，進(jìn)行同樣的評(píng)估，結(jié)果可以將熱收縮量的偏差抑制在3?5%的范圍內(nèi)，內(nèi)部應(yīng)變的大小、偏差也與實(shí)施例、變化例I同樣地可以抑制得較小。本變化例中，為了變更玻璃片材G的厚度，而減小供給至成形體的熔融玻璃的流量。如果熔融玻璃的供給量變小，那么由熔融玻璃帶入至成形裝置內(nèi)的整體的熱量也變小，因此從下部成形室至緩冷室，內(nèi)部的環(huán)境溫度變得容易變動(dòng)，但根據(jù)使用空氣噴出裝置的本實(shí)用新型，可以調(diào)整成形裝置內(nèi)的環(huán)境溫度，而能夠獲得實(shí)現(xiàn)所需的熱收縮量、內(nèi)部應(yīng)變的玻璃基板積層體。
[0110]如上所述，本實(shí)用新型的使用空氣噴出裝置而制造的玻璃積層體中，可以將積層的玻璃基板的熱收縮量的偏差抑制為小于5%，進(jìn)而可以將內(nèi)部應(yīng)變及內(nèi)部應(yīng)變的偏差抑制得較小。由此，可以實(shí)現(xiàn)面板制造步驟中的生產(chǎn)性、良率的提高。
[0111]所述實(shí)施方式或?qū)嵤├校栽谇袛嗍业娜肟谑褂每諝鈬姵鲅b置的構(gòu)成進(jìn)行了說明，但本實(shí)用新型并不限定于所述構(gòu)成。本實(shí)用新型包括:成形步驟，通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材；及緩冷步驟，在可以調(diào)整溫度的分隔出的室內(nèi)冷卻并移送成形的玻璃片材。只要是用以進(jìn)行分隔的間隔壁具有可以將玻璃片材向分隔出的室的外部移送的狹縫，且通過從空氣噴出裝置朝向通過狹縫的所述玻璃片材的主表面噴出流體，而調(diào)整沿著玻璃片材的主表面流動(dòng)的氣流即可，作為流體優(yōu)選氣體，可以選擇氮?dú)饣蚩諝狻?br> [0112]所述實(shí)施例中是考慮熱收縮量而決定從緩冷步驟進(jìn)行移送的溫度，但在僅考慮內(nèi)部應(yīng)變的情形時(shí)，也可以在玻璃片材G的溫度為比應(yīng)變點(diǎn)低100°C的溫度時(shí)結(jié)束緩冷步驟并從狹縫移送至分隔出的室的外部。這時(shí)，也通過使用空氣供給裝置抑制朝向分隔出的室的內(nèi)部的氣流，而可以消除分隔出的室的內(nèi)部的溫度偏差，充分實(shí)現(xiàn)玻璃片材的內(nèi)部應(yīng)變的降低。也可以是為了減小熱收縮量及內(nèi)部應(yīng)變的偏差，而在玻璃片材G的溫度為比應(yīng)變點(diǎn)低300°C的溫度時(shí)結(jié)束緩冷步驟并從狹縫移送至分隔出的室的外部的實(shí)施方式。例如，從空氣供給裝置對(duì)在350°C下通過狹縫的玻璃片材噴出300°C至350°C的空氣。
[0113]空氣噴出裝置也可以設(shè)置在分隔成形室與緩冷室的間隔壁。此外，空氣噴出裝置也可以設(shè)置在設(shè)置著間隔壁的與玻璃片材的移動(dòng)方向位置不同的位置。
[0114][符號(hào)的說明]
[0115]I 玻璃基板制造裝置
[0116]10 玻璃積層體
[0117]11 玻璃基板
[0118]100 熔解裝置
[0119]500 成形裝置
[0120]504 上部成形室
[0121]505 下部成形室
[0122]508 緩冷室
[0123]513 切斷室
[0124]520 空氣噴出裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃片材制造裝置，包含: 成形室,通過下拉法將熔融玻璃成形為玻璃片材； 緩冷室，沿著所述玻璃片材的移動(dòng)方向?qū)λ霾Ａ倪M(jìn)行緩冷； 所述緩冷室由多個(gè)間隔壁分隔出以對(duì)所述玻璃片材進(jìn)行溫度控制； 在所述間隔壁的每一個(gè)設(shè)置著供所述玻璃片材通過的狹縫；且 所述玻璃片材制造裝置包含空氣噴出裝置，所述空氣噴出裝置朝向通過所述間隔壁的至少一個(gè)所述狹縫的玻璃片材的主表面噴出流體而減小沿著所述玻璃片材的主表面流動(dòng)的氣流。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃片材制造裝置，其中所述間隔壁的一個(gè)是在所述移動(dòng)方向的下游側(cè)分隔出所述緩冷室的間隔壁，所述玻璃片材是通過所述狹縫而排出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置設(shè)置在與所述玻璃片材通過所述狹縫時(shí)的所述玻璃片材的所述移動(dòng)方向的位置對(duì)應(yīng)的所述移動(dòng)方向的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃片材制造裝置，其中在所述緩冷室的下游側(cè)，設(shè)置著切斷從所述緩冷室連續(xù)地移送的所述玻璃片材的切斷室， 所述空氣噴出裝置通過朝向從所述緩冷室向所述切斷室移送的所述玻璃片材的主表面噴出氣體，而減小從所述切斷室朝向所述緩冷室流動(dòng)的上升氣流。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的狹縫狀的送風(fēng)口，從所述送風(fēng)口噴出的空氣量為2?1m3/秒。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口形成為矩形狀，所述矩形狀具有在與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向、及與所述長邊方向正交的短邊方向，所述送風(fēng)口的短邊方向的長度可以變更。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口形成為矩形狀，所述矩形狀具有在與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上延伸的長邊方向、及與所述長邊方向正交的短邊方向，所述送風(fēng)口的長邊方向的長度比與所述玻璃片材的寬度方向相同的方向上的所述狹縫的長度長。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置包含噴出所述氣體的送風(fēng)口，所述送風(fēng)口的開口方向是從與所述玻璃片材延伸的平面方向垂直的方向朝所述玻璃片材的移動(dòng)方向傾斜15?75°。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃片材制造裝置，其中面向所述狹縫的所述間隔壁的端面中的朝向所述玻璃片材的主表面的部分相對(duì)于所述玻璃片材的主表面接近或退避。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或9所述的玻璃片材制造裝置，其中所述空氣噴出裝置相對(duì)于所述玻璃片材的主表面接近或退避。
【文檔編號(hào)】C03B32/00GK203976606SQ201420076559
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2014年2月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月21日
【發(fā)明者】樋渡博一, 菅原司人 申請(qǐng)人:安瀚視特控股株式會(huì)社