專利名稱：包含石英噴管和原料供給金屬配管的玻璃母材的制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃母材的制造裝置，其包含生成火焰的石英噴管和向該石英噴管供給原料的金屬配管。
背景技術(shù)：
在日本特開2001-89161號公報中，記載了制造合成石英玻璃錠(ingot)的技術(shù)。 在該技術(shù)中，在原料供給裝置中使液體的硅化合物氣化，在進行流量控制的同時與載料氣體一起經(jīng)過金屬配管向石英玻璃噴管供給，將在利用氫氧焰進行的氣相水解反應(yīng)中生成的二氧化硅微粒向標靶上堆疊，并且進行熔融玻璃化，從而制造合成石英玻璃錠。在使一端與原料氣體供給裝置連接的金屬配管的另一端，連接有構(gòu)成石英玻璃噴管的石英管的一端。另外，在日本特開平5-301720號公報中，記載了雙重管構(gòu)造的玻璃噴管連接用軟管，其作為與在這種玻璃微粒的生成中使用的噴管連接的配管，設(shè)置在玻璃噴管和不銹鋼制原料氣體供給固定配管之間。該雙重管構(gòu)造的玻璃噴管連接用軟管經(jīng)由特氟隆(注冊商標)制聯(lián)管節(jié)與玻璃噴管的原料供給口連接。另外，在日本特開平8-81234號公報中，記載了將在光纖母材的制造中使用的石英制噴管與原料氣體的供給用配管、燃燒氣體的各供給用配管以及密封氣體的供給用配管連接的連接構(gòu)造。在該連接構(gòu)造中，配管的與石英制的噴管連接這一側(cè)的一部分由氟樹脂制作，其他部分由不銹鋼制作。如上述所示，作為生成玻璃微粒的噴管，通常使用由石英玻璃構(gòu)成的噴管，作為氣體的供給配管使用金屬配管。構(gòu)成上述石英玻璃噴管的石英管和金屬配管不直接連接，而是經(jīng)由由氟樹脂等具有一定程度的耐熱性及耐腐蝕性的樹脂形成的接頭進行連接。但是， 由氟樹脂構(gòu)成的接頭雖然具有大致200°C左右的耐熱性，但如果使用溫度較高，則老化加快及產(chǎn)生密封部的松弛，因此，使得溫度不很高，在抑制為大約100°C左右的環(huán)境下使用，以使得可以長時間穩(wěn)定地使用。另一方面，如果原料氣體的溫度升高，則存在玻璃微粒的堆疊密度變高、收獲率升高的傾向，因此，期望盡可能提高原料氣體的溫度，提高生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種包含石英噴管和原料供給金屬配管的玻璃母材的制造裝置，其可以盡可能提高使用溫度，提高生產(chǎn)率。為了實現(xiàn)目的，而提供一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向石英噴管供給氣體的金屬配管，其中，在構(gòu)成石英噴管的石英管的一端包含由石英玻璃構(gòu)成的第一凸緣，在金屬配管的一端包含金屬的第二凸緣，石英管和金屬配管以使第一凸緣和第二凸緣彼此抵接并密封的狀態(tài)連接。在此情況下，也可以在抵接面彼此之間夾持有碳制的墊圈。另外，也可以使各個抵接面中的一個為凹形狀，另一個為凸形狀，凹形狀以及凸形狀彼此嵌合。另外，提供一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向石英噴管供給氣體的金屬配管，其中，構(gòu)成石英噴管的石英管或者金屬配管中的某一方包含形成于連接端上的異徑部，在使另一方的連接端與異徑部嵌合，另一方的連接端的端面和異徑部的底面接近或者對接，將異徑部和與異徑部嵌合的另一方的連接端之間粘接的狀態(tài)下， 使石英管和金屬配管連接。另外，提供一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向石英噴管供給氣體的金屬配管，其中，構(gòu)成石英噴管的石英管或者金屬配管中的某一方，包含形成于連接端上的異徑部，該異徑部的內(nèi)周形成內(nèi)螺紋，在另一方的連接端的外周上形成外螺紋，在通過向異徑部中螺入連接端，從而使另一方的連接端的端面和異徑部的底面接近或者對接的狀態(tài)下，使石英管和金屬配管連接。在上述情況下，可以在端面和底面之間夾持有碳制的墊圈，也可以使端面和底面中的一個為凹形狀，另一個為凸形狀，凹形狀以及凸形狀彼此嵌合。而且，提供一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向石英噴管供給氣體的金屬配管，其中，金屬配管包含在其一端形成的異徑部，在如下狀態(tài)下使石英管和金屬配管連接構(gòu)成石英噴管的石英管的連接端與異徑部嵌合，在異徑部和石英管之間安裝筒狀的按壓部件，設(shè)置于按壓部件和異徑部的底面之間的碳制的墊圈被按壓部件的端面和異徑部的底面夾持，發(fā)生彈性變形，墊圈與異徑部的內(nèi)周面和石英管的外周面緊密接觸。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明的石英玻璃母材的制造裝置，可以不經(jīng)由樹脂配管或樹脂接頭而將構(gòu)成石英噴管的石英管和金屬配管直接連接以及進行密封。由此，可以在確保良好的密封狀態(tài)的同時，從金屬配管以高溫向石英管供給原料氣體等氣體，可以在用于形成玻璃微粒堆疊體而生成玻璃微粒等并進行堆疊時，提高收獲率，并提高生產(chǎn)率。


圖I是表示玻璃母材的制造裝置的例子的概念圖。圖2是表示本發(fā)明所涉及的玻璃母材的制造裝置所包含的石英噴管和金屬配管的例子的概念圖。圖3是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。圖4是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第一變形例的剖面圖。圖5是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第二變形例的剖面圖。圖6(a)是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第三變形例的剖面圖。圖6(b)是圖6 (a)的6b-6b剖面圖。圖7是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。圖8是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。
圖9是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。圖10是表示本發(fā)明的實施方式中的軟管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。
具體實施例方式下面，參照附圖，說明本發(fā)明的實施方式。附圖是以說明為目的的，不對發(fā)明的范圍進行限定。在附圖中，為了避免說明的重復(fù)，而以相同的標號表示同一部分。附圖中的尺寸的比例并不一定準確。圖I是玻璃母材的制造裝置10的概念圖。玻璃母材的制造裝置10是利用VAD方法進行玻璃微粒的堆疊的裝置，具有在側(cè)面設(shè)置有排氣管11的反應(yīng)容器12。在反應(yīng)容器 12的內(nèi)部下方設(shè)置有纖芯用噴管14和包層用噴管15。在反應(yīng)容器12中，從其上方向內(nèi)部懸掛初始材料13。并且，在初始材料13上利用纖芯用噴管14形成纖芯部多孔質(zhì)玻璃體21 的同時，利用包層用噴管15形成包層部多孔質(zhì)玻璃體22。初始材料13的上端部由升降裝置18的支撐軸16把持，可以利用升降裝置18進行旋轉(zhuǎn)和升降。升降裝置18通過控制裝置19對上升速度進行控制，以使由纖芯部多孔質(zhì)玻璃體21和包層部多孔質(zhì)玻璃體22構(gòu)成的玻璃微粒堆疊體20的外徑均勻。圖2是表示本發(fā)明所涉及的玻璃母材的制造裝置所包含的石英噴管和金屬配管的例子的概念圖。纖芯用噴管14是具有以同心圓狀配置的直徑不同的多個石英管31 38 的8層管噴管。纖芯用噴管14將通過火焰的水解反應(yīng)產(chǎn)生的玻璃微粒，向設(shè)置于堆疊基準點上的初始材料13噴出并堆疊。此外，在本發(fā)明中，纖芯用噴管14并不限于8層管，不對其層數(shù)及形狀進行限定。在纖芯用噴管14中，將中心的石英管31的內(nèi)部以及相鄰的石英管的間隙作為導(dǎo)入氣體并噴出的噴口。另外，在除了中心的石英管31以外的其他石英管32 38上，連接有作為氣體供給用支管的石英管42 48。并且，在成為第I層以及第2層的噴口的中心石英管31以及石英管42上，連接有從原料供給裝置50延伸的氣體供給用配管、即由不銹鋼等金屬材料形成的金屬配管51、52。從與未圖示的氣體供給裝置連接的金屬配管等，經(jīng)由特氟隆管等向石英管43 48供給氣體，其中，石英管43 48不是原料配管。在纖芯用噴管14中，向由中心的石英管31的內(nèi)部構(gòu)成的第I層的噴口以及由石英管31、32的間隙構(gòu)成的第2層的噴口，送入原料氣體以及燃燒氣體。經(jīng)由金屬配管51向石英管31中供給來自原料供給裝置50的氣體，經(jīng)由金屬配管52向石英管42供給來自原料供給裝置50的氣體。由此，纖芯用噴管14從其前端噴出燃燒氣體(H2氣)、助燃氣體(O2 氣)、載料氣體(Ar氣或者N2氣等惰性氣體)、密封氣體(Ar氣或者N2氣等惰性氣體)、原料氣體(SiCl4，作為摻雜劑的GeCl4等)，通過火焰的水解反應(yīng)生成玻璃微粒。此外，有時向第I層的噴口中僅送入原料氣體。如果向噴管供給的原料氣體的溫度升高，則存在玻璃微粒的堆疊密度變高、收獲率升高的傾向。在纖芯用噴管14中，為了提高向第I層以及第2層的噴口供給的氣體的溫度，可以在金屬配管51、52上卷繞內(nèi)置有發(fā)熱線的加熱器59，將供給氣體的溫度加熱至大約400°C左右。在纖芯用噴管14中，在石英管31和金屬配管51之間的連接部位以及石英管42和金屬配管52之間的連接部位處，對石英管31、42和金屬配管51、52直接進行連接而不使用耐熱性低的樹脂配管或樹脂接頭。第I實施方式圖3是表示本發(fā)明的第I實施方式所涉及的石英管31和金屬配管51之間的連接構(gòu)造的剖面圖。在石英管31上，在與金屬配管51的連接端上形成圓板狀的凸緣61。另外，在金屬配管51上，在與石英管31的連接端上形成圓板狀的凸緣62。金屬配管51在與石英管31相反的一側(cè)上連接有具有撓性的金屬制的軟管63，在軟管63的周圍卷繞有加熱器。并且，還可以在金屬配管51的周圍也卷繞有加熱器(參照圖2)。對于凸緣61、62，抵接面65、66平滑且彼此抵接。由此，凸緣61、62各自的抵接面 65、66彼此以面接觸的方式緊密接觸并進行密封。彼此對接的凸緣61、62被夾緊部件67夾緊。夾緊部件67沿周向隔著間隔而設(shè)置多個。由此，凸緣61、62被夾緊部件67在整個周向上牢固地夾緊。根據(jù)第I實施方式所涉及的連接構(gòu)造，可以不經(jīng)由樹脂配管或樹脂接頭而將石英管31和金屬配管51密封地連接。由此，在確保良好的密封狀態(tài)的同時，可以從金屬配管51 以高溫向石英管31供給原料氣體等氣體。因此，可以提高玻璃微粒的收獲率，提高玻璃微粒堆疊體20的生產(chǎn)率。另外，由于將石英管31和金屬配管51直接連接，所以與使用重量較重的接頭的情況相比，可以盡可能減少向纖芯用噴管14的根部施加的載荷。由此，可以消除中心的石英管31發(fā)生位移而使中心的噴口偏移，使火焰不穩(wěn)定的問題。但是，即使在該連接構(gòu)造中，也優(yōu)選設(shè)置承受軟管63的載荷的支撐構(gòu)造。圖4是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第一變形例的剖面圖。在第一變形例中，在石英管31以及金屬配管51的凸緣61、62的抵接面65、66 彼此之間夾入墊圈69。墊圈69由耐熱性優(yōu)異的碳、陶瓷等形成，以與各抵接面65、66緊密接觸的方式形成為圓板狀。根據(jù)第一變形例，可以進一步提高連接部位的密閉性，可以確保非常良好的密封性。圖5是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第二變形例的剖面圖。在第二變形例中，石英管31以及金屬配管51的凸緣61、62各自的抵接面65、 66的一方為凹形狀，另一方為凸形狀，上述凹形狀以及凸形狀以彼此嵌合的方式形成。具體地說，在石英管31的凸緣61的抵接面65中的內(nèi)周側(cè)形成凸部65a，在金屬配管51的凸緣 62的抵接面66中的內(nèi)周側(cè)形成凹部66a。并且，通過使彼此的凸緣61、62的抵接面65、66 對接，從而凸部65a與凹部66a嵌合。在第二變形例中，也可以進一步提高連接部位的密閉性，確保非常良好的密封性。圖6(a)是表示第I實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的第三變形例的剖面圖，圖6(b)是圖6(a)的6b-6b剖面圖。在第三變形例中，石英管31的凸緣 61a與石英管31分體設(shè)置,在石英管31嵌合至凸緣61a內(nèi)的狀態(tài)下,利用粘接劑75粘接而固定。凸緣61a的材質(zhì)是與石英管31相同的石英玻璃。作為粘接劑75，優(yōu)選使用例如具有 30(TC左右的耐熱性的陶瓷粘接劑(例如，> Λ 2 · / 口夕'々社，，制作的“七9 >
卜”。另外，在凸緣6la、62的抵接面65、66之間，與第一變形例相同地夾入墊圈69。另外，在第三變形例中，取代夾緊部件67，而使用圓弧狀的一對夾緊部件68以及將它們連結(jié)的多根(在本例中為3根)的緊固螺栓68a。優(yōu)選緊固螺栓68a在凸緣61a、62的周向上均勻地配置。通過將凸緣61a、62夾入一對夾緊部件68之間，并螺入緊固螺栓 68a，從而將凸緣61a、62在整個周向上牢固地夾緊。此外，也可以針對第I實施方式的其他變形例的凸緣61、62使用夾緊部件68。另外，也可以針對第三變形例的凸緣6la、62使用夾緊部件67。在第三變形例中，也可以將由石英構(gòu)成的凸緣61a和金屬配管51的凸緣62牢固地連接，確保非常良好的密封性。第2實施方式圖7是表示本發(fā)明的第2實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。在第2實施方式所涉及的連接構(gòu)造中，在金屬配管51的連接端形成異徑部71，使石英管31的連接端與異徑部71嵌合。并且，石英管31的端面73和異徑部71的底面74 相對。此外，對于端面73和底面74，不必一定使兩個面進行接觸，也可以略微分離。另外， 在金屬配管51的異徑部71和與異徑部71嵌合的石英管31的連接端之間，利用粘接劑75 粘接而固定。作為粘接劑75，可以使用例如與第I實施例的第3變形例的粘接劑75相同的粘接劑。根據(jù)第2實施方式所涉及的連接構(gòu)造，可以不經(jīng)由樹脂配管或樹脂接頭而將石英管31和金屬配管51以密封的方式直接連接。由此，可以在確保良好的密封狀態(tài)的同時，從金屬配管51以高溫向石英管31供給原料氣體等氣體，可以提高玻璃微粒的收獲率，并提高玻璃微粒堆疊體20的生產(chǎn)率。另外，在第2實施方式所涉及的連接構(gòu)造中，為了提高連接部位的密閉性，可以在端面73、底面74之間插入形成為環(huán)狀的碳制的墊圈，另外，也可以將端面73、底面74形成為凹凸形狀而彼此進行凹凸嵌合。此外，在上述的例子中，在金屬配管51上形成異徑部71， 但也可以在石英管31上形成異徑部，將金屬配管51的連接端進行嵌合，并將連接端和異徑部粘接而固定。但是，由于在石英管上形成異徑部比在金屬配管上形成異徑部困難，所以優(yōu)選將金屬配管配置于外側(cè)。第3實施方式圖8是表示本發(fā)明的第3實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。在第3實施方式所涉及的連接構(gòu)造中，在金屬配管51的連接端形成異徑部81，在異徑部81的內(nèi)周形成內(nèi)螺紋82。另外，在石英管31的連接端的外周形成外螺紋83。并且， 通過向金屬配管51的異徑部81中螺入石英管31的連接端，從而使石英管31的連接端的外螺紋83與異徑部81的內(nèi)螺紋82螺合。另外，在石英管31的連接端的端面(抵接面)85 和異徑部81的底面(抵接面)86之間，設(shè)置形成為環(huán)狀的碳制或者陶瓷制等的墊圈84，通過向金屬配管51的異徑部81中螺入石英管31的連接端，從而在各自的端面85、底面86之間夾入墊圈84。根據(jù)第3實施方式所涉及的連接構(gòu)造，可以不經(jīng)由樹脂配管或樹脂接頭而將石英管31和金屬配管51以密封的方式直接連接。由此，可以在確保良好的密封狀態(tài)的同時，從金屬配管51以高溫向石英管31供給原料氣體等氣體，可以提高玻璃微粒的收獲率，提高玻璃微粒堆疊體20的生產(chǎn)率。特別地，彼此螺合的異徑部81的內(nèi)螺紋82和石英管31的外螺紋83成為迷宮式密封，可以得到連接部位的高密封性。另外，可以通過墊圈84，防止在向金屬配管51的異徑部81中螺入石英管31的連接端時由于彼此的端面85、底面86摩擦剝落所引起的氣密不良等。此外，也可以不設(shè)置墊圈84，而是向金屬配管51的異徑部81中螺入石英管31的連接端而使彼此的端面85、底面 86直接抵接，從而進行密封連接，另外，也可以使端面85、底面86形成為凹凸形狀而彼此進行凹凸嵌合。此外，在上述的例子中，在金屬配管51上形成異徑部81，但也可以在石英管 31上形成異徑部，使金屬配管51的連接端螺入而進行連接。但是，與第2實施方式相同地， 由于在石英管上形成異徑部比在金屬配管上形成異徑部困難，所以優(yōu)選將金屬配管設(shè)置于外側(cè)。第4實施方式圖9是表示本發(fā)明的第4實施方式所涉及的石英管和金屬配管之間的連接構(gòu)造的剖面圖。在第4實施方式所涉及的連接構(gòu)造中，在金屬配管51的連接端形成異徑部91，使石英管31的連接端與異徑部91嵌合。在異徑部91的內(nèi)周面上形成有內(nèi)螺紋92。另外，向異徑部91中螺入在外周面上形成有外螺紋93的筒狀的按壓環(huán)(按壓部件)94，由此，在異徑部91和石英管31之間安裝有按壓環(huán)94。按壓環(huán)94例如由金屬、碳或者陶瓷形成。在按壓環(huán)94的端面和異徑部91的底面之間，設(shè)置有形成為環(huán)狀的碳制的墊圈95。 墊圈95通過向異徑部91中螺入按壓環(huán)94而被按壓環(huán)94的端面和異徑部91的底面夾持并進行彈性變形，該墊圈95與異徑部91的內(nèi)周面和石英管31的外周面緊密接觸。根據(jù)第4實施方式所涉及的連接構(gòu)造，可以不經(jīng)由樹脂配管或樹脂接頭而將石英管31和金屬配管51以密封的方式直接連接。由此，可以在確保良好的密封狀態(tài)的同時，從金屬配管51以高溫向石英管31供給原料氣體等氣體，可以提高玻璃微粒的收獲率，提高玻璃微粒堆疊體20的生產(chǎn)率。此外，在第I 第4實施方式中，為了在金屬配管51中的與石英管31相反的一側(cè)連接金屬制的軟管63，如圖10所示，只要使用金屬接頭98即可。金屬接頭98在兩端具有接頭部98a，使一個接頭部98a與金屬配管51接合，使另一個接頭部98a與軟管63接合。 由此，可以將金屬配管51和軟管63容易地連接。另外，在上述的實施方式中，對纖芯用噴管14的中心的石英管31和金屬配管51 之間的連接部位進行例示而說明，但本發(fā)明的連接構(gòu)造可以應(yīng)用于供給原料氣體的石英管 42和金屬配管52之間的連接部位中。另外，不僅可以應(yīng)用于利用VAD方法(氣相軸沉積法)的纖芯用噴管，也可以應(yīng)用于使用VAD方法的包層部的玻璃微粒堆疊(套層(jacket) 沉積)、0VD方法(外沉積法),MMD方法(多噴管多層沉積法)等中的石英管和金屬配管之間的連接部位。
權(quán)利要求
1.一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向所述石英噴管供給氣體的金屬配管，其特征在于，在構(gòu)成所述石英噴管的石英管的一端包含由石英玻璃構(gòu)成的第一凸緣，在所述金屬配管的一端包含金屬的第二凸緣，所述石英管和所述金屬配管以使所述第一凸緣和所述第二凸緣彼此抵接并密封的狀態(tài)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃母材的制造裝置，其特征在于，在抵接面彼此之間夾持有碳制的墊圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃母材的制造裝置，其特征在于，各個抵接面中的一個為凹形狀，另一個為凸形狀，所述凹形狀以及所述凸形狀彼此嵌口 ο
4.一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向所述石英噴管供給氣體的金屬配管，其特征在于，構(gòu)成所述石英噴管的石英管或者所述金屬配管中的某一方包含形成于連接端上的異徑部，在使另一方的連接端與所述異徑部嵌合，另一方的連接端的端面和所述異徑部的底面接近或者對接，將所述異徑部和與所述異徑部嵌合的另一方的所述連接端之間粘接的狀態(tài)下，使所述石英管和所述金屬配管連接。
5.一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向所述石英噴管供給氣體的金屬配管，其特征在于，構(gòu)成所述石英噴管的石英管或者所述金屬配管中的某一方，包含形成于連接端上的異徑部，該異徑部的內(nèi)周形成內(nèi)螺紋，在另一方的連接端的外周上形成外螺紋，在通過向所述異徑部中螺入所述連接端，從而使所述另一方的連接端的端面和所述異徑部的底面接近或者對接的狀態(tài)下，使所述石英管和所述金屬配管連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的玻璃母材的制造裝置，其特征在于，在所述端面和所述底面之間夾持有碳制的墊圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的玻璃母材的制造裝置，其特征在于，所述端面和所述底面中的一個為凹形狀，另一個為凸形狀，所述凹形狀以及所述凸形狀彼此嵌合。
8.一種玻璃母材的制造裝置，其包含噴射火焰的石英噴管以及向所述石英噴管供給氣體的金屬配管，其特征在于，所述金屬配管包含在其一端形成的異徑部，在如下狀態(tài)下使所述石英管和所述金屬配管連接構(gòu)成所述石英噴管的石英管的連接端與所述異徑部嵌合，在所述異徑部和所述石英管之間安裝筒狀的按壓部件，設(shè)置于所述按壓部件和所述異徑部的底面之間的碳制的墊圈被所述按壓部件的端面和所述異徑部的底面夾持，發(fā)生彈性變形，所述墊圈與所述異徑部的內(nèi)周面和所述石英管的外周面緊密接觸。
全文摘要
本發(fā)明提供一種包含石英噴管和金屬配管的玻璃母材的制造裝置，其可以盡可能提高溫度，提高生產(chǎn)率。在作為噴射火焰的噴管的石英管(31)和向石英管(31)供給氣體的金屬配管(51)之間的連接構(gòu)造中，在石英管(31)以及金屬配管(51)彼此的連接端上，分別形成彼此對接的凸緣(61、62)，利用凸緣(61、62)的彼此抵接的抵接面(65、66)進行密封連接。
文檔編號C03B37/018GK102603180SQ20121001680
公開日2012年7月25日 申請日期2012年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月18日
發(fā)明者幅崎利已 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社