專(zhuān)利名稱(chēng)：：由工件切分晶圓的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種由エ件切分晶圓的方法，其中，在鋸切操作過(guò)程中，鋸切線的以平行方式布置的線段被相對(duì)于エ件弓I導(dǎo)，因此形成晶圓?，F(xiàn)有技術(shù)這種類(lèi)型的方法使用線狀鋸進(jìn)行。例如，在US2002/0174861Al或US2010/0089377中描述了線狀鋸的基本結(jié)構(gòu)和功能。適當(dāng)?shù)木€狀鋸包括至少兩個(gè)導(dǎo)線輥，鋸切線圍繞其多重纏繞。這產(chǎn)生了張緊在兩個(gè)導(dǎo)線輥之間并且以平行的形式設(shè)置的線段，并且這些線段形成線網(wǎng)，在鋸切操作過(guò)程中エ件被移動(dòng)穿過(guò)線網(wǎng)。還已知了其中線網(wǎng)被移動(dòng)穿過(guò)エ件的線鋸切方法。合適的エ件包括必須被分離成晶圓的材料，尤其是由半導(dǎo)體材料構(gòu)成的塊，半導(dǎo)體晶圓被從其切分而成。導(dǎo)線輥具有涂層，涂層具有特定的厚度并且具有引導(dǎo)線段的溝槽。隨著鋸切操作施加負(fù)載的持續(xù)時(shí)間的增長(zhǎng)，涂層的表面區(qū)域會(huì)磨損。只要涂層仍具有足夠的厚度，涂層的被磨損的表面區(qū)域就可以通過(guò)磨掉而去除，并且如此再生成的更薄的涂層可以繼續(xù)被使用。在鋸切操作中，鋸切線被從供給線軸纏繞到接收器線軸上。在這種情況下，鋸切線的行進(jìn)方向通常被圓柱形改變，從而實(shí)現(xiàn)了鋸切線的更綜合的利用。切分晶圓需要在切割操作模式中從エ件上去除材料的研磨顆粒。研磨顆?？梢员还潭ǖ卣澈系戒徢芯€上。更通常地，使用散布有研磨顆粒并且被供給至線網(wǎng)的鋸切懸浮液。以這種方式制造的半導(dǎo)體晶圓應(yīng)該具有扁平且盡可能平行的側(cè)表面。為了可以生成具有這種幾何特征的晶圓，在鋸切操作過(guò)程中，應(yīng)該避免エ件和線段之間的軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也就是平行于エ件中央軸線的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。如果發(fā)生了這種相對(duì)運(yùn)動(dòng)，就會(huì)生成具有彎曲橫截面的晶圓。晶圓的彎曲度通常用被稱(chēng)作翹曲的特征值表示。作為發(fā)生上述相對(duì)運(yùn)動(dòng)的原因，在US2010/0089377Al中提及了エ件和導(dǎo)線輥的長(zhǎng)度變化，所述變化被歸因于溫度變化和相關(guān)的熱膨脹或熱收縮。實(shí)際上，在鋸切線圍繞導(dǎo)線輥運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中并且在鋸切線接合エ件時(shí)尤其會(huì)產(chǎn)生磨擦熱，具體地，由于熱傳遞的原因，エ件以及導(dǎo)線輥和導(dǎo)線輥的軸承的溫度被改變。US2002/0174861建議了ー種方法，用于在鋸切操作過(guò)程中調(diào)整エ件的溫度。US2010/0089377Al建議了ー種方法，其中，エ件在軸向方向上的位移被測(cè)量，并且導(dǎo)線輥的軸向位移被調(diào)整以使其對(duì)應(yīng)于所測(cè)量的值。根據(jù)ー個(gè)示例，通過(guò)冷卻被傳導(dǎo)通過(guò)導(dǎo)線輥的軸的水并且通過(guò)適應(yīng)冷卻水的溫度和/或流速，實(shí)現(xiàn)導(dǎo)線輥的軸向位移的調(diào)整。另外，建議記錄表示與切割深度有關(guān)的エ件的位移的曲線并且在根據(jù)此曲線調(diào)整導(dǎo)線輥的位移
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的發(fā)明人已經(jīng)認(rèn)識(shí)到，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)提供的解決方案，需要進(jìn)行改進(jìn)以減小或防止由溫度變化引起的線段和エ件的軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明涉及一種由エ件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過(guò)程中，相對(duì)于エ件移動(dòng)鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個(gè)導(dǎo)線輥之間，每個(gè)導(dǎo)線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及冷卻導(dǎo)線輥并且冷卻導(dǎo)線輥的固定軸承，其中，所述導(dǎo)線輥和所述固定軸承被以獨(dú)立于彼此的方式冷卻。所述導(dǎo)線輥和所述固定軸承被從內(nèi)部并且以獨(dú)立于彼此的方式冷卻，以減少或完全防止エ件和線段在鋸切操作過(guò)程中的軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)。為此目的，在每種情況下設(shè)置專(zhuān)門(mén)的冷卻回路，在每種情況下冷卻劑被傳導(dǎo)通過(guò)冷卻回路，冷卻回路的特性分別與導(dǎo)線輥及其固定軸承的冷卻相配合。與已知的方法相比，本發(fā)明考慮了所述軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)大部分歸因于エ件、相應(yīng)固定軸承以及相應(yīng)導(dǎo)線輥涂層的溫度變化。具體地，考慮了由溫度變化不同引起的涂層及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的長(zhǎng)度變化，并且從這一點(diǎn)上得出的結(jié)論是，如果相應(yīng)導(dǎo)線輥的溫度，尤其是其涂層的溫度，以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的溫度被以獨(dú)立于彼此的方式進(jìn)行控制將是更有利地。在鋸切操作過(guò)程中，エ件的長(zhǎng)度變化取決于鋸切操作前エ件的長(zhǎng)度，并且取決于在鋸切操作過(guò)程中產(chǎn)生的熱量。在鋸切操作過(guò)程中產(chǎn)生的熱量取決于所選擇的過(guò)程條件，所述過(guò)程條件由不同過(guò)程參數(shù)的整體描述。具體地，這些過(guò)程參數(shù)包括鋸切線的速度，供給到線網(wǎng)的鋸切懸浮液的量和溫度，エ件被移動(dòng)穿過(guò)線網(wǎng)的前進(jìn)速度，研磨顆粒的類(lèi)型以及保持エ件的鋸切懸浮液的液相類(lèi)型。如果所選擇的過(guò)程條件在多個(gè)鋸切操作過(guò)程中保持不變，那么在一個(gè)鋸切操作過(guò)程中的エ件的長(zhǎng)度變化只取決于鋸切操作前エ件的長(zhǎng)度。因此，對(duì)于在相同過(guò)程條件下進(jìn)行的鋸切操作，在所選擇的過(guò)程條件下將エ件分離成晶圓并且在鋸切操作過(guò)程中測(cè)量エ件的溫度，進(jìn)行一次足以。之后，對(duì)于此鋸切操作以及對(duì)于意于在所選擇的過(guò)程條件下進(jìn)行并且意于切割相同類(lèi)型的材料的所有其它鋸切操作，可以建立預(yù)測(cè)エ件長(zhǎng)度變化的曲線，作為切割深度或鋸切操作持續(xù)時(shí)間的函數(shù)。此長(zhǎng)度變化可以借助于エ件材料的線性膨脹系數(shù)，所測(cè)量的溫度分布以及相應(yīng)鋸切操作前エ件的長(zhǎng)度而進(jìn)行計(jì)算。優(yōu)選地，冷卻相應(yīng)導(dǎo)線輥及相應(yīng)固定軸承的過(guò)程被實(shí)現(xiàn)為使得，在鋸切操作過(guò)程中的姆個(gè)時(shí)間點(diǎn)上，差ΔLw(X)-(ΔLf+ΔLb(X))小于20μηι,其中，ALw(X)是由于エ件溫度變化引起的エ件的長(zhǎng)度變化導(dǎo)致的エ件上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移，ALf是由于固定軸承的溫度變化而引起的相應(yīng)固定軸承所經(jīng)歷的長(zhǎng)度變化，以及ALb(X)是由于涂層的溫度變化所引起的涂層的長(zhǎng)度變化導(dǎo)致的導(dǎo)線輥的涂層上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移。軸向位置X是エ件中央軸線上的位置或等效位置。差越大，線段距離保證直線切穿エ件的預(yù)期位置越遠(yuǎn)。但是，如果沒(méi)有抵抗措施，差會(huì)一直變大，軸向位置X和導(dǎo)線輥中心之間的距離越大。當(dāng)多個(gè)エ件并排布置以同時(shí)進(jìn)行鋸切時(shí)這尤其應(yīng)該考慮。エ件被進(jìn)行這樣的布置以使得有效線網(wǎng)可以盡可能完整地得到利用。根據(jù)第一實(shí)施例，根據(jù)本發(fā)明的方法用于控制涂層的溫度以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的溫度，使得在鋸切操作過(guò)程中對(duì)エ件的長(zhǎng)度變化的反應(yīng)包括在各方向上相等的涂層以及固定軸承的長(zhǎng)度變化。因此，對(duì)軸向位移ALw(X)的反應(yīng)包括冷卻相應(yīng)的導(dǎo)線輥和相應(yīng)固定軸承，優(yōu)選使差ΔLw(X)-(ΔLf+ΔLb(X))小于20Um。此控制可以通過(guò)下述實(shí)現(xiàn)提供第一預(yù)定義曲線，所述第一預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過(guò)程中冷卻相應(yīng)導(dǎo)線輥的冷卻劑的溫度或速度，第二預(yù)定義曲線，所述第二預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過(guò)程中冷卻相應(yīng)固定軸承的冷卻劑的溫度或速度；以及根據(jù)第一和第ニ預(yù)定義曲線冷卻相應(yīng)導(dǎo)線輥和相應(yīng)固定軸承。提供與相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層厚度成函數(shù)關(guān)系的第一預(yù)定義曲線是特別優(yōu)選地。所述控制還通過(guò)下述實(shí)現(xiàn)在鋸切操作過(guò)程中測(cè)量相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度的軸向變化；根據(jù)測(cè)量結(jié)果生成第一和第二調(diào)整信號(hào)；以及根據(jù)第一調(diào)整信號(hào)調(diào)整相應(yīng)導(dǎo)線輥的冷卻，以及根據(jù)第二調(diào)整信號(hào)調(diào)整相應(yīng)固定軸承的冷卻。根據(jù)第二實(shí)施例，根據(jù)本發(fā)明的方法提供了下述方面冷卻エ件，使得在鋸切操作過(guò)程中ALff(X)小于5μπι;以及冷卻相應(yīng)導(dǎo)線輥和相應(yīng)固定軸承，使得在鋸切操作過(guò)程中和(ΔLf+ΔLb(X))小于25μm,優(yōu)選地小于10μm。第二實(shí)施例的目的是盡可能地避免エ件和涂層以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的線性膨脹。因此，在鋸切操作過(guò)程中，完全抑制エ件和固定軸承以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的溫度變化以及相關(guān)的長(zhǎng)度變化是特別有利地。如果多個(gè)エ件并排布置以同時(shí)進(jìn)行鋸切，避免エ件和涂層以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的線性膨脹將是特別有利地。エ件的長(zhǎng)度以及它們相對(duì)于導(dǎo)線輥中心的布置對(duì)是否生成具有預(yù)期幾何形狀的晶圓沒(méi)有影響。根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選用于生產(chǎn)具有盡可能平行的側(cè)表面的晶圓。然而，這并不排除修改本發(fā)明的目的并且生成具有特殊彎曲的晶圓。在這種情況下，エ件的長(zhǎng)度變化通過(guò)固定軸承以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化補(bǔ)償，這僅在一定程度上是實(shí)現(xiàn)預(yù)期的彎曲所必須的。典型地，在鋸切操作過(guò)程中エ件被保持以使其在溫度變化時(shí)在兩端可以軸向膨脹或收縮。例如，其由多晶體或單晶體半導(dǎo)體材料構(gòu)成，具體地，由硅構(gòu)成。典型地，其具有圓柱形的桿的部分的形式，直徑足以能夠制造直徑在200至450mm范圍內(nèi)的晶圓。被分離用于形成直徑300mm的半導(dǎo)體晶圓的由硅制成的單一晶體在鋸切操作過(guò)程中經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為30°C，所述最大溫度變化對(duì)應(yīng)于典型地約25μm的最大長(zhǎng)度變化。此特殊量值是其中所述單一晶體沒(méi)有被冷卻的方法所特有的。在鋸切操作過(guò)程中，由于涂層的溫度變化引起的導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化，具體地，取決于涂層材料的線性膨脹系數(shù)，取決于涂層的厚度并且取決于在鋸切操作過(guò)程中產(chǎn)生的熱量。在鋸切操作過(guò)程中產(chǎn)生的熱量由過(guò)程條件和鋸切操作前的エ件長(zhǎng)度決定性地影響。對(duì)于在相同過(guò)程條件下并且用相同類(lèi)型的涂層材料進(jìn)行的鋸切操作來(lái)說(shuō)，涂層的長(zhǎng)度變化只取決于エ件的長(zhǎng)度和涂層的厚度。典型地，涂層被固定在導(dǎo)線輥的芯上，以使其以不受阻礙的方式在溫度變化時(shí)在兩端可以軸向膨脹或收縮。但是，通過(guò)將涂層夾緊到下面的導(dǎo)線輥的芯上，例如，通過(guò)設(shè)置在涂層兩端的夾緊環(huán)，涂層的長(zhǎng)度變化可以被限制在某一限度內(nèi)。夾緊環(huán)將涂層固定在導(dǎo)線輥的芯上并且限制由于溫度變化引起的涂層的長(zhǎng)度變化。當(dāng)根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例進(jìn)行時(shí)，將涂層夾緊到導(dǎo)線輥的芯上是特別合適的。在鋸切操作過(guò)程中測(cè)量涂層經(jīng)歷的長(zhǎng)度變化不是簡(jiǎn)單的。由于存在鋸切懸浮液所以不適合在涂層上進(jìn)行光學(xué)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的方法優(yōu)選借助于渦流傳感器進(jìn)行測(cè)量。為此，有利地是將環(huán)精確地固定到涂層的端部，并且測(cè)量相應(yīng)環(huán)和相應(yīng)傳感器之間的距離變化。環(huán)優(yōu)選由導(dǎo)電材料例如金屬或石墨制成。通常，測(cè)量其中ー個(gè)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化就足夠了，并且假設(shè)另ー個(gè)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化相同。然而，同樣可以對(duì)應(yīng)地測(cè)量線網(wǎng)的兩個(gè)導(dǎo)線輥上的涂層的長(zhǎng)度變化。假設(shè)涂層的典型厚度是6_，在從上述的由硅構(gòu)成的單一晶體切分晶圓的過(guò)程期間，不考慮冷卻措施并且不考慮將涂層夾緊在導(dǎo)線輥的芯上，由聚亞安酯構(gòu)成的涂層經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為20°C并且最大線性膨脹典型地約為80μπι。因此，涂層承受了比單一晶體大得多的長(zhǎng)度變化。在每種情況下，夾緊線網(wǎng)的導(dǎo)線輥典型地借助于固定軸承和活動(dòng)軸承上的軸安裝。溫度變化時(shí)，固定軸承的兩端不能軸向膨脹或收縮，只有活動(dòng)軸承對(duì)面的端部可以。固定軸承的長(zhǎng)度變化使導(dǎo)線輥的涂層以及因此每個(gè)線段移動(dòng)一致的幅值。在固定軸承的典型配置中，在從上述的由硅構(gòu)成的單一晶體切分晶圓的過(guò)程期間，不考慮冷卻措施，固定軸承經(jīng)歷的最大溫度變化典型地約為I.5°C并且最大線形膨脹典型地約為6μm。在鋸切過(guò)程中，由于溫度變化引起的固定軸承的長(zhǎng)度變化影響線段的位置，其影響的方式與由于溫度變化引起的涂層的長(zhǎng)度變化的影響方式本質(zhì)上不同。前者將每個(gè)線段移動(dòng)一致的幅值，而后者移動(dòng)的幅值取決于線段和導(dǎo)線輥中心之間的距離。距離越大，位移更大。通過(guò)冷卻固定軸承或?qū)Ь€輥來(lái)控制固定軸承的溫度以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的溫度忽略了此根本不同并且因此是不利的。如果不同時(shí)影響導(dǎo)線輥的涂層的溫度就不能改變固定軸承的溫度。這種控制不能實(shí)現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的方法所能實(shí)現(xiàn)的結(jié)果，也就是以獨(dú)立于彼此的方式控制固定軸承的溫度以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的溫度。根據(jù)本方法的第一實(shí)施例，在鋸切操作過(guò)程中在特殊的過(guò)程條件下對(duì)エ件的長(zhǎng)度變化的反應(yīng)包括對(duì)獨(dú)立的冷卻回路供應(yīng)冷卻剤，與導(dǎo)致的固定軸承和導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化相配合，它們的和盡可能對(duì)應(yīng)于エ件的長(zhǎng)度變化。例如，通過(guò)確定系列實(shí)驗(yàn)中的合適冷卻參數(shù)，所述配合根據(jù)經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行。這包括確定在鋸切操作過(guò)程中冷卻劑的溫度和/或速度的那些時(shí)間分布(temporalprofile)是實(shí)現(xiàn)固定軸承和相應(yīng)導(dǎo)線輥的涂層的所要求的長(zhǎng)度變化所必須的。然后，所確定的冷卻參數(shù)的時(shí)間分布被以預(yù)定義曲線的形式存儲(chǔ)在控制冷卻回路的計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器中。如果具有相同長(zhǎng)度的エ件在相同的過(guò)程條件下被切分成晶圓，則冷卻回路被關(guān)于根據(jù)所存儲(chǔ)的預(yù)定義曲線的冷卻劑溫度和/或冷卻劑流速進(jìn)行控制。因?yàn)橛捎跍囟茸兓鸬耐繉拥拈L(zhǎng)度變化關(guān)鍵地取決于導(dǎo)線輥的涂層厚度并且取決于鋸切操作前的エ件長(zhǎng)度，所以對(duì)于在特有過(guò)程條件下進(jìn)行的鋸切操作來(lái)說(shuō)，建議存儲(chǔ)具有下述冷卻參數(shù)的數(shù)據(jù)設(shè)置所述冷卻參數(shù)考慮了所采用的導(dǎo)線輥涂層厚度和將被分割的エ件長(zhǎng)度。此配合還可以通過(guò)設(shè)置控制環(huán)來(lái)實(shí)現(xiàn)，控制環(huán)對(duì)相應(yīng)固定軸承和相應(yīng)導(dǎo)線輥中的冷卻回路供應(yīng)冷卻剤?？刂骗h(huán)包括傳感器，用于在鋸切操作過(guò)程中檢查是否存在線段位置與預(yù)期位置的偏離。當(dāng)存在偏離時(shí)，改變冷卻回路的冷卻參數(shù)例如冷卻劑的溫度和/或速度直到不再存在偏差。下面參考附圖更詳細(xì)地解釋本發(fā)明。圖I示意性示出了對(duì)于可能發(fā)生的エ件和線段之間的軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)起決定性作用的長(zhǎng)度變化；圖2示出了適于在根據(jù)本發(fā)明的方法中使用的導(dǎo)線輥的橫截面，以及與所述導(dǎo)線輥相關(guān)聯(lián)的固定軸承；圖3示出了具有兩個(gè)導(dǎo)線輥的線狀鋸和設(shè)置于線狀鋸上方的エ件的透視圖；圖4示出了用于在根據(jù)第一實(shí)施例的方法中冷卻導(dǎo)線輥及其固定軸承的預(yù)定義曲線；圖5示出了用于在根據(jù)第二實(shí)施例的方法中冷卻導(dǎo)線輥及其固定軸承的預(yù)定義曲線；圖6和7示出了膨脹測(cè)量的結(jié)果。具體實(shí)施例方式圖I是通過(guò)エ件12,導(dǎo)線棍I和固定軸承2的示意性剖視圖。示意圖示出了對(duì)于可能發(fā)生的エ件和線段之間的軸向相對(duì)運(yùn)動(dòng)起決定性作用的長(zhǎng)度變化。這些包括エ件的長(zhǎng)度變化ΛLw，導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化ALb以及固定軸承的長(zhǎng)度變化ALf。為簡(jiǎn)單起見(jiàn)，長(zhǎng)度變化ALb和ALw被示意為假定固定軸承和導(dǎo)線輥彼此不連接的情況。因此，由于エ件的熱膨脹，エ件端部的軸向位置點(diǎn)被移動(dòng)了量值A(chǔ)Lw，并且由于涂層的熱膨脹導(dǎo)線輥的涂層端部的軸向位置點(diǎn)被移動(dòng)了量值alb。根據(jù)圖2的示意圖示出了導(dǎo)線輥I及其相關(guān)的固定軸承2，它們分別具有通道3和4，通道3和4被獨(dú)立于彼此地連接至被供給冷卻劑的冷卻回路。導(dǎo)線輥I的冷卻回路被具體化為使諸如水的冷卻劑被通過(guò)回轉(zhuǎn)引入口傳導(dǎo)至在鋸切操作過(guò)程中轉(zhuǎn)動(dòng)的導(dǎo)線輥I。冷卻回路分別包括熱交換器(未示出)和控制單元5和6，控制單元5和6可以具體化為用于根據(jù)所存儲(chǔ)的預(yù)定義曲線控制冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承的冷卻參數(shù)。然而，冷卻回路還可以在兩個(gè)控制環(huán)中引入傳感器7，這兩個(gè)控制環(huán)獨(dú)立于彼此操作，用于冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承。這樣，傳感器供給測(cè)量信號(hào)，在控制單元5和6中，作為冷卻相應(yīng)導(dǎo)線輥和相應(yīng)固定軸承的操作變量的冷卻參數(shù)被從測(cè)量信號(hào)中產(chǎn)生。優(yōu)選地，傳感器7測(cè)量分別距設(shè)置于導(dǎo)線輥I的涂層8端部的指定環(huán)9的距離。因?yàn)閷?dǎo)線輥I的涂層8的膨脹或收縮在相當(dāng)程度上是由于導(dǎo)線輥的溫度變化引起的，所以有利地是將金屬環(huán)9固定到涂層8本身上。在金屬環(huán)被固定到導(dǎo)線輥的芯10的情況下，在測(cè)量過(guò)程中將忽略涂層8的長(zhǎng)度變化。如果需要考慮導(dǎo)線輥的芯的長(zhǎng)度變化，可以提供另ー傳感器11，測(cè)量其距導(dǎo)線輥的芯10的距離。導(dǎo)線輥I的芯10通常由因瓦合金(Invar)制成，以使其對(duì)線段軸向位置的變化的影響相應(yīng)較小。圖3示出了具有兩個(gè)導(dǎo)線輥I的線狀鋸和エ件12的透視圖，其中エ件被固定在鋸條狀部16上并且設(shè)置于線狀鋸上方。線狀鋸被構(gòu)造成能夠?qū)嵤└鶕?jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的方法。導(dǎo)線輥I以及分別指定給它們的固定軸承2被按照?qǐng)D2中所示意地具體化。為簡(jiǎn)單起見(jiàn)，冷卻第二導(dǎo)線輥及其固定軸承的冷卻回路沒(méi)有示意。冷卻導(dǎo)線輥的冷卻回路可以被配合形成ー個(gè)冷卻回路，或獨(dú)立于彼此地實(shí)現(xiàn)。示意圖還示出了用于冷卻エ件12的另ー冷卻回路。此冷卻回路包括熱交換器(未示意)以及控制単元13，控制單元13可以用于根據(jù)所存儲(chǔ)的預(yù)定義曲線控制冷卻エ件的冷卻參數(shù)。冷卻エ件的冷卻劑被借助于噴ロ帶15分配并且從エ件12滴到槽14內(nèi)。然而，冷卻回路也可以將另一傳感器引入控制エ件的控制環(huán)中。這樣，傳感器供給測(cè)量信號(hào)，在控制單元中，作為冷卻エ件的操作變量的冷卻參數(shù)被從測(cè)量信號(hào)產(chǎn)生。例如，傳感器測(cè)量距エ件端側(cè)的距離。還可以用于切分晶圓的相同的鋸切懸浮液可以用于冷卻エ件。然而，優(yōu)選使用例如只具有冷卻功能的諸如水的冷卻劑來(lái)冷卻エ件，并且優(yōu)選防止此冷卻劑與鋸切懸浮液混合。為此目的，在所述冷卻劑到達(dá)線網(wǎng)和鋸切懸浮液之前，可用應(yīng)用于エ件上的擦拭器(未示出)中途攔截冷卻剤。實(shí)施例借助于包括四個(gè)導(dǎo)線輥的線狀鋸，直徑為300_的由硅制成的單晶塊體被分離成晶圓。夾緊線網(wǎng)的導(dǎo)線輥以及它們相關(guān)的固定軸承具有圖2和3所示的結(jié)構(gòu)并且根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行冷卻。所述導(dǎo)線輥以及它們的固定軸承的冷卻被以相互獨(dú)立的方式借助于作為冷卻劑的水進(jìn)行，按照所存儲(chǔ)的預(yù)定義曲線在鋸切操作過(guò)程中改變冷卻劑的溫度。圖4示出了用于冷卻夾緊線網(wǎng)的導(dǎo)線輥以及所述導(dǎo)線輥的固定軸承的預(yù)定義曲線，以根據(jù)本方法的第一實(shí)施例將單晶塊分割成晶圓。因此，所述預(yù)定義曲線被設(shè)計(jì)成在鋸切操作過(guò)程中對(duì)エ件長(zhǎng)度變化的反應(yīng)包括在各方向上相等的涂層的長(zhǎng)度變化以及導(dǎo)線輥的固定軸承的長(zhǎng)度變化。所示意的預(yù)定義曲線示出了與進(jìn)給表(feedtable)的位置POS成函數(shù)關(guān)系的冷卻劑的理想溫度T，所述位置POS等效于鋸切操作的時(shí)間延續(xù)(temporalprogression)。方形數(shù)據(jù)點(diǎn)表示冷卻導(dǎo)線棍的冷卻劑的理想溫度,并且圓形的數(shù)據(jù)點(diǎn)表示冷卻導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻劑的理想溫度。圖5示出了用于冷卻夾緊線網(wǎng)的導(dǎo)線輥以及所述導(dǎo)線輥的固定軸承的預(yù)定義曲線，以根據(jù)本方法的第二實(shí)施例將單晶塊分割成晶圓。因此，所述預(yù)定義曲線被設(shè)計(jì)用于在鋸切操作過(guò)程中實(shí)現(xiàn)涂層以及相應(yīng)導(dǎo)線輥的固定軸承的盡可能不變的長(zhǎng)度。方形數(shù)據(jù)點(diǎn)再次表示冷卻導(dǎo)線輥的冷卻劑的理想溫度，并且圓形的數(shù)據(jù)點(diǎn)表示冷卻導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻劑的理想溫度。當(dāng)考慮進(jìn)行涂層和導(dǎo)線輥的芯的膨脹測(cè)量時(shí)，以獨(dú)立于彼此的方式實(shí)現(xiàn)導(dǎo)線輥的冷卻以及導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻變得很顯然。圖6示意了與進(jìn)給表的位置POS成函數(shù)關(guān)系的位于固定軸承側(cè)(實(shí)線)上的導(dǎo)線輥的涂層的膨脹△I、位于活動(dòng)軸承側(cè)(點(diǎn)劃線)上的導(dǎo)線輥的涂層的膨脹以及位于活動(dòng)軸承側(cè)(虛線)上的導(dǎo)線輥的芯的膨脹。圖6示出了該實(shí)驗(yàn)的測(cè)量結(jié)果，其中，導(dǎo)線輥以及導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻已經(jīng)以獨(dú)立于彼此的方式進(jìn)行。公共冷卻回路已經(jīng)被設(shè)置用于冷卻導(dǎo)線輥及其固定軸承。圖7示意了與進(jìn)給表的位置POS成函數(shù)關(guān)系的位于固定軸承側(cè)(實(shí)線)上的導(dǎo)線輥的涂層的膨脹△I、位于活動(dòng)軸承側(cè)(點(diǎn)劃線)上的導(dǎo)線輥的涂層的膨脹以及位于活動(dòng)軸承側(cè)(虛線)上的導(dǎo)線輥的芯的膨脹。圖7示出了該實(shí)驗(yàn)的測(cè)量結(jié)果，其中，導(dǎo)線輥以及導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻被根據(jù)本發(fā)明以獨(dú)立于彼此的方式實(shí)現(xiàn)了。橢圓形限定的區(qū)域僅僅表示測(cè)量過(guò)程中的干擾，這對(duì)于本發(fā)明是不重要的。權(quán)利要求1.一種由エ件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過(guò)程中，相對(duì)于エ件移動(dòng)鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個(gè)導(dǎo)線輥之間，每個(gè)導(dǎo)線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及冷卻導(dǎo)線輥并且冷卻導(dǎo)線輥的固定軸承，其中，所述導(dǎo)線輥和所述固定軸承被以獨(dú)立于彼此的方式冷卻。2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的方法，包括冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承使得，在鋸切操作過(guò)程中的每個(gè)時(shí)間點(diǎn)上，差ΛΙ^(χ)-(ΛΙ^+ΛΒ(Χ))小于20μπι，其中，ALw(X)是由于エ件溫度變化引起的エ件的長(zhǎng)度變化導(dǎo)致的エ件上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移，ALf是由于固定軸承的溫度變化而引起的固定軸承所經(jīng)歷的長(zhǎng)度變化，以及ALb(X)是由于涂層的溫度變化所引起的涂層的長(zhǎng)度變化導(dǎo)致的導(dǎo)線輥的涂層上的軸向位置X所經(jīng)歷的軸向位移。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，包括通過(guò)冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承而對(duì)大于Oμm的軸向位移ALw(X)作出反應(yīng)，使差ΛLw(x)-(ALf+ΛLb(X))小于20μm。4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一所述的方法，包括提供第一預(yù)定義曲線，所述第一預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過(guò)程中冷卻導(dǎo)線輥的冷卻劑的溫度或速度，和第二預(yù)定義曲線，所述第二預(yù)定義曲線描述在鋸切操作過(guò)程中冷卻導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻劑的溫度或速度；以及根據(jù)第一和第二預(yù)定義曲線冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承。5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，包括提供與導(dǎo)線輥的涂層厚度成函數(shù)關(guān)系的第一預(yù)定義曲線。6.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任一所述的方法，包括在鋸切操作過(guò)程中測(cè)量其中一個(gè)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度的軸向變化；根據(jù)測(cè)量結(jié)果生成第一和第二調(diào)整信號(hào)；以及依靠第一調(diào)整信號(hào)調(diào)整導(dǎo)線輥的冷卻，以及依靠第二調(diào)整信號(hào)調(diào)整導(dǎo)線輥的固定軸承的冷卻。7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，包括冷卻エ件，使得在鋸切操作過(guò)程中ALff(X)小于5μπι;以及冷卻導(dǎo)線輥和固定軸承，使得在鋸切操作過(guò)程中和(ALf+ALb(x))小于25μπι。8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中任一所述的方法，包括將涂層夾緊在下面的導(dǎo)線輥的芯上。9.根據(jù)權(quán)利要求I至8中任一所述的方法，包括在存在鋸切懸浮液的情況下相對(duì)于エ件移動(dòng)線段。全文摘要一種由工件切分晶圓的方法，包括在鋸切操作過(guò)程中，相對(duì)于工件移動(dòng)鋸切線的以平行方式設(shè)置的線段，從而生成晶圓，其中，線段被張緊在兩個(gè)導(dǎo)線輥之間，每個(gè)導(dǎo)線輥具有特有厚度的帶溝槽的涂層；以及，借助于在涂層的端部專(zhuān)用地固定到涂層上的環(huán)，通過(guò)測(cè)量傳感器和環(huán)之間的距離，測(cè)量其中一個(gè)導(dǎo)線輥的涂層的長(zhǎng)度變化，所述變化由溫度變化導(dǎo)致；以及根據(jù)所測(cè)量的距離冷卻導(dǎo)線輥。文檔編號(hào)B28D7/00GK102689368SQ20121007455公開(kāi)日2012年9月26日申請(qǐng)日期2012年3月20日優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日發(fā)明者A·休伯,P·威斯納,R·克魯澤德,W·格馬什申請(qǐng)人:硅電子股份公司