專利名稱：一種晶棒切割固定框的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種晶棒切割固定框技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)設(shè)備的部件，具體地說是涉及一種晶棒切割固定 框。
背景技術(shù)：
[0002]切割半導(dǎo)體晶塊是在多線切割機(jī)上進(jìn)行的，固定晶棒的是固定框，固定框?qū)⒕О?定位，現(xiàn)有技術(shù)中，固定框是方形的凹槽，這樣往往存在著晶棒固定不牢的缺點(diǎn)，影響切割 的效率和質(zhì)量。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種生產(chǎn)效率更高、切割的質(zhì)量更好 的晶棒切割固定框。[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框 本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽。[0005]進(jìn)一步的講，所述的凹槽是多個(gè)的。[0006]進(jìn)一步的講，所述的凹槽中間設(shè)置有紋路。[0007]本實(shí)用新型的有益效果是這樣的晶棒切割固定框具有生產(chǎn)效率更高、切割的質(zhì) 量更好的優(yōu)點(diǎn)。


[0008]圖1是本實(shí)用新型晶棒切割固定框的結(jié)構(gòu)示意圖。[0009]其中1、固定框本體 2、凹槽 3、紋路。
具體實(shí)施方式
[0010]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。[0011]如圖1所示，晶棒切割固定框，包括固定框本體1，固定框本體I具有凹槽2，其特 征是所述的凹槽2是圓弧形的凹槽。[0012]因?yàn)榫О羰菆A形的，圓弧形的凹槽結(jié)合的面積更多，就更牢固，晶棒不易錯(cuò)位，保 證切割的質(zhì)量。[0013]進(jìn)一步的講，所述的凹槽2是多個(gè)的，這樣一個(gè)固定框就可以同時(shí)固定多個(gè)晶棒 保證了生產(chǎn)效率。[0014]進(jìn)一步的講，所述的凹槽中間設(shè)置有紋路3。這樣就會(huì)使晶棒粘接的更牢固。
權(quán)利要求1.晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒切割固定框，其特征是所述的凹槽是多個(gè)的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的晶棒切割固定框，其特征是所述的凹槽中間設(shè)置有紋路。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)設(shè)備的部件，是晶棒切割固定框，包括固定框本體，固定框本體具有凹槽，其特征是所述的凹槽是圓弧形的凹槽，所述的凹槽是多個(gè)的，所述的凹槽中間設(shè)置有紋路，這樣的晶棒切割固定框具有生產(chǎn)效率更高、切割的質(zhì)量更好的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B28D7/04GK202826117SQ20122040659
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月16日
發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司