石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法
【專利摘要】一種石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其特殊之處是：將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為800℃－1200℃，加熱1小時(shí)－2小時(shí)，取出；將加熱后的石英玻璃板和石英玻璃棒分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)并對(duì)正、靠近；采用噴燈將石英玻璃棒前端與石英玻璃板繼續(xù)燒結(jié)，至開始熔化時(shí)對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使其對(duì)接，將兩者熔為一體；將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火；自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒位置銑出多個(gè)通孔；將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板與清洗槽內(nèi)膽底板焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。有益效果是：通過燒結(jié)使兩者一次成型熔為一體，連接處表面光滑平整，工序簡(jiǎn)單，無需使用石英玻璃焊條，節(jié)省原材料，能耗低，制造成本低。
【專利說明】石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002]石英玻璃加熱清洗槽應(yīng)用于清洗半導(dǎo)體芯片，現(xiàn)有的清洗槽內(nèi)膽是由槽體和排液口構(gòu)成，所述槽體與排液口為分體結(jié)構(gòu)，加工時(shí)采用石英玻璃焊條手工焊接而成。其存在的問題是:連接處粗糙，焊接過程上操作不當(dāng)易爆裂；操作時(shí)間長(zhǎng)，消耗石英玻璃焊條，原材料耗費(fèi)大，能耗高。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，提供一種石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:
一種石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其特殊之處是:
1、將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與直徑為20mm— 60mm且空心石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為800°C — 1200°C，加熱I小時(shí)一 2小時(shí)，取出；
2、將加熱后的石英玻璃板和石英玻璃棒分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)，將二個(gè)石英夾具對(duì)正，使石英玻璃棒中心與石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端與石英玻璃板相距15cm — 20cm ；
3、采用噴燈將火焰朝向石英玻璃棒前端與石英玻璃板的對(duì)接位置繼續(xù)燒結(jié)，至石英玻璃棒前端與石英玻璃板的中心位置開始熔化，對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板對(duì)接，將兩者熔為一體，然后撤掉噴燈火焰，拆除石英夾具；
4、將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火，升溫至1100°C—1200°C，恒溫4小時(shí)一6小時(shí)，降溫至150°C— 250°C，取出；
5、自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒位置銑出多個(gè)通孔，其中一個(gè)孔為中心孔，其它孔以中心孔為中心沿圓周方向分布且斜置并與石英玻璃棒內(nèi)腔相通；
6、將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板與清洗槽內(nèi)膽底板用石英玻璃焊條焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。
[0005]所述通孔為5個(gè)一12個(gè)。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:通過對(duì)石英玻璃板與石英玻璃棒高溫加熱，然后用噴燈使其處于熔化的臨界狀態(tài)，再用石英夾具對(duì)接，通過燒結(jié)使兩者一次成型熔為一體從而制成石英加熱清洗槽內(nèi)膽，連接處表面光滑平整，工序簡(jiǎn)單，無需使用石英玻璃焊條，節(jié)省原材料，能耗低，制造成本低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明的清洗槽內(nèi)膽底板與石英玻璃棒對(duì)接前狀態(tài)示意圖；
圖2是本發(fā)明制得的清洗槽內(nèi)膽示意圖；
圖3是圖2的俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0008]實(shí)施例1
如圖所示，該石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其步驟如下:
1、將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與直徑為20mm且空心石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為800°C，加熱2小時(shí)，取出；
2、將加熱后的石英玻璃板2和石英玻璃棒I分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)，將二個(gè)石英夾具對(duì)正，使石英玻璃棒I中心與石英玻璃板2中心同心，靠近至石英玻璃棒I前端與石英玻璃板2相距15cm ；
3、采用噴燈將火焰朝向石英玻璃棒I前端與石英玻璃板2的對(duì)接位置繼續(xù)燒結(jié)，至石英玻璃棒I前端與石英玻璃板2的中心位置開始熔化，對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使石英玻璃棒I和石英玻璃板2對(duì)接，將兩者熔為一體，然后撤掉噴燈火焰，拆除石英夾具；
4、將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火，升溫至1100°C，恒溫6小時(shí)，降溫至150°C，取出；
5、自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板2內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒I位置銑出7個(gè)孔，其中一個(gè)孔為中心孔，其它孔以中心孔為中心沿圓周方向分布且斜置并與石英玻璃棒I內(nèi)腔相通；
6、將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板3與清洗槽內(nèi)膽底板用石英玻璃焊條焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。
[0009]實(shí)施例2
該石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其步驟如下:
1、將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與直徑為60_且空心石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為1200°C，加熱I小時(shí)，取出；
2、將加熱后的石英玻璃板和石英玻璃棒分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)，將二個(gè)石英夾具對(duì)正，使石英玻璃棒中心與石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端與石英玻璃板相距20cm ；
3、采用噴燈將火焰朝向石英玻璃棒前端與石英玻璃板的對(duì)接位置繼續(xù)燒結(jié)，至石英玻璃棒前端與石英玻璃板的中心位置開始熔化，對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板對(duì)接，將兩者熔為一體，然后撤掉噴燈火焰，拆除夾具；
4、將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火，升溫至1200°C，恒溫4小時(shí)，降溫至250°C，取出；
5、自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒位置銑出12個(gè)孔，其中一個(gè)孔為中心孔，其它孔以中心孔為中心沿圓周方向分布且斜置并與石英玻璃棒內(nèi)腔相通；
6、將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板與清洗槽內(nèi)膽底板用石英玻璃焊條焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。
[0010] 實(shí)施例3
該石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其步驟如下:
1、將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與直徑為40mm且空心石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為1000°C，加熱1.5小時(shí)，取出；
2、將加熱后的石英玻璃板和石英玻璃棒分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)，將二個(gè)石英夾具對(duì)正，使石英玻璃棒中心與石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端與石英玻璃板相距18cm ；
3、采用噴燈將火焰朝向石英玻璃棒前端與石英玻璃板的對(duì)接位置繼續(xù)燒結(jié)，至石英玻璃棒前端與石英玻璃板的中心位置開始熔化，對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板對(duì)接，將兩者熔為一體，然后撤掉噴燈火焰，拆除夾具；
4、將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火，升溫至1150°C，恒溫5小時(shí)，降溫至200°C，取出；
5、自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒位置銑出9個(gè)孔，其中一個(gè)孔為中心孔，其它孔以中心孔為中心沿圓周方向分布且斜置并與石英玻璃棒內(nèi)腔相通；
6、將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板與底板用石英玻璃焊條焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。
【權(quán)利要求】
1.一種石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其特征是: 1)、將作為清洗槽內(nèi)膽底板的石英玻璃板與直徑為20mm— 60mm且空心石英玻璃棒放在高溫爐中加熱，溫度為800°C — 1200°C，加熱I小時(shí)一 2小時(shí)，取出； 2)、將加熱后的石英玻璃板和石英玻璃棒分別放在二個(gè)石英夾具內(nèi)，將二個(gè)石英夾具對(duì)正，使石英玻璃棒中心與石英玻璃板中心同心，靠近至石英玻璃棒前端與石英玻璃板相距 15cm — 20cm ； 3)、采用噴燈將火焰朝向石英玻璃棒前端與石英玻璃板的對(duì)接位置繼續(xù)燒結(jié)，至石英玻璃棒前端與石英玻璃板的中心位置開始熔化，對(duì)二個(gè)石英夾具施加相向力，使石英玻璃棒和石英玻璃板對(duì)接，將兩者熔為一體，然后撤掉噴燈火焰，拆除石英夾具； 4)、將對(duì)接后的帶有石英玻璃棒的石英玻璃板放入退火爐中高溫退火，升溫至IlOO0C- 1200°C，恒溫4小時(shí)一6小時(shí)，降溫至150°C— 250°C，取出； 5)、自然冷卻后放在銑床上，在石英玻璃板內(nèi)表面對(duì)應(yīng)石英玻璃棒位置銑出多個(gè)通孔，其中一個(gè)孔為中心孔，其它孔以中心孔為中心沿圓周方向分布且斜置并與石英玻璃棒內(nèi)腔相通； 6)、將作為清洗槽內(nèi)膽側(cè)板的四塊石英玻璃板與清洗槽內(nèi)膽底板用石英玻璃焊條焊接成石英加熱清洗槽內(nèi)膽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英加熱清洗槽內(nèi)膽的制造方法，其特征是:所述通孔為5個(gè)一 12個(gè)。
【文檔編號(hào)】C03B20/00GK104310763SQ201410488695
【公開日】2015年1月28日 申請(qǐng)日期:2014年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月23日
【發(fā)明者】張明 申請(qǐng)人:錦州凌河石英設(shè)備科技有限公司