多線切割機砂漿噴嘴裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型揭示一種多線切割機砂漿噴嘴裝置，包括與砂漿管路連通的連接接頭、與連接接頭連通的砂漿管道。砂漿管道上具有第一側(cè)面，在第一側(cè)面上沿砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有用于將砂漿管道內(nèi)的砂漿導(dǎo)出的噴流縫；在噴流縫上覆蓋有能夠沿噴流縫寬度方向移動的調(diào)節(jié)板，調(diào)節(jié)板能夠有效控制噴流縫縫隙的大小，對噴出的砂漿壓力進行調(diào)節(jié)，使之能夠噴射到切割區(qū)域內(nèi)，從而對晶體棒材進行均勻切割；此外，該裝置還包括設(shè)置在噴流縫底部的引流板。引流板能夠?qū)⒁恍┯捎趪娚鋲毫^小無法到達晶體切割區(qū)域內(nèi)的切割刃料引流到晶體切割區(qū)域內(nèi)，從而防止了切割刃料的浪費，在節(jié)約生產(chǎn)成本的同時，有效提高了晶片的切割質(zhì)量。
【專利說明】多線切割機砂漿噴嘴裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種用于切割諸如單晶硅、多晶硅等半導(dǎo)體晶體的多線切割機砂漿噴嘴裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多線切割技術(shù)是世界上比較先進的晶片加工技術(shù)，其原理是通過數(shù)千根高速運動的鋼絲線帶動附著在其上的切割刃料對半導(dǎo)體晶體進行切片加工。在整個過程中，數(shù)千根鋼絲線張緊在設(shè)置在多線切割機兩端的主輥上，在晶體切割區(qū)域內(nèi)形成一張密集的切割鋼絲線網(wǎng)。具有切割刃料的砂漿通過設(shè)置在砂漿管道上的噴流縫以一定的壓力噴射到晶體切割區(qū)域內(nèi)的切割鋼絲線網(wǎng)上，噴出的切割刃料附著在鋼絲線網(wǎng)上。通過多線切割機工作臺的上升下降實現(xiàn)半導(dǎo)體晶體的進給運動，從而將半導(dǎo)體晶體切割為數(shù)千片的晶片。
[0003]目前，由于砂漿管道上噴流縫的大小恒定，因此無法根據(jù)實際情況對從噴流縫中噴出晶體切割區(qū)域的砂漿的砂漿壓力以及砂漿量的多少進行調(diào)節(jié)。若從噴流縫中噴出晶體切割區(qū)域的砂漿壓力過小，噴射出的切割刃料無法完全覆蓋到晶體切割區(qū)域內(nèi)的切割鋼絲線網(wǎng)上。從而導(dǎo)致切割晶片的厚度不均勻以及其表面粗糙度異常等問題。另外，現(xiàn)有的多線切割機未安裝相應(yīng)的引流部件對從噴流縫里噴出的砂漿進行噴射方向的調(diào)整，因此從噴流縫中噴出的一些壓力過小的砂漿無法到達晶體切割區(qū)域內(nèi)，從而使得切割刃料在生產(chǎn)過程中被浪費。
實用新型內(nèi)容
[0004]基于此，有必要針對上述問題，提供一種能夠使得砂漿均勻噴向切片區(qū)域，在保證晶片切片質(zhì)量的同時，能夠提高砂漿利用率的多線切割機砂漿噴嘴裝置。
[0005]一種多線切割機砂漿噴嘴裝置，與設(shè)置于所述多線切割機上的砂漿管路連通，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置包括與所述砂漿管路連通的連接接頭、與所述連接接頭連通的砂漿管道；所述砂漿管道具有第一側(cè)面，在所述第一側(cè)面沿所述砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有用于將所述砂漿管道內(nèi)的砂漿導(dǎo)出的噴流縫；在所述噴流縫上覆蓋有能夠沿所述噴流縫的寬度方向移動的調(diào)節(jié)板，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置還包括沿所述砂漿管道的中心線方向上設(shè)置在所述噴流縫底部用于控制砂漿噴射方向的引流板，所述引流板與所述噴流縫之間呈60° -120°傾斜設(shè)置。
[0006]在其中一個實施例中，所述砂漿管道的兩端封閉，其內(nèi)部具有能夠容納所述砂漿的管道腔體，所述砂漿管道內(nèi)部具有用于分流所述砂漿的分流組件，所述分流組件將所述管道腔體在沿所述砂漿管道的中心線方向上分隔成上腔體及下腔體；所述連接接頭設(shè)置在所述上腔體上，所述噴流縫設(shè)置在所述下腔體上。
[0007]在其中一個實施例中，所述分流組件為分流板，在所述分流板上開設(shè)有數(shù)個分流孔。
[0008]在其中一個實施例中，所述分流孔為腰形孔。[0009]在其中一個實施例中，數(shù)個所述分流孔均勻開設(shè)在所述分流板上。
[0010]在其中一個實施例中，所述分流板在靠近所述連接接頭的位置上所開設(shè)的所述分流孔的密度小于其在遠離所述連接接頭的位置上所開設(shè)的所述分流孔的密度。
[0011]在其中一個實施例中，所述分流組件包括第一分流板以及位于所述第一分流板下層的第二分流板，在所述第一分流板上開設(shè)有數(shù)個第一分流孔，在所述第二分流板上開設(shè)有數(shù)個第二分流孔，各個所述第一分流孔以及各個所述第二分流孔之間均相互交錯設(shè)置。
[0012]在其中一個實施例中，所述第一分流孔以及所述第二分流孔均為腰形孔，各個所述第一分流孔的孔徑大于各個所述第二分流孔的孔徑。
[0013]在其中一個實施例中，在所述第一側(cè)面上沿所述砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有數(shù)個螺絲孔，所述調(diào)節(jié)板上開設(shè)有與所述螺絲孔相匹配的腰形孔，在各個所述腰形孔上設(shè)置有螺栓，所述螺栓穿過所述腰形孔將所述調(diào)節(jié)板固定在所述第一側(cè)面上的所述螺絲孔內(nèi)。
[0014]在其中一個實施例中，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置還包括設(shè)置在所述砂漿管道上的防濺板，所述防濺板設(shè)置在所述第一側(cè)面的延伸面上和/或所述砂漿管道底面的延伸面上。
[0015]上述多線切割機砂漿噴嘴裝置，在砂漿管道的側(cè)面覆蓋有可沿噴流縫的寬度方向移動的調(diào)節(jié)板，能夠有效控制噴流縫縫隙的大小，對從砂漿噴嘴裝置里噴出的砂漿壓力大小進行調(diào)節(jié)，使之能夠均勻的噴射到晶體切割區(qū)域內(nèi)，從而對晶體棒材進行均勻切割，提高了晶片的切割質(zhì)量。此外，在噴流縫的底部還設(shè)置有用于控制砂漿噴射方向的引流板，引流板與噴流縫之間呈60° -120°傾斜設(shè)置。從噴流縫中噴出的一些由于噴射壓力過小而無法到達晶體切割區(qū)域內(nèi)的切割刃料在引流板的引流作用下能夠被有效的引流到晶體切割區(qū)域內(nèi)。從而防止了切割刃料的浪費。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為多線切割機砂漿噴嘴裝置實施方式I第一視角的三維結(jié)構(gòu)爆炸圖；
[0017]圖2為多線切割機砂漿噴嘴裝置實施方式I第一視角的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為多線切割機砂漿噴嘴裝置實施方式I第二視角的三維結(jié)構(gòu)爆炸圖；
[0019]圖4為多線切割機砂漿噴嘴裝置實施方式2的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5為多線切割機砂漿噴嘴裝置實施方式2的三維結(jié)構(gòu)爆炸圖；
[0021]圖6為第一分流板的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖7為第二分流板的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖8為分流板實施方式I的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖9為分流板實施方式2的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖10為分流板實施方式3的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]其中，具體元件的對應(yīng)標(biāo)號如下:
[0027]100、200、多線切割機砂漿噴嘴裝置；110、連接接頭；120、220、砂漿管道；121、第一側(cè)面；1211、噴流縫；1212、螺絲孔；122、222、管道腔體；1221、上腔體；1222、下腔體；123、分流組件；1231、1234、2231、分流板；12311、12341、22311、分流孔；1232、第一分流板；12321、第一分流孔；1233、第二分流板；12331、第二分流孔；124、224、前端蓋；1241、轉(zhuǎn)軸；125、225、后端蓋；1251、支撐塊；130、調(diào)節(jié)板；131、腰形孔；132、螺栓；140、引流板；150、防濺板；160、安裝座；161、凹槽；2251、手柄。
【具體實施方式】
[0028]請參圖1至圖3所示的多線切割機砂漿噴嘴裝置100實施方式I的三維結(jié)構(gòu)示意圖，該多線切割機砂漿噴嘴裝置100與多線切割機上的砂漿管路連通，其包括與砂漿管路連通的連接接頭110、與連接接頭110連通的砂漿管道120 ;其中，連接接頭110位于砂漿管道120的頂部，砂漿管道120的兩端通過前端蓋124以及后端蓋125密封。
[0029]本實施例中的砂漿管道120為方形管道，在砂漿管道120上具有朝向晶體切割區(qū)域方向的第一側(cè)面121，在第一側(cè)面121上沿砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有能夠?qū)⑸皾{管道120內(nèi)的砂漿導(dǎo)出的噴流縫1211 ;在噴流縫1211上覆蓋有能夠沿噴流縫1211縫隙的位置移動的調(diào)節(jié)板130。該調(diào)節(jié)板130能夠沿噴流縫1211的寬度方向上移動，從而能夠控制噴流縫1211縫隙的大小。噴流縫1211縫隙的縫隙越小，從砂漿噴嘴裝置100里噴出的砂漿壓力越大，其向晶體切割區(qū)域方向內(nèi)噴射的距離就越長。在實際生產(chǎn)過程中，通過對調(diào)節(jié)板130的調(diào)節(jié)，從而合理控制噴流縫1211縫隙的大小，可以使得砂漿內(nèi)的切割刃料均勻噴射到晶體切割區(qū)域內(nèi)，從而使得切割鋼絲線在其有效地切割區(qū)域上能夠均勻的涂覆有切割刃料，有效保證了均勻涂覆的切割刃料對半導(dǎo)體晶體棒材橫截面上的各個部位都能平穩(wěn)切割，提高了晶片厚度和表面粗糙度的均勻性。
[0030]其中，調(diào)節(jié)板130設(shè)置在第一側(cè)面121上的結(jié)構(gòu)可以為很多種，諸如，在第一側(cè)面121方向的砂漿管道120的兩端部開設(shè)有一對相對的槽型，而調(diào)節(jié)板130的兩端邊緣剛好能與上述槽型相匹配，從而使得調(diào)節(jié)板130能夠在上下滑動的覆蓋在噴流縫1211上，另外在該槽型上還開設(shè)有數(shù)個螺絲通孔，當(dāng)調(diào)節(jié)板130滑動到一定位置時，將螺釘穿過該螺絲通孔后抵緊在調(diào)節(jié)板130的邊緣，即能夠?qū)⒄{(diào)節(jié)板130固定在這個位置上。本實施方式中，在第一側(cè)面121上沿砂漿管道的長度方向上開設(shè)有數(shù)個螺絲孔1212，調(diào)節(jié)板130上開設(shè)有與螺絲孔1212相匹配的腰形孔131，將螺栓132分別穿過腰形孔131以及螺絲孔1212。設(shè)置在調(diào)節(jié)板130上的腰形孔可以沿螺栓132上下滑動，當(dāng)調(diào)節(jié)板130調(diào)節(jié)到一定位置時，將螺栓132鎖緊在腰形孔131上，從而將調(diào)節(jié)板130固定在第一側(cè)面121上。
[0031]此外，多線切割機砂漿噴嘴裝置100還包括設(shè)置在噴流縫1211底部用于控制砂漿噴射方向的引流板140。引流板140與噴流縫1211之間光滑相切且呈60° -120°角度傾斜。這個傾斜角度能夠讓一些由于噴射壓力過小無法到達晶體切割區(qū)域內(nèi)的切割刃料，通過引流板140的導(dǎo)向作用被引流到晶體切割區(qū)域內(nèi)。從而防止了切割刃料的浪費，節(jié)省了原材料的使用成本。
[0032]在砂漿管道120內(nèi)部具有能夠容納砂漿的管道腔體122，為了使通過連接接頭110進入砂漿管道120內(nèi)部的砂漿能夠被均勻的分配到整個噴流縫1211的長度范圍內(nèi)，在砂漿管道120內(nèi)部設(shè)置有用于分流砂漿的分流組件123。該分流組件123將管道腔體122沿長度方向分隔成上腔體1221及下腔體1222。其中，連接接頭110設(shè)置在上腔體1221上，噴流縫1211設(shè)置在下腔體1222上。
[0033]本實施方式中的分流組件123為分流板，在分流板上開設(shè)有數(shù)個腰形分流孔。其中，分流組件123可以由一個分流板構(gòu)成，也可以由多個分流板構(gòu)成，分流板越多，對流入進入砂漿管道120內(nèi)的砂漿的壓力緩沖越大，從而流出整個噴流縫1211的砂漿的均勻度越好，但從噴流縫1211噴出的砂漿壓力相對較小。分流板的數(shù)量視流入連接接頭110內(nèi)部砂漿的壓力、噴流縫1211與晶體切割區(qū)域之間的距離以及管道腔體122的容積而定，一般則以兩個以內(nèi)為主。
[0034]在本實施方式中，分流組件123包括第一分流板1232以及位于第一分流板1232下層的第二分流板1233，請參圖6及圖7，在第一分流板1232上開設(shè)有數(shù)個第一分流孔12321，在第二分流板1233上開設(shè)有數(shù)個第二分流孔12331。且各個第一分流孔12321的孔徑大于各個第二分流孔12331的孔徑。
[0035]為了確保第一分流板1232以及第二分流板1233之間的砂漿壓力能夠進行二次均勻分配，優(yōu)選方案中，各個第一分流孔12321以及各個第二分流孔12331之間相互交錯設(shè)置。多線切割機上的砂漿管路內(nèi)的砂漿通過連接接頭110進入砂漿管道120內(nèi)部，此時砂漿對管道腔體122具有較大局部壓力，通過上腔體1221以及第一分流板1232的緩沖后，能夠?qū)⑸皾{的壓力進行初級緩沖，當(dāng)砂漿到達第一分流板1232以及第二分流板1233之間的空間時，砂漿的壓力進行二級緩沖，使得流入到下腔體1222的砂漿在各個方向上的壓力均勻分布，最后從噴流縫1211中均勻流出，從而能夠使得砂漿內(nèi)的切割刃料均勻的噴射到晶體切割區(qū)域內(nèi)。
[0036]另外，在其他實施方式中，分流組件123可以由一個分流板構(gòu)成，在分流板上均勻開設(shè)有分流孔。由于實施方式I中的多線切割機砂漿噴嘴裝置的連接接頭110位于砂漿管道120頂部的中央位置，為了提高管道腔體122對進入砂漿管道120內(nèi)部砂漿的緩沖力度，使之在噴流縫1211中央的砂漿壓力與在噴流縫1211兩端的砂漿壓力相當(dāng)，優(yōu)選實施方式中，在分流板1231、1234上非均勻的開設(shè)有分流孔12311、12341，請參圖8及圖9，其中，在分流板1231、1234的中部開設(shè)的分流孔12311、12341的密度略小于分流板1231、1234的兩端部開設(shè)的分流孔12311、12341的密度。這種設(shè)計方式，不會使得砂漿直接朝向分流板1231、1234的中部的分流孔12311、12341內(nèi)流出，而是在上腔體1221內(nèi)部進行旋轉(zhuǎn)混流，從而使得砂漿內(nèi)部的壓力達到均勻分布，然后從噴流縫1211的各段均勻流出。從而能夠使得砂漿內(nèi)的切割刃料均勻的噴射到晶體切割區(qū)域內(nèi)。
[0037]另外，在多線切割機砂漿噴嘴裝置100上還包括設(shè)置在砂漿管道120上的防濺板150，防濺板150設(shè)置在第一側(cè)面121的延伸面上。此外，砂漿管道120的底部背向第一側(cè)面121的反向上也延伸設(shè)置有防濺板150。防濺板150能夠阻止從噴流縫1211內(nèi)噴射出的砂漿濺射到砂漿管道120上，并能夠使濺落到防濺板150上的砂漿重新回流到砂漿收集槽里，從而提高砂漿內(nèi)切割刃料的二次使用效率。
[0038]此外，多線切割機砂漿噴嘴裝置100還包括將砂漿管道120固定在多線切割機上的安裝座160，在安裝座160上設(shè)置有凹槽161，前端蓋124上固定有一轉(zhuǎn)軸1241，轉(zhuǎn)軸1241可轉(zhuǎn)動的卡接在凹槽161內(nèi)。此外，在后端蓋125的一端還設(shè)置有用于將砂漿管道120的另一端固定支撐在多線切割機上的支撐塊1251。在砂漿管道120安裝時，先將轉(zhuǎn)軸1241可轉(zhuǎn)動的卡接在固定在多線切割機上的安裝座160的凹槽161內(nèi)，再將支撐塊1251固定在多線切割機上的固定位置。砂漿管道120的拆卸即為上述步驟的反過程。采用這種設(shè)計結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)的砂漿管道120的兩端部通過螺絲直接固定在多線切割機上的結(jié)構(gòu)來說，在不需要使用拆裝工具的情況下就可以方便的將砂漿管道120與安裝座160連接以及拆卸。[0039]請參圖4至圖5所示的多線切割機砂漿噴嘴裝置200實施方式2的三維結(jié)構(gòu)示意圖，該實施方式與實施方式I所不同之處在于，連接接頭(圖中未示出)設(shè)置在砂漿管道220的前端蓋224上,砂楽:管道220的另一端部通過后端蓋225密封。設(shè)置在管道腔體222內(nèi)的分流板2231的結(jié)構(gòu)可以為圖6至圖10中的任意一種結(jié)構(gòu)，為了提高管道腔體222對進入砂漿管道220內(nèi)部砂漿的緩沖力度，使之在噴流縫2211中央的砂漿壓力與在噴流縫(圖中未示出)兩端的砂漿壓力相當(dāng)，優(yōu)選方案中，可采用附圖10所示的分流孔22311在分流板2231上非均勻布局的結(jié)構(gòu)。即分流孔22311的密度在靠近連接接頭210的一側(cè)小于遠離連接接頭210的一側(cè)。此外，多線切割機砂漿噴嘴裝置200的前端蓋224將砂漿管道220固定在多線切割機上。在后端蓋225上設(shè)置有手柄2251，以便于砂漿管道220在維修過程中的安裝和拆卸。
[0040]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出數(shù)個變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種多線切割機砂漿噴嘴裝置，與設(shè)置于所述多線切割機上的砂漿管路連通，其特征在于，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置包括與所述砂漿管路連通的連接接頭、與所述連接接頭連通的砂漿管道；所述砂漿管道具有第一側(cè)面，在所述第一側(cè)面沿所述砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有用于將所述砂漿管道內(nèi)的砂漿導(dǎo)出的噴流縫；在所述噴流縫上覆蓋有能夠沿所述噴流縫的寬度方向移動的調(diào)節(jié)板，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置還包括沿所述砂漿管道的中心線方向上設(shè)置在所述噴流縫底部用于控制砂漿噴射方向的引流板，所述引流板與所述噴流縫之間呈60° -120°傾斜設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述砂漿管道的兩端封閉，其內(nèi)部具有能夠容納所述砂漿的管道腔體，所述砂漿管道內(nèi)部具有用于分流所述砂漿的分流組件，所述分流組件將所述管道腔體在沿所述砂漿管道的中心線方向上分隔成上腔體及下腔體；所述連接接頭設(shè)置在所述上腔體上，所述噴流縫設(shè)置在所述下腔體上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述分流組件為分流板，在所述分流板上開設(shè)有數(shù)個分流孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述分流孔為腰形孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，數(shù)個所述分流孔均勻開設(shè)在所述分流板上。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述分流板在靠近所述連接接頭的位置上所開設(shè)的所述分流孔的密度小于其在遠離所述連接接頭的位置上所開設(shè)的所述分流孔的密度。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述分流組件包括第一分流板以及位于所述第一分流板下層的第二分流板，在所述第一分流板上開設(shè)有數(shù)個第一分流孔，在所述第二分流板上開設(shè)有數(shù)個第二分流孔，各個所述第一分流孔以及各個所述第二分流孔之間均相互交錯設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述第一分流孔以及所述第二分流孔均為腰形孔，各個所述第一分流孔的孔徑大于各個所述第二分流孔的孔徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，在所述第一側(cè)面上沿所述砂漿管道的中心線方向上開設(shè)有數(shù)個螺絲孔，所述調(diào)節(jié)板上開設(shè)有與所述螺絲孔相匹配的腰形孔，在各個所述腰形孔上設(shè)置有螺栓，所述螺栓穿過所述腰形孔將所述調(diào)節(jié)板固定在所述第一側(cè)面上的所述螺絲孔內(nèi)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機砂漿噴嘴裝置，其特征在于，所述多線切割機砂漿噴嘴裝置還包括設(shè)置在所述砂漿管道上的防濺板，所述防濺板設(shè)置在所述第一側(cè)面的延伸面上和/或所述砂漿管道底面的延伸面上。
【文檔編號】B28D5/04GK203460333SQ201320425556
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年7月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月17日
【發(fā)明者】陳志軍 申請人:協(xié)鑫阿特斯（蘇州）光伏科技有限公司