一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法
【專利摘要】一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，包括以下步驟：（1）氮化脫碳；（2）硼化處理；（3）高溫?zé)?，即得硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維。本發(fā)明在氮化硅纖維中添加硼元素制備硅氮硼纖維，與現(xiàn)有硅硼氮纖維相比工藝簡單，制造成本低，利用氮化硅纖維的生產(chǎn)設(shè)備便可實(shí)施，易于工業(yè)化。
【專利說明】一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于高性能陶瓷材料領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]氮化硅纖維是一種性能優(yōu)良的高溫結(jié)構(gòu)材料，具有高強(qiáng)度、高韌性、高熱導(dǎo)率、高絕緣性、耐磨蝕、耐熱沖擊、抗氧化性、熱膨脹系數(shù)低、密度低等優(yōu)良性能，主要應(yīng)用于金屬基、陶瓷基復(fù)合材料的增強(qiáng)材料和防熱功能復(fù)合材料的制備，是航空航天領(lǐng)域、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)耐高溫部件的理想材料之一。氮化硅纖維的制備方法主要有:氮化硅陶瓷先驅(qū)體法和聚碳硅烷纖維氮化法。
[0003]采用先驅(qū)體轉(zhuǎn)化法制備出的氮化硅纖維，隨先驅(qū)體聚合物合成路線的不同，具有不同的組成、結(jié)構(gòu)與性能。一般將有機(jī)氯硅烷進(jìn)行氨解或胺解制得聚硅氮烷，或由有機(jī)硅氮烷的反應(yīng)制得聚硅氮烷，再經(jīng)過紡絲、不熔化、高溫?zé)商幚碇频玫枥w維。美國DowCorning公司、日本東亞燃料公司是氮化娃陶瓷先驅(qū)體法的典型代表。美國Dow Corning公司以氫化聚娃氮燒(Hydridopolysilazane,簡記為HPZ)為先驅(qū)體,通過熔融紡絲可得到直徑為15?20 μ m的HPZ原絲，將其暴露到多官能的氯硅烷氣氛中，可快速實(shí)現(xiàn)不熔化處理。然后將HPZ不熔化纖維置于高溫爐中在高純氮?dú)饬髦刑幚淼?200°C便制得氮化硅纖維。日本東亞燃料公司以全氫聚娃氮燒(Perhydropolysilazane,簡記為PHS)為先驅(qū),通過干法紡絲得到PHS原絲，將PHS原絲直接在惰性氣氛或高純氨氣氣氛中加熱至1100?1200°C，再在高純氮?dú)庵刑幚淼?400°C，便得到氮化硅纖維。但所得到的氮化硅陶瓷先驅(qū)體因?yàn)槠銼1-N化學(xué)鍵極其容易水解和氧化，對(duì)潮氣和空氣非常敏感，要求先驅(qū)體合成、紡絲和不熔化等工藝過程都必須隔絕空氣、潮氣和水，導(dǎo)致氮化硅纖維工藝設(shè)備復(fù)雜，技術(shù)難度大，成本高。因此上述三種纖維均未進(jìn)行工業(yè)化生產(chǎn)。
[0004]氮化法是制備氮化物陶瓷的常用方法，比如氧化硼纖維氮化制備氮化硼纖維，硅硼氮碳先驅(qū)體氮化制備硅硼氮陶瓷等。日本原子能研究所以聚碳硅烷(polycarbosilane，簡記為PCS)為先驅(qū)體，經(jīng)熔融紡絲制備PCS纖維，通過電子束輻照實(shí)現(xiàn)不熔化，通過高純氨氣氣氛下的氮化和高溫處理制備了氮化娃纖維(命名為Sinber) (Radiation Physics andChemistry.1999，51 (9):575_581)。國內(nèi)，國防科技大學(xué)采用類似的方法制備了氮化硅纖維(王得印，連續(xù)SiC纖維及SiNO纖維的制備與表征，國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文，2011 ；Journal of Non-Crystalline Solids 2012，358: 3338 - 3341 ；Materials and Design2013，43: 258 - 263)。通過PCS纖維直接氮化制備氮化硅纖維，容易實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，相對(duì)于氮化硅陶瓷先驅(qū)體方法具有明顯技術(shù)優(yōu)勢和成本優(yōu)勢。
[0005]研究表明，硅氮硼纖維比氮化硅纖維具有更高的耐高溫性能，具有更低的介電常數(shù)，可用于高速飛行器的天線罩和天線窗等關(guān)鍵部件。目前已報(bào)道的硅氮硼纖維的制備方法有兩種:干法紡絲和熔融紡絲方法。日本東麗公司通過全氫聚硅氮烷與硼酸三甲酯反應(yīng)，得到聚硼硅氮烷，產(chǎn)物為白色粉末，5000C以下不熔融，通過干法紡絲，進(jìn)一步在高純氨氣中氮化得到SiBNO纖維，纖維密度2.4g cm_3，強(qiáng)度2.5GPa，模量180GPa，使用溫度可達(dá)到16000C (J.Mater.Sc1.1994，29，2238-2244 ；J.Mater.Sc1.1995，30，410-416)。但干法紡絲所制備的纖維連續(xù)長度有限，不利于制備硅氮硼連續(xù)纖維。國內(nèi)國防科技大學(xué)以聚硼硅氮烷為先驅(qū)體，經(jīng)熔融紡絲、不熔化、氮化和高溫?zé)芍苽涞玫焦璧疬B續(xù)纖維(參見申請(qǐng)?zhí)枮?200710035734.3 ；200710035733.9 ；200810031252.5 ；200810031253.X 的中國專利申請(qǐng))。東華大學(xué)采用類似方法制備了硅氮硼纖維(參見申請(qǐng)?zhí)枮?00710170513.7 ；201110410000.5的中國專利申請(qǐng))。但這些方法中，由于聚硼硅氮烷先驅(qū)體本身含有大量的B-N和S1-N化學(xué)鍵，對(duì)空氣、潮氣和水等極其敏感，需要復(fù)雜的工藝設(shè)備和嚴(yán)格的環(huán)境要求，成本也非常高。
[0006]因此，探索工藝和設(shè)備簡單、成本低的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維制備方法，對(duì)促進(jìn)連續(xù)纖維的應(yīng)用、推動(dòng)高性能復(fù)合材料發(fā)展具有重要意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工藝和所用設(shè)備簡單，制造成本低，不需要無水無氧環(huán)境的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法。
[0008]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是，一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，包括以下步驟:
(I)氮化脫碳:將不熔化聚碳硅烷纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣氣氛，或者氨氣與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣氛下，按50-300°C /小時(shí)的速度升溫至400-100(TC，進(jìn)行氮化脫碳，保溫l_4h ；
所述氨氣與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣氛中，氨氣體積濃度≥ 10% ；
利用氨氣與不熔化纖維反應(yīng)形成氮化纖維，氮化纖維中含有大量的S1-NHz結(jié)構(gòu)；
(2 )硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力≤30Pa,通入BCl3氣體，或BCl3氣體與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣體，所述氣體的流量為5-30L/min，0.5_3h后，再次抽真空至爐內(nèi)壓力≤30Pa,再次通入流量為l-10L/min的氨氣，反應(yīng)1-2h ;
所述BCl3氣體與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣體中，BCl3氣體體積濃度≥ 10% ；
利用三氯化硼與氮化纖維中的S1-NHx結(jié)構(gòu)反應(yīng)，形成S1-N-B結(jié)構(gòu)，進(jìn)一步用高純氨氣將多余的B-Cl反應(yīng)消耗掉；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，改通流量為5-25L/min的氮?dú)饣驓鍤?，?0_200°C /h的速度繼續(xù)升溫至1200-1500°C并在最高溫度保溫0.r3h,即得硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維。
[0009]進(jìn)一步，步驟(1)中，在氨氣氣氛下按60-180°C /小時(shí)的速度升溫至600-900°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫2-3h。
[0010]進(jìn)一步，步驟(2)中，通入BCl3氣體的時(shí)間為I — 2h。
[0011] 進(jìn)一步，步驟(3)中，以80 — 1500C /h的速度繼續(xù)升溫至1200-1500°C并在最高溫度保溫l_2h。
[0012]進(jìn)一步，所述氨氣的純度≥99.99%ο
[0013]進(jìn)一步，所述BCl3氣體的純度≥99.9%。
[0014]進(jìn)一步，所述氮?dú)饣驓鍤獾募兌取?9.99%。
[0015]本發(fā)明原料不熔化聚碳硅烷纖維制備:將聚碳硅烷(PCS)通過熔融紡絲制得聚碳硅烷纖維，將聚碳硅烷纖維在化學(xué)氣氛、電子束輻照或高能射線輻照的條件下進(jìn)行交聯(lián)處理，使纖維在后續(xù)高溫處理過程不會(huì)熔化，即得到不熔化PCS纖維，具體步驟如下:將原料有機(jī)硅聚合物置于反應(yīng)釜中，反復(fù)抽真空和充高純惰性氣氛后，加熱至400-50(TC進(jìn)行裂解，粗產(chǎn)物經(jīng)有機(jī)溶劑溶解后過濾，再加熱至300-40(TC進(jìn)行減壓蒸餾除去溶劑和少量低分子物質(zhì)，冷卻后得到聚碳硅烷PCS。將上述聚碳硅烷PCS置于熔融紡絲裝置的熔筒中，在高純惰性氣氛保護(hù)下加熱至280-380°C，待其全熔成均勻熔體后，在250-320°C，0.1-0.8MPa壓力下，以200-600m/min速度進(jìn)行熔融紡絲，得到連續(xù)PCS纖維。采取如下兩種方法之一制取PCS不熔化纖維:(a)將上述PCS纖維置于不熔化處理裝置中抽真空充高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，通入含多重鍵的活性氣氛，按10-30°C /min升溫速度加熱到300_450°C，并在該溫度保溫處理1-6小時(shí)后，制得不熔化纖維；(b)將上述連續(xù)PCS纖維置于電子束輻照裝置中，輻照劑量達(dá)到5-20MGy并退火處理，制得不熔化纖維(參見ZL 201210138279.0)。
[0016]本發(fā)明之硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，包括以下步驟:
本發(fā)明中，不熔化PCS纖維氮化脫碳形成大量S1-NHz，利用三氯化硼與NH的化學(xué)反應(yīng)引入硼元素，再用高純氨氣消除掉多余的B-Cl化學(xué)鍵，進(jìn)一步高溫?zé)芍苽涔璧疬B續(xù)陶瓷纖維。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，有如下積極意義:
(1)本發(fā)明在不熔化PCS氮化以后引入硼元素，與現(xiàn)有聚硼硅氮烷先驅(qū)體方法相比，不需要合成、紡絲、不熔化等無水無氧環(huán)境，設(shè)備要求更低，工藝控制更加容易；
(2)本發(fā)明在氮化工藝后依次采用三氯化硼和氨氣處理，可以直接在氮化工藝設(shè)備中進(jìn)行，不需要額外的工藝設(shè)備；
(3)本發(fā)明在氮化硅纖維中添加硼元素制備硅氮硼纖維，與現(xiàn)有硅硼氮纖維相比工藝簡單，制造成本低，利用氮化硅纖維的生產(chǎn)設(shè)備便可實(shí)施，易于工業(yè)化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明之硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的宏觀照片圖；
圖2為本發(fā)明之硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的SEM微觀形貌圖；
圖3為本發(fā)明之硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維表面的EDS譜圖和元素組成圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。本發(fā)明包括但不限于以下實(shí)施例。
[0019]參考例
本發(fā)明原料不熔化聚碳硅烷纖維制備(參照ZL 201210138279.0):將原料有機(jī)硅聚合物置于反應(yīng)釜中，反復(fù)抽真空和充高純惰性氣氛后，加熱至50(TC進(jìn)行裂解，粗產(chǎn)物經(jīng)有機(jī)溶劑溶解后過濾，再加熱至400°C進(jìn)行減壓蒸餾除去溶劑和少量低分子物質(zhì)，冷卻后得到聚碳硅烷PCS。將上述聚碳硅烷PCS置于熔融紡絲裝置的熔筒中，在高純惰性氣氛保護(hù)下加熱至380°C，待其全熔成均勻熔體后，在320°C，0.2MPa壓力下，以200m/min速度進(jìn)行熔融紡絲，得到連續(xù)PCS纖維。將上述PCS纖維置于不熔化處理裝置中抽真空充高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，通入含多重鍵的活性氣氛，按30°C /min升溫速度加熱到300°C，并在該溫度保溫處理6小時(shí)后，制得不熔化纖維。
[0020]各實(shí)施例中使用的氨氣的純度均> 99.99%，BCl3氣的純度均> 99.9%，氮?dú)夂蜌鍤獾募兌染?9.99%ο
[0021]實(shí)施例1
本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入氮?dú)獠⒅貜?fù)三次，在氨氣氣氛下，按300°C /小時(shí)的速度升溫至1000°C，保溫Ih ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力為30Pa，然后通入三氯化硼氣體與氮?dú)獾幕旌蠚?，所述混合氣中BCl3氣體體積濃度為10%，混合氣流量為30L/min，3h后抽真空至爐內(nèi)壓力為30Pa，然后以2L/min通入氨氣淬滅多余的B-Cl鍵，反應(yīng)Ih ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以20L/min的流量通入氮?dú)?，?00°C/小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1300°C，保溫處理2小時(shí)，得硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維。
本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維直徑為11.5μπι，抗張強(qiáng)度為1.6GPa，楊氏模量為98GPa，纖維氧含量為1.8wt%,氮含量為35.5wt%,硼含量0.85wt%,電阻率為
1.1Χ108Ω--αιι，介電常數(shù)為 3.82。
[0022]實(shí)施例2 本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚鈿夥障?，?00°c /小時(shí)的速度升溫至900°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫Ih ；
所述氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚庵校睔怏w積濃度為50% ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力為28Pa，然后通入三氯化硼與氮?dú)獾幕旌蠚猓龌旌蠚庵校珺Cl3氣體體積濃度為25%，混合氣流量為20L/min，0.5h后，再次抽真空至爐內(nèi)壓力為30Pa，然后以2L/min通入氨氣淬滅多余的B-Cl鍵，反應(yīng)2h ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以10L/min的流量通入氬氣，以200°C/小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1400°C，保溫處理2小時(shí)，得到硅氮硼陶瓷纖維。
[0023]本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維纖維直徑為12.2 μ m，抗張強(qiáng)度為1.4GPa，楊氏模量為I IOGPa,纖維氧含量為0.8wt%,氮含量為36.7wt%,硼含量0.95wt%,電阻率為
2.5Χ108Ω--αιι，介電常數(shù)為 4.15。
[0024]實(shí)施例3
本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚夥障?，?50°c /小時(shí)的速度升溫至800°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫2h ；
所述氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚庵?，氨氣體積濃度為70% ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力為28Pa，然后通入三氯化硼與氮?dú)獾幕旌蠚?，所述混合氣中，BCl3氣體體積濃度為60%，流量10L/min，lh后抽真空至爐內(nèi)壓力28Pa，然后以5L/min通入高純氨氣淬滅多余的B-Cl鍵,反應(yīng)Ih ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以25L/min的流量通入氮?dú)?，?50°C/小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1200°C，保溫處理2小時(shí)，得到硅氮硼陶瓷纖維。
[0025]本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維纖維直徑為11.8 μ m，抗張強(qiáng)度為1.5GPa，楊氏模量為97GPa，纖維氧含量為1.3wt%,氮含量為35.2wt%,硼含量0.78wt%,電阻率為1.6Χ108Ω--αιι，介電常數(shù)為 3.89。
[0026]實(shí)施例4
本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚夥障拢?60°c /小時(shí)的速度升溫至700°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫Ih;
所述氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚庵?，氨氣體積濃度為80% ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力為25Pa，然后通入三氯化硼與氮?dú)獾幕旌蠚?，所述混合氣中，BCl3氣體體積濃度為80%，流量5L/min，2h后，抽真空至爐內(nèi)壓力25Pa，然后以8L/min通入氨氣淬滅多余的B-Cl鍵，反應(yīng)Ih ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以20L/min的流量通入氬氣，以80°C/小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1300°C，保溫處理3小時(shí)，得到硅氮硼陶瓷纖維。
[0027]本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維纖維直徑為12.0 μ m，抗張強(qiáng)度為1.3GPa，楊氏模量為121GPa，纖維氧含量為2.lwt%,氮含量為34.2wt%,硼含量0.72wt%,電阻率為1.0Χ108Ω--αιι，介電常數(shù)為 3.71。
[0028]實(shí)施例5
本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣與氬氣的混合氣下，按300°c /小時(shí)的速度升溫至600°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫2h ；
所述氨氣與氬氣的混合氣中，氨氣體積濃度為50% ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力30Pa，然后通入100%三氯化硼氣體，流量5L/min，Ih后，抽真空至爐內(nèi)壓力30Pa，然后以10L/min通入氨氣淬滅多余的B-Cl鍵，反應(yīng)2h ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以10L/min的流量通入氮?dú)?，?00°C/小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1500°C，保溫處理0.5小時(shí)，得到硅氮硼陶瓷纖維。
[0029]本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維纖維直徑為12.3 μ m，抗張強(qiáng)度為1.6GPa，楊氏模量為108GPa，纖維氧含量為1.lwt%,氮含量為35.9wt%,硼含量0.91wt%,電阻率為1.7Χ108Ω--αιι，介電常數(shù)為 4.15。
[0030]實(shí)施例6
本實(shí)施例包括以下步驟:
(1)氮化脫碳:將所制得的不熔化PCS纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣與氮?dú)獾幕旌蠚庀?，?0°C/小時(shí)的速度升溫至500°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫3h ；
所述氨氣與氮?dú)?的混合氣中，氨氣體積濃度為20% ；
(2)硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力30Pa，然后通入三氯化硼與氮?dú)獾幕旌蠚?，所述混合氣中，BCl3氣體體積濃度為40%，流量15L/min，2h后抽真空至爐內(nèi)壓力為30Pa，然后以IL/min通入氨氣淬滅多余的B-Cl鍵，反應(yīng)2h ；
(3)高溫?zé)?停止通入氨氣，以5L/min的流量通入氬氣，以50°C /小時(shí)的升溫速度繼續(xù)升溫至1250°C，保溫處理3小時(shí)，得到硅氮硼陶瓷纖維。
[0031] 本實(shí)施例所得硅氮硼陶瓷纖維纖維直徑為11.2 μ m，抗張強(qiáng)度為1.5GPa，楊氏模量為IOlGPa,纖維氧含量為1.0wt%,氮含量為35.lwt%,硼含量0.80wt%,電阻率為
1.6Χ108Ω--α ιι，介電常數(shù)為 4.19。
【權(quán)利要求】
1.一種硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，包括以下步驟: (I)氮化脫碳:將不熔化聚碳硅烷纖維置于高溫氣氛爐中，抽真空后通入高純氮?dú)獠⒅貜?fù)三次后，在氨氣氣氛，或者氨氣與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣氛下，按50-300°C /小時(shí)的速度 升溫至400-100(TC，進(jìn)行氮化脫碳，保溫l_4h ； 所述氨氣與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣氛中，氨氣體積濃度> 10% ； (2 )硼化處理:抽真空至爐內(nèi)壓力≤30Pa,通入BCl3氣體，或BCl3氣體與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣體，所述氣體的流量為5-30L/min，0.5_3h后，再次抽真空至爐內(nèi)壓力≤30Pa,再次通入流量為l-10L/min的氨氣，反應(yīng)1-2h ; 所述BCl3與氮?dú)饣?和氬氣的混合氣體中，BCl3氣體體積濃度> 10% ； (3)高溫?zé)?停止通入氨氣，改通流量為5-25L/min的氮?dú)饣驓鍤?，?0_200°C /h的速度繼續(xù)升溫至1200-1500°C并在最高溫度保溫0.r3h,即得硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，步驟(1)中，在氨氣氣氛下按60-180°C /小時(shí)的速度升溫至600-900°C，進(jìn)行氮化脫碳，保溫2_3h。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，步驟(2)中，通入BCl3氣體的時(shí)間為1 -2h。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，步驟(3)中，以80 — 1500C /h的速度繼續(xù)升溫至1200-1500°C并在最高溫度保溫l_2h。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，所述氨氣的純度≥99.99%ο
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，所述BCl3氣體的純度≥99.9%。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅氮硼連續(xù)陶瓷纖維的制備方法，其特征在于，所述氮?dú)饣驓鍤獾募兌取?99.99%。
【文檔編號(hào)】C04B35/58GK103952796SQ201410173365
【公開日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年4月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月28日
【發(fā)明者】邵長偉, 王軍, 王浩, 王小宙, 謝征芳, 簡科 申請(qǐng)人:中國人民解放軍國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)