切斷機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可以良好地將脆性材料基板的側(cè)端部切斷的切斷機構(gòu)。將預(yù)先形成著劃線的基板的端緣部沿著所述劃線切斷的機構(gòu)包括夾持所述端緣部的一對夾持體、及變更所述一對夾持體的姿勢的姿勢變更機構(gòu)，通過所述姿勢變更機構(gòu)變更夾持著所述端緣部的所述一對夾持體的姿勢而對所述端緣部作用扭矩，由此，可以進行所述端緣部的切斷，且所述一對夾持體的一個在沿著所述端緣部的長邊方向的中央部分具有突起部，為了所述切斷而所述一對夾持體夾持所述端緣部時，使所述突起部與所述端緣部接觸。
【專利說明】切斷機構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種將液晶面板用的貼合玻璃基板及其他脆性材料基板切斷的機構(gòu)，尤其涉及一種將脆性材料基板的端緣部切斷的機構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]液晶面板大體上通過將向2塊矩形狀的玻璃基板間封入液晶所得的構(gòu)成的大面積的貼合基板(母基板)切斷成規(guī)定的尺寸而制作。在液晶面板的一玻璃基板上預(yù)先形成著分別構(gòu)成液晶元件的多個晶體管。但是，所述多個晶體管是在母基板的階段中，經(jīng)由從該晶體管引出以用于連接外部的電極端子，利用設(shè)置在母基板的側(cè)端部(突出部)的短路電極而相互短路，以防止靜電引起的介電擊穿。在液晶面板的制造工藝中將設(shè)有短路電極的母基板的側(cè)端部切斷去除的技術(shù)已眾所周知(例如參照專利文獻I)。
[0003]具體來說，在專利文獻I中公開有如下工藝:在矩形狀的母基板的距一邊緣規(guī)定距離的切斷位置與該邊緣平行地形成劃線之后，沿著所形成的劃線進行切斷，由此，將設(shè)置著短路電極的側(cè)端部去除，進而對切斷后的母基板的端面進行研磨。
[0004]而且，通過使夾持著陶瓷基板的夾持構(gòu)件繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)而將陶瓷基板分割的裝置也已眾所周知(例如參照專利文獻2)。
[0005][【背景技術(shù)】文獻]
[0006][專利文獻]
[0007][專利文獻I]日本專利特開平8-197402號公報
[0008][專利文獻2]日本專利特開平9-19918號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009][發(fā)明所要解決的問題]
[0010]在專利文獻I公開的態(tài)樣的情況下，通過對被切斷去除的部分賦予規(guī)定的扭矩而實現(xiàn)切斷。但是，因被切斷去除的部分形成為長邊方向為劃線的延伸方向且另一方面短邊方向上的寬度比劃線的長度短的短條狀，即，因劃線與母基板的邊緣之間的距離與劃線的長度相比相對較短，所以，在切斷時無法通過距離來獲得扭矩。因此，為了實現(xiàn)切斷，必須作用足以彌補劃線與邊緣的距離的不足的大小的力。然而，有如下問題:作用的力越大，越容易在切斷位置產(chǎn)生母基板的裂紋或缺口(毛邊等)。而且，難以將如所述般的力均勻且瞬間賦予至整個切斷位置，因此，也有可能作用的力的大小存在局部的不均勻而導(dǎo)致在母基板產(chǎn)生裂紋或缺口。
[0011]本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，其目的在于提供一種可以良好地將脆性材料基板的側(cè)端部切斷的切斷機構(gòu)。
[0012][解決問題的技術(shù)手段]
[0013]為了解決所述問題，技術(shù)方案I的發(fā)明是一種切斷機構(gòu)，其特征在于:將預(yù)先形成著劃線的基板的端緣部沿著所述劃線切斷，包括夾持所述端緣部的一對夾持體、及變更所述一對夾持體的姿勢的姿勢變更機構(gòu)，通過所述姿勢變更機構(gòu)變更夾持著所述端緣部的所述一對夾持體的姿勢而可以進行所述端緣部的切斷，且所述一對夾持體的一個在沿著所述端緣部的長邊方向的中央部分具有突起部，為了所述切斷而所述一對夾持體夾持所述端緣部時，使所述突起部與所述端緣部接觸。
[0014]技術(shù)方案2的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I所述的切斷機構(gòu)，其特征在于:利用所述一對夾持體夾持所述端緣部時，使所述突起部與所述端緣部中設(shè)置著所述劃線的一側(cè)的面接觸。
[0015]技術(shù)方案3的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I或2所述的切斷機構(gòu)，其特征在于:所述突起部設(shè)置成在俯視時與所述劃線越近的位置前端越細的梯形狀。
[0016]技術(shù)方案4的發(fā)明是根據(jù)技術(shù)方案I至3中任一項所述的切斷機構(gòu)，其特征在于:在所述姿勢變更機構(gòu)中，保持所述一對夾持體的保持部設(shè)為繞規(guī)定的轉(zhuǎn)動軸自由轉(zhuǎn)動，通過使規(guī)定的升降構(gòu)件進行升降動作而使所述轉(zhuǎn)動軸沿著圓弧狀的軌跡移動，由此，變更所述一對夾持體的姿勢。
[0017][發(fā)明的效果]
[0018]根據(jù)技術(shù)方案I至技術(shù)方案4的發(fā)明，在設(shè)有突起部的一側(cè)的夾持體中，使作用于應(yīng)切斷的基板的端緣部的力集中在該突起部，由此，可以穩(wěn)定且確實地實現(xiàn)不產(chǎn)生裂紋或毛邊等的端緣部的切斷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是表示切斷機構(gòu)I的概略構(gòu)成的一側(cè)視圖。
[0020]圖2是切斷機構(gòu)I的俯視圖。
[0021 ]圖3是從Y軸方向正側(cè)觀察切斷機構(gòu)I所得的側(cè)視圖。
[0022]圖4是從Z軸方向負側(cè)觀察第I夾持體2所得的平面圖。
[0023]圖5是從Y軸方向正側(cè)觀察夾持著基板W的狀態(tài)的切斷機構(gòu)I所得的側(cè)視圖。
[0024]圖6是表示利用切斷機構(gòu)I的基板W的切斷開始時的情況的透視平面圖。
[0025]圖7是表示利用切斷機構(gòu)I的基板W的切斷中途的情況的透視平面圖。
[0026]圖8 (a)、(b)是用以對姿勢變更機構(gòu)4的一例示的態(tài)樣與該態(tài)樣下的夾持部4a的轉(zhuǎn)動動作進行說明的概要圖。
[0027]圖9 (a)、(b)是用以對姿勢變更機構(gòu)4的一例示的態(tài)樣與該態(tài)樣下的夾持部4a的轉(zhuǎn)動動作進行說明的概要圖。
[0028]圖10是表示切斷處理裝置100的主要部分的立體圖。
[0029]圖11是表示切斷處理裝置100的主要部分的側(cè)視圖。
[0030][符號的說明]
[0031]I切斷機構(gòu)
[0032]2第I夾持體
[0033]3第2夾持體
[0034]4姿勢變更機構(gòu)
[0035]4a夾持部
[0036]4b轉(zhuǎn)動軸
[0037]4c動作轉(zhuǎn)換部
[0038]4d升降部
[0039]5突起部
[0040]6、7樹脂片
[0041]8 導(dǎo)板
[0042]9引導(dǎo)體
[0043]10基板保持部
[0044]11排出路徑
[0045]100切斷處理裝置
[0046]SL 劃線
[0047]W 基板

【具體實施方式】
[0048]<切斷機構(gòu)的概要>
[0049]圖1是表示本發(fā)明的實施方式的切斷機構(gòu)I的概略構(gòu)成的一側(cè)視圖。圖2是切斷機構(gòu)I的俯視圖。本發(fā)明的實施方式的切斷機構(gòu)I是將矩形狀的脆性材料基板(以下，簡稱為基板)W的端緣部切斷去除的機構(gòu)?；錡例如為玻璃基板,也可以是作為液晶面板的母基板的向2塊矩形狀的玻璃基板間封入液晶所得的構(gòu)成的大面積的貼合基板等。
[0050]切斷機構(gòu)I主要包括:第I夾持體2與第2夾持體3，構(gòu)成一對夾持體且均為短條狀；夾持部4a，實現(xiàn)利用第I夾持體2與第2夾持體3的基板W的夾持動作；及夾持部4a進行轉(zhuǎn)動動作時的轉(zhuǎn)動軸4b。夾持部4a與轉(zhuǎn)動軸4b構(gòu)成一體地變更夾持著基板W的狀態(tài)的第I夾持體2與第2夾持體3的姿勢的姿勢變更機構(gòu)4。
[0051]在切斷機構(gòu)I中，在利用未圖示的保持構(gòu)件保持著基板W的狀態(tài)下，該基板W的端緣部大體上夾持在均為俯視短條狀且為水平姿勢的第I夾持體2與第2夾持體3之間。然后，通過在所述夾持狀態(tài)下驅(qū)動姿勢變更機構(gòu)4而使第I夾持體2與第2夾持體3的姿勢變更，由此，對該端緣部賦予扭矩。所述扭矩發(fā)揮作用后，該端緣部從基板W被切斷。
[0052]另外，在圖1及圖2中，標注右手系的XYZ座標(之后的圖中也同樣)，該右手系的XYZ座標中將水平面內(nèi)的第I夾持體2及第2夾持體3的延伸方向(即，作為去除對象的基板W的端緣部的延伸方向)設(shè)為X軸方向，將在水平面內(nèi)與X軸方向正交的方向設(shè)為Y軸方向，將垂直方向設(shè)為Z軸方向。順便說一下，圖1是指從X軸方向正側(cè)觀察切斷機構(gòu)I所得的側(cè)視圖。而且，在圖2中，示出姿勢變更機構(gòu)4在3個部位和第I夾持體2與第2夾持體3連接的態(tài)樣，但這終歸是例示，利用姿勢變更機構(gòu)4的第I夾持體2與第2夾持體3的支持態(tài)樣并不限定于此。
[0053]〈切斷機構(gòu)的詳細情況及切斷態(tài)樣〉
[0054]接下來，對本實施方式的切斷機構(gòu)I的詳細構(gòu)成及利用切斷機構(gòu)I的基板W的切斷態(tài)樣進行說明。
[0055]圖3是從Y軸方向正側(cè)觀察切斷機構(gòu)I所得的側(cè)視圖。圖4是從Z軸方向負側(cè)觀察第I夾持體2所得的平面圖。圖5是從Y軸方向正側(cè)觀察夾持著基板W的狀態(tài)的切斷機構(gòu)I所得的側(cè)視圖。圖6是表示利用切斷機構(gòu)I的基板W的切斷開始時的情況的透視平面圖。圖7是表不利用切斷機構(gòu)I的基板W的切斷中途的情況的透視平面圖。
[0056]首先，如圖1及圖6所示，關(guān)于基板W的作為去除對象的端緣部，在切斷之前預(yù)先在距邊緣規(guī)定距離的位置上形成著劃線SL。所述劃線SL的形成是通過金剛石刻刀(diamond point)或刀輪等眾所周知的劃線形成構(gòu)件而實現(xiàn)。
[0057]已形成所述劃線SL的基板W是在使形成著劃線SL的一側(cè)為上表面?zhèn)?Z軸方向正側(cè))的狀態(tài)下，從與姿勢變更機構(gòu)4相反的一側(cè)(從Y軸方向正側(cè))插入至第I夾持體2與第2夾持體3之間。當插入基板W時，姿勢變更機構(gòu)4的夾持部4a是使所述基板W的邊緣與劃線SL的形成位置之間的部分由第I夾持體2與第2夾持體3夾持。在所述夾持狀態(tài)下，從第I夾持體2與第2夾持體3分別對基板W作用規(guī)定大小的力(按壓力)。
[0058]另外，夾持部4a中的夾持動作即第I夾持體2與第2夾持體3的接近及相離既可以通過兩者同時移位而實現(xiàn)，例如，也可以通過如下構(gòu)成而實現(xiàn):只有位于Z軸方向正側(cè)的一個夾持體(若為圖1的情況則為第I夾持體2)可以進行動作，而另一個夾持體(若為圖1的情況則為第2夾持體3)相對于夾持部4a固定地設(shè)置。換句話說，夾持部4a也可以說是將第I夾持體2與第2夾持體3以能夠開合兩者的間隙部分的方式保持的部位。
[0059]其中，如圖3及圖4所示，或者，進而也如圖1及圖2中虛線所示，在第I夾持體2中，在與第2夾持體3的對向面而且X軸方向(長邊方向)的中央部分且Y軸方向的正側(cè)的端緣部設(shè)置著突起部5。突起部5例如由橡膠等彈性體所形成。而且，其厚度(Z軸方向的尺寸)只要一樣即可，但其俯視形狀(在水平姿勢下俯視的情況下的形狀)與其為矩形狀，倒不如優(yōu)選設(shè)置成朝向Y軸方向的正側(cè)的前端部在與劃線SL越近的位置前端越細的梯形狀。
[0060]另一方面，在第2夾持體3中，如圖1及圖3所示，在與第I夾持體2的對向面的大致整面附設(shè)著樹脂片6。
[0061]因此，嚴格來說，本實施方式的切斷機構(gòu)I中的基板W的夾持是如圖5所示，在設(shè)置在第I夾持體2的突起部5與設(shè)置在第2夾持體3的樹脂片6之間形成。
[0062]此時，從第2夾持體3的一側(cè)作用于基板W的力，具體來說，從樹脂片6作用于基板W的按壓力因樹脂片6在X軸方向上一樣地設(shè)置而在X軸方向上均勻。與此相對，在第I夾持體2的一側(cè)，與基板W接觸的部位只是突起部5，因此，按壓力只從突起部5作用于基板W。此時，從第I夾持體2的一側(cè)作用于基板W的按壓力集中在突起部5的部位，因此，成為如圖6所示應(yīng)力集中在基板W的與突起部5的前端側(cè)接近的區(qū)域RE的狀態(tài)。
[0063]在切斷機構(gòu)I中，在以所述態(tài)樣施加了按壓力的狀態(tài)下將基板W切斷。具體來說，在姿勢變更機構(gòu)4中，夾持部4a設(shè)置成可以繞轉(zhuǎn)動軸4b轉(zhuǎn)動，若為圖1所示的情況，則通過使轉(zhuǎn)動軸4b沿箭頭ARl所示的方向移動而使夾持部4a繞轉(zhuǎn)動軸4b轉(zhuǎn)動，使第I夾持體2及第2夾持體3的姿勢從水平姿勢變化為夾持部4a所存在的Y軸方向負側(cè)變低的姿勢。由此，扭矩沿箭頭ARl的方向作用于基板W的端緣部。如此一來，隨著該轉(zhuǎn)動動作開始，以存在于應(yīng)力集中的區(qū)域RE的劃線SL的長邊方向中央部分為起點，龜裂開始沿著劃線SL伸展。同時，從該起點部分起依次地，龜裂也在厚度方向上伸展。由此，如圖7所示，朝向X軸正負兩方向，沿著劃線SL進行基板W的切斷。
[0064]而且，如所述般突起部5的Y軸方向正側(cè)的前端部分優(yōu)選為梯形狀是為了使作用于區(qū)域RE的應(yīng)力更強，且使沿著劃線SL的龜裂的延展更容易產(chǎn)生。
[0065]若厚度方向上的龜裂的延展在劃線SL的長邊方向中央部分至兩端部分的整個范圍內(nèi)進行，則由第I夾持體2與第2夾持體3夾持的基板W的端緣部完全從基板W被切斷。
[0066]在所述態(tài)樣的切斷的情況下，施加至基板W的端緣部的扭矩集中地作用于突起部5，由此，從劃線SL起的龜裂伸展從該突起部的附近起依次產(chǎn)生。因此，如同在未設(shè)置突起部5而在第I夾持體2的一側(cè)也與第2夾持體3同樣地均勻地附設(shè)樹脂片且從第I夾持體2的一側(cè)也遍及端緣部整體均等地作用力的情況下無法實現(xiàn)切斷一樣，即使僅作用較小的扭矩，也能實現(xiàn)基板W不產(chǎn)生裂紋或毛邊等的確實的切斷。其原因在于:若夾持時賦予的力的大小相同，則設(shè)置突起部5的情況下力作用的部位處的壓力會變大，因此，反過來說，若設(shè)有突起部5，即使賦予的力較小，也可以作用足以實現(xiàn)切斷的壓力。
[0067]而且，只要使龜裂從中央部分起依次伸展即可，因此，無需遍及基板W的端緣部整體一次作用較強的能量，所以，即使將使夾持部4a繞轉(zhuǎn)動軸4b轉(zhuǎn)動的速度設(shè)為慢于所述設(shè)置樹脂片的情況，也實現(xiàn)基板W不產(chǎn)生裂紋或毛邊等的確實的切斷。
[0068]另外，到目前為止的說明的前提是以如下態(tài)樣夾持基板W，S卩，將劃線SL的形成面設(shè)為上表面?zhèn)?，第I夾持體2從上方接近于基板W且第2夾持體3從下方接近于基板W，但這并非必需的態(tài)樣。在本實施方式中，設(shè)有突起部5的第I夾持體2配置在劃線SL的形成面的一側(cè)即可。因此，也可以是如下態(tài)樣:與圖1等相反地將切斷機構(gòu)I構(gòu)成為在下側(cè)包含第I夾持體2且在上側(cè)包含第2夾持體3，將基板W以使劃線SL的形成面為下表面?zhèn)鹊臓顟B(tài)插入至第I夾持體2與第2夾持體3之間，而進行切斷。在所述情況下，使轉(zhuǎn)動軸4b沿圖1中箭頭AR2所示的方向移動即可。
[0069]另外，在圖1等中，在第I夾持體2的與第2夾持體3的對向面且突起部5以外的部分也附設(shè)著樹脂片7。這是為了避免第I夾持體2的突起部5以外的部位與基板W接觸等而使基板W受損等，對所述態(tài)樣下的切斷來說，并非必需的態(tài)樣。其中，以所述態(tài)樣設(shè)置樹脂片7的情況下，使用較突起部5的構(gòu)成材料軟的材料，且以小于突起部5的厚度設(shè)置。其原因在于:即使突起部5的厚度因彈性而變小，結(jié)果樹脂片7也成為會與基板W接觸的狀態(tài)，也可以使將基板W切斷時針對基板W從第I夾持體2的一側(cè)施加至基板W的力集中在突起部5。
[0070]<姿勢變更機構(gòu)>
[0071]負責(zé)所述第I夾持體2與第2夾持體3的姿勢變更的姿勢變更機構(gòu)4的具體構(gòu)成考慮有多種構(gòu)成。圖8及圖9是用以對姿勢變更機構(gòu)4的一例示的態(tài)樣與該態(tài)樣下的夾持部4a的轉(zhuǎn)動動作進行說明的概要圖。另外，在圖8及圖9中，雖然將第I夾持體2與第2夾持體3、夾持部4a等的形狀相對于圖1等適當進行變更，但所述多個部位的功能全部與到目前為止所說明的部位相同。而且，關(guān)于突起部5或樹脂片6、7，因與姿勢變更機構(gòu)4的動作本身沒有關(guān)系，所以，省略了圖示。
[0072]圖8 (a)所示的姿勢變更機構(gòu)4除包含所述夾持部4a與轉(zhuǎn)動軸4b以外,還包含動作轉(zhuǎn)換部4c與升降部4d。升降部4d是例如氣缸等在鉛垂方向(Z軸方向)上自由升降的構(gòu)成要素，動作轉(zhuǎn)換部4c是將轉(zhuǎn)動軸4b與升降部4d之間連結(jié)的構(gòu)成要素，設(shè)置成可以相對于轉(zhuǎn)動軸4b與設(shè)在升降部4d的未圖示的轉(zhuǎn)動軸的各者轉(zhuǎn)動。
[0073]在具有所述構(gòu)成的姿勢變更機構(gòu)4中，伴隨升降部4d的鉛垂方向上的移動，動作轉(zhuǎn)換部4c的姿勢發(fā)生變化，由此，轉(zhuǎn)動軸4b在圖8(b)所示的圓弧Al上移動。即，動作轉(zhuǎn)換部4c發(fā)揮將升降部4d的升降動作轉(zhuǎn)換為轉(zhuǎn)動軸4b的圓弧上的移動動作的作用。如所述般，轉(zhuǎn)動軸4b的移動直接導(dǎo)致夾持部4a與第I夾持體2及第2夾持體3的姿勢變化。
[0074]而且，姿勢變更機構(gòu)4中的基板W的切斷是通過使姿勢變更機構(gòu)4從圖8 (a)及圖8(b)中實線所示的狀態(tài)變化為圖8(b)中一點鏈線所示的狀態(tài)而實現(xiàn)。即，若在由第I夾持體2與第2夾持體3夾持著基板W的狀態(tài)下使升降部4d如箭頭AR3所示般下降，則產(chǎn)生動作轉(zhuǎn)換部4c的姿勢變化與伴隨該姿勢變化的轉(zhuǎn)動軸4b在圓弧Al上的移動，第I夾持體2與第2夾持體3從水平姿勢變化為夾持部4a所存在的一側(cè)變低的姿勢。由此，將由第I夾持體2與第2夾持體3夾持的部分切斷。
[0075]另外，姿勢變更機構(gòu)4的各部的配置關(guān)系并不限于圖8所示的關(guān)系。例如，在圖8(b)中，動作轉(zhuǎn)換部4c成為水平姿勢，但這并非必需的態(tài)樣，只要是轉(zhuǎn)動軸4b在規(guī)定的圓弧Al上移動的構(gòu)成，則在第I夾持體2與第2夾持體3的姿勢變化的范圍內(nèi)動作轉(zhuǎn)換部4c也可以不采取水平姿勢。
[0076]而且，圖9示出第I夾持體2與第2夾持體3的配置位置與圖8所示的情況顛倒的情況。在所述情況下，通過升降部4d進行升降，轉(zhuǎn)動軸4b也能夠在圓弧A2上移動，該方面相同。而且，姿勢變更機構(gòu)4中的基板W的切斷是通過使姿勢變更機構(gòu)4從圖9(a)及圖9(b)中實線所示的狀態(tài)變化為圖9(b)中一點鏈線所示的狀態(tài)而實現(xiàn)。即，若在由第I夾持體2與第2夾持體3夾持著基板W的狀態(tài)下使升降部4d如箭頭AR4所示般上升，則產(chǎn)生動作轉(zhuǎn)換部4c的姿勢變化與伴隨該姿勢變化的轉(zhuǎn)動軸4b在圓弧A2上的移動，第I夾持體2與第2夾持體3從水平姿勢變化為夾持部4a所存在的一側(cè)變高的姿勢。由此，將由第I夾持體2與第2夾持體3夾持的部分切斷。
[0077]<切斷處理裝置的構(gòu)成例>
[0078]圖10及圖11分別是表示具備以如所述般的原理進行基板W的端緣部的切斷的切斷機構(gòu)I的切斷處理裝置100的主要部分的立體圖與側(cè)視圖。在圖10及圖11中，例示出包含構(gòu)成為在下側(cè)設(shè)有第I夾持體2且在上側(cè)設(shè)有第2夾持體3的切斷機構(gòu)I的切斷處理裝置100。尤其，圖11例示出姿勢變更機構(gòu)4處于執(zhí)行切斷時的狀態(tài)時的情況(其中，省略了基板W)。
[0079]切斷處理裝置100除包含切斷機構(gòu)I以外，而且包含保持基板W的基板保持部10、及用以將已被切斷的基板W的端緣部排出的排出路徑11?；灞３植?0與排出路徑11均沿著切斷機構(gòu)I的延伸方向設(shè)置。而且，排出路徑11是切斷后將仍然夾持在第I夾持體2與第2夾持體3之間的基板W的端緣部解除所述夾持狀態(tài)而排出時所使用的路徑。
[0080]而且，在圖10中，為了便于圖示，對切斷機構(gòu)I與作為其附隨物的基板保持部10及排出路徑11僅示出I組，但在實際的切斷處理裝置100中，2組(一對)切斷機構(gòu)I以規(guī)定的間隔對向配置。即，在切斷處理裝置100中，能夠于在相互分開的2個基板保持部10中以2個部位支持著基板W的狀態(tài)下，將基板W的對向的2個部位的端緣部同時并行地切斷。或者，切斷處理裝置100也可以設(shè)為如下態(tài)樣:包含使基板W在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)90。的機構(gòu)，對矩形狀的基板W中存在2組的對向的端緣部的組依次切斷。
[0081]在切斷處理裝置100，還在姿勢變更機構(gòu)4的長邊方向的端部附近設(shè)置著用以在切斷動作時導(dǎo)引姿勢變更機構(gòu)4的導(dǎo)板8(其中，在圖11中省略圖示)。更詳細來說，在導(dǎo)板8設(shè)置著圓弧狀的貫通孔，另一方面，在姿勢變更機構(gòu)4的長邊方向端部，2個引導(dǎo)體9以從該貫通孔突出的態(tài)樣設(shè)置。引導(dǎo)體9是在姿勢變更機構(gòu)4進行切斷動作時，描繪圖11中箭頭AR5所示的圓弧狀的軌跡而移動。導(dǎo)板8的貫通孔形成為與所述引導(dǎo)體9的軌跡一致。因此，切斷時的姿勢變更機構(gòu)4的動作范圍被限制為貫通孔中的引導(dǎo)體9能夠移動的范圍。由此，在切斷處理裝置100中，實現(xiàn)穩(wěn)定且有再現(xiàn)性的切斷動作。
[0082]如以上所說明般，根據(jù)本實施方式，在夾持著預(yù)先形成著劃線的基板的較劃線更靠邊緣側(cè)的端緣部的狀態(tài)下通過對該端緣部作用扭矩而將該端緣部沿著劃線從基板切斷的機構(gòu)中，在一對夾持體中的一個夾持體的與基板的接觸部分設(shè)置俯視梯形狀的突起部，使從該夾持體的一側(cè)作用于基板的力集中在該突起部，由此，可以穩(wěn)定且確實地實現(xiàn)不產(chǎn)生裂紋或毛邊等的切斷。
【權(quán)利要求】
1.一種切斷機構(gòu)，其特征在于:將預(yù)先形成著劃線的基板的端緣部沿著所述劃線切斷，且包括: 一對夾持體，夾持所述端緣部；及 姿勢變更機構(gòu)，變更所述一對夾持體的姿勢； 通過所述姿勢變更機構(gòu)變更夾持著所述端緣部的所述一對夾持體的姿勢而對所述端緣部作用扭矩，由此，可以進行所述端緣部的切斷， 且所述一對夾持體中的一個在沿著所述端緣部的長邊方向的中央部分具有突起部， 為了所述切斷而所述一對夾持體夾持所述端緣部時，使所述突起部與所述端緣部接觸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的切斷機構(gòu)，其特征在于: 利用所述一對夾持體夾持所述端緣部時，使所述突起部與所述端緣部中設(shè)置著所述劃線的一側(cè)的面接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的切斷機構(gòu)，其特征在于: 所述突起部設(shè)置成俯視時在與所述劃線越近的位置前端越細的梯形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的切斷機構(gòu)，其特征在于: 在所述姿勢變更機構(gòu)中，保持所述一對夾持體的保持部設(shè)為繞規(guī)定的轉(zhuǎn)動軸自由轉(zhuǎn)動，通過使規(guī)定的升降構(gòu)件進行升降動作而使所述轉(zhuǎn)動軸沿著圓弧狀的軌跡移動，由此，變更所述一對夾持體的姿勢。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的切斷機構(gòu)，其特征在于: 在所述姿勢變更機構(gòu)中，保持所述一對夾持體的保持部設(shè)為繞規(guī)定的轉(zhuǎn)動軸自由轉(zhuǎn)動，通過使規(guī)定的升降構(gòu)件進行升降動作而使所述轉(zhuǎn)動軸沿著圓弧狀的軌跡移動，由此，變更所述一對夾持體的姿勢。
【文檔編號】C03B33/02GK104418493SQ201410171697
【公開日】2015年3月18日 申請日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月29日
【發(fā)明者】岡島康智 申請人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司