專(zhuān)利名稱(chēng)：可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型為一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，尤指可使所述孔板其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的彎曲變形，進(jìn)而可達(dá)到提升廣品良率的功效。
背景技術(shù)：
一般半導(dǎo)體或面板產(chǎn)業(yè)的無(wú)塵室10，如中國(guó)臺(tái)灣專(zhuān)利公開(kāi)公報(bào)第201217719號(hào)「清凈室」，請(qǐng)參閱圖I所示，其由清凈區(qū)域11、給氣室12、空調(diào)機(jī)13、空氣循環(huán)路16、過(guò)濾器14與數(shù)個(gè)噴嘴板15所組成，其中所述清凈區(qū)域11設(shè)有制造設(shè)備M，給氣室12設(shè)在所述清凈區(qū)域11的頂棚，所述空氣循環(huán)路16是將給氣室12與空調(diào)機(jī)13連接，又所述過(guò)濾器14是設(shè)在所述空氣循環(huán)路16上，所述噴嘴板15則固定設(shè)置在給氣室12下方開(kāi)口，且所述噴嘴板15上設(shè)有數(shù)個(gè)噴嘴151，通過(guò)所述噴嘴板15上設(shè)有噴嘴151，而可增強(qiáng)空氣由所述噴·嘴151吹出時(shí)的風(fēng)速與到達(dá)距離，可有效將制造設(shè)備M的發(fā)熱去除，同時(shí)也可降低所述無(wú)塵室的空氣總循環(huán)量，進(jìn)而可使所述「清凈室」可達(dá)到較佳空氣循環(huán)效果的目的。所述現(xiàn)有的「清凈室」，雖可達(dá)到較佳空氣循環(huán)效果的目的，但所述噴嘴板15其噴嘴151系垂直朝下，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D2所示，當(dāng)其運(yùn)用于面板產(chǎn)業(yè)的無(wú)塵室10時(shí)，雖然由所述噴嘴151吹出的氣流21也可達(dá)到冷卻所述玻璃基板2的效果，但所述氣流21會(huì)以90度角垂直吹向所述玻璃基板2表面，故容易使所述玻璃基板2受到較大的垂直力，致使所述玻璃基板2產(chǎn)生較大的彎曲變形，造成玻璃基板2在各階段的制程中形成誤差，進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低，因此實(shí)有改進(jìn)的必要。因此，如何將上述等缺失加以摒除，即為本案創(chuàng)作人所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)的所在。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于現(xiàn)有的「清凈室」，因易使玻璃基板受較大垂直力而彎曲變形，造成制程誤差與產(chǎn)品良率降低，因此本實(shí)用新型的目的在于提供一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，通過(guò)所述氣流孔與孔板之間具有夾角，且所述夾角的角度小于90度，也即所述氣流孔與孔板之間具有一傾斜角度，而可使所述孔板其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的彎曲變形，避免現(xiàn)有玻璃基板容易因彎曲變形而形成制程誤差，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低的缺失，進(jìn)而可使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。為達(dá)成以上的目的，本實(shí)用新型是提供一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其包含一空調(diào)機(jī)；一給氣室，所述給氣室與空調(diào)機(jī)之間以循環(huán)管路相連接，所述給氣室可供設(shè)置于無(wú)塵室的頂棚，所述給氣室內(nèi)設(shè)有容置空間，又所述給氣室下方設(shè)有開(kāi)口 ；至少一個(gè)孔板，所述孔板固設(shè)于所述給氣室下方的開(kāi)口處，所述孔板上設(shè)有數(shù)個(gè)氣流孔，且所述氣流孔與孔板之間具有夾角，又所述夾角的角度小于90度。其中，所述氣流孔兩端分別于所述孔板的上表面與下表面形成進(jìn)氣口與出氣口。其中，各所述氣流孔由進(jìn)氣口到出氣口之間進(jìn)一步呈放射狀朝所述孔板的周緣方向傾斜。其中，還含有至少一個(gè)濾網(wǎng)，且所述濾網(wǎng)固設(shè)于所述給氣室的容置空間內(nèi)。通過(guò)所述氣流孔與孔板之間具有夾角，且所述夾角的角度小于90度，也即所述氣流孔與孔板之間具有一傾斜角度，而可使所述孔板其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低所述玻璃基板的彎曲變形，避免現(xiàn)有玻璃基板容易因彎曲變形而形成制程誤差，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低的缺失，進(jìn)而可使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。

圖I為現(xiàn)有的架構(gòu)示意圖。圖2為現(xiàn)有造成玻璃基板彎曲變形的動(dòng)作示意圖。圖3為本實(shí)用新型的架構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型其孔板的部分示意圖。圖5為本實(shí)用新型的動(dòng)作示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10_無(wú)塵室；11-清凈區(qū)域；12-給氣室；13-空調(diào)機(jī)；14-過(guò)濾器；15-噴嘴板；151_噴嘴；16_空氣循環(huán)路；2_玻璃基板；21_氣流；3_空調(diào)機(jī)；35_循環(huán)管路；4-給氣室；41-容置空間；42_開(kāi)口 ；5-濾網(wǎng)；6-孔板；61-氣流孔；611_進(jìn)氣口 ；612_出氣口 ；62_夾角；7_無(wú)塵室；M-制造設(shè)備。
具體實(shí)施方式
為使貴審查員方便簡(jiǎn)捷了解本實(shí)用新型的其他特征內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所達(dá)成的功效能夠更為顯現(xiàn)，茲將本實(shí)用新型配合附圖，詳細(xì)說(shuō)明如下請(qǐng)參閱圖3所示，本實(shí)用新型是提供一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其包含一空調(diào)機(jī)3 ；一給氣室4，所述給氣室4與空調(diào)機(jī)3之間以循環(huán)管路35相連接，所述給氣室4可供設(shè)置于無(wú)塵室7的頂棚，所述給氣室4內(nèi)設(shè)有容置空間41，又所述給氣室4下方設(shè)有開(kāi)口42 ；至少一個(gè)濾網(wǎng)5，所述濾網(wǎng)5固設(shè)于所述給氣室4其容置空間41內(nèi)；至少一個(gè)孔板6，所述孔板6固設(shè)于所述給氣室4下方的開(kāi)口 42處，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D4所示，所述孔板6上設(shè)有數(shù)個(gè)氣流孔61，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3所示，且所述氣流孔61與孔板6之間具有夾角62，又所述夾角62的角度小于90度，此外，請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D4所示，所述氣流孔61兩端可分別于所述孔板6的上表面與下表面形成進(jìn)氣口 611與出氣口 612，且各所述氣流孔61由進(jìn)氣口 611到出氣口 612之間可進(jìn)一步呈放射狀朝所述孔板6的周緣方向傾斜，由此，而可確保由所述氣流孔61的出氣口 612流出的空氣皆會(huì)呈放射狀向外分散；請(qǐng)參閱圖3、圖5所示，通過(guò)所述孔板6上設(shè)有數(shù)個(gè)氣流孔61，且所述氣流孔61與孔板6之間具有夾角62，又所述夾角62的角度小于90度，也即所述氣流孔61與孔板6之間具有一傾斜角度，而可使所述孔板6其氣流孔61吹出的氣流21以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板2，而如圖5所示，而使所述氣流21可在所述玻璃基板2上流過(guò)更大的面積范圍與更遠(yuǎn)的距離，可對(duì)所述玻璃基板2達(dá)到更佳的冷卻效果，同時(shí)也可減少所述玻璃基板2所承受的垂直力，而可降低所述玻璃基板2的彎曲變形，避免現(xiàn)有玻璃基板2容易因彎曲變形而形成制程誤差，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低的缺失，進(jìn)而可使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效；此外，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D4所示，又通過(guò)各所述氣流孔61由進(jìn)氣口 611到出氣口 612之間進(jìn)一步呈放射狀朝所述孔板6的周緣方向傾斜，而可確保所有的氣流21均是朝向外擴(kuò)散的方向吹向所述玻璃基板2，除了可使不同位置的玻璃基板2均能達(dá)到更平均的冷卻效果，也可避免不同方向的氣流21因交錯(cuò)或接觸而造成抵銷(xiāo)或亂流，導(dǎo)致對(duì)所述玻璃基板2的冷卻效果變差的問(wèn)題，進(jìn)而可使本實(shí)用新型可兼具達(dá)到更佳冷卻效果的功效。為使本實(shí)用新型更加顯現(xiàn)出其進(jìn)步性與實(shí)用性，茲與現(xiàn)有作一比較分析如下現(xiàn)有技術(shù)I、氣流垂直吹向玻璃基板，導(dǎo)致玻璃基板具有較大的彎曲變形。2、產(chǎn)品良率降低。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)I、氣流具傾斜角度吹向玻璃基板，可有效減少玻璃基板的彎曲變形。2、可提升廣品良率。3、可對(duì)玻璃基板達(dá)到更佳的冷卻效果。
權(quán)利要求1.一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包含 一空調(diào)機(jī)； 一給氣室，所述給氣室與空調(diào)機(jī)之間以循環(huán)管路相連接，所述給氣室設(shè)置于無(wú)塵室的頂棚，所述給氣室內(nèi)設(shè)有容置空間，又所述給氣室下方設(shè)有開(kāi)口 ； 至少一個(gè)孔板，所述孔板固設(shè)于所述給氣室下方的開(kāi)口處，所述孔板上設(shè)有數(shù)個(gè)氣流孔，且所述氣流孔與孔板 之間具有夾角，又所述夾角的角度小于90度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述氣流孔兩端分別于所述孔板的上表面與下表面形成進(jìn)氣口與出氣口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其特征在于，各所述氣流孔由進(jìn)氣口到出氣口之間進(jìn)一步呈放射狀朝所述孔板的周緣方向傾斜。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其特征在于，還含有至少一個(gè)濾網(wǎng)，且所述濾網(wǎng)固設(shè)于所述給氣室的容置空間內(nèi)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型是提供一種可降低基板變形的孔板結(jié)構(gòu)，其包含一空調(diào)機(jī)；一給氣室，所述給氣室與空調(diào)機(jī)之間以循環(huán)管路相連接，所述給氣室可供設(shè)置于無(wú)塵室的頂棚，所述給氣室內(nèi)設(shè)有容置空間，又所述給氣室下方設(shè)有開(kāi)口；至少一個(gè)孔板，所述孔板固設(shè)于所述給氣室下方的開(kāi)口處，所述孔板上設(shè)有數(shù)個(gè)氣流孔，且所述氣流孔與孔板之間具有夾角，又所述夾角的角度小于90度；通過(guò)所述氣流孔與孔板之間具有夾角，且所述夾角的角度小于90度，也即所述氣流孔與孔板之間具有一傾斜角度，可降低所述玻璃基板的彎曲變形，避免現(xiàn)有玻璃基板容易因彎曲變形而形成制程誤差，導(dǎo)致產(chǎn)品良率降低的缺失，進(jìn)而可使本實(shí)用新型達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。
文檔編號(hào)C03B27/04GK202785991SQ201220387439
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月6日
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