專利名稱:磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法、磁記錄介 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法、磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法、磁記錄介質(zhì)的制造方法、以及磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造裝置。
背景技術(shù):
作為制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板(磁盤基板)的方式,可代表性地舉出:(I)經(jīng)過利用一對(duì)沖壓成形模對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形的沖壓成形工序而制造的方式(以下,有時(shí)稱為“沖壓方式”,參照專利文獻(xiàn)I 3)、以及(2)經(jīng)過將利用上浮法(float method)、下拉法(down-draw method)等形成的片狀玻璃切斷加工成圓盤狀的工序而制造的方式(以下,有時(shí)稱為“片狀玻璃切斷方式”,參照專利文獻(xiàn)4)。在專利文獻(xiàn)4所例示的現(xiàn)有的片狀玻璃切斷方式中,在經(jīng)過將片狀玻璃加工成圓盤狀的圓盤加工工序之后,作為研磨工序而實(shí)施磨削工序(粗研處理)和拋光工序(精研處理),從而得到磁記錄介質(zhì)玻璃基板。然而,在專利文獻(xiàn)4所示的片狀玻璃切斷方式中,公開了作為研磨工序僅實(shí)施拋光工序(精研處理)而省略了磨削工序(粗研處理)的情況。相對(duì)于此,在專利文獻(xiàn)I 3所例示的現(xiàn)有的沖壓方式中,通常是在利用下述方式實(shí)施了沖壓成形工序之后,進(jìn)而經(jīng)過磨削工序、拋光工序等而得到磁記錄介質(zhì)玻璃基板,其中,上述方式是指:在將熔融玻璃塊配置到下模上之后,利用上模和下模從垂直方向?qū)θ廴诓AK施加按壓力從而對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形(以下,有時(shí)稱為“垂直直接沖壓”)。在此,在專利文獻(xiàn)2所示的沖壓方式中,還提出了作為上模、下模以及配置于上模與下模之間的平行襯墊的材料而使用高剛性材料等,從而省略磨削工序。另外,在專利文獻(xiàn)3所示的沖壓方式中,提出了下述方法,S卩,為了在防止生產(chǎn)率降低的同時(shí)得到翹曲小的板狀玻璃,在沖壓成形后在沖壓成形品上配置冷卻用上模。在該方法中,通過使用冷卻用上模從而使沖壓成形品的上下兩面的冷卻狀態(tài)變得均衡。另外,在專利文獻(xiàn)3所示的沖壓方式中,還提出了除了垂直直接沖壓之外,也可以通過下述方式來(lái)實(shí)施沖壓成形工序,上述方式是指:利用在水平方向上對(duì)置配置的一對(duì)沖壓成形模從水平方向?qū)θ廴诓AK施加按壓力的方式(以下,有時(shí)稱為“水平直接沖壓”)。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本公報(bào)、特開2009-149477號(hào)(權(quán)利要求1、第0012段等)專利文獻(xiàn)2:日本公報(bào)、特開2003-54965號(hào)(權(quán)利要求、第0040、0043段、圖4 圖8等)專利文獻(xiàn)3:日本公報(bào)、特許第4380379號(hào)(第0031段、圖1 圖9等)專利文獻(xiàn)4:日本公報(bào)、 特開2003-36528號(hào)(圖3 圖6、圖8等)
發(fā)明內(nèi)容
另一方面,在提高磁記錄介質(zhì)玻璃基板的生產(chǎn)率方面,確保磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度和板厚的均勻性、以及省略或縮短以調(diào)整板厚度等為主要目的而實(shí)施的磨削工序是非常有效的。其理由是:實(shí)施磨削工序需要磨削裝置,并且,實(shí)施磨削工序會(huì)導(dǎo)致制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用的工時(shí)增加且加工時(shí)間增加。另外,實(shí)施磨削工序也會(huì)在玻璃表面上產(chǎn)生裂縫,因而目前正在研究省略磨削工序。在此,從省略或縮短磨削工序這一觀點(diǎn)出發(fā),對(duì)片狀玻璃切斷方式與沖壓方式進(jìn)行比較后可知,利用通過上浮法、下拉法等制造的高平面度的片狀玻璃進(jìn)行加工的片狀玻璃切斷方式更為有利。但是,與片狀玻璃切斷方式相比,沖壓方式也具有玻璃的利用效率高這一優(yōu)點(diǎn)。在對(duì)利用垂直直接沖壓制成的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料(以下,有時(shí)僅稱為“玻璃坯料”)實(shí)施后續(xù)加工從而制造磁記錄介質(zhì)時(shí),為了省略或縮短磨削工序,需要減小玻璃坯料的板厚偏差且提高平面度。在此,在通過垂直直接沖壓來(lái)制造玻璃坯料時(shí),下模的溫度被設(shè)定為相比熔融玻璃塊的溫度非常低的溫度,以使下模不會(huì)與高溫的熔融玻璃塊熔接。因此,在從熔融玻璃塊被配置到下模上至開始進(jìn)行沖壓成形為止的期間內(nèi),熔融玻璃塊的熱量被下模從其與下模接觸的面吸收。因此,配置在下模上的熔融玻璃塊的下表面的粘度局部升高。其結(jié)果是,由于沖壓成形是對(duì)產(chǎn)生了較大粘度分布(溫度分布)的熔融玻璃塊進(jìn)行的,因而產(chǎn)生難以通過沖壓而使其延伸的部分。另外,沖壓成形后的冷卻速度在被沖壓成形從而延伸成板狀的玻璃壓型體的不同部位也各不相同。因此,在利用垂直直接沖壓制成的玻璃坯料中,板厚偏差容易增大、或者平面度容易降低。另外,考慮到上述機(jī)理,即使是如專利文獻(xiàn)I所示那樣使用冷卻用上模進(jìn)行垂直直接沖壓,也難以從根本上抑制玻璃坯料的板厚偏差增大和平面度降低。相對(duì)于此,在專利文獻(xiàn)3所例示的水平直接沖壓中,熔融玻璃塊在其與沖壓成形模接觸的大致同時(shí)被沖壓成形為板狀。即,與垂直直接沖壓相比,在水平直接沖壓中,由于沖壓成形時(shí)熔融玻璃塊的粘度分布均勻,因而容易使熔融玻璃塊均勻地延伸成薄板狀。因此,可以認(rèn)為與垂直直接沖壓相比,根據(jù)水平直接沖壓從原理上來(lái)說(shuō)容易從根本上抑制玻璃坯料的板厚偏差增大和平面度降低。另一方面,隨著近年來(lái)磁記錄介質(zhì)的記錄密度不斷提高,而要求進(jìn)一步改善磁記錄介質(zhì)的制造中所使用的玻璃制磁記錄介質(zhì)玻璃基板或玻璃坯料的板厚偏差和平面度。但是,本發(fā)明人們經(jīng)過仔細(xì)研究后發(fā)現(xiàn),利用專利文獻(xiàn)3所述的水平直接沖壓制成的玻璃坯料,尤其在平面度方面無(wú)法滿足上述要求(第一種情況)。另外,在專利文獻(xiàn)3所例示的水平直接沖壓中使用的一體型沖壓成形模中,重力的作用方向與沖壓成形面平行。因此,與下模實(shí)質(zhì)上被固定配置且上模沿著與重力方向平行的方向移動(dòng)的垂直直接沖壓相比較,在水平直接沖壓中,呈沖壓成形面容易相對(duì)于沖壓成形模的移動(dòng)方向傾斜的趨勢(shì)。因此,在水平直接沖壓中,為了縮小板厚偏差,需要在維持相對(duì)置的沖壓成形面之間平行的狀態(tài)下進(jìn)行沖壓成形。因此,在沖壓成形時(shí)必須極其精密地控制沖壓成形模在水平方向上的移動(dòng)。但是,即使改善沖壓成形模的驅(qū)動(dòng)裝置,沖壓成形模移動(dòng)的精密程度也是有限的,因此,難以改善板厚偏差,而且成本也增加,因而缺乏實(shí)用性。因此,即使使用專利文獻(xiàn)3所例示的沖壓成形模,也難以進(jìn)一步改善板厚偏差和平面度(第二種情況)。第一本發(fā)明、第二本發(fā)明以及第三本發(fā)明的共同課題在于謀求改善平面度。在此,第一本發(fā)明和第三本發(fā)明是鑒于上述第一種情況而完成的,其課題(第一課題)在于:提供一種能夠制造平面度出色的玻璃坯料的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、以及利用該制造方法的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法和磁記錄介質(zhì)的制造方法。另外,第二本發(fā)明是鑒于上述第二種情況而完成的,其課題(第二課題)在于:提供一種即使在通過水平直接沖壓來(lái)制造玻璃坯料時(shí),也能夠制造板厚偏差和平面度更小的玻璃坯料的、磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、利用該磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法和磁記錄介質(zhì)的制造方法、以及磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造裝置。共同課題和上述第一課題是通過以下的第一本發(fā)明來(lái)實(shí)現(xiàn)。SP,第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的特征在于:至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料;在第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀,其中,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;在第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓;在取出工序中,在經(jīng)過該第二沖壓工序之后,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃取出;并且,至少在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同;在第一沖壓工序中,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸之后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓;對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi))。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選還包括將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成熔融玻璃塊的熔融玻璃塊形成工序,其中,該熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出而形成的。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選熔融玻璃的粘度在500dPa.s 1050dPa.s的范圍內(nèi)。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與熔融玻璃塊的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選即將實(shí)施第一沖壓工序之前的第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差的絕對(duì)值在o°c 100°C的范圍內(nèi)。
第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選使第二沖壓工序中的沖壓壓力呈經(jīng)時(shí)性地降低。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選在被夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃的溫度降低至構(gòu)成該板狀玻璃的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C的范圍內(nèi)時(shí)降低沖壓壓力。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選在實(shí)施第二沖壓工序的過程中,使板狀玻璃的一個(gè)面與第一沖壓成形模的沖壓成形面始終無(wú)縫隙地緊密接觸,并且使板狀玻璃的另一個(gè)面與第二沖壓成形模的沖壓成形面始終無(wú)縫隙地緊密接觸。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到4 μ m以下(4 μ m以內(nèi))。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的至少與板狀玻璃接觸的區(qū)域呈大致平坦的面。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于:在至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板;在第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀,其中,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;在第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓;在取出工序中,在經(jīng)過該第二沖壓工序之后,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃取出;并且,至少在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同;在第一沖壓工序中,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸之后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓;對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi))。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的上述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于:在至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板,進(jìn)而至少經(jīng)過在磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序而制造磁記錄介質(zhì);在第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀,其中,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;在第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓;在取出工序中,在經(jīng)過該第二沖壓工序之后,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃取出;并且,至少在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同;在第一沖壓工序中,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸之后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓;對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi))。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的上述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下。第一本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。共同課題和上述第二課題是通過以下的第二本發(fā)明來(lái)實(shí)現(xiàn)。即,第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的特征在于:至少經(jīng)過利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形的沖壓成形工序而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料,其中,第一沖壓成形模與第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;至少第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,該沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面,該導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離;沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟,在第一步驟中,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互靠近直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸為止,由此將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模分別至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,該沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面,該導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離;第一步驟通過下述方式來(lái)實(shí)施,上述方式是指:使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互靠近,直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸為止;第二步驟通過下述方式來(lái)實(shí)施,上述方式是指:在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模的沖壓成形模主體進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選還包括將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成熔融玻璃塊的熔融玻璃塊形成工序,其中,該熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出而形成的。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選熔融玻璃的粘度在500dPa.s 1050dPa.s的范圍內(nèi)。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與熔融玻璃塊的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二步驟的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到ΙΟμπι 以下(ΙΟμπι 以內(nèi))。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選對(duì)第二步驟的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使第二步驟結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選即將實(shí)施第一步驟之前的第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形模的溫度之差的絕對(duì)值在0°c 10°C的范圍內(nèi)。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選即將實(shí)施第一步驟之前的第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差的絕對(duì)值在o°c 100°C的范圍內(nèi)。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選至少在實(shí)施沖壓成形工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同,并且,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸之后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選持續(xù)進(jìn)行上述第二步驟直到板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下為止。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選使第二步驟中的沖壓壓力呈經(jīng)時(shí)性地降低。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選在被夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃的溫度降低至構(gòu)成該板狀玻璃的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C的范圍內(nèi)時(shí)降低沖壓壓力。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度在IOym以下(IOym以內(nèi))。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度在4μπι以下(4μπι以內(nèi))。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的至少與板狀玻璃接觸的區(qū)域呈大致平坦的面。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選第一沖壓成形模和第二沖壓成形模分別還設(shè)有第一推動(dòng)部件和第二推動(dòng)部件,該第一推動(dòng)部件沿著與沖壓成形面垂直的方向朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,在通過該第一推動(dòng)部件而使導(dǎo)向部件和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模的一部分接觸之后,第二推動(dòng)部件沿著與沖壓成形面垂直的方向朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于:在至少經(jīng)過沖壓成形工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板,其中,在沖壓成形工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形,該第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;至少第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,該沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面,該導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離;沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟,在第一步驟中,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互靠近直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸為止,由此將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于:在至少經(jīng)過沖壓成形工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板,進(jìn)而至少經(jīng)過在磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序而制造磁記錄介質(zhì),其中,在沖壓成形工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形,該第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;至少第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,該沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面,該導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離;沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟,在第一步驟中,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互靠近直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸為止,由此將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。第二本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造裝置的特征在于:至少具備:熔融玻璃流出管,其設(shè)有使熔融玻璃流朝向垂直方向下方側(cè)垂下的流出口 ;一對(duì)剪切刀片,其在與從熔融玻璃流出管流出的熔融玻璃流的垂下方向大致垂直的方向上以相對(duì)置的方式配置在熔融玻璃流的垂下方向的兩側(cè),并且通過從熔融玻璃流的兩側(cè)插入而將熔融玻璃流的前端部切斷,從而形成熔融玻璃塊;以及第一沖壓成形模和第二沖壓成形模,其在與朝向垂直方向下方側(cè)落下的熔融玻璃塊的下落方向大致垂直的方向上以相對(duì)置的方式配置在熔融玻璃塊的下落方向的兩側(cè),并且通過從兩側(cè)將熔融玻璃塊夾住從而將熔融玻璃塊沖壓成形為板狀玻璃;至少第一沖壓成形模至少具備:沖壓成形模主體,其設(shè)有沖壓成形面;導(dǎo)向部件,其至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離;第一推動(dòng)部件,其沿著與沖壓成形面垂直的方向朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件;以及第二推動(dòng)部件,其在通過該第一推動(dòng)部件而使導(dǎo)向部件和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸之后,沿著與沖壓成形面垂直的方向朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,包括使用一對(duì)沖壓成形模對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行直接沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃的成形工序,其中,一對(duì)沖壓成形模相對(duì)置而配置且其溫度實(shí)質(zhì)上相同,該磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的特征在于:在成形工序中,利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)擠壓熔融玻璃塊,直到熔融玻璃塊的溫度變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下為止。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的一實(shí)施方式,優(yōu)選在維持熔融玻璃塊與一對(duì)沖壓成形模緊密接觸的狀態(tài)直到熔融玻璃塊的溫度變?yōu)椴AР牧系膽?yīng)變點(diǎn)以下之后,進(jìn)行退火處理。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選成形工序包括用于確定板狀玻璃的板厚的第一沖壓工序和用于提高板狀玻璃的平面度的第二沖壓工序,并且使用一對(duì)沖壓成形模連續(xù)地進(jìn)行第一沖壓工序和第二沖壓工序。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的另一實(shí)施方式,優(yōu)選按照板狀玻璃的厚度達(dá)到2mm以下且平面度達(dá)到IOym以下的方式實(shí)施成形工序。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于:通過第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料,并對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料進(jìn)行加工從而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板。第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于:通過第三本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板,并至少經(jīng)過在磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序而制造磁記錄介質(zhì)。(發(fā)明效果)根據(jù)第一本發(fā)明和第三本發(fā)明,能夠提供可制造平面度出色的玻璃坯料的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、以及利用該方法的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法和磁記錄介質(zhì)的制造方法。根據(jù)第二本發(fā)明,能夠提供即使在通過水平直接沖壓來(lái)制造玻璃坯料時(shí),也能夠制造板厚偏差和平面度更小的玻璃坯料的、磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、利用該磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法和磁記錄介質(zhì)的制造方法、以及磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造裝置。
圖1是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的一部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖2是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖3是表示下落中的熔融玻璃塊的一例的模式剖面圖。圖4是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖5是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖6是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖7是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖8是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖9是第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖10是表不第一本實(shí)施方式的玻璃還料的制造方法中所使用的沖壓成形模的一例的模式剖面圖。圖11是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的一部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖12是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖13是表示下落中的熔融玻璃塊的一例的模式剖面圖。圖14是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖15是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖16是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖17是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖18是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。
圖19是第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的一例中對(duì)整個(gè)工序的其他部分進(jìn)行說(shuō)明的模式剖面圖。圖20是表示第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用沖壓成形模的更加具體結(jié)構(gòu)的一例的模式剖面圖。圖21是表示第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用的沖壓成形模的另一例的模式剖面圖。圖22是比較例Al中所使用的沖壓成形模的模式剖面圖。圖23是比較例A2中所使用的沖壓成形模的模式剖面圖。(符號(hào)說(shuō)明)10 熔融玻璃流出管12玻璃流出口20 熔融玻璃流·22前端部24 熔融玻璃塊26板狀玻璃30 下側(cè)刀片(剪切刀片)32主體部34 刀刃部34U(刀刃部的)上表面34B (刀刃部的)下表面40上側(cè)刀片(剪切刀片)42 主體部44刀刃部44U (刀刃部的)上表面44B(刀刃部的)下表面50 第一沖壓成形模50S沖壓成形模52 沖壓成形模主體52A沖壓成形面52B 被推動(dòng)面54導(dǎo)向部件54A 導(dǎo)向面54B被推動(dòng)面56 第一推動(dòng)部件56A推動(dòng)面56B 推動(dòng)面56A的相反側(cè)的面56H貫通孔58 第二推動(dòng)部件60第二沖壓成形模62 沖壓成形模主體62A沖壓成形面64 導(dǎo)向部件64A導(dǎo)向面110 熔融玻璃流出管112玻璃流出口120 熔融玻璃流122前端部124 熔融玻璃塊126板狀玻璃130 下側(cè)刀片(剪切刀片)132主體部134 刀刃部134U(刀刃部的)上表面134B (刀刃部的)下表面140上側(cè)刀片(剪切刀片)142 主體部144刀刃部144U (刀刃部的)上表面144B(刀刃部的)下表面150 第一沖壓成形模150S沖壓成形模152 沖壓成形模主體152A沖壓成形面152B 被推動(dòng)面154導(dǎo)向部件154A 導(dǎo)向面154B被推動(dòng)面156 第一推動(dòng)部件156A推動(dòng)面
156B推動(dòng)面156A的相反側(cè)的面 156H 貫通孔158第二推動(dòng)部件160第二沖壓成形模162沖壓成形模主體162A沖壓成形面164導(dǎo)向部件164A導(dǎo)向面170支承部件200沖壓成形模
具體實(shí)施例方式〈第一本實(shí)施方式〉(磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法)第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法(以下,有時(shí)簡(jiǎn)稱為“玻璃坯料的制造方法”)的特征在于:至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料,其中,在第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀,該第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置;在第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓;在取出工序中,在經(jīng)過該第二沖壓工序之后,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離,從而將夾持在第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間的板狀玻璃取出;并且,至少在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同;在第一沖壓工序中,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓;對(duì)上述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使上述玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi))。在此,在本申請(qǐng)說(shuō)明書中,所謂的“磁記錄介質(zhì)玻璃基板”是指由非晶質(zhì)玻璃(amorphous glass)制成的磁記錄介質(zhì)用的玻璃基板。在第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的第一沖壓工序中,與現(xiàn)有的沖壓方式同樣地是對(duì)溫度遠(yuǎn)高于玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)(strain point)從而容易變形的狀態(tài)下的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將其成形為板狀。此時(shí),在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓。此外,在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同。因此,在第一沖壓工序中被成形為板狀過程中的熔融玻璃塊、和在第二沖壓工序中被夾持在一對(duì)沖壓成形模之間的狀態(tài)下的板狀玻璃的兩面始終呈對(duì)稱地被持續(xù)冷卻。因此,與對(duì)于因?yàn)榕c下模長(zhǎng)時(shí)間接觸而產(chǎn)生了粘度分布的狀態(tài)下的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形的垂直直接沖壓相比,在第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中,沖壓成形后的板狀玻璃兩面上幾乎不會(huì)產(chǎn)生溫度差,從而能夠可靠地抑制因?yàn)閮擅娴臏囟炔疃鴮?dǎo)致平面度降低。 另一方面,第一沖壓工序剛結(jié)束后不久的板狀玻璃的溫度高從而流動(dòng)性大(粘度低)。因此,板狀玻璃處于極易變形而平面度容易變差的狀態(tài)。但是,在第一沖壓工序之后緊接著實(shí)施的第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模與第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓。而且,此時(shí)對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μπι以下(10 μπι以內(nèi))。另外,優(yōu)選按照玻璃坯料的平面度達(dá)到4μπι以下(4μπι以內(nèi))的方式控制第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間。由此,能夠使制得的玻璃坯料的平面度變得更好。另外,當(dāng)?shù)诙_壓工序的持續(xù)時(shí)間較短時(shí),會(huì)因?yàn)閿_動(dòng)(disturbance)而導(dǎo)致冷卻過程中的板狀玻璃發(fā)生翹曲,該翹曲會(huì)導(dǎo)致玻璃坯料的平面度變差。因此,改變第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,并對(duì)所得到的玻璃坯料的平面度進(jìn)行測(cè)量,按照測(cè)量出的平面度達(dá)到ΙΟμπι以下(ΙΟμπι以內(nèi))的方式設(shè)定第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,從而制成玻璃坯料。但是,當(dāng)?shù)诙_壓工序的持續(xù)時(shí)間過長(zhǎng)時(shí)生產(chǎn)率降低,因此,最好是在考慮到玻璃坯料的平面度和生產(chǎn)率之后設(shè)定第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間。從上述觀點(diǎn)來(lái)看,第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間具體來(lái)說(shuō)優(yōu)選在2秒 40秒的范圍內(nèi),更優(yōu)選在2秒 30秒的范圍內(nèi)。另外,在第二沖壓工序中,為了將玻璃坯料的平面度控制到10 μ m以下(ΙΟμπι以內(nèi)),尤其優(yōu)選按照下述方式選擇第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,其中,上述方式是指:持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓直到板狀玻璃的溫度降低至板狀玻璃的流動(dòng)性喪失從而實(shí)際上不可能發(fā)生變形的溫度范圍為止。該情況下,能夠在維持第一沖壓工序剛結(jié)束后不久的板狀玻璃的變形被抑制的狀態(tài)的同時(shí)使板狀玻璃硬化。由此,能夠使制得的玻璃坯料的平面度變得更好。在此,關(guān)于第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,優(yōu)選按照第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下的方式來(lái)選擇,更優(yōu)選按照上述板狀玻璃的溫度變?yōu)閼?yīng)變點(diǎn)+5°C的溫度以下的方式來(lái)選擇,進(jìn)一步優(yōu)選按照上述板狀玻璃的溫度變?yōu)閼?yīng)變點(diǎn)以下的方式來(lái)選擇。另一方面,第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度的下限溫度并沒有特別限定,但是,從抑制因?yàn)閷?shí)施第二沖壓工序所需的時(shí)間增加而導(dǎo)致生產(chǎn)率降低的觀點(diǎn)來(lái)看,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選為應(yīng)變點(diǎn)以上。因此,第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間的上限值也優(yōu)選從該觀點(diǎn)出發(fā)進(jìn)行選擇。在第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中,必須至少在實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序的期間內(nèi),使第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同。在此,所謂的“實(shí)質(zhì)上相同”是指:第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度的溫度差的絕對(duì)值在10°C以內(nèi)。該溫度差的絕對(duì)值更優(yōu)選為5°c以內(nèi),最優(yōu)選為0°C。在此,當(dāng)在沖壓成形面內(nèi)存在溫度分布時(shí),所謂的“沖壓成形面的溫度”是指沖壓成形面的中心部附近位置處的溫度。另外,作為參考,在垂直直接沖壓方式中,對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形過程中的上模的沖壓成形面與下模的沖壓成形面的溫度差的絕對(duì)值雖然也根據(jù)沖壓成形的條件不同而不同,但一般在50°C 100°C左右。另外,在第一沖壓工序中,在使第一沖壓成形模的沖壓成形面和第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸后對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓。在此,所謂的“大致同時(shí)接觸”是指:熔融玻璃塊與一個(gè)沖壓成形面接觸的時(shí)間點(diǎn)和熔融玻璃塊與另一個(gè)沖壓成形面接觸的時(shí)間點(diǎn)之間的時(shí)間差的絕對(duì)值在0.1秒以內(nèi)。該時(shí)間差的絕對(duì)值更優(yōu)選在0.05秒以內(nèi),最優(yōu)選為O秒。
另外,作為參考,在垂直直接沖壓方式中,從熔融玻璃塊與下模的沖壓成形面接觸后至熔融玻璃塊進(jìn)而與上模的沖壓成形面接觸為止所需的時(shí)間雖然也根據(jù)沖壓成形的條件的不同而不同,但一般為1.5秒 3秒左右。另外,即使根據(jù)現(xiàn)有的垂直直接沖壓方式,只要在利用上模和下模將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃之后,以利用上模和下模持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓的狀態(tài)將板狀玻璃冷卻至接近應(yīng)變點(diǎn)的溫度,也能夠期待大幅改善玻璃坯料的平面度。但是,該情況下,由于一塊玻璃坯料的沖壓成形所需時(shí)間大幅增加,因此,無(wú)法避免生產(chǎn)率的大幅降低從而缺乏實(shí)用性(參照專利文獻(xiàn)I的第0009段)。因此,本發(fā)明申請(qǐng)人放棄采用或?qū)嵱迷诖怪敝苯記_壓中以利用上模和下模持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓的狀態(tài)將板狀玻璃冷卻至接近應(yīng)變點(diǎn)的溫度的技術(shù),而是通過如專利文獻(xiàn)I所例示那樣利用冷卻用上模等的各種替代技術(shù)來(lái)謀求改善生產(chǎn)率和玻璃坯料的平面度。根據(jù)上述情況,可以認(rèn)為即使在通過水平直接沖壓來(lái)批量生產(chǎn)玻璃坯料的情況下,盡可能早地使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離從而將玻璃坯料取出也是極其重要的,其中,水平直接沖壓是指在利用一對(duì)沖壓成形模進(jìn)行沖壓成形這一點(diǎn)上與垂直直接沖壓相同的沖壓方式。這是因?yàn)?通過這樣,在將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃之后,容易同時(shí)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)率和玻璃坯料的平面度的改善。因此,可以認(rèn)為在通過水平直接沖壓來(lái)批量生產(chǎn)玻璃坯料的情況下,實(shí)施第二沖壓工序只會(huì)使玻璃坯料的生產(chǎn)率大幅降低從而缺乏實(shí)用性,其中,該第二沖壓工序是指:在熔融玻璃塊變?yōu)榘鍫畈Aе笠渤掷m(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓,直到該板狀玻璃的溫度變?yōu)閼?yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下的溫度為止。但是,本發(fā)明人等經(jīng)過仔細(xì)研究后發(fā)現(xiàn),即使在水平直接沖壓中實(shí)施了第二沖壓工序也未導(dǎo)致生產(chǎn)率大幅降低有損實(shí)用性的程度。其理由如下。首先,在垂直直接沖壓中,在將熔融玻璃塊配置到下模上之后進(jìn)行沖壓成形。因此,必須利用上模和下模對(duì)與下模長(zhǎng)時(shí)間接觸而產(chǎn)生較大溫度分布(粘度分布)的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形。相對(duì)于此,在水平直接沖壓中,以利用一對(duì)沖壓成形模將下落中的熔融玻璃塊夾住的方式對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形。即,在開始進(jìn)行沖壓成形之前的時(shí)間內(nèi),熔融玻璃塊不會(huì)與一個(gè)沖壓形成膜持續(xù)接觸,從而開始進(jìn)行沖壓成形時(shí)的熔融玻璃塊的溫度分布(粘度分布)極其均勻。因此,要想通過水平直接沖壓和垂直直接沖壓來(lái)制造厚度相同的玻璃坯料的情況下,相對(duì)于水平直接沖壓,在垂直直接沖壓中必須考慮到熔融玻璃塊的溫度分布而將熔融玻璃塊的平均溫度設(shè)定為更高的溫度,以通過沖壓成形而使熔融玻璃塊更加均勻地延伸成薄板狀。因此,與水平直接沖壓相比,在垂直直接沖壓中,開始進(jìn)行沖壓成形時(shí)的熔融玻璃塊的平均溫度與應(yīng)變點(diǎn)的溫度差更大。該情況(第一種情況)意味著:在水平直接沖壓和垂直直接沖壓這兩種沖壓方式中的熔融玻璃塊和板狀玻璃的冷卻速度相同的情況下,在將熔融玻璃塊成形為板狀之后進(jìn)一步將其冷卻至接近應(yīng)變點(diǎn)的溫度時(shí),與垂直直接沖壓相比水平直接沖壓所需的時(shí)間更短。而且,在假設(shè)兩種沖壓方式中的沖壓成形模的熱容量相同的情況下,熔融玻璃塊和板狀玻璃的冷卻速度取決于與熔融玻璃塊接觸的一對(duì)沖壓成形模的溫度。即,在開始進(jìn)行沖壓成形時(shí)使用溫度低的沖壓成形模的情況下冷卻速度增大,使用溫度高的沖壓成形模情況下冷卻速度降低。在此,在垂直直接沖壓中,由于在開始進(jìn)行沖壓成形之前的時(shí)間內(nèi)下模與熔融玻璃塊長(zhǎng)時(shí)間接觸,因此,在開始進(jìn)行沖壓成形之前的時(shí)間內(nèi)下模被熔融玻璃塊加熱。因此,在垂直直接沖壓中,是在一對(duì)沖壓成形模中的一個(gè)沖壓成形模(下模)呈高溫的狀態(tài)下開始進(jìn)行沖壓成形。該情況(第二種情況)意味著:與垂直直接沖壓相比,在水平直接沖壓中非常容易使熔融玻璃塊和板狀玻璃的冷卻速度變得更大。因此,考慮到上述兩種情況明確可知,與垂直直接沖壓相比,根據(jù)水平直接沖壓能夠大幅縮短將熔融玻璃塊成形為板狀后進(jìn)一步將其冷卻至接近應(yīng)變點(diǎn)的溫度所需的時(shí)間。因此,即使在水平直接沖壓中實(shí)施第二沖壓工序,也不會(huì)像垂直直接沖壓那樣發(fā)生使生產(chǎn)率大幅降低有損實(shí)用性的情況。以上所說(shuō)明的第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法,只要至少包括第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序便沒有特別限定,但是,通常優(yōu)選還包括熔融玻璃塊形成工序。以下,更加詳細(xì)地對(duì)包括熔融玻璃塊形成工序在內(nèi)的各工序進(jìn)行說(shuō)明。另外,在以下的說(shuō)明中省略了關(guān)于以上所述方面的說(shuō)明。-熔融玻璃塊形成工序-在熔融玻璃塊形成工序中,制造作為沖壓成形對(duì)象的熔融玻璃塊。熔融玻璃塊的制造方法并沒有特別限定,通常是將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成熔融玻璃塊,其中,該熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向下方側(cè)連續(xù)流出而形成的。另外,在實(shí)施從熔融玻璃流中將其前端部進(jìn)行分離的切斷時(shí),可以使用一對(duì)剪切刀片。另夕卜,關(guān)于熔融玻璃的粘度,只要是適于前端部的切斷或沖壓成形的粘度便沒有特別限定,但是,通常優(yōu)選控制為500dPa.s 1050dPa.s范圍內(nèi)的固定值。接下來(lái),根據(jù)附圖更加詳細(xì)地對(duì)熔融玻璃塊形成工序的具體例進(jìn)行說(shuō)明。在熔融玻璃塊形成工序中,如圖1所示,使熔融玻璃流20從設(shè)置于熔融玻璃流出管10的下端部的玻璃流出口 12朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出,其中,熔融玻璃流出管10的上端部與未圖示的熔融玻璃供給源連接。另一方面,在玻璃流出口 12的下方側(cè)且熔融玻璃流20的、與熔融玻璃流20的垂下方向的中心軸D大致垂直方向上的兩側(cè),分別配置有第一剪切刀片(下側(cè)刀片)30和第二剪切刀片(上側(cè)刀片)40。而且,下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40分別朝向箭頭Xl方向和箭頭X2方向移動(dòng),由此從熔融玻璃流20的兩側(cè)靠近熔融玻璃流20的前端部22側(cè),其中,箭頭Xl方向與中心軸D垂直且在圖中是從左側(cè)朝向右側(cè)前進(jìn),箭頭X2方向與中心軸D垂直且在圖中是從右側(cè)朝向左側(cè)前進(jìn)。另外,通過調(diào)節(jié)熔融玻璃流出管10或其上游的熔融玻璃供給源的溫度來(lái)控制熔融玻璃流20的粘度。另外,下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40具有大致板狀的主體部32、42以及刀刃部34、44,其中,該刀刃部34、44設(shè)置于主體部32、42的端部側(cè),并且從與熔融玻璃流20的垂下方向大致垂直的方向?qū)⒊虼怪狈较蛳路絺?cè)連續(xù)流出的熔融玻璃流20的前端部22切斷。另外,刀刃部34的上表面34U和刀刃部44的下表面44B形成為與水平面大致一致的面,刀刃部34的下表面34B和刀刃部44的上表面44U形成為以與水平面相交叉的方式傾斜的面。另外,下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40被配置為:刀刃部34的上表面34U和刀刃部44的下表面44B相對(duì)于垂直方向處于大致相同程度的高度位置上。接著,如圖2所示,按照使下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40分別進(jìn)一步朝向箭頭Xl方向和箭頭X2方向移動(dòng),從而使刀刃部34的上表面34U與刀刃部44的下表面44B局部幾乎無(wú)縫隙地重合的方式,使下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40分別沿水平方向移動(dòng)。即,使下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40相對(duì)于中心軸D垂直地交叉。由此,下側(cè)刀片30和上側(cè)刀片40插入至熔融玻璃流20的中心軸D附近位置,從而將前端部22切斷成大致球狀的熔融玻璃塊24。另外,圖2表示前端部22以熔融玻璃塊24的形式從熔融玻璃流20的主體部分被分離瞬間的狀態(tài)。而且,如圖3所示,從熔融玻璃流20切斷出的熔融玻璃塊24進(jìn)一步朝向垂直方向的下方Y(jié)l側(cè)落下。-第一沖壓工序_在第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)圖3所示的下落中的熔融玻璃塊24進(jìn)行沖壓從而將其成形為板狀,其中,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與熔融玻璃塊24的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置。在此,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模優(yōu)選在以與熔融玻璃塊24的下落方向形成90度± I度范圍內(nèi)角度的方式與熔融玻璃塊24的下落方向大致垂直的方向上對(duì)置配置,尤其優(yōu)選在與熔融玻璃塊24的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。由此,通過相對(duì)于熔融玻璃塊24的下落方向?qū)χ门渲靡粚?duì)沖壓成形模,更加容易從兩側(cè)均勻地將熔融玻璃塊24沖壓成形為板狀。另外,即將實(shí)施第一沖壓工序之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度,優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊24的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下,更優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊24的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+5°C的溫度以下。通過將沖壓成形面的溫度設(shè)在上述范圍內(nèi),在進(jìn)行沖壓成形時(shí)能夠可靠地抑制熔融玻璃塊24與沖壓成形面發(fā)生熔接。即將實(shí)施第一沖壓工序之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面溫度的下限值并沒有特別限定,但是,從防止因?yàn)槿廴诓AK24的驟冷而導(dǎo)致玻璃坯料破裂、以及防止因?yàn)闆_壓成形時(shí)的粘度急劇增加而導(dǎo)致熔融玻璃塊24的延伸性顯著降低等實(shí)用方面的觀點(diǎn)來(lái)看,優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊24的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)以上。另外,即將實(shí)施第一沖壓工序之前的、第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度之差的絕對(duì)值優(yōu)選在0°c 10°C的范圍內(nèi),更優(yōu)選在(TC 5°C的范圍內(nèi),尤其優(yōu)選為0°C。該情況下,能夠更加可靠地抑制在通過對(duì)熔融玻璃塊24進(jìn)行沖壓而被形成為板狀的板狀玻璃的兩面上產(chǎn)生溫度差,從而能夠進(jìn)一步提高平面度。另外,即將實(shí)施第一沖壓工序之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差的絕對(duì)值,優(yōu)選在0°c 100°C的范圍內(nèi),更優(yōu)選在0°C 50°C的范圍內(nèi),尤其優(yōu)選為0°c。通過將沖壓成形面內(nèi)的溫度分布設(shè)在上述范圍內(nèi),在進(jìn)行沖壓成形時(shí)更加容易使熔融玻璃塊24均勻地延伸成薄板狀。其結(jié)果是,即使在制造板厚更薄的玻璃坯料的情況下,也更加容易得到平面度良好且板厚偏差也小的玻璃坯料。需要說(shuō)明的是,所謂的“沖壓成形面的面內(nèi)溫度”是指:在沖壓成形時(shí)沖壓成形面與延伸成板狀的熔融玻璃塊24接觸的最大區(qū)域內(nèi)測(cè)量的溫度。接著,根據(jù)附圖更加具體地對(duì)第一沖壓工序進(jìn)行說(shuō)明。首先,如圖4所示,圖3所示的熔融玻璃塊24進(jìn)入到在與熔融玻璃塊24的下落方向Yl垂直的方向上對(duì)置配置的第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60之間。在此,實(shí)施沖壓成形之前的第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60被配置為:以相對(duì)于下落方向Yl呈線對(duì)稱且在與下落方向Yl垂直的方向上相互分離的方式對(duì)置。然后,為了與熔融玻璃塊24到達(dá)第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60的垂直方向中央部附近位置的時(shí)機(jī)相吻合地從兩側(cè)擠壓熔融玻璃塊24從而進(jìn)行沖壓成形,而使第一沖壓成形模50朝向與下落方向Yl垂直且在圖中從左側(cè)朝向右側(cè)前進(jìn)的箭頭Xl方向移動(dòng),使第二沖壓成形模60朝向與下落方向Yl垂直且在圖中從右側(cè)朝向左側(cè)前進(jìn)的箭頭X2方向移動(dòng)。另外,第一沖壓成形模50朝向箭頭Xl方向移動(dòng)的移動(dòng)速度和第二沖壓成形模60朝向箭頭X2方向移動(dòng)的移動(dòng)速度被設(shè)定為相同或者大致相同。在此,沖壓成形模50、60具有呈大致圓盤狀的沖壓成形模主體52、62和導(dǎo)向部件54、64,其中,導(dǎo)向部件54、64被配置為將該沖壓成形模主體52、62的外周端包圍。另外,由于圖4是剖面圖,因此,在圖4中描繪為導(dǎo)向部件54、64位于沖壓成形模主體52、62的上下兩側(cè)。另外,圖中省略了使沖壓成形模50朝向箭頭Xl方向移動(dòng)、使沖壓成形模60朝向箭頭X2方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件的記載。沖壓成形模主體52、62的一個(gè)面成為沖壓成形面52A、62A。而且,在圖4中,第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60被對(duì)置配置為各自的沖壓成形面52A、62A相對(duì)置。另夕卜,導(dǎo)向部件54在相對(duì)于沖壓成形面52A朝向Xl方向稍微突出的高度位置上設(shè)有導(dǎo)向面54A,導(dǎo)向部件64在相對(duì)于沖壓成形面62A朝向X2方向稍微突出的高度位置上設(shè)有導(dǎo)向面64A。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),導(dǎo)向面54A與導(dǎo)向面64A相抵接,因而在沖壓成形面52A與沖壓成形面62A之間形成有間隙。因此,該間隙的寬度即為在第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60之間被沖壓成形為板狀的熔融玻璃塊24的厚度、即玻璃坯料的厚度。另外,沖壓成形面52A、62A被形成為:在通過實(shí)施第一沖壓工序而使熔融玻璃塊24在第一沖壓成形模50的沖壓成形面52A與第二沖壓成形模60的沖壓成形面62A之間沿垂直方向被完全擠壓展開從而被成形為板狀玻璃時(shí),沖壓成形面52A、62A的至少與上述板狀玻璃接觸的區(qū)域(熔融玻璃延伸區(qū)域)S1、S2呈大致平坦的面。另外,在圖4所示的例子中,包括熔融玻璃延伸區(qū)域SI在內(nèi)的沖壓成形面52A和包括熔融玻璃延伸區(qū)域S2在內(nèi)的沖壓成形面62A的整個(gè)面,形成為通常所說(shuō)的實(shí)質(zhì)上曲率為O的平坦面。另外,該平坦面上僅存在微小凹凸而不存在比該微小凹凸更大的凸部和/或凹部,其中,該微小凹凸是指在制造沖壓成形模時(shí)實(shí)施通常的校平加工或鏡面研磨加工等所形成的凹凸。玻璃坯料是利用沖壓成形面52A、62A擠壓熔融玻璃塊24進(jìn)行沖壓成形而制造的。因此,沖壓成形面52A、62A的表面粗糙度與玻璃坯料主表面的表面粗糙度幾乎相同。從進(jìn)行后述的作為后工序而實(shí)施的劃線加工和使用金剛石片的磨削加工方面來(lái)看,玻璃坯料主表面的表面粗糙度(中心線平均粗糙度Ra)優(yōu)選在0.01 μ m 10 μ m的范圍內(nèi),因此,沖壓成形面的表面粗糙度(中心線平均粗糙度Ra)也優(yōu)選在0.01 μ m 10 μ m的范圍內(nèi)。圖4所示的熔融玻璃塊24進(jìn)一步朝向下方下落,并且進(jìn)入兩個(gè)沖壓成形面52A、62A之間。然后,如圖5所示,在熔融玻璃塊24到達(dá)與下落方向Yl平行的沖壓成形面52A、62A的上下方向上的大致中央部附近位置時(shí),熔融玻璃塊24的兩側(cè)表面同時(shí)或者大致同時(shí)與沖壓成形面52A、62A接觸。在此,當(dāng)也考慮到因?yàn)橄侣渲械娜廴诓AK24的粘度增大而變得難以沖壓成形、或者因?yàn)橄侣渌俣茸兊眠^快而導(dǎo)致沖壓位置產(chǎn)生變動(dòng)的觀點(diǎn)時(shí),下落距離優(yōu)選從IOOOmm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,更優(yōu)選從500mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,進(jìn)一步優(yōu)選從300mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,最優(yōu)選從200mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇。另外,下落距離的下限并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在IOOmm以上。需要說(shuō)明的是,該“下落距離”是指:從如圖2所例示前端部22以熔融玻璃塊24的形式被分離的瞬間、即下側(cè)刀片30與上側(cè)刀片40在垂直方向上重合的位置至如圖5所例示那樣的開始進(jìn)行沖壓成形時(shí)(開始進(jìn)行沖壓成形的瞬間)的位置、即與下落方向Yl平行的沖壓成形面52A、62A的徑向上的大致中央部附近位置為止的距離。然后,如圖6所示,當(dāng)利用第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60從兩側(cè)持續(xù)擠壓熔融玻璃塊24時(shí),熔融玻璃塊24以熔融玻璃塊24與沖壓成形面52A、62A最開始接觸的位置為中心以均勻的厚度被擠壓展開。然后,利用第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60持續(xù)進(jìn)行擠壓,直到如圖7所示導(dǎo)向面54A與導(dǎo)向面56A接觸為止,由此在沖壓成形面52A、62A之間形成圓盤狀或大致圓盤狀的板狀玻璃26。在此,圖7所示的板狀玻璃26具有與最終得到的玻璃坯料實(shí)質(zhì)上相同的形狀和厚度。而且,板狀玻璃26兩面的尺寸和形狀與熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2(圖7中未圖示)的尺寸和形狀一致。另外,從使熔融玻璃塊24薄板化的觀點(diǎn)來(lái)看,從圖5所示的沖壓成形開始時(shí)的狀態(tài)變?yōu)閳D7所示的導(dǎo)向面54A與導(dǎo)向面64A接觸的狀態(tài)所需的時(shí)間(以下,有時(shí)稱為“沖壓成形時(shí)間”)優(yōu)選在0.1秒以內(nèi)。另外,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),呈導(dǎo)向面54A與導(dǎo)向面64A接觸的狀態(tài),由此容易維持沖壓成形面52A與沖壓成形面62A之間的平行狀態(tài)。另外,沖壓成形時(shí)間的下限并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在0.05秒以上。另外,圖4 圖7所示的沖壓成形模50具有沖壓成形模主體52和導(dǎo)向部件54,沖壓成形模60也具有相同的結(jié)構(gòu)。但是,對(duì)于第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用的一對(duì)沖壓成形模,只要是能夠?qū)⑷廴诓AK24沖壓成形為板狀的沖壓成形模便不限于圖4 圖7所示類型的沖壓成形模。例如,作為一對(duì)沖壓成形模也可以使用下述類型的沖壓成形模,即,由從圖4 圖7所示的沖壓成形模50、60中將導(dǎo)向部件54、64省略后的沖壓成形模主體52、62構(gòu)成的類型(無(wú)導(dǎo)向部件型)。另外,圖4 圖7所不的沖壓成形模50、60可以是沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64呈一體地構(gòu)成的一體型,也可以是沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64分開構(gòu)成的分離型。另外,在沖壓成形模50、60為分離型沖壓成形模的情況下,在第一沖壓工序中,沖壓成形模主體52與導(dǎo)向部件54呈一體地同時(shí)朝向箭頭Xl方向移動(dòng),沖壓成形模主體62與導(dǎo)向部件64呈一體地同時(shí)朝向箭頭X2方向移動(dòng)。另外,由于沖壓成形模50、60分別具有導(dǎo)向部件54、64,因此,在如圖7所示導(dǎo)向部件54與導(dǎo)向部件64接觸的狀態(tài)下,沖壓成形面52A與沖壓成形面62A保持平行。因此,即使在如圖4 圖6所示那樣使沖壓成形模50朝向箭頭Xl方向移動(dòng)、使沖壓成形模60朝向箭頭X2方向移動(dòng)的過程中沖壓成形面52A與沖壓成形面62A無(wú)法維持平行狀態(tài),也容易使所得到的玻璃坯料的板厚偏差變得非常小。因此,并不要求驅(qū)動(dòng)沖壓成形模50、60的驅(qū)動(dòng)裝置具有進(jìn)行下述控制的控制能力,即,在圖4 圖7所示一系列工序中使沖壓成形面52A和沖壓成形面62A始終維持準(zhǔn)確的平行狀態(tài)。
-第二沖壓工序-在第二沖壓工序中,利用第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60持續(xù)對(duì)第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60之間形成的板狀玻璃26進(jìn)行沖壓。即,在維持圖7所示的第一沖壓工序剛結(jié)束后不久的狀態(tài)的同時(shí),利用第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60持續(xù)對(duì)板狀玻璃26進(jìn)行沖壓。而且,此時(shí)對(duì)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi))。另外,在從沖壓成形面52A、62A與熔融玻璃塊24接觸的第一沖壓工序剛開始后不久至第二沖壓工序結(jié)束時(shí)為止的期間內(nèi),位于沖壓成形面52A與沖壓成形面62A之間的玻璃(熔融玻璃塊24和板狀玻璃26)的溫度雖然也根據(jù)沖壓成形中所使用的玻璃材料的不同而不同,但是一般是從1200°C ±50°C左右大幅降低至480°C ±20°C左右。此外,由于在第二沖壓工序中也持續(xù)對(duì)板狀玻璃26進(jìn)行沖壓,因此,板狀玻璃26的流動(dòng)性也隨著時(shí)間的經(jīng)過而降低。尤其是在持續(xù)對(duì)板狀玻璃26進(jìn)行沖壓直到板狀玻璃26的溫度降低至構(gòu)成板狀玻璃26的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下的情況下,板狀玻璃26的流動(dòng)性幾乎完全喪失。因此,在第二沖壓工序中,伴隨著溫度如此大幅地降低而板狀玻璃26在徑向上發(fā)生熱收縮。另一方面,認(rèn)為在第二沖壓工序中,與板狀玻璃26的兩面接觸的沖壓成形面52A、62A持續(xù)吸收板狀玻璃26的熱量從而在平面方向上熱膨脹、或者從板狀玻璃26吸收了足夠的熱量后不再吸收熱量從而停止在平面方向上熱膨脹、或者轉(zhuǎn)為緩慢的熱收縮。S卩,在第二沖壓工序中,在板狀玻璃26的兩面與沖壓成形面52A、62A之間,兩部件之間的熱膨脹或熱收縮的程度不同。因此,在第二沖壓工序中,通過沖壓成形面52A、62A而對(duì)熱收縮狀態(tài)下的板狀玻璃26的兩面施加欲使板狀玻璃26沿徑向擴(kuò)展的力、即與熱收縮方向呈反向的力。但是,在第二沖壓工序中,由于隨著第二沖壓工序的進(jìn)行而板狀玻璃26的流動(dòng)性大幅降低,因此,對(duì)板狀玻璃26施加過多的應(yīng)力容易導(dǎo)致板狀玻璃26發(fā)生脆性斷裂。因此,當(dāng)一直持續(xù)對(duì)板狀玻璃26的兩面施加與熱收縮方向呈反向的力時(shí),會(huì)在板狀玻璃26的平面方向上產(chǎn)生過多的應(yīng)力,從而會(huì)導(dǎo)致板狀玻璃26破裂。為了防止上述那樣的板狀玻璃26的破裂,考慮到(I)作為構(gòu)成沖壓成形模50、60的材料而使用熱膨脹系數(shù)接近構(gòu)成板狀玻璃26的玻璃材料的熱膨脹系數(shù)的材料,并且,
(2)在第二沖壓工序中,使板狀玻璃26的溫度與沖壓成形面52A、62A的溫度同步地降低。但是,由于在第二沖壓工序中伴隨有大幅度的溫度變化,因此,想要實(shí)施上述那樣的冷卻,則冷卻速度必須要非常小。但是,該情況下,實(shí)施第二沖壓工序所需的時(shí)間大幅增加,因此,有可能導(dǎo)致批量生產(chǎn)率大幅降低從而缺乏實(shí)用性??紤]到以上所說(shuō)明的方面,優(yōu)選在第二沖壓工序中呈經(jīng)時(shí)性地降低沖壓壓力,以更加可靠地防止板狀玻璃26在第二沖壓工序中破裂。該情況下,通過降低沖壓壓力,板狀玻璃26的兩面與沖壓成形面52A、62A之間的摩擦系數(shù)降低。于是,在板狀玻璃26的兩面與沖壓成形面52A、62A之間產(chǎn)生滑動(dòng),從而容易中斷對(duì)板狀玻璃26的兩面施加成為破裂原因的與熱收縮方向呈反向的力。在此,所謂的“經(jīng)時(shí)性地降低沖壓壓力”不僅包括在第二沖壓工序中隨著時(shí)間的經(jīng)過而降低沖壓壓力的情況,還包括下述情況,即,即使隨著時(shí)間的經(jīng)過而出現(xiàn)沖壓壓力暫時(shí)增大或者維持固定值的情況,但當(dāng)沖壓壓力相對(duì)于時(shí)間的變化近似于一次方程時(shí)其斜度呈負(fù)值。另外,可以隨著時(shí)間的經(jīng)過而階段性地降低沖壓壓力,也可以隨著時(shí)間的經(jīng)過而連續(xù)地降低沖壓壓力。另外,在隨著時(shí)間的經(jīng)過而階段性地降低沖壓壓力的情況下,優(yōu)選在被夾持在第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60之間的板狀玻璃26的溫度降低至構(gòu)成板狀玻璃26的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C的范圍內(nèi)時(shí)降低沖壓壓力。由此,能夠通過比較簡(jiǎn)單的沖壓壓力的操作而更有效地抑制板狀玻璃26的破裂。另外,該情況下,從使可靠地抑制板狀玻璃26的破裂和抑制平面度變差的狀態(tài)保持平衡地同時(shí)實(shí)現(xiàn)的觀點(diǎn)來(lái)看,當(dāng)將降低前的沖壓壓力設(shè)為100%時(shí),降低后的沖壓壓力優(yōu)選在1% 10%左右的范圍內(nèi)。另外,在第二沖壓工序中,也可以不使沖壓壓力經(jīng)時(shí)性地降低而使沖壓壓力經(jīng)時(shí)性地呈波狀變化。該情況下,例如可以隨著時(shí)間的經(jīng)過而使沖壓壓力呈如矩形波狀或正弦波狀等那樣呈周期性地變化。該情況下,當(dāng)隨著時(shí)間的經(jīng)過而沖壓壓力接近極小值時(shí),板狀玻璃26的兩面與沖壓成形面52A、62A之間的摩擦系數(shù)降低。于是,在板狀玻璃26的兩面與沖壓成形面52A、62A之間產(chǎn)生滑動(dòng),從而容易中斷對(duì)板狀玻璃26的兩面施加成為破裂原因的與熱收縮方向呈反向的力。另外,在第二沖壓工序中,板狀玻璃26不僅僅在徑向上熱收縮而且在厚度方向上也會(huì)產(chǎn)生細(xì)微的熱收縮。因此,在實(shí)施第二沖壓工序的過程中,有時(shí)會(huì)在沖壓成形面52A或沖壓成形面62A與板狀玻璃26之間產(chǎn)生微小的縫隙。該情況下,與沖壓成形面52A和沖壓成形面62A與板狀玻璃26無(wú)縫隙地緊密接觸時(shí)相比,當(dāng)產(chǎn)生縫隙時(shí),兩部件之間的熱傳導(dǎo)效率降低。因此,容易在板狀玻璃26的兩面或面內(nèi)產(chǎn)生溫度分布。這樣的溫度分布會(huì)導(dǎo)致板狀玻璃26內(nèi)產(chǎn)生粘度分布(流動(dòng)性不勻),因此,容易使板狀玻璃26上產(chǎn)生翹曲,從而容易使所得到的玻璃坯料的平面度變差。當(dāng)考慮到以上所說(shuō)明的方面時(shí),優(yōu)選在實(shí)施第二沖壓工序的過程中,板狀玻璃26的一個(gè)面與第一沖壓成形模50的沖壓成形面52A始終無(wú)縫隙地緊密接觸,并且,板狀玻璃26的另一個(gè)面與第二沖壓成形模60的沖壓成形面62A始終無(wú)縫隙地緊密接觸。該情況下,作為一對(duì)沖壓成形??梢允褂闷錄_壓成形面相對(duì)于板狀玻璃26的厚度方向上的熱收縮的隨動(dòng)性出色的沖壓成形模。作為這樣的沖壓成形模,具體可以使用由從沖壓成形模50、60中將導(dǎo)向部件54、64省略后的沖壓成形模主體52、62構(gòu)成的無(wú)導(dǎo)向部件型的沖壓成形模、或者沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64分開構(gòu)成的分離型的沖壓成形模50、60。另外,在使用分離型的沖壓成形模50、60的情況下,在第二沖壓工序中,朝向箭頭Xl方向僅推動(dòng)沖壓成形模主體52,且朝向箭頭X2方向僅推動(dòng)沖壓成形模主體62,由此對(duì)板狀玻璃26施加沖壓壓力。-取出工序-在經(jīng)過了第二沖壓工序之后進(jìn)行取出工序,在該取出工序中,使第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60分離,從而將被夾持在第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60之間的板狀玻璃26取出。該取出工序例如可以按照以下所說(shuō)明的方式實(shí)施。首先,如圖8所示,使第一沖壓成形模50朝向箭頭X2方向移動(dòng),并使第二沖壓成形模60朝向箭頭Xl方向移動(dòng),從而使第一沖壓成形模50與第二沖壓成形模60相互分離。由此,使沖壓成形面62A與板狀玻璃26分尚。接著,如圖9所示,使沖壓成形面52A與板狀玻璃26分離(脫模),由此使板狀玻璃26朝向垂直方向的下方Y(jié)l側(cè)落下,從而將板狀玻璃26取出。另外,在使沖壓成形面52A與板狀玻璃26分離(脫模)時(shí),可以按照從板狀玻璃26的外周方向施加力從而將板狀玻璃26剝離的方式進(jìn)行分離(脫模)。該情況下,無(wú)需對(duì)板狀玻璃26施加較大的力便能夠?qū)鍫畈A?6取出。另外,在進(jìn)行取出工序時(shí),也可以是在使沖壓成形面52A與板狀玻璃26分離(脫模)之后使沖壓成形面62A與板狀玻璃26分離(脫模)。最后,根據(jù)需要對(duì)取出的板狀玻璃26進(jìn)行退火處理而減少或除去翹曲,從而得到用于加工磁記錄介質(zhì)玻璃基板的母材、即玻璃坯料。-玻璃坯料-通過以上所說(shuō)明的第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法得到的玻璃坯料的平面度可以達(dá)到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi)),而且達(dá)到4 μ m以下(4 μ m以內(nèi))也是極其容易的。另外,從省略或縮短磨削工序等以改善平面度為主要目的而實(shí)施的后工序的觀點(diǎn)來(lái)看,平面度優(yōu)選在4 μ m以下(4 μ m以內(nèi))。另外,第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法適于制造板厚更薄且平面度良好的玻璃還料。具體來(lái)說(shuō)適于制造板厚為2mm以下且平面度在10 μ m以下(ΙΟμπι以內(nèi))的玻璃坯料。更優(yōu)選的板厚為1.5mm以下,進(jìn)一步優(yōu)選的板厚為1.2mm以下,更進(jìn)一步優(yōu)選的板厚為1.0mm以下。-沖壓成形模-作為構(gòu)成沖壓成形模50、60的材料,當(dāng)考慮到耐熱性、可加工性、耐久性時(shí)優(yōu)選為金屬或合金。該情況下,當(dāng)考慮到熔融玻璃的溫度時(shí),構(gòu)成沖壓成形模50、60的金屬或合金的耐熱溫度優(yōu)選在1000°C以上,更優(yōu)選在1100°C以上。作為構(gòu)成沖壓成形模50、60的材料,具體來(lái)說(shuō)優(yōu)選為球墨鑄鐵(FCD)、合金工具鋼(SKD61等)、高速鋼(SKH)、超硬合金、鉻化硼系化合物以及鎢鉻鈷合金等。另外,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),也可以使用水或空氣等冷卻介質(zhì)對(duì)沖壓成形模50、60進(jìn)行冷卻,從而抑制沖壓成形模50、60的溫度升高。另外,為了使沖壓成形面52A、62A的面內(nèi)溫度分布變得均勻,也可以利用冷卻介質(zhì)對(duì)沖壓成形面52A、62A的中央部附近位置進(jìn)行冷卻,以及/或者,在沖壓成形模50、60的外周側(cè)配置加熱器等的加熱部件而對(duì)沖壓成形面52A、62A的外周邊緣側(cè)進(jìn)行加熱。另外,對(duì)于第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60的沖壓成形面52A、62A的至少與板狀玻璃26接觸的區(qū)域(熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2),例如可以是形成有凸部等較大的凹凸部的面,但是,通常優(yōu)選為大致平坦的面,其中,上述凸部等較大的凹凸部用于在玻璃坯料的表面上形成其深度為板厚的1/4 1/3左右的V字槽等。另外,也可以將沖壓成形面52A、62A的整個(gè)面形成為大致平坦的面。其理由是:當(dāng)在玻璃坯料上形成有較大的V字槽時(shí),容易產(chǎn)生被推測(cè)為是由V字槽部分的應(yīng)力集中引起的裂縫缺陷。此外,當(dāng)在熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2中形成有較大的凹凸部時(shí),會(huì)妨礙第二沖壓工序中板狀玻璃26在徑向上的熱收縮。因此,在板狀玻璃26的平面方向上產(chǎn)生過多的應(yīng)力,從而容易導(dǎo)致板狀玻璃26破裂。在此,該“大致平坦的面”除了通常所說(shuō)的實(shí)質(zhì)上曲率為O的平坦面之外,還指稍微形成為凸面或凹面的具有非常小的曲率的面。另外,在“大致平坦的面”上存在微小凹凸當(dāng)然是允許的,也可以根據(jù)需要而設(shè)置相比該微小凹凸更大的凸部和/或凹部,其中,上述微小凹凸是在制造沖壓成形模過程中實(shí)施通常的校平加工或鏡面研磨加工等時(shí)形成的。
在此,關(guān)于相比微小凹凸更大的凸部,只要是導(dǎo)致流動(dòng)阻力降低或者促進(jìn)熔融玻璃塊的局部性冷卻的可能性小且高度在20 μ m以下的、實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和/或?qū)嵸|(zhì)上呈線狀的凸部便是被允許的。另外,該高度優(yōu)選在ΙΟμπι以下,更優(yōu)選在5μπ 以下。另外,當(dāng)相比微小凹凸更大的凸部并非實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和實(shí)質(zhì)上呈線狀,而是其頂面的最小寬度為數(shù)毫米或超過數(shù)毫米級(jí)別的梯形凸部、或者具有與該梯形凸部相同程度的高度和尺寸的圓頂狀凸部時(shí),由于上述那樣的、導(dǎo)致流動(dòng)阻力降低或促進(jìn)熔融玻璃塊的局部性冷卻的可能性變小,因此,只要其高度在50 μπι以下便是被允許的。另外,該高度優(yōu)選在30 μ m以下,更優(yōu)選在10 μ m以下。另外,從抑制因?yàn)樘菪瓮共康牡酌媾c側(cè)面的交點(diǎn)部分處的應(yīng)力集中而產(chǎn)生裂縫的觀點(diǎn)來(lái)看,梯形凸部的側(cè)面優(yōu)選為其相對(duì)于頂面的傾斜角度為0.5度以下角度的平面、或者將該平面形成為凹面的曲面。另外,該角度更優(yōu)選在0.1度以下。另外,關(guān)于相比微小凹凸更大的凹部,只要是其深度為20μπι以下的實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和/或?qū)嵸|(zhì)上呈線狀的凹部,從而不會(huì)發(fā)生沖壓成形時(shí)流入該凹部中的熔融玻璃的流動(dòng)性變差等的情況,便是被允許的。另外,該深度優(yōu)選在ΙΟμπι以下,更優(yōu)選在5μπι以下。
另外,當(dāng)相比微小凹凸更大的凹部并非實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和實(shí)質(zhì)上呈線狀,而是其頂面的最小寬度為數(shù)毫米或者超過數(shù)毫米級(jí)別的倒梯形凹部、或者具有與該倒梯形凹部相同程度的深度和尺寸的倒圓頂狀凹部時(shí),由于上述那樣的導(dǎo)致流動(dòng)性變差的可能性變小,因此,只要其深度在50 μ m以下便是被允許的。另外,該深度優(yōu)選在30 μ m以下,更優(yōu)選在IOym以下。另外,從抑制因?yàn)榈固菪伟疾康牡酌媾c側(cè)面的交點(diǎn)部分處的應(yīng)力集中而產(chǎn)生裂縫的觀點(diǎn)來(lái)看,倒梯形凹部的側(cè)面優(yōu)選為其相對(duì)于底面的傾斜角度為0.5度以下角度的平面、或者將該平面形成為凹面的曲面。另外,該角度更優(yōu)選在0.1度以下。在第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中,如上所述,作為沖壓成形??梢岳?I)無(wú)導(dǎo)向部件型的沖壓成形模、(2)沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64呈一體地構(gòu)成的一體型的沖壓成形模50、60、(3)沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64分開構(gòu)成的分離型的沖壓成形模50、60等。在這三種類型的沖壓成形模中,從能夠以最具平衡的狀態(tài)同時(shí)實(shí)現(xiàn)更高的平面度和更小的板厚偏差的觀點(diǎn)來(lái)看,最優(yōu)選使用分離型的沖壓成形模 50,60ο在此,分離型的沖壓成形模50、60具體來(lái)說(shuō)優(yōu)選使用具有以下所示結(jié)構(gòu)的沖壓成形模。即,分離型的沖壓成形模50 (或者沖壓成形模60)優(yōu)選至少設(shè)有沖壓成形模主體52、導(dǎo)向部件54、第一推動(dòng)部件以及第二推動(dòng)部件,其中,沖壓成形模主體52具有與水平方向大致垂直的沖壓成形面52Α ;導(dǎo)向部件54至少具有下述功能,即,當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面52Α相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模60側(cè)推動(dòng)時(shí)與另一個(gè)沖壓成形模60的一部分接觸,從而將一對(duì)沖壓成形模50、60的沖壓成形面52Α、62Α之間的距離保持為大致固定的距離;第一推動(dòng)部件沿著與沖壓成形面52Α大致垂直的方向朝向另一個(gè)沖壓成形模60側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體52和導(dǎo)向部件54 ;第二推動(dòng)部件在通過第一推動(dòng)部件而使導(dǎo)向部件54與另一個(gè)沖壓成形模60的一部分接觸之后,沿著與沖壓成形面52Α大致垂直的方向朝向另一個(gè)沖壓成形模60側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體52。圖10是表示第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法中所使用的沖壓成形模的一例的模式剖面圖,具體是表示分離型的沖壓成形模50、60的一例的圖。在圖10中,對(duì)于與圖4 圖9所不部件相同的部件賦予相同的符號(hào)。另外,圖10所不的沖壓成形模50S與沖壓成形模50相對(duì)應(yīng),沖壓成形模60也可以采用相同的結(jié)構(gòu)。在此,沖壓成形模50S的主要部分由沖壓成形模主體52、導(dǎo)向部件54、第一推動(dòng)部件56以及第二推動(dòng)部件58構(gòu)成。各部件的中心軸(圖中以點(diǎn)劃線X圖示)一致,并且,中心軸與水平方向大致一致。在此,沖壓成形模主體52是由圓柱體構(gòu)成的,該圓柱體的一個(gè)端面構(gòu)成圓形的沖壓成形面52A。另外,在圖10所示例子中,沖壓成形模主體52的形狀呈圓柱狀,但是,其形狀只要是大致柱形形狀便沒有特別限定。在圖10所示的例子中,沖壓成形面52A形成為大致平坦的面。導(dǎo)向部件54是由圓筒體構(gòu)成的,該圓筒體在軸向X上的長(zhǎng)度比由圓柱體構(gòu)成的沖壓成形模主體52在軸向X上的長(zhǎng)度長(zhǎng),且其內(nèi)周側(cè)收容有沖壓成形模主體52,并且,在被第一推動(dòng)部件56推動(dòng)時(shí),該圓筒體的一個(gè)端面(導(dǎo)向面54A)與構(gòu)成另一個(gè)沖壓成形模的導(dǎo)向部件(圖中未圖示)接觸。在此,導(dǎo)向部件54在軸向X上的長(zhǎng)度與沖壓成形模主體52在軸向X上的長(zhǎng)度之差、換而言之導(dǎo)向面54A與沖壓成形面52A在軸向X上的高低差H相當(dāng)于所制得的玻璃坯料板厚的大致一半的長(zhǎng)度。另外,導(dǎo)向部件54的形狀呈圓筒狀,但是,其形狀只要是筒狀便沒有特別限定。第一推動(dòng)部件56是由圓盤狀部件構(gòu)成的。在此,該圓盤狀的第一推動(dòng)部件56的一個(gè)面(推動(dòng)面56A)是由與沖壓成形模主體52的另一端面(被推動(dòng)面52B)和導(dǎo)向部件54的另一端面(被推動(dòng)面54B)接觸的平坦面構(gòu)成。另外,在第一推動(dòng)部件56的、與沖壓成形模主體52的被推動(dòng)面52B相對(duì)置區(qū)域的一部分區(qū)域中設(shè)有貫通孔56H,該貫通孔56H沿厚度方向貫穿第一推動(dòng)部件56。另外,推動(dòng)面56A的相反側(cè)的面56B與未圖示的第一驅(qū)動(dòng)裝置連接。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),能夠通過該第一驅(qū)動(dòng)裝置并經(jīng)由第一推動(dòng)部件56而沿圖中的軸向X從配置有第一推動(dòng)部件56側(cè)朝向配置有沖壓成形模主體52和導(dǎo)向部件54側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體52和導(dǎo)向部件54。另外,在圖10所示的例子中,第一推動(dòng)部件56的形狀呈圓盤狀,但是,其形狀只要是大致板狀便沒有特別限定。另外,貫通孔56H沿著沖壓成形模主體52和第一推動(dòng)部件56的中心軸X被設(shè)置為具有圓形開口的孔,但是,可以在第一推動(dòng)部件56的、與沖壓成形模主體52的被推動(dòng)面52B相對(duì)置區(qū)域的一部分區(qū)域中的任意位置上設(shè)置任意數(shù)量的貫通孔56H。另外,貫通孔56H的開口形狀也可以適宜地進(jìn)行選擇。但是,貫通孔56H尤其優(yōu)選設(shè)置成相對(duì)于沖壓成形模主體52的中心軸X呈點(diǎn)對(duì)稱。第二推動(dòng)部件58由配置在貫通孔56H內(nèi)且與沖壓成形模主體52的被推動(dòng)面52B側(cè)連接的棒狀部件構(gòu)成。另外,在圖10所示的例子中,第二推動(dòng)部件58形成為圓柱形的棒狀,但是,只要能夠使沖壓成形模主體52沿軸向X移動(dòng),其形狀便沒有特別限定。另外,第二推動(dòng)部件58的、與被推動(dòng)面52B側(cè)連接一端的相反側(cè)端部與未圖示的第二驅(qū)動(dòng)裝置連接。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),能夠通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置并經(jīng)由第二推動(dòng)部件58而沿軸向X從配置有第二推動(dòng)部件58側(cè)朝向配置有沖壓成形模主體52側(cè)僅推動(dòng)沖壓成形模主體52。
-玻璃材料_
作為第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用的玻璃材料,只要是具有適于磁記錄介質(zhì)玻璃基板的物理性能,尤其是高熱膨脹系數(shù)、進(jìn)而高剛性或耐熱性等,并且容易通過水平直接沖壓而沖壓成形為板狀的材料,便沒有特別限定。關(guān)于熱膨脹系數(shù),最好是接近保持磁記錄介質(zhì)的保持架的熱膨脹系數(shù)。具體來(lái)說(shuō),100°c 300°C下的平均線膨脹系數(shù)優(yōu)選在70 X Kr7/°C以上,更優(yōu)選在75X 1(TV°C以上,進(jìn)一步優(yōu)選在80 X 1(TV°C以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在85X10_7/°C以上。平均線膨脹系數(shù)的上限值并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在120X10_7/°C以下。
從減少磁記錄介質(zhì)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的撓曲方面來(lái)看,最好是高剛性的玻璃材料,具體來(lái)說(shuō),楊氏模量?jī)?yōu)選在70GPa以上,更優(yōu)選在75GPa以上,進(jìn)一步優(yōu)選在80GPa以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在85GPa以上。楊氏模量的上限值并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在120GPa以下。
進(jìn)而,通過使用耐熱性出色的玻璃材料,能夠在制造磁記錄介質(zhì)的過程中對(duì)基板進(jìn)行高溫處理,因此,玻璃材料的玻化溫度優(yōu)選在600°C以上,更優(yōu)選在610°C以上,進(jìn)一步優(yōu)選在620°C以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在630°C以上。另外,?;瘻囟鹊纳舷拗挡]有特別限定,但是,從抑制沖壓成形時(shí)的溫度變?yōu)楦邷氐葘?shí)用方面來(lái)看,優(yōu)選在780°C以下。使用兼具高熱膨脹系數(shù)、高剛性、耐熱性的玻璃材料,對(duì)于得到適于高記錄密度的磁記錄介質(zhì)的玻璃基板來(lái)說(shuō)是有效的。
作為玻璃材料的組成,可以適宜地選擇容易實(shí)現(xiàn)適于磁記錄介質(zhì)玻璃基板的物理性能的組成,例如,可以適宜地選擇現(xiàn)有的垂直直接沖壓中使用的玻璃材料的玻璃組成,但是,優(yōu)選招娃酸鹽玻璃(alumino-silicate glass)。另外,關(guān)于招娃酸鹽玻璃,從容易具有平衡地兼具耐熱性、高剛性以及高熱膨脹系數(shù)的方面來(lái)看,尤其優(yōu)選為以下所示的組成。
S卩,在以摩爾百分比表示的情況下,該玻璃的玻璃組成(以下,稱為“玻璃組成I”)包括:50% 75% 的 Si02、0% 5% 的 A1203、0% 3% 的 Li20、0% 5% 的 ZnO、共計(jì) 3% 15%的選自Na2O和K2O的至少一種成分、共計(jì)14`% 35%的選自Mg0、Ca0、Sr0及BaO的至少一種成分、以及共計(jì) 2% 9% 的選自 Zr02、TiO2, La203、Y2O3> Yb2O3> Ta2O5, Nb2O5 以及 HfO2的至少一種成分,并且,摩爾比{(MgO+CaO) / (MgO+CaO+SrO+BaO)}在(λ 8 I的范圍內(nèi),摩爾比(Al2O3/ (MgO+CaO)}在O 0.30的范圍內(nèi)。
玻璃組成I的100°C 300°C下的平均線膨脹系數(shù)的優(yōu)選范圍為70X 10_7/°C以上,?;瘻囟鹊膬?yōu)選范圍為630°C以上,楊氏模量的優(yōu)選范圍為80GPa以上。玻璃組成I適合作為使用高Ku(磁各向異性能量)磁性材料的、能量輔助方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的材料。
作為具有高熱膨脹系數(shù)、耐酸性和耐堿性良好、從基板表面的堿析出少且適于化學(xué)強(qiáng)化的玻璃材料,可以舉出具有以下的玻璃組成(以下,稱為“玻璃組成2”)的材料。即,在以摩爾百分比表示的情況下,玻璃組成2包括:共計(jì)70% 85%的SiO2和Al2O3 (其中,SiO2的含有量為50%以上,Al2O3的含有量為3%以上)、共計(jì)10%以上的Li20、Na2O以及K20、共計(jì)1% 6%的MgO和Ca0(其中,CaO的含有量多于MgO的含有量)、以及共計(jì)超過0%且 4% 以下的 ZrO2、TiO2, La2O3、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5 以及 HfO2。
(磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法)
第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于,至少經(jīng)過對(duì)通過第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法制成的玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板。以下,更加詳細(xì)地對(duì)將玻璃還料加以加工從而制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板時(shí)的各工序的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
首先,對(duì)沖壓成形得到的玻璃坯料進(jìn)行劃線(scribe)。所謂的“劃線”是指:利用由超硬合金或金剛砂制成的劃線器在玻璃坯料的表面上設(shè)置兩條同心圓(內(nèi)側(cè)同心圓和外側(cè)同心圓)狀的切割線(線狀割痕),以將成形后的玻璃坯料形成為規(guī)定尺寸的環(huán)狀。對(duì)于被劃線為兩個(gè)同心圓形狀的玻璃坯料的局部進(jìn)行加熱,從而利用玻璃熱膨脹的差異而將外側(cè)同心圓的外側(cè)部分和內(nèi)側(cè)同心圓的內(nèi)側(cè)部分除去,由此,形成正圓形狀的圓盤狀玻璃。
另外,當(dāng)玻璃坯料狀態(tài)下的外徑尺寸與最終的磁記錄介質(zhì)玻璃基板(磁盤用玻璃基板)的外徑大致相同時(shí)(僅通過后述的端面研磨便可修正尺寸時(shí)),也可以取代劃線工序而對(duì)玻璃還料的成為圓孔的中心部進(jìn)行取心(coring)。
在進(jìn)行劃線加工時(shí),只要玻璃坯料主表面的粗糙度在Iym以下,便能夠使用劃線器適宜地設(shè)置切割線。另外,當(dāng)玻璃坯料主表面的粗糙度超過Iym時(shí),有時(shí)劃線器無(wú)法追隨(效仿)表面凹凸從而難以同樣地設(shè)置切割線。該情況下,在使玻璃坯料的主表面平滑化之后進(jìn)行劃線。
接著,對(duì)劃線后的玻璃進(jìn)行形狀加工。形狀加工包括倒角(外周端部和內(nèi)周端部的倒角)。在進(jìn)行倒角時(shí),利用金剛石砂輪對(duì)環(huán)狀玻璃的外周端部和內(nèi)周端部實(shí)施倒角。
接著,對(duì)圓盤狀玻璃進(jìn)行端面研磨。在進(jìn)行端面研磨時(shí),通過毛刷研磨對(duì)玻璃的內(nèi)周側(cè)端面和外周側(cè)端面進(jìn)行鏡面精加工。此時(shí),使用作為自由磨粒而含有氧化鈰等微粒的漿料。通過進(jìn)行端面研磨從而除去玻璃端面上的附著塵埃等的污染、損壞或劃傷等的損傷,由此能夠防止成為腐蝕原因的鈉或鉀等的離子析出。
接著,對(duì)圓盤狀玻璃的主表面實(shí)施第一研磨。第一研磨的目的在于除去殘留在主表面上的傷痕、翹曲。第一研磨的加工余量例如為數(shù)Pm 10 μπι左右。由于可以不用進(jìn)行加工余量大的磨削工序,因此,不會(huì)在玻璃上產(chǎn)生磨削工序中的傷痕、翹曲等。因此,第一研磨工序中的加工余量小亦可。
在第一研磨工序和后述的第二研磨工序中使用雙面研磨裝置。雙面研磨裝置是使用研磨墊并通過使圓盤狀玻璃和研磨墊相對(duì)移動(dòng)從而進(jìn)行研磨的裝置。雙面研磨裝置具有研磨用行星架安裝部以及上研磨盤和下研磨盤,其中,該研磨用行星架安裝部具有分別以規(guī)定的轉(zhuǎn)速比被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的內(nèi)齒輪和恒星齒輪,該上研磨盤和下研磨盤以?shī)A著該研磨用行星架安裝部相互反向旋轉(zhuǎn)的方式被驅(qū)動(dòng)。在上研磨盤和下研磨盤的與圓盤狀玻璃相對(duì)置的面上分別貼有后述的研磨墊。以與內(nèi)齒輪和恒星齒輪嚙合的方式安裝的研磨用行星架進(jìn)行行星齒輪運(yùn)動(dòng),從而一邊自轉(zhuǎn)一邊繞恒星齒輪公轉(zhuǎn)。
研磨用行星架上分別保持有多個(gè)圓盤狀玻璃。上研磨盤能夠朝向上下方向移動(dòng),從而將研磨墊按壓在圓盤狀玻璃的表面和背面的主表面上。然后,一邊供給含有研磨磨粒(磨料)的漿料(研磨液),一邊通過使研磨用行星架進(jìn)行行星齒輪運(yùn)動(dòng)和使上研磨盤與下研磨盤進(jìn)行反向旋轉(zhuǎn)而使圓盤狀玻璃與研磨墊相對(duì)移動(dòng),從而對(duì)圓盤狀玻璃的表面和背面的主表面進(jìn)行研磨。另外,在第一研磨工序中,作為研磨墊使用例如硬質(zhì)樹脂研磨盤,作為磨料使用例如氧化鈰磨粒。
接著,對(duì)經(jīng)過第一研磨后的圓盤狀玻璃進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化。作為化學(xué)強(qiáng)化液可以使用例如硝酸鉀的熔融鹽等。在進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化時(shí),在將化學(xué)強(qiáng)化液加熱至例如300°C 400°C、將清洗后的玻璃預(yù)熱至例如200°C 300°C之后,將玻璃在化學(xué)強(qiáng)化液中浸泡例如3小時(shí) 4小時(shí)。在進(jìn)行該浸泡時(shí),優(yōu)選在多塊玻璃以端面被保持的方式收納于保持架中的狀態(tài)下進(jìn)行,以使玻璃的兩個(gè)主表面整體被化學(xué)強(qiáng)化。
由此,通過將玻璃浸泡在化學(xué)強(qiáng)化液中,玻璃表層的鈉離子被化學(xué)強(qiáng)化液中的離子半徑相對(duì)較大的鉀離子置換,從而形成約50 μ m 200 μ m厚的壓縮應(yīng)力層。由此,玻璃被強(qiáng)化從而具備良好的抗沖擊性。另外,對(duì)化學(xué)強(qiáng)化處理后的玻璃進(jìn)行清洗。例如,在利用硫酸清洗之后,利用純水、IPA (異丙醇)等進(jìn)行清洗。
接著,對(duì)被化學(xué)強(qiáng)化且充分清洗后的玻璃實(shí)施第二研磨。第二研磨的加工余量為例如I μ m左右。
第二研磨的目的在于將主表面精加工成鏡面狀。在第二研磨工序中,與第一研磨工序同樣地使用雙面研磨裝置對(duì)圓盤狀玻璃進(jìn)行研磨,但是,所使用的研磨液(漿料)中所含的研磨磨粒和研磨墊的組成有所不同。與第一研磨工序相比,第二研磨工序中所使用的研磨磨粒的粒徑更小,研磨墊的硬度更軟。例如,在第二研磨工序中,作為研磨墊使用例如軟質(zhì)泡沫樹脂研磨盤,作為磨料使用例如比第一研磨工序中所使用的氧化鈰磨粒更細(xì)小的氧化鈰磨?;蚬枘z等。
對(duì)在第二研磨工序中被研磨的圓盤狀玻璃再次進(jìn)行清洗。清洗時(shí)使用中性洗劑、純水、IPA。通過第二研磨,得到例如主表面的平面度在4μπι以下(4μπι以內(nèi))且主表面的粗糙度(Ra)在0.2nm以下的磁盤用玻璃基板。然后,在磁盤用玻璃基板上形成(成膜)磁性層等的各種層,從而制成磁盤。
另外,化學(xué)強(qiáng)化工序是在第一研磨工序與第二研磨工序之間進(jìn)行,但并不限于該順序。只要是在第一研磨工序之后進(jìn)行第二研磨工序,便可以適宜地配置化學(xué)強(qiáng)化工序。例如,也可以是第一研磨工序、第二研磨工序、化學(xué)強(qiáng)化工序的順序(以下,稱為“工序順序I,,)。但是,在工序順序I中,由于無(wú)法除去化學(xué)強(qiáng)化工序中可能產(chǎn)生的表面凹凸,因此,更優(yōu)選為第一研磨工序、化學(xué)強(qiáng)化工序、第二研磨工序的工序順序。
另外,在制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板時(shí),也可以使加工中所使用的玻璃坯料的平面度與所制得的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。其理由是:近年來(lái),關(guān)于對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板所要求的平面度,例如對(duì)于2.5英寸的玻璃基板要求其平面度在IOym以下(10 μ m以內(nèi)),而通過第一本實(shí)施方式的玻璃還料的制造方法制成的玻璃還料能夠容易地達(dá)到上述平面度。
在此,所謂的“加工中所使用的玻璃坯料的平面度與所制得的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同”是指:在將對(duì)于磁記錄介質(zhì)玻璃基板(磁盤用玻璃基板)所要求的平面度設(shè)為100%時(shí),玻璃坯料的平面度在105%以下。
另外,當(dāng)加工中所使用的玻璃坯料的平面度與所制得的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同時(shí),能夠省略磨削工序等以改善平面度為主要目的之一而實(shí)施的工序。
(磁記錄介質(zhì)的制造方法)
第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于,至少經(jīng)過在通過第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法制成的磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)。
磁記錄介質(zhì)被稱為磁盤、硬盤等,其適合用于臺(tái)式計(jì)算機(jī)、服務(wù)器用計(jì)算機(jī)、筆記本電腦、便攜式計(jì)算機(jī)等的內(nèi)存儲(chǔ)器(固定磁盤等)、將圖像和/或聲音記錄再生的便攜式記錄再生裝置的內(nèi)存儲(chǔ)器、車載音響的記錄再生裝置等。
磁記錄介質(zhì)例如可以形成為下述那樣的結(jié)構(gòu),S卩,在磁記錄介質(zhì)玻璃基板的主表面上,從靠近該主表面一側(cè)開始依次至少層疊有附著層、基底層、磁性層(磁記錄層)、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。例如,將磁記錄介質(zhì)玻璃基板導(dǎo)入到真空的成膜裝置內(nèi),并利用直流磁控濺射法在氬氣氣氛下在磁記錄介質(zhì)玻璃基板的主表面上依次形成(成膜)附著層至磁性層的各種層。作為附著層例如可以使用CrTi,作為基底層例如可以使用CrRu。在上述成膜后,利用例如CVD(化學(xué)氣相沉積)法并使用C2H4(乙烯)氣體形成(成膜)保護(hù)層,并且,在同一腔室內(nèi)對(duì)表面進(jìn)行導(dǎo)入氮的氮化處理,由此能夠形成磁記錄介質(zhì)。然后,利用浸涂法在保護(hù)層上涂敷例如PFPE (全氟聚醚),由此能夠形成潤(rùn)滑層。
對(duì)于磁記錄介質(zhì)的尺寸并沒有特別限定,但是,由于磁記錄介質(zhì)玻璃基板是由抗沖擊性出色的玻璃材料構(gòu)成,因此,優(yōu)選為便于搬運(yùn)且遭受外部沖擊的可能性大的2.5英寸或者2.5英寸以下的尺寸。
<第二本實(shí)施方式>
(磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法及其所使用的制造裝置)
第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法(以下,有時(shí)簡(jiǎn)稱為“玻璃坯料的制造方法”),至少經(jīng)過沖壓成形工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料(以下,有時(shí)簡(jiǎn)稱為“玻璃坯料”),其中,在該沖壓成形工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形,該第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與該熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置。
在此,至少第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,其中,該沖壓成形模主體具有沖壓成形面,該導(dǎo)向部件至少具有下述功能,即,當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離。
而且,沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟,在第一步驟中,使第一沖壓成形模和第二沖壓成形模相互靠近直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸為止,由此將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
在此,在沖壓成形工序的第一步驟中,使第一沖壓成形模和第二沖壓成形模相互靠近。因此,熔融玻璃塊被第一沖壓成形模和第二沖壓成形模沖壓成形為板狀玻璃。另外,通過使第一沖壓成形模和第二沖壓成形模相互靠近,從而使第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸。因此,此時(shí),第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離被保持為大致固定的距離。因此,可以使被夾持在沖壓成形面之間狀態(tài)下的板狀玻璃的板厚偏差變得非常小。因此,也可以使最終得到的玻璃坯料的板厚偏差非常小。
但是,在第一步驟剛結(jié)束后不久的狀態(tài)下,板狀玻璃處于高溫且流動(dòng)性高從而容易變形的狀態(tài)。因此,在第一步驟剛結(jié)束后不久便使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互分離從而將板狀玻璃取出的情況下,由于板狀玻璃的兩面均未被任何部件支承,因而板狀玻璃容易變形。因此,制得的玻璃坯料的平面度變差。
因此,認(rèn)為在第一步驟結(jié)束之后,最好也將第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模相互接觸的狀態(tài)維持一段時(shí)間,從而利用沖壓成形面將板狀玻璃的兩面加以支承。其理由是:認(rèn)為在以利用沖壓成形面將板狀玻璃的兩面加以支承的狀態(tài)防止板狀玻璃變形的同時(shí)使板狀玻璃冷卻,并且在板狀玻璃的流動(dòng)性降低或者喪失后將其取出的情況下,能夠抑制玻璃坯料的平面度變差。
但是,與沖壓成形面接觸的板狀玻璃在其熱量被沖壓成形模吸收從而被冷卻的過程中會(huì)發(fā)生收縮。因此,在第一步驟結(jié)束后也持續(xù)維持第一步驟剛結(jié)束后不久的沖壓成形面之間的距離的情況下,在沖壓成形面與板狀玻璃之間產(chǎn)生間隙。因此,考慮到板狀玻璃的收縮,很難一直利用沖壓成形面來(lái)支承板狀玻璃的兩面。因此,即使在第一步驟結(jié)束后進(jìn)一步將第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模相互接觸的狀態(tài)維持一段時(shí)間,也很難抑制板狀玻璃發(fā)生變形。
然而,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。即,按照僅使第一沖壓成形模的沖壓成形模主體進(jìn)一步靠近第二沖壓成形模的沖壓成形面?zhèn)鹊姆绞竭M(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
因此,即使板狀玻璃在其厚度方向發(fā)生收縮,沖壓成形面也一直與板狀玻璃的兩面無(wú)縫隙地緊密接觸,從而將板狀玻璃的兩面加以支承。因此,在以如上所述利用沖壓成形面一直將板狀玻璃的兩面加以支承的狀態(tài)使板狀玻璃冷卻從而流動(dòng)性降低或喪失后取出的情況下,能夠更加可靠地抑制玻璃坯料的平面度變差。
另外,在第二步驟中,由導(dǎo)熱系數(shù)高于間隙中存在的空氣等氣體的固體部件構(gòu)成的沖壓成形模的沖壓成形面與板狀玻璃始終無(wú)縫隙地緊密接觸,因此,能夠通過沖壓成形模有效地吸收板狀玻璃的熱量。因此,與在沖壓成形面與板狀玻璃之間形成有間隙的情況相比,能夠進(jìn)一步促使沖壓成形中的板狀玻璃的流動(dòng)性降低。因此,在板狀玻璃與沖壓成形面分離時(shí)(第二步驟結(jié)束時(shí)),板狀玻璃呈流動(dòng)性更低從而難以變形或者不能變形的狀態(tài)。因此,從該觀點(diǎn)來(lái)看,沖壓成形后的板狀玻璃也難以發(fā)生變形,從而能夠進(jìn)一步縮小玻璃坯料的平面度。
另外,在第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中,也可以是僅第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件。該情況下,第二沖壓成形模例如可以使用由一個(gè)端面構(gòu)成沖壓成形面的柱狀體構(gòu)成的沖壓成形模等。該情況下,在第一步驟中,第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的沖壓成形面接觸。然后,在第二步驟中,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的沖壓成形面接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓(以下,有時(shí)將這樣的沖壓成形工藝稱為“第一沖壓工藝”)。
另外,在第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中,也可以是第一沖壓成形模和第二沖壓成形模分別至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件,其中,沖壓成形模主體具有沖壓成形面,導(dǎo)向部件至少具有下述功能,即,當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與沖壓成形面相對(duì)置而配置的沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與沖壓成形面相對(duì)置而配置的沖壓成形模的一部分接觸,由此將第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離。
該情況下,第一步驟通過下述方式實(shí)施,即,使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模相互靠近,直到第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸為止。而且,第二步驟通過下述方式實(shí)施,即,在第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸的狀態(tài)下,利用第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和第二沖壓成形模的沖壓成形模主體進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓(以下,有時(shí)將這樣的沖壓成形工藝稱為“第二沖壓工藝”)。
另外,在第二步驟的實(shí)施方面,第一沖壓工藝和第二沖壓工藝的任一種工藝中所使用的、至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件的沖壓成形模,尤其優(yōu)選具有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件能夠分開朝向與其相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)移動(dòng)。
第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法可以通過第一沖壓工藝和第二沖壓工藝的任一種工藝來(lái)實(shí)施。但是,在得到具有相同程度的板厚偏差和平面度的玻璃坯料的方面,從相比第一沖壓工藝而能夠進(jìn)一步縮短沖壓成形所需的時(shí)間、例如能夠縮短至第一沖壓工藝所需時(shí)間的1/3左右的觀點(diǎn)來(lái)看,尤其優(yōu)選通過第二沖壓工藝來(lái)實(shí)施。其理由是:與第一沖壓工藝相比,第二沖壓工藝中使用的一對(duì)沖壓成形模的結(jié)構(gòu)更加相似或者相同,因此,能夠更加對(duì)稱地從兩面對(duì)位于一對(duì)沖壓成形模之間的板狀玻璃實(shí)施冷卻。
以上所說(shuō)明的第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法,只要至少包括沖壓成形工序便沒有特別限定,但是,通常優(yōu)選包括熔融玻璃塊形成工序。另外,在經(jīng)過沖壓成形工序之后,實(shí)施使第一沖壓成形模與第二沖壓成形模分離從而將板狀玻璃取出的取出工序。
以下,更加詳細(xì)地對(duì)包括熔融玻璃塊形成工序和取出工序在內(nèi)的各工序進(jìn)行說(shuō)明。另外,在以下的說(shuō)明中省略了關(guān)于上述已所述方面的說(shuō)明。
-熔融玻璃塊形成工序-
在熔融玻璃塊形成工序中,制造作為沖壓成形對(duì)象的熔融玻璃塊。對(duì)于熔融玻璃塊的制造方法并沒有特別限定,通常是將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成熔融玻璃塊,其中,該熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向下方側(cè)連續(xù)地流出而形成的。另外,可以使用一對(duì)剪切刀片來(lái)切斷熔融玻璃流的前端部。另外,關(guān)于熔融玻璃的粘度,只要是適于前端部的切斷或沖壓成形的粘度便沒有特別限定,通常優(yōu)選控制為500dPa.s 1050dPa.s范圍內(nèi)的固定值。另外,即將進(jìn)行沖壓成形之前的熔融玻璃塊的粘度也優(yōu)選在上述范圍內(nèi)。
接下來(lái),根據(jù)附圖更加詳細(xì)地對(duì)熔融玻璃塊形成工序的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
在熔融玻璃塊形成工序中,如圖11所示,使熔融玻璃流120從設(shè)置于熔融玻璃流出管110的下端部的玻璃流出口 112朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出,其中,該熔融玻璃流出管110的上端部與未圖示的熔融玻璃供給源連接。
另一方面,在玻璃流出口 112的下方側(cè)且熔融玻璃流120的、與熔融玻璃流120的垂下方向的中心軸D大致垂直的方向上的兩側(cè),分別配置有第一剪切刀片(下側(cè)刀片)130和第二剪切刀片(上側(cè)刀片)140。而且,下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140分別朝向箭頭Xl方向和箭頭X2方向移動(dòng),由此從熔融玻璃流120的兩側(cè)靠近熔融玻璃流120的前端部122偵牝其中,箭頭Xl方向與中心軸D垂直且在圖中是從左側(cè)朝向右側(cè)前進(jìn),箭頭X2方向與中心軸D垂直且在圖中是從右側(cè)朝向左側(cè)前進(jìn)。另外,通過調(diào)節(jié)熔融玻璃流出管110或其上游的熔融玻璃供給源的溫度來(lái)控制熔融玻璃流120的粘度。
另外,下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140具有大致板狀的主體部132、142以及刀刃部134、144,該刀刃部134、144設(shè)置在主體部132、142的端部側(cè),并且從與熔融玻璃流120的垂下方向大致垂直的方向?qū)⒊虼怪狈较蛳路絺?cè)連續(xù)流出的熔融玻璃流120的前端部122切斷。
另外,刀刃部134的上表面134U和刀刃部144的下表面144B形成為與水平面大致一致的面,刀刃部134的下表面134B和刀刃部144的上表面144U形成為以與水平面相交叉的方式傾斜的面。另外,下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140被配置為:刀刃部134的上表面134U和刀刃部144的下表面144B相對(duì)于垂直方向處于大致相同程度的高度位置上。
接著,如圖12所示,按照通過使下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140分別進(jìn)一步朝向箭頭Xl方向和箭頭X2方向移動(dòng),從而刀刃部134的上表面134U與刀刃部144的下表面144B局部幾乎無(wú)縫隙地重合的方式,使下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140分別沿水平方向移動(dòng)。SP,使下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140相對(duì)于中心軸D垂直地交叉。
由此,下側(cè)刀片130和上側(cè)刀片140插入至熔融玻璃流120的中心軸D附近位置,從而將前端部122切斷成大致球狀的熔融玻璃塊124。另外,圖12表示前端部122以熔融玻璃塊124的形式從熔融玻璃流120的主體部分分離瞬間的狀態(tài)。而且,如圖13所示,從熔融玻璃流120切斷后的熔融玻璃塊124進(jìn)一步朝向垂直方向的下方Y(jié)l側(cè)落下。
-沖壓成形工序(第一步驟)-
在第一步驟中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)圖13所示的下落中的熔融玻璃塊124進(jìn)行沖壓從而將其成形為板狀,其中,該第一沖壓成形模和第二沖壓成形模在與熔融玻璃塊124的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置。在此,第一沖壓成形模和第二沖壓成形模優(yōu)選在以與熔融玻璃塊124的下落方向形成90度±1度角度的方式與熔融玻璃塊124的下落方向大致垂直的方向上對(duì)置配置,尤其優(yōu)選在與熔融玻璃塊124的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。由此,通過相對(duì)于熔融玻璃塊124的下落方向?qū)χ门渲靡粚?duì)沖壓成形模,更加容易從兩側(cè)均勻地將熔融玻璃塊124沖壓成形為板狀。
另外,即將實(shí)施第一步驟之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度,優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊124的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下,更優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊124的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+5°C的溫度以下。通過將沖壓成形面的溫度設(shè)在上述范圍內(nèi),在沖壓成形時(shí)能夠更加可靠地抑制熔融玻璃塊124與沖壓成形面發(fā)生熔接。
即將實(shí)施第一步驟之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面溫度的下限值并沒有特別限定,但是,從防止因?yàn)槿廴诓AK124的驟冷而導(dǎo)致玻璃坯料破裂、防止因?yàn)闆_壓成形時(shí)粘度急劇增加而導(dǎo)致熔融玻璃塊124的延伸性顯著降低等實(shí)用方面的觀點(diǎn)來(lái)看,優(yōu)選在構(gòu)成熔融玻璃塊124的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)以上。
另外,即將實(shí)施第一步驟之前的、第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度之差的絕對(duì)值優(yōu)選在0°c 10°C的范圍內(nèi),更優(yōu)選在o°c 5°C的范圍內(nèi),尤其優(yōu)選為(TC。該情況下,能夠更加可靠地抑制在通過對(duì)熔融玻璃塊124進(jìn)行沖壓而被形成為板狀的板狀玻璃的兩面上產(chǎn)生溫度差,從而能夠進(jìn)一步提高平面度。
另外,即將實(shí)施第一步驟之前的、第一沖壓成形模和第二沖壓成形模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差的絕對(duì)值優(yōu)選在O°C 100°C的范圍內(nèi),更優(yōu)選在O°C 50°C的范圍內(nèi),尤其優(yōu)選為(TC。通過將沖壓成形面內(nèi)的溫度分布設(shè)在上述范圍內(nèi),在沖壓成形時(shí)更加容易使熔融玻璃塊124均勻地延伸成薄板狀。其結(jié)果是,即使在制造板厚更薄的玻璃坯料的情況下,也更加容易得到平面度良好且板厚偏差也小的玻璃坯料。
需要說(shuō)明的是,所謂的“沖壓成形面的面內(nèi)溫度”是指在沖壓成形時(shí)沖壓成形面與延伸成板狀的熔融玻璃塊124接觸的最大區(qū)域內(nèi)測(cè)量的溫度。
接著,根據(jù)附圖更加具體地對(duì)第一步驟進(jìn)行說(shuō)明。
首先,如圖14所示,圖13所示的熔融玻璃塊124進(jìn)入到在與熔融玻璃塊124的下落方向Yl垂直的方向上對(duì)置配置的第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160之間。在此,實(shí)施沖壓成形之前的第一沖壓成形模150和第二沖壓成形模160被配置為:以相對(duì)于下落方向Yl呈線對(duì)稱且在與下落方向Yl垂直的方向上相互分離的方式相對(duì)置。
然后,為了與熔融玻璃塊124到達(dá)第一沖壓成形模具150和第二沖壓成形模具160的垂直方向上的中央部附近位置的時(shí)機(jī)相吻合地從兩側(cè)擠壓熔融玻璃塊124從而進(jìn)行沖壓成形,使第一沖壓成形模150朝向與下落方向Yl垂直且在圖中是從左側(cè)朝向右側(cè)前進(jìn)的箭頭Xl方向移動(dòng),使第二沖壓成形模160朝向與下落方向Yl垂直且在圖中是從右側(cè)朝向左側(cè)前進(jìn)的箭頭X2方向移動(dòng)。
另外,第一沖壓成形模150朝向箭頭Xl方向移動(dòng)的移動(dòng)速度和第二沖壓成形模160朝向箭頭X2方向移動(dòng)的移動(dòng)速度被設(shè)定為相同或者大致相同。
在此,沖壓成形模150、160具有呈大致圓盤狀的沖壓成形模主體152、162和導(dǎo)向部件154、164,該導(dǎo)向部件154、164被配置為將該沖壓成形模主體152、162的外周端包圍。另外,由于圖14是剖面圖,因此,在圖14中描繪為導(dǎo)向部件154、164位于沖壓成形模主體152、162的上下兩側(cè)。另外,在圖中省略了關(guān)于使沖壓成形模150朝向箭頭Xl方向移動(dòng)、使沖壓成形模160朝向箭頭X2方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部件的記載。
沖壓成形模主體152、162的一個(gè)面成為沖壓成形面152A、162A。而且,在圖14中,第一沖壓成形模150和第二沖壓成形模160被配置為以各自的沖壓成形面152A、162A相對(duì)的方式相對(duì)置。另外,導(dǎo)向部件154在相對(duì)于沖壓成形面152A朝向Xl方向稍微突出的高度位置上設(shè)有導(dǎo)向面154A,導(dǎo)向部件164在相對(duì)于沖壓成形面162A朝向X2方向稍微突出的高度位置上設(shè)有導(dǎo)向面164A。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),導(dǎo)向面154A與導(dǎo)向面164A相抵接,因而在沖壓成形面152A與沖壓成形面162A之間形成有間隙。因此,該間隙的寬度即為在第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160之間被沖壓成形為板狀的熔融玻璃塊124的厚度、即玻璃坯料的厚度。
另外,沖壓成形面152AU62A被形成為:在通過實(shí)施第一步驟而使熔融玻璃塊124在第一沖壓成形模150的沖壓成形面152A與第二沖壓成形模160的沖壓成形面162A之間沿垂直方向被完全擠壓展開從而被成形為板狀玻璃時(shí),沖壓成形面152AU62A的至少與上述板狀玻璃接觸的區(qū)域(熔融玻璃延伸區(qū)域)S1、S2呈大致平坦的面。
另外,在圖14所示的例子中,包括熔融玻璃延伸區(qū)域SI在內(nèi)的沖壓成形面152A和包括熔融玻璃延伸區(qū)域S2在內(nèi)的沖壓成形面162A的整個(gè)面形成為通常所說(shuō)的實(shí)質(zhì)上曲率為O的平坦面。另外,在該平坦面上僅存在微小凹凸而不存在相比該微小凹凸更大的凸部和/或凹部,其中,該微小凹凸是指在制造沖壓成形模過程中實(shí)施通常的校平加工或鏡面研磨加工等時(shí)所形成的凹凸。
玻璃坯料是利用沖壓成形面152AU62A擠壓熔融玻璃塊124進(jìn)行沖壓成形而制造的。因此,沖壓成形面152AU62A的表面粗糙度與玻璃坯料主表面的表面粗糙度幾乎相同。從進(jìn)行后述的作為后工序而實(shí)施的劃線加工和使用金剛石片進(jìn)行的磨削加工方面來(lái)看,玻璃坯料主表面的表面粗糙度(中心線平均粗糙度Ra)優(yōu)選在0.01 μ m 10 μ m的范圍內(nèi),因此,沖壓成形面的表面粗糙度(中心線平均粗糙度Ra)也優(yōu)選在Ο.ΟΙμπι ΙΟμπι的范圍內(nèi)。
圖14所示的熔融玻璃塊124進(jìn)一步朝向下方下落,并且進(jìn)入兩個(gè)沖壓成形面152Α、162Α之間。然后,如圖15所示,當(dāng)熔融玻璃塊124到達(dá)與下落方向Yl平行的沖壓成形面152Α、162Α的上下方向上的大致中央部附近位置時(shí),使熔融玻璃塊124的兩側(cè)表面與沖壓成形面152Α、162Α接觸。此時(shí),優(yōu)選沖壓成形面152Α和沖壓成形面162Α如圖15所示大致同時(shí)與熔融玻璃塊124接觸。
在此,所謂的“大致同時(shí)接觸”是指:熔融玻璃塊與一個(gè)沖壓成形面接觸的時(shí)間點(diǎn)和熔融玻璃塊與另一個(gè)沖壓成形面接觸的時(shí)間點(diǎn)之間的時(shí)間差的絕對(duì)值在0.1秒以內(nèi)。該時(shí)間差的絕對(duì)值更優(yōu)選在0.05秒以內(nèi),最優(yōu)選為O秒(同時(shí))。
另外,作為參考,在垂直直接沖壓方式中,從熔融玻璃塊與下模的沖壓成形面接觸后至熔融玻璃塊進(jìn)而與上模的沖壓成形面接觸為止所需的時(shí)間,雖然也根據(jù)沖壓成形的條件不同而不同,但一般在1.5秒 3秒左右。
另外,優(yōu)選沖壓成形面152Α和沖壓成形面162Α如圖15所示大致同時(shí)與熔融玻璃塊124接觸,并且,至少在實(shí)施沖壓成形工序的期間內(nèi),第一沖壓成形模150的沖壓成形面152Α的溫度與第二沖壓成形模160的沖壓成形面162Α的溫度實(shí)質(zhì)上相同。由此,在第一步驟中被成形為板狀過程中的熔融玻璃塊124、和在第二步驟中被夾持在一對(duì)沖壓成形模150、160之間狀態(tài)下的板狀玻璃的兩面始終對(duì)稱地被持續(xù)冷卻。
該情況下,與對(duì)于因?yàn)榕c下模長(zhǎng)時(shí)間接觸而產(chǎn)生了粘度分布的狀態(tài)下的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形的垂直直接沖壓相比,在沖壓成形后的板狀玻璃的兩面上幾乎未產(chǎn)生溫度差,從而能夠更加可靠地抑制因?yàn)閮擅娴臏囟炔疃鴮?dǎo)致平面度降低。
在此,所謂的“實(shí)質(zhì)上相同”是指:第一沖壓成形模150的沖壓成形面152Α的溫度與第二沖壓成形模160的沖壓成形面162Α的溫度的溫度差的絕對(duì)值在10°C以內(nèi)。該溫度差的絕對(duì)值更優(yōu)選在5°C以內(nèi),最優(yōu)選為0°C。另外,在沖壓成形面152AU62A內(nèi)存在溫度分布的情況下,所謂的“沖壓成形面的溫度”是指沖壓成形面的中心部附近位置處的溫度。
另外,作為參考,在垂直直接沖壓方式中,正在對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形時(shí)的上模的沖壓成形面與下模的沖壓成形面之間的溫度差的絕對(duì)值,雖然也根據(jù)沖壓成形的條件不同而不同,但一般在50°C 10CTC左右。
另外,當(dāng)也考慮到因?yàn)橄侣渲械娜廴诓AK124的粘度增大而變得難以進(jìn)行沖壓成形、或者因?yàn)橄侣渌俣茸兊眠^快而導(dǎo)致沖壓位置產(chǎn)生變動(dòng)的觀點(diǎn)時(shí),下落距離優(yōu)選在IOOOmm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,更優(yōu)選在500mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,進(jìn)一步優(yōu)選在300mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇,最優(yōu)選在200mm以下的范圍內(nèi)進(jìn)行選擇。另外,下落距離的下限并沒有特別限定,但從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在IOOmm以上。
需要說(shuō)明的是,該“下落距離”是指:從如圖12所例示前端部122以熔融玻璃塊124的形式被分離的瞬間、即下側(cè)刀片130與上側(cè)刀片140在垂直方向上重合的位置至如圖15所例示那樣的開始進(jìn)行沖壓成形時(shí)(開始進(jìn)行沖壓成形的瞬間)的位置、即與下落方向Yl平行的沖壓成形面152AU62A的徑向上的大致中央部附近位置為止的距離。
然后,如圖16所示,當(dāng)利用第一沖壓成形模150和第二沖壓成形模160從兩側(cè)持續(xù)擠壓熔融玻璃塊124時(shí),熔融玻璃塊124以熔融玻璃塊124與沖壓成形面152AU62A最開始接觸的位置為中心以均勻的厚度被擠壓展開。然后,利用第一沖壓成形模150和第二沖壓成形模160持續(xù)進(jìn)行擠壓,直到如圖17所示導(dǎo)向面154A與導(dǎo)向面156A接觸為止,由此在沖壓成形面152AU62A之間形成圓盤狀或大致圓盤狀的板狀玻璃126。
在此,圖17所示的板狀玻璃126具有與最終得到的玻璃坯料實(shí)質(zhì)上相同的形狀和厚度。而且,板狀玻璃126兩面的尺寸和形狀與熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2 (圖17中未圖示)的尺寸和形狀一致。另外,從使熔融玻璃塊124薄板化的觀點(diǎn)來(lái)看,從圖15所示的沖壓成形開始時(shí)的狀態(tài)變?yōu)閳D17所示的導(dǎo)向面154A與導(dǎo)向面164A接觸的狀態(tài)所需的時(shí)間(以下,有時(shí)稱為“沖壓成形時(shí)間”)優(yōu)選在0.1秒以內(nèi)。
另外,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),導(dǎo)向面154A與導(dǎo)向面164A呈接觸狀態(tài),從而容易維持沖壓成形面152A與沖壓成形面162A的平行狀態(tài)。另外,沖壓成形時(shí)間的下限并沒有特別限定,但從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在0.05秒以上。
另外,如圖14 圖17所示,沖壓成形模150具有沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154,沖壓成形模160也具有相同的結(jié)構(gòu)。在此,在第一步驟中,沖壓成形模主體152與導(dǎo)向部件154呈一體地同時(shí)朝向箭頭Xl方向移動(dòng),沖壓成形模主體162與導(dǎo)向部件164呈一體地同時(shí)朝向箭頭X2方向移動(dòng)。
另外,由于沖壓成形模150、160分別具有導(dǎo)向部件154、164,因此,在如圖17所示導(dǎo)向部件154與導(dǎo)向部件164接觸的狀態(tài)下,沖壓成形面152A與沖壓成形面162A保持平行。因此,即使在如圖14 圖16所示那樣使沖壓成形模150朝向箭頭Xl方向移動(dòng),使沖壓成形模160朝向箭頭X2方向移動(dòng)的過程中沖壓成形面152A與沖壓成形面162A無(wú)法維持平行狀態(tài),也容易使得到的玻璃坯料的板厚偏差非常小。因此,并不要求驅(qū)動(dòng)沖壓成形模150,160的驅(qū)動(dòng)裝置具有進(jìn)行下述控制的精致的控制能力,即,在圖14 圖17所示一系列工序中使沖壓成形面152A和沖壓成形面162A始終維持準(zhǔn)確的平行狀態(tài)。
-沖壓成形工序(第二步驟)-
在第二步驟中,在如圖17所示第一沖壓成形模150的導(dǎo)向部件154與第二沖壓成形模160的導(dǎo)向部件164接觸的狀態(tài)下,驅(qū)動(dòng)第一沖壓成形模150的沖壓成形模主體152朝向箭頭Xl方向移動(dòng),并且,驅(qū)動(dòng)第二沖壓成形模160的沖壓成形模主體162朝向箭頭X2方向移動(dòng)。由此,利用沖壓成形模主體152、162進(jìn)一步持續(xù)對(duì)板狀玻璃126進(jìn)行沖壓。
另外,第一步驟剛結(jié)束后不久的板狀玻璃126的溫度高從而流動(dòng)性高(粘度低)。即,板狀玻璃處于極易變形從而平面度容易變差的狀態(tài)。因此,在以板狀玻璃126未被充分冷卻而維持高流動(dòng)性的狀態(tài)結(jié)束第二步驟的情況下,在第二步驟結(jié)束后,板狀玻璃126有可能發(fā)生變形從而導(dǎo)致玻璃坯料的平面度變差。因此,優(yōu)選持續(xù)進(jìn)行第二步驟直到板狀玻璃126的溫度至少降低至構(gòu)成板狀玻璃126的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下為止。即,優(yōu)選在維持圖17所示的第一步驟剛結(jié)束后不久的狀態(tài)的同時(shí),利用沖壓成形模主體152和沖壓成形模主體162持續(xù)對(duì)板狀玻璃126進(jìn)行沖壓,直到板狀玻璃126的溫度降低至構(gòu)成板狀玻璃126的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下為止。
該情況下,板狀玻璃126被持續(xù)沖壓直到板狀玻璃126被充分冷卻而流動(dòng)性喪失從而實(shí)際上不可能發(fā)生變形的溫度范圍為止。即,能夠在維持第一步驟剛結(jié)束后不久的板狀玻璃126的變形被抑制的狀態(tài)的同時(shí)使板狀玻璃126硬化。因此,能夠使制得的玻璃坯料的平面度變得更好。
在此,優(yōu)選按照玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下(IOymWR)的方式控制第二步驟的持續(xù)時(shí)間,更優(yōu)選按照玻璃坯料的平面度達(dá)到4μπι以下(ΙΟμπι以內(nèi))的方式控制第二步驟的持續(xù)時(shí)間。另外,當(dāng)?shù)诙襟E的持續(xù)時(shí)間較短時(shí),會(huì)因?yàn)閿_動(dòng)而導(dǎo)致冷卻過程中的板狀玻璃126發(fā)生翹曲,該翹曲容易導(dǎo)致玻璃坯料的平面度變差。因此,改變第二步驟的持續(xù)時(shí)間,并對(duì)所得到的玻璃坯料的平面度進(jìn)行測(cè)量,在其測(cè)量后的平面度達(dá)到10 μ m以下(ΙΟμπι以內(nèi))時(shí)將其持續(xù)時(shí)間設(shè)定為第二步驟的持續(xù)時(shí)間,由此制造玻璃坯料較為理本巨ο
但是,第二步驟的持續(xù)時(shí)間過長(zhǎng)會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)率降低,因而優(yōu)選在考慮到玻璃坯料的平面度和生產(chǎn)率之后設(shè)定第二步驟的持續(xù)時(shí)間。從上述觀點(diǎn)來(lái)看,第二步驟的持續(xù)時(shí)間具體來(lái)說(shuō)優(yōu)選在2秒 40秒的范圍內(nèi),更優(yōu)選在2秒 30秒的范圍內(nèi)。
另外,在第二步驟中,尤其優(yōu)選按照下述方式選擇第二步驟的持續(xù)時(shí)間,以將玻璃坯料的平面度控制到10 μ m以下(10 μ m以內(nèi)),其中,上述方式是指:持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓直到板狀玻璃的溫度降低至板狀玻璃的流動(dòng)性喪失從而實(shí)際上不可能發(fā)生變形的溫度范圍內(nèi)為止。該情況下,能夠在維持第一步驟剛結(jié)束后不久的板狀玻璃126的變形被抑制的狀態(tài)的同時(shí)使板 狀玻璃126硬化。因此,能夠使制得的玻璃坯料的平面度更加良好。
在此,關(guān)于第二步驟的持續(xù)時(shí)間,優(yōu)選按照第二步驟結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度變?yōu)闃?gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下的方式進(jìn)行選擇,更優(yōu)選按照上述板狀玻璃的溫度變?yōu)閼?yīng)變點(diǎn)+5°c的溫度以下的方式進(jìn)行選擇,進(jìn)一步優(yōu)選按照上述板狀玻璃的溫度在應(yīng)變點(diǎn)以下的方式進(jìn)行選擇。另一方面,第二步驟結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度的下限溫度并沒有特別限定,但是,從抑制因?yàn)閷?shí)施第二步驟所需時(shí)間增加而導(dǎo)致生產(chǎn)率降低的觀點(diǎn)來(lái)看,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在應(yīng)變點(diǎn)以上。因此,第二步驟的持續(xù)時(shí)間的上限值也優(yōu)選從該觀點(diǎn)出發(fā)進(jìn)行選擇。
另外,在從沖壓成形面152A、162A與熔融玻璃塊124接觸的第一步驟剛開始后不久至第二步驟結(jié)束時(shí)為止的期間內(nèi),位于沖壓成形面152A與沖壓成形面162A之間的玻璃(熔融玻璃塊124和板狀玻璃126)的溫度,雖然也根據(jù)沖壓成形所使用的玻璃材料的不同而不同,但一般是從1200°C ±50°C左右大幅降低至480°C ±20°C左右。因此,在第二步驟中,伴隨著溫度如此大幅地降低而板狀玻璃126在徑向上發(fā)生熱收縮。而且,在持續(xù)進(jìn)行第二步驟直到板狀玻璃126的溫度達(dá)到更低溫的溫度范圍、尤其是構(gòu)成板狀玻璃126的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下的溫度范圍為止的情況下,上述熱收縮更加顯著。
另一方面,認(rèn)為在第二步驟中,與板狀玻璃126的兩面接觸的沖壓成形面152A、162A持續(xù)吸收板狀玻璃126的熱量從而在平面方向上熱膨脹、或者從板狀玻璃126吸收了足夠的熱量而不再吸收熱量從而停止在平面方向上熱膨脹、或轉(zhuǎn)為緩慢的熱收縮。
即,在第二步驟中,在板狀玻璃126的兩面與沖壓成形面152A、162A之間,兩部件間的熱膨脹或熱收縮的程度不同。因此,在第二步驟中,通過沖壓成形面152AU62A而對(duì)熱收縮過程中的板狀玻璃126的兩面施加欲使板狀玻璃126沿徑向擴(kuò)展的力、即與熱收縮方向呈反向的力。但是,在第二步驟中,由于隨著第二步驟的進(jìn)行而板狀玻璃126的流動(dòng)性降低,因此,對(duì)板狀玻璃126施加過多的應(yīng)力容易導(dǎo)致板狀玻璃126發(fā)生脆性斷裂。因此,當(dāng)一直持續(xù)對(duì)板狀玻璃126的兩面施加與熱收縮方向呈反向的力時(shí),在板狀玻璃126的平面方向上產(chǎn)生過多的應(yīng)力,從而導(dǎo)致板狀玻璃126破裂。
為了防止上述那樣的板狀玻璃126的破裂,考慮到(I)作為構(gòu)成沖壓成形模150、160的材料,使用熱膨脹系數(shù)接近構(gòu)成板狀玻璃126的玻璃材料的熱膨脹系數(shù)的材料,并且,(2)在第二步驟中,使板狀玻璃126的溫度與沖壓成形面152AU62A的溫度同步地降低。但是,由于在第二步驟中伴隨有大幅度的溫度變化,因此,想要實(shí)施上述那樣的冷卻,則冷卻速度必須要非常小。但是,該情況下,由于實(shí)施第二步驟所需的時(shí)間大幅增加,因此,有可能導(dǎo)致批量生產(chǎn)率大幅降低從而缺乏實(shí)用性。
考慮到以上所說(shuō)明的方面,優(yōu)選在第二步驟中經(jīng)時(shí)性地降低沖壓壓力,以更加可靠地防止板狀玻璃126在第二步驟中破裂。該情況下,隨著降低沖壓壓力,板狀玻璃126的兩面與沖壓成形面152A、162A之間的摩擦系數(shù)降低。于是,在板狀玻璃126的兩面與沖壓成形面152AU62A之間產(chǎn)生滑動(dòng),從而容易中斷對(duì)板狀玻璃126的兩面施加成為破裂原因的與熱收縮方向呈反向的力。
在此,所謂的“經(jīng)時(shí)性地降低沖壓壓力”不僅包括在第二步驟中隨著時(shí)間的經(jīng)過而降低沖壓壓力的情況,還包括下述情況,即,即使隨著時(shí)間的經(jīng)過而出現(xiàn)沖壓壓力暫時(shí)增大或者維持固定值的情況,但當(dāng)沖壓壓力相對(duì)于時(shí)間的變化近似于一次方程時(shí)其斜度呈負(fù)值。另外,可以隨著時(shí)間的經(jīng)過而階段性地降低沖壓壓力,也可以隨著時(shí)間的經(jīng)過而連續(xù)地降低沖壓壓力。
另外,在隨著時(shí)間的經(jīng)過而階段性地降低沖壓壓力的情況下,優(yōu)選在被夾持在第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160之間的板狀玻璃126的溫度降低至構(gòu)成板狀玻璃126的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C范圍內(nèi)時(shí)降低沖壓壓力。由此,能夠通過比較簡(jiǎn)單的沖壓壓力的操作而更有效地抑制板狀玻璃126的破裂。另外,該情況下,從使可靠地抑制板狀玻璃126的破裂和抑制平面度變差的狀態(tài)具有平衡地同時(shí)實(shí)現(xiàn)的觀點(diǎn)來(lái)看,當(dāng)將降低前的沖壓壓力設(shè)為100%時(shí),降低后的沖壓壓力優(yōu)選在1% 60%左右的范圍內(nèi)。
-取出工序-
在經(jīng)過第二步驟之后進(jìn)行取出工序,在該取出工序中,使第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160分離,由此將被夾持在第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160之間的板狀玻璃126取出。該取出工序例如可以按照以下所說(shuō)明方式實(shí)施。
首先,如圖18所示,使第一沖壓成形模150朝向箭頭X2方向移動(dòng),使第二沖壓成形模160朝向箭頭Xl方向移動(dòng),從而使第一沖壓成形模150與第二沖壓成形模160相互分離,由此使沖壓成形面162A與板狀玻璃126分離。
接著,如圖19所示,使沖壓成形面152A與板狀玻璃126分離(脫模),由此使板狀玻璃126朝向垂直方向的下方Y(jié)l側(cè)落下,從而將板狀玻璃126取出。另外,在使沖壓成形面152A與板狀玻璃126分離(脫模)時(shí),可以按照從板狀玻璃126的外周方向施加力從而將板狀玻璃126剝離的方式進(jìn)行分離(脫模)。該情況下,無(wú)需對(duì)板狀玻璃126施加較大的力便能夠?qū)⑵淙〕?。另外,在進(jìn)行取出工序時(shí),也可以是在使沖壓成形面152A與板狀玻璃126分離(脫模)之后使沖壓成形面162A與板狀玻璃126分離(脫模)。
最后,根據(jù)需要對(duì)取出的板狀玻璃126進(jìn)行退火處理從而減少或除去翹曲,由此得到用于加工磁記錄介質(zhì)玻璃基板的母材、即玻璃坯料。
-玻璃坯料-
通過以上所說(shuō)明的第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法得到的玻璃坯料的平面度可以達(dá)到例如10 μ m以下(10 μ m以內(nèi)),而且達(dá)到4 μ m以下(4 μ m以內(nèi))也是極其容易的。另外,從省略或縮短磨削工序等以改善平面度為主要目的而實(shí)施的后工序的觀點(diǎn)來(lái)看,平面度優(yōu)選在4 μ m以下(4 μ m以內(nèi))。
另外,第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法也適于制造板厚更薄且平面度良好的玻璃還料。具體來(lái)說(shuō)適于制造板厚為2mm以下且平面度在10 μ m以下(ΙΟμπι以內(nèi))的玻璃還料。更優(yōu)選的板厚為1.5mm以下,進(jìn)一步優(yōu)選的板厚為1.2mm以下,更進(jìn)一步優(yōu)選的板厚為1.0mm以下。
-沖壓成形模-
第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用的沖壓成形模150至少具有沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154。而且,沖壓成形模160也至少具有沖壓成形模主體162和導(dǎo)向部件164,其具有與沖壓成形模150同樣的結(jié)構(gòu)。以下,以沖壓成形模150為例進(jìn)行說(shuō)明。
首先,沖壓成形模150的沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154是分開構(gòu)成的。因此,在第一步驟中,能夠驅(qū)動(dòng)沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154呈一體地朝向與其相對(duì)置而配置的沖壓成形模160側(cè)進(jìn)行移動(dòng),并且,在第二步驟中,能夠相對(duì)于導(dǎo)向部件154而僅驅(qū)動(dòng)沖壓成形模主體152相對(duì)地朝向與其相對(duì)置而配置的沖壓成形模160側(cè)進(jìn)行移動(dòng)。因而,由于沖壓成形模150具有上述的結(jié)構(gòu)和功能,因此,能夠進(jìn)一步縮小玻璃坯料的板厚偏差和平面度。
另外,在僅注重于縮小板厚偏差的情況下,可以利用沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154呈一體地形成的沖壓成形模。但是,在利用這種類型的沖壓成形模的情況下,無(wú)法相對(duì)于導(dǎo)向部件154僅驅(qū)動(dòng)沖壓成形模主體152從而使沖壓成形模主體152相對(duì)地朝向與其相對(duì)置而配置的沖壓成形模160側(cè)進(jìn)行移動(dòng)。因此,即使在第一步驟結(jié)束后繼續(xù)維持導(dǎo)向部件154與導(dǎo)向部件164接觸的狀態(tài),也無(wú)法使沖壓成形面152AU62A與板狀玻璃126的兩面始終無(wú)縫隙地緊密接觸從而將板狀玻璃126的兩面加以支承。因此,玻璃坯料的平面度容易變差。
另外,在僅注重于縮小平面度的情況下,可以利用不具有導(dǎo)向部件154的沖壓成形模(無(wú)導(dǎo)向部件的成形模)。在利用這種類型的沖壓成形模的情況下,即使在將熔融玻璃塊124沖壓成形為板狀玻璃126之后,也能夠使沖壓成形面152AU62A與板狀玻璃126的兩面始終無(wú)縫隙地緊密接觸從而將板狀玻璃126的兩面加以支承。但是,由于不存在導(dǎo)向部件154、164,因此,必須要極其精密地驅(qū)動(dòng)沖壓成形模,否則難以以沖壓成形面152A和沖壓成形面162A準(zhǔn)確地保持平行的狀態(tài)進(jìn)行沖壓成形。因此,玻璃坯料的板厚偏差容易變大。
考慮到以上所說(shuō)明方面,至少設(shè)有分開構(gòu)成的導(dǎo)向部件154和沖壓成形模主體152的沖壓成形模150 (和沖壓成形模160),在能夠具有平衡地改善玻璃坯料的板厚偏差和平面度這兩者的方面極為有利。
作為構(gòu)成沖壓成形模150、160的材料,考慮到其耐熱性、可加工性、耐久性而優(yōu)選為金屬或合金。該情況下,考慮到熔融玻璃的溫度時(shí),構(gòu)成沖壓成形模150、160的金屬或合金的耐熱溫度優(yōu)選在1000°C以上,更優(yōu)選在1100°C以上。作為構(gòu)成沖壓成形模150、160的材料,具體來(lái)說(shuō)優(yōu)選為球墨鑄鐵(FCD)、合金工具鋼(SKD61等)、高速鋼(SKH)、超硬合金、鉻化硼系化合物、鎢鉻鈷合金等。另外,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),也可以使用水或空氣等冷卻介質(zhì)對(duì)沖壓成形模150、160進(jìn)行冷卻,從而抑制沖壓成形模150、160的溫度升高。
另外,為了使沖壓成形面152A、162A面內(nèi)的溫度分布變得均勻,也可以利用冷卻介質(zhì)對(duì)沖壓成形面152A、162A的中央部附近位置進(jìn)行冷卻,以及/或者,在沖壓成形模150、160的外周側(cè)配置加熱器等加熱部件從而對(duì)沖壓成形面152A、162A的外周邊緣側(cè)進(jìn)行加熱。
另外,第一沖壓成形模150和第二沖壓成形模160的沖壓成形面152A、162A的至少與板狀玻璃126接觸的區(qū)域(熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2),例如可以是形成有凸部等較大的凹凸部的面,但是,通常優(yōu)選為大致平坦的面,其中,上述凸部等較大的凹凸部用于在玻璃坯料的表面上形成其深度為板厚的1/4 1/3左右的V字槽等。
另外,也可以將沖壓成形面152AU62A的整個(gè)面形成為大致平坦的面。其理由是:當(dāng)玻璃坯料上形成有較大的V字槽時(shí),容易發(fā)生被推測(cè)為是由V字槽部分的應(yīng)力集中引起的裂縫缺陷。此外,當(dāng)熔融玻璃延伸區(qū)域S1、S2中形成有較大的凹凸部時(shí),會(huì)阻礙第二步驟中板狀玻璃126在徑向上進(jìn)行熱收縮。因此,在板狀玻璃126的平面方向上產(chǎn)生過多的應(yīng)力,從而容易導(dǎo)致板狀玻璃126破裂。
在此,該“大致平坦的面”除了通常所說(shuō)的實(shí)質(zhì)上曲率為O的平坦面之外,還指稍微形成為凸面或凹面的具有非常小的曲率的面。另外,在“大致平坦的面”上存在微小凹凸當(dāng)然是允許的,也可以根據(jù)需要而設(shè)置相比該微小凹凸更大的凸部和/或凹部,其中,上述微小凹凸是在制造沖壓成形模過程實(shí)施通常的校平加工或鏡面研磨加工等時(shí)所形成的。
在此,關(guān)于相比微小凹凸更大的凸部,只要是導(dǎo)致流動(dòng)阻力降低或者促進(jìn)熔融玻璃塊的局部性冷卻的可能性小且高度為20 μ m以下的、實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和/或?qū)嵸|(zhì)上呈線狀的凸部,便是被允許的。另外,該高度優(yōu)選在ΙΟμπι以下,更優(yōu)選在5μπ 以下。
另外,當(dāng) 相比微小凹凸更大的凸部并非實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和實(shí)質(zhì)上呈線狀,而是其頂面的最小寬度為數(shù)毫米或超過數(shù)毫米級(jí)別的梯形凸部、或者具有與該梯形凸部相同程度的高度或尺寸的圓頂狀凸部時(shí),由于上述那樣的導(dǎo)致流動(dòng)阻力降低或促進(jìn)熔融玻璃塊的局部性冷卻的可能性變小,因此,只要其高度在50 μ m以下便是被允許的。另外,該高度優(yōu)選在30 μ m以下,更優(yōu)選在10 μ m以下。
另外,從抑制因?yàn)樘菪瓮共康牡酌媾c側(cè)面的交點(diǎn)部分處的應(yīng)力集中而產(chǎn)生裂縫的觀點(diǎn)來(lái)看,梯形凸部的側(cè)面優(yōu)選形成為其相對(duì)于頂面的傾斜角度為0.5度以下角度的平面、或者將該平面形成為凹面的曲面。另外,該角度更優(yōu)選在0.1度以下。
另外,關(guān)于相比微小凹凸更大的凹部,只要是深度為20μπι以下的實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和/或?qū)嵸|(zhì)上呈線狀的凹部從而不會(huì)發(fā)生沖壓成形時(shí)流入該凹部中的熔融玻璃的流動(dòng)性變差等的情況,便是被允許。另外,該深度優(yōu)選在ΙΟμπι以下,更優(yōu)選在5μπι以下。
另外,當(dāng)相比微小凹凸更大的凹部并非實(shí)質(zhì)上呈點(diǎn)狀和實(shí)質(zhì)上呈線狀,而是其頂面的最小寬度為數(shù)毫米或者超過數(shù)毫米級(jí)別的倒梯形凹部、或者具有與該倒梯形凹部相同程度的深度或尺寸的倒圓頂形凹部時(shí),由于上述那樣的導(dǎo)致流動(dòng)性變差的可能性變小,因此,只要其深度在50 μ m以下便是被允許的。另外,該深度優(yōu)選在30 μ m以下,更優(yōu)選在IOym以下。
另外,從抑制因?yàn)榈固菪伟疾康牡酌媾c側(cè)面的交點(diǎn)部分處的應(yīng)力集中而產(chǎn)生裂縫的觀點(diǎn)來(lái)看,倒梯形凹部的側(cè)面優(yōu)選形成為其相對(duì)于底面的傾斜角度為0.5度以下角度的平面、或者將該平面形成為凹面的曲面。另外,該角度更優(yōu)選在0.1度以下。
另外,如圖14 圖19所示,沖壓成形模150 (和沖壓成形模160)只要至少具有沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154且能夠?qū)嵤┑谝徊襟E和第二步驟,其具體結(jié)構(gòu)便沒有特別限定,但是,優(yōu)選除了沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154之外還設(shè)有第一推動(dòng)部件和第二推動(dòng)部件。在此,第一推動(dòng)部件至少具有沿著與沖壓成形面152A垂直的方向朝向與沖壓成形面152A相對(duì)置而配置的沖壓成形模160側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154的功能。另外,第二推動(dòng)部件至少具有下述功能,S卩,在通過第一推動(dòng)部件而使導(dǎo)向部件154和與沖壓成形面152A相對(duì)置而配置的沖壓成形模160的一部分(導(dǎo)向部件164)接觸之后,沿著與沖壓成形面152A垂直的方向朝向與沖壓成形面152A相對(duì)置而配置的沖壓成形模160側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體152。
圖20是表示第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法中所使用的沖壓成形模的一例的模式剖面圖,具體是表示沖壓成形模150、160的更加具體的結(jié)構(gòu)的一例的圖。在圖20中,對(duì)于與圖14 圖19所不部件相同的部件賦予相同的符號(hào)。另夕卜,圖20所示的沖壓成形模150S與沖壓成形模150相對(duì)應(yīng),沖壓成形模160也可以采用同樣的結(jié)構(gòu)。
在此,沖壓成形模150S的主要部分由沖壓成形模主體152、導(dǎo)向部件154、第一推動(dòng)部件156以及第二推動(dòng)部件158構(gòu)成。各部件的中心軸(圖中以點(diǎn)劃線X圖示)一致,并且,中心軸與水平方向大致一致。
在此,沖壓成形模主體152由圓柱體構(gòu)成,該圓柱體的一個(gè)端面構(gòu)成圓形的沖壓成形面152A。另外,在圖20所示例子中,沖壓成形模主體152的形狀呈圓柱狀,但是,其形狀只要是大致柱形形狀便沒有特別限定。在圖20所示的例子中,沖壓成形面152A形成為大致平坦的面。
導(dǎo)向部件154是由圓筒體構(gòu)成的,該圓筒體的軸向X上的長(zhǎng)度比由圓柱體構(gòu)成的沖壓成形模主體152在軸向X上的長(zhǎng)度長(zhǎng),且其內(nèi)周側(cè)收容有沖壓成形模主體152,并且,在被第一推動(dòng)部件156推動(dòng)時(shí)其一個(gè)端面(導(dǎo)向面154A)與構(gòu)成另一個(gè)沖壓成形模的導(dǎo)向部件(圖中未圖示)接觸。在此,導(dǎo)向部件154在軸向X上的長(zhǎng)度與沖壓成形模主體152在軸向X上的長(zhǎng)度之差、換而言之導(dǎo)向面154A與沖壓成形面152A在軸向X上的高低差H相當(dāng)于所制得的玻璃坯料板厚的大致一半的長(zhǎng)度。另外,導(dǎo)向部件154的形狀呈圓筒狀,但是,其形狀只要是筒狀便沒有特別限定。
第一推動(dòng)部件156由圓盤狀部件構(gòu)成。在此,該圓盤狀的第一推動(dòng)部件156的一個(gè)面(推動(dòng)面156A)由與沖壓成形模主體152的另一端面(被推動(dòng)面152B)和導(dǎo)向部件154的另一端面(被推動(dòng)面154B)接觸的平坦面構(gòu)成。另外,在第一推動(dòng)部件156的、與沖壓成形模主體152的被推動(dòng)面152B相對(duì)置區(qū)域的一部分區(qū)域中,設(shè)有沿厚度方向貫穿第一推動(dòng)部件156的貫通孔156H。另外,推動(dòng)面156A的相反側(cè)的面156B與未圖示的第一驅(qū)動(dòng)裝置連接。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),能夠通過該第一驅(qū)動(dòng)裝置且經(jīng)由第一推動(dòng)部件156而沿圖中的軸向X從配置有第一推動(dòng)部件156側(cè)朝向配置有沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154側(cè)同時(shí)推動(dòng)沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154。
另外,在圖20所示的例子中,第一推動(dòng)部件156的形狀呈圓盤狀,但是,其形狀只要是大致板狀便沒有特別限定。另外,貫通孔156H沿著沖壓成形模主體152和第一推動(dòng)部件156的中心軸X而被設(shè)置為具有圓形開口的孔,但是,可以在第一推動(dòng)部件156的、與沖壓成形模主體152的被推動(dòng)面152B相對(duì)置區(qū)域中的一部分區(qū)域的任意位置上設(shè)置任意數(shù)量的貫通孔156H。
另外,貫通孔156H的開口形狀也可以適宜地進(jìn)行選擇。但是,貫通孔156H尤其優(yōu)選被設(shè)置為相對(duì)于沖壓成形模主體152的中心軸X呈點(diǎn)對(duì)稱。
第二推動(dòng)部件158由配置在貫通孔156H內(nèi)且與沖壓成形模主體152的被推動(dòng)面152B側(cè)連接的棒狀部件構(gòu)成。另外,在圖20所示的例子中,第二推動(dòng)部件158呈圓柱形的棒狀,但是,只要能夠使沖壓成形模主體152沿軸向X移動(dòng),其形狀便沒有特別限定。
另外,第二推動(dòng)部件158的、與被推動(dòng)面152B側(cè)連接的一端的相反側(cè)端部與未圖示的第二驅(qū)動(dòng)裝置連接。因此,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),能夠通過該第二驅(qū)動(dòng)裝置且經(jīng)由第二推動(dòng)部件158而沿軸向X從配置有第二推動(dòng)部件158側(cè)朝向配置有沖壓成形模主體152側(cè)僅推動(dòng)沖壓成形模主體152。
另外,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),為了容易使熔融玻璃塊124均勻地延伸成薄板,優(yōu)選將沖壓成形面152A面內(nèi)的溫度分布控制為均勻的溫度分布。為此,(I)可以設(shè)置對(duì)沖壓成形面152A的外周邊緣側(cè)附近位置進(jìn)行加熱的加熱部件,以及/或者,(2)可以在沖壓成形模主體152的內(nèi)部且沖壓成形面152A側(cè)的至少中央部附近位置上設(shè)置流通冷卻用介質(zhì)的流道。
在此,作為加熱部件,例如可以在導(dǎo)向部件154的外周側(cè)配置筒狀的加熱器、或者沿導(dǎo)向部件154的圓周方向呈等間隔地配置與軸向X平行的棒狀加熱器。另外,上述加熱器可以內(nèi)置在導(dǎo)向部件154中,也可以按照埋入沖壓成形模主體152的外周面?zhèn)鹊姆绞竭M(jìn)行配置。另外,作為冷卻用液體可以利用水等液體、空氣等氣體、將液體噴霧分散后的氣體坐寸ο
另外,作為沖壓成形模150、160也可以利用圖21所例示的沖壓成形模。圖21表示第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法中所使用的沖壓成形模的另一例的模式剖面圖。另外,在圖21中,對(duì)于具有與圖20所示部件實(shí)質(zhì)上相同或類似功能的部件賦予相同符號(hào)。
在此,圖21所示的沖壓成形模200的主要部分由沖壓成形模主體152、導(dǎo)向部件154、第一推動(dòng)部件156以及第二推動(dòng)部件158構(gòu)成。各部件的中心軸(圖中以點(diǎn)劃線X圖示)一致,并且,中心軸與水平方向大致一致。另外,圖21所示的沖壓成形模200與圖20所示的沖壓成形模150S在設(shè)有沖壓成形模主體152、導(dǎo)向部件154、第一推動(dòng)部件156以及第二推動(dòng)部件158這一點(diǎn)上相同,主要在以下幾點(diǎn)上大不同。
即,與圖20所示的沖壓成形模150S相比,在圖21所示的沖壓成形模200中,(I)沖壓成形模主體152和導(dǎo)向部件154被配置為沖壓成形模主體152的外周面與導(dǎo)向部件154的內(nèi)周面實(shí)質(zhì)上是分離的,(2)沖壓成形模主體152和第一推動(dòng)部件156被配置為沖壓成形模主體152的被推動(dòng)面152B與第一推動(dòng)部件156的推動(dòng)面156A實(shí)質(zhì)上是分離的,(3)在被推動(dòng)面152B與推動(dòng)面156A之間,沿著被推動(dòng)面152B的外周側(cè)而配置有支承部件170。
在此,沖壓成形模主體152由圓盤狀部件構(gòu)成,該圓盤狀部件的一個(gè)端面構(gòu)成圓形的沖壓成形面152A。另外,在圖20所示的例子中,沖壓成形模主體152的形狀呈圓盤狀,但是,其形狀只要是大致盤狀便沒有特別限定。在圖21所示的例子中,沖壓成形面152A形成為大致平坦的面。另外,支承部件170被固定配置在被推動(dòng)面152B或者推動(dòng)面156A中的任一個(gè)面上,并且能夠與另一個(gè)面分離。另外,支承部件170例如可以使用環(huán)狀部件等。
而且,在圖21所示的沖壓成形模200中,可以利用第一推動(dòng)部件156朝向與沖壓成形模200相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)導(dǎo)向部件154。與此同時(shí),也經(jīng)由支承部件170而朝向與沖壓成形模200相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體152。另外,可以利用第二推動(dòng)部件158朝向與沖壓成形模200相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)僅推動(dòng)沖壓成形模主體152。
另外,在圖20所示的例子中,在進(jìn)行沖壓成形時(shí),對(duì)于沖壓成形模主體152的(I)被推動(dòng)面152B的中央部附近位置或者(2)外周邊緣部附近位置施加按壓力。因此,優(yōu)選按照無(wú)論對(duì)上述(I)和(2)所示的哪一個(gè)位置上施加按壓力,沖壓成形模主體152也不會(huì)撓曲的方式來(lái)選擇沖壓成形模主體152的厚度、材質(zhì)、強(qiáng)度等、支承部件170的強(qiáng)度等、或者沖壓壓力等的沖壓條件。
另外,圖14 圖19所示的例子是表示第二沖壓工藝的例子,但是,在實(shí)施第一沖壓工藝時(shí),只要一對(duì)沖壓成形模中的一個(gè)沖壓成形模使用例如圖20所示的沖壓成形模150S或者圖21所示的沖壓成形模200即可。該情況下,作為另一個(gè)沖壓成形??梢岳美鐚?shí)質(zhì)上僅由簡(jiǎn)單的盤狀部件或柱狀部件等的沖壓成形模主體部分構(gòu)成的后述沖壓成形模(例如,后述的圖23所示的沖壓成形模310)。
該情況下,例如在第一步驟中,另一個(gè)沖壓成形模的一部分(例如沖壓成形面)與導(dǎo)向面154A接觸,在第二步驟中,在另一個(gè)沖壓成形模的一部分與導(dǎo)向面154A接觸的狀態(tài)下進(jìn)一步朝向另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)沖壓成形模主體152。
-玻璃材料_
作為第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法中所使用的玻璃材料,只要是具有適于磁記錄介質(zhì)玻璃基板的物理性能、尤其是高熱膨脹系數(shù)、進(jìn)而高剛性或者耐熱性等,并且容易通過水平直接沖壓被沖壓成形為板狀的材料,便沒有特別限定。關(guān)于熱膨脹系數(shù),最好接近保持磁記錄介質(zhì)的保持架的熱膨脹系數(shù)。具體來(lái)說(shuō),100°c 300°C下的平均線膨脹系數(shù)優(yōu)選在70 X Kr7/°C以上,更優(yōu)選在75X 1(TV°C以上,進(jìn)一步優(yōu)選在80 X 1(TV°C以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在85X10_7/°C以上。平均線膨脹系數(shù)的上限值并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選在120X10_7/°C以下。
從減少磁記錄介質(zhì)高速旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的翅曲方面來(lái)看,最好是高剛性的玻璃材料,具體來(lái)說(shuō),楊氏模量?jī)?yōu) 選在70GPa以上,更優(yōu)選在75GPa以上,進(jìn)一步優(yōu)選在80GPa以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在85GPa以上。楊氏模量的上限值并沒有特別限定,但是,從實(shí)用性角度出發(fā)優(yōu)選為120GPa以下。
進(jìn)而,由于使用耐熱性出色的玻璃材料時(shí)在制造磁記錄介質(zhì)的過程中能夠在高溫下對(duì)基板進(jìn)行處理,因此,玻璃材料的?;瘻囟葍?yōu)選在600°C以上,更優(yōu)選在610°C以上,進(jìn)一步優(yōu)選在620°C以上,更進(jìn)一步優(yōu)選在630°C以上。另外,?;瘻囟鹊纳舷拗禌]有特別限定,但是,從抑制沖壓成形時(shí)的溫度變?yōu)楦邷氐葘?shí)用性觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選在780°C以下。使用兼具高熱膨脹系數(shù)、高剛性、耐熱性的玻璃材料對(duì)于得到適于高記錄密度的磁記錄介質(zhì)的玻璃基板是有效的。
作為玻璃材料的組成,可以適宜地選擇容易實(shí)現(xiàn)適于磁記錄介質(zhì)玻璃基板的物理性能的組成,例如,可以適宜地選擇現(xiàn)有的垂直直接沖壓中使用的玻璃材料的玻璃組成,但是,優(yōu)選鋁硅酸鹽玻璃。另外,作為鋁硅酸鹽玻璃,由于容易具有平衡地同時(shí)實(shí)現(xiàn)耐熱性、高剛性以及高熱膨脹系數(shù),因此,尤其優(yōu)選以下所示的組成。
S卩,在以摩爾百分比表示的情況下,該玻璃的玻璃組成(以下,稱為“玻璃組成I”)包括:50% 75% 的 Si02、0% 5% 的 A1203、0% 3% 的 Li20、0% 5% 的 ZnO、共計(jì) 3% 15%的選自Na2O和K2O的至少一種成分、共計(jì)14% 35%的選自Mg0、Ca0、Sr0及BaO的至少一種成分、以及共計(jì) 2% 9% 的選自 Zr02、TiO2, La203、Y2O3> Yb2O3> Ta2O5, Nb2O5 以及 HfO2的至少一種成分,進(jìn)而,摩爾比{(MgO+CaO) / (MgO+CaO+SrO+BaO)}在(λ 8 I的范圍內(nèi),并且,摩爾比(Al2O3/ (MgO+CaO)}在O 0.30的范圍內(nèi)。
玻璃組成I的100°C 300°C下的平均線膨脹系數(shù)的優(yōu)選范圍為70X 10_7/°C以上,?;瘻囟鹊膬?yōu)選范圍為630°C以上,楊氏模量的優(yōu)選范圍為80GPa以上。玻璃組成I適合作為使用高Ku磁性材料的能量輔助方式磁記錄介質(zhì)玻璃基板的材料。
另外,作為具有高熱膨脹系數(shù)、耐酸性和耐堿 性出色、來(lái)自基板表面的堿析出少且適于化學(xué)強(qiáng)化的玻璃材料,可以舉出具有以下的玻璃組成(稱為“玻璃組成2”)的材料。
S卩,在以摩爾百分比表示的情況下,玻璃組成2包括:共計(jì)70% 85%的SiO2和Al2O3 (其中,SiO2的含有量在50%以上,Al2O3的含有量在3%以上)、共計(jì)10%以上的Li20、Na2O以及K20、共計(jì)1% 6%的MgO和Ca0(其中,CaO的含有量多于MgO的含有量)、以及共計(jì)超過 O % 且 4% 以下的 ZrO2、TiO2, La203、Y2O3、Yb2O3、Ta2O5、Nb2O5 以及 HfO2。
(磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法)
第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于,至少經(jīng)過對(duì)通過第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法制成的玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板。以下,更加詳細(xì)地對(duì)將玻璃還料加以加工從而形成磁記錄介質(zhì)玻璃基板時(shí)的各工序的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
首先,對(duì)沖壓成形得到的玻璃坯料進(jìn)行劃線。所謂的“劃線”是指:利用由超硬合金或金剛砂制成的劃線器在玻璃坯料的表面上設(shè)置兩條同心圓(內(nèi)側(cè)同心圓和外側(cè)同心圓)狀的切割線(線狀割痕),以將成形后的玻璃坯料形成為規(guī)定尺寸的環(huán)狀。對(duì)于被劃線為兩個(gè)同心圓形狀的玻璃坯料的局部進(jìn)行加熱,從而利用玻璃的熱膨脹差異而將外側(cè)同心圓的外側(cè)部分和內(nèi)側(cè)同心圓的內(nèi)側(cè)部分除去,由此,形成正圓形狀的圓盤狀玻璃。
在進(jìn)行劃線加工時(shí),只要玻璃坯料主表面的粗糙度在Iym以下,便能夠使用劃線器適宜地設(shè)置切割線。另外,當(dāng)玻璃坯料主表面的粗糙度超過Iym時(shí),有時(shí)劃線器無(wú)法追隨(效仿)表面凹凸從而難以同樣地設(shè)置切割線。該情況下,在使玻璃坯料的主表面平滑化之后進(jìn)行劃線。
接著,對(duì)劃線后的玻璃進(jìn)行形狀加工。形狀加工包括倒角(外周端部和內(nèi)周端部的倒角)。在進(jìn)行倒角時(shí),利用金剛石砂輪對(duì)環(huán)狀玻璃的外周端部和內(nèi)周端部實(shí)施倒角。接著,對(duì)圓盤狀玻璃進(jìn)行端面研磨。在進(jìn)行端面研磨時(shí),通過毛刷研磨對(duì)玻璃的內(nèi)周側(cè)端面和外周側(cè)端面進(jìn)行鏡面精加工。此時(shí),使用作為自由磨粒而含有氧化鈰等微粒的漿料。通過進(jìn)行端面研磨從而除去玻璃端面上的附著塵埃等的污染、損壞或劃傷等的損傷,由此能夠防止成為腐蝕原因的鈉或鉀等的離子析出。接著,對(duì)圓盤狀玻璃的主表面實(shí)施第一研磨。第一研磨的目的在于除去殘留在主表面上的傷痕、翹曲。第一研磨的加工余量例如為數(shù)Pm 10 μπι左右。由于可以不用進(jìn)行加工余量較大的磨削工序,因此,玻璃上不會(huì)形成磨削工序中所產(chǎn)生的傷痕、翹曲等。因此,第一研磨工序中的加工余量小亦可。在第一研磨工序和后述的第二研磨工序中使用雙面研磨裝置。雙面研磨裝置是使用研磨墊并使圓盤狀玻璃和研磨墊相對(duì)移動(dòng)從而進(jìn)行研磨的裝置。雙面研磨裝置具有研磨用行星架安裝部以及上研磨盤和下研磨盤,其中,該研磨用行星架安裝部具有分別以規(guī)定的轉(zhuǎn)速比被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的內(nèi)齒輪和恒星齒輪,該上研磨盤和下研磨盤以?shī)A著該研磨用行星架安裝部相互反向旋轉(zhuǎn)的方式被驅(qū)動(dòng)。在上研磨盤和下研磨盤的與圓盤狀玻璃相對(duì)置的面上分別貼有后述的研磨墊。以與內(nèi)齒輪和恒星齒輪嚙合的方式安裝的研磨用行星架進(jìn)行行星齒輪運(yùn)動(dòng),從而一邊自轉(zhuǎn)一邊繞恒星齒輪公轉(zhuǎn)。研磨用行星架上分別保持有多個(gè)圓盤狀玻璃。上研磨盤能夠朝向上下方向移動(dòng),從而將研磨墊按壓在圓盤狀玻璃的表面和背面的主表面上。然后,一邊供給含有研磨磨粒(磨料)的漿料(研磨液),一邊通過研磨用行星架的行星齒輪運(yùn)動(dòng)和上研磨盤與下研磨盤的反向旋轉(zhuǎn)而使圓盤狀玻璃與研磨墊相對(duì)移動(dòng),從而對(duì)圓盤狀玻璃的表面和背面的主表面進(jìn)行研磨。另外,在第一研磨工序中,作為研磨墊使用例如硬質(zhì)樹脂研磨盤,作為磨料使用例如氧化鈰磨粒。接著,對(duì)第一研磨后的圓盤狀玻璃進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化。作為化學(xué)強(qiáng)化液可以使用例如硝酸鉀的熔融鹽等。在進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化時(shí),在將化學(xué)強(qiáng)化液加熱至例如300°C 400°C、將清洗后的玻璃預(yù)熱至例如200°C 300°C之后,將玻璃在化學(xué)強(qiáng)化液中浸泡例如3小時(shí) 4小時(shí)。在該浸泡時(shí),優(yōu)選在多塊玻璃以端面被保持的方式收納于保持架中的狀態(tài)下進(jìn)行,以使玻璃的兩個(gè)主表面整體被化學(xué)強(qiáng)化。由此,通過將玻璃浸泡在化學(xué)強(qiáng)化液中,玻璃表層的鈉離子被化學(xué)強(qiáng)化液中的離子半徑相對(duì)較大的鉀離子置換,從而形成約50 μ m 200 μ m厚的壓縮應(yīng)力層。由此,玻璃被強(qiáng)化從而具備良好的抗沖擊性。另外,對(duì)化學(xué)強(qiáng)化處理后的玻璃進(jìn)行清洗。例如,在利用硫酸清洗之后,利用純水、IPA (異丙醇)等進(jìn)行清洗。接著,對(duì)被化學(xué)強(qiáng)化且充分清洗后的玻璃實(shí)施第二研磨。第二研磨的加工余量例如為Iym左右。第二研磨的目的在于將主表面精加工成鏡面狀。在第二研磨工序中,與第一研磨工序同樣地使用雙面研磨裝置對(duì)圓盤狀玻璃進(jìn)行研磨,但是,使用的研磨液(漿料)中所含的研磨磨粒以及研磨墊的組成有所不同。與第一研磨工序相比,第二研磨工序中使用的研磨磨粒的粒徑更小,研磨墊的硬度更軟。例如,在第二研磨工序中,作為研磨墊使用例如軟質(zhì)泡沫樹脂研磨盤,作為磨料使用例如比第一研磨工序中使用的氧化鈰磨粒更細(xì)小的氧化鋪磨粒。
對(duì)第二研磨工序中研磨后的圓盤狀玻璃再次進(jìn)行清洗。清洗時(shí)使用中性洗劑、純水、IPA。通過第二研磨,得到主表面的平面度在4μπι以下且主表面的粗糙度在0.2nm以下的磁盤用玻璃基板。然后,在磁盤用玻璃基板上形成(成膜)磁性層等的各種層,從而制成磁盤。
另外,化學(xué)強(qiáng)化工序是在第一研磨工序與第二研磨工序之間進(jìn)行,但是并不限于該順序。只要是在第一研磨工序之后進(jìn)行第二研磨工序,便可以適宜地配置化學(xué)強(qiáng)化工序。例如,也可以是第一研磨工序、第二研磨工序、化學(xué)強(qiáng)化工序的順序(以下,稱為“工序順序I,,)。但是,在工序順序I中,由于無(wú)法除去化學(xué)強(qiáng)化工序中可能產(chǎn)生的表面凹凸,因此,更優(yōu)選為第一研磨工序、化學(xué)強(qiáng)化工序、第二研磨工序的工序順序。
另外,在制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板時(shí),也可以使加工中所使用的玻璃坯料的平面度與制得的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。其理由是:近年來(lái),關(guān)于對(duì)磁記錄介質(zhì)玻璃基板所要求的平面度,例如對(duì)于2.5英寸的玻璃基板要求其平面度在IOym以下(ΙΟμπι以內(nèi)),而通過第二本實(shí)施方式的玻璃還料的制造方法制成的玻璃還料能夠很容易地達(dá)到上述平面度。
在此,所謂的“加工中所使用的玻璃坯料的平面度與制造的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同”是指:在以磁記錄介質(zhì)玻璃基板所要求的平面度為基準(zhǔn)(100% )時(shí),玻璃坯料的平面度在105%以下。
另外,在使加工中所使用的玻璃坯料的平面度與制得的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同的情況下,能夠省略磨削工序等以改善平面度為主要目的之一而實(shí)施的工序。
(磁記錄介質(zhì)的制造方法)
第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于,至少經(jīng)過在通過第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法制成的磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)。
磁記錄介質(zhì)被稱為磁盤、硬盤等,其適合用于臺(tái)式計(jì)算機(jī)、服務(wù)器用計(jì)算機(jī)、筆記本電腦、便攜式計(jì)算機(jī)等的內(nèi)存儲(chǔ)器(固定磁盤等)、將圖像和/或聲音記錄再生的便攜式記錄再生裝置的內(nèi)存儲(chǔ)器、車載音響的記錄再生裝置等。
磁記錄介質(zhì)例如可以形成為下述那樣的結(jié)構(gòu),S卩,在磁記錄介質(zhì)玻璃基板的主表面上,從靠近該主表面?zhèn)乳_始依次至少層疊有附著層、基底層、磁性層(磁記錄層)、保護(hù)層、潤(rùn)滑層。例如,將磁記錄介質(zhì)玻璃基板導(dǎo)入到真空的成膜裝置內(nèi),并利用直流磁控濺射法在氬氣氣氛下在磁記錄介質(zhì)玻璃基板的主表面上依次形成(成膜)附著層至磁性層的各種層。作為附著層例如可以使用CrTi,作為基底層例如可以使用CrRu。在上述成膜之后,通過例如CVD法(化學(xué)氣相沉積法)并使用C2H4 (乙烯)氣體而形成(成膜)保護(hù)層,并且,在同一腔室內(nèi)進(jìn)行對(duì)表面導(dǎo)入氮的氮化處理,由此能夠形成磁記錄介質(zhì)。然后,通過浸涂法在保護(hù)層上涂敷例如PFPE (全氟聚醚),由此能夠形成潤(rùn)滑層。
磁記錄介質(zhì)的尺寸并沒有特別限定,但是,由于磁記錄介質(zhì)玻璃基板是由抗沖擊性出色的玻璃材料構(gòu)成,因此,優(yōu)選為便于搬運(yùn)且遭到外部沖擊的可能性高的2.5英寸或者2.5英寸以下的尺寸。
<第三本實(shí)施方式>
(磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法)第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法(以下,有時(shí)簡(jiǎn)稱為“玻璃坯料的制造方法”),包括利用相對(duì)置而配置且溫度實(shí)質(zhì)上相同的一對(duì)沖壓成形模對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行直接沖壓從而將其成形為板狀玻璃的成形工序,該磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料(以下,有時(shí)簡(jiǎn)稱為“玻璃坯料”)的制造方法的特征在于,在成形工序中,利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)擠壓熔融玻璃塊,直到熔融玻璃塊的溫度降低至構(gòu)成板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c后的溫度以下為止。由于高溫的沖壓成形品容易變形,因此,通過利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)擠壓熔融玻璃塊直到熔融玻璃塊的溫度降低至上述溫度以下為止,從而能夠防止變形從而制成所希望形狀的玻璃坯料。該情況下,優(yōu)選利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)擠壓熔融玻璃塊直到熔融玻璃塊的溫度降低至玻璃材料的?;瘻囟纫韵聻橹埂A硗?,優(yōu)選在維持熔融玻璃塊與一對(duì)沖壓成形模緊密接觸的狀態(tài)直到熔融玻璃塊的溫度降低至玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)以下之后進(jìn)行退火處理。在通過在沖壓成形后進(jìn)行退火處理從而消除(釋放)玻璃坯料內(nèi)部的翹曲的情況下,當(dāng)僅僅持續(xù)進(jìn)行沖壓至熔融玻璃塊的溫度降低至應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下時(shí),存在在玻璃坯料內(nèi)部殘留有翹曲的危險(xiǎn)。但是,通過維持熔融玻璃塊與一對(duì)沖壓成形模緊密接觸的狀態(tài)直到熔融玻璃塊的溫度降低至應(yīng)變點(diǎn)以下為止,能夠控制玻璃坯料的冷卻過程,從而能夠消除玻璃坯料內(nèi)部的翹曲。由此,能夠得到即使進(jìn)行退火處理平面度也不易變差的玻璃坯料。另外,所謂的“緊密接觸的狀態(tài)”,可以是利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)擠壓熔融玻璃塊的狀態(tài),也可以是一對(duì)沖壓成形模以不對(duì)熔融玻璃塊施加力的方式與熔融玻璃塊緊密接觸的狀態(tài)。另外,成形工序也可以是下述那樣的工序,S卩,包括用于確定板狀玻璃的板厚的第一沖壓工序和用于提高板狀玻璃的平面度的第二沖壓工序,并且,使用一對(duì)沖壓成形模連續(xù)地進(jìn)行第一沖壓工序和第二沖壓工序。進(jìn)而,優(yōu)選按照板狀玻璃的板厚達(dá)到2_以下且平面度達(dá)到IOym以下(IOymWft)的方式進(jìn)行成形工序。另外,第三本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法適于制造更薄且更平坦的玻璃坯料,因此,板厚更優(yōu)選在1.5mm以下,進(jìn)一步優(yōu)選在1.2mm以下,更進(jìn)一步優(yōu)選在1.0mm以下。另外,第三本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法可以與第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法或者第一本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的各形態(tài)進(jìn)行組合。另外,第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法也可以與第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法或者第二本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法的各形態(tài)進(jìn)行組合。(磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法)第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法的特征在于,通過第三本實(shí)施方式的玻璃還料的制造方法來(lái)制造玻璃還料,并對(duì)玻璃還料進(jìn)行加工從而制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板。另外,第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法中,除了使用通過第三本實(shí)施方式的玻璃坯料的制造方法制成的玻璃坯料這一點(diǎn)之外,其他制造條件可以與上述第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法和/或第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法相同。
(磁記錄介質(zhì)的制造方法)
第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法的特征在于,通過第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板,并至少經(jīng)過在磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)。
另外,在第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法中,除了使用通過第三本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法制成的磁記錄介質(zhì)玻璃基板這一點(diǎn)之外,其他制造條件可以與上述第一本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法和/或第二本實(shí)施方式的磁記錄介質(zhì)的制造方法相同。
實(shí)施例
<第一本發(fā)明的實(shí)施例>
以下,舉以實(shí)施例對(duì)第一本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明,但是,第一本發(fā)明并不僅限于以下的實(shí)施例。
《玻璃坯料的制造》
在各實(shí)施例和比較例中,連續(xù)制造了數(shù)百塊以上的尺寸為2.5英寸的磁記錄介質(zhì)玻璃基板制造用玻璃坯料(直徑:約75mm、厚度:約0.9mm)。
(實(shí)施例Al)
利用圖1 圖9所示的工藝來(lái)實(shí)施熔融玻璃塊形成工序、第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序,從而制成玻璃坯料。另外,將從玻璃流出口 12流出的熔融玻璃的粘度調(diào)節(jié)為700dPa.s,將第一沖壓成形模50和第二沖壓成形模60配置為與熔融玻璃塊24的下落方向垂直,將下落距離設(shè)定為150mm。
在此,玻璃坯料的制造中所使用的玻璃材料的主要物理參數(shù)及其組成如下:
.?;瘻囟?495°C
.屈服點(diǎn):550°C
.應(yīng)變點(diǎn):490 O
.組成:相當(dāng)于玻璃組成2的組成
另外,第一沖壓工序和第二沖壓工序的具體實(shí)施條件以及沖壓成形中使用的沖壓成形模50、60的詳細(xì)情況如下。
-第一沖壓工序的實(shí)施條件-
將即將實(shí)施第一沖壓工序之前的沖壓成形面52A的溫度設(shè)為500°C,將即將實(shí)施第一沖壓工序之前的沖壓成形面62A的溫度設(shè)為500°C,將即將實(shí)施第一沖壓工序之前的沖壓成形面52A的面內(nèi)溫度差設(shè)為50°C,將即將實(shí)施第一沖壓工序之前的沖壓成形面62A的面內(nèi)溫度差設(shè)為50°C。另外,將對(duì)沖壓成形模50、60的驅(qū)動(dòng)設(shè)定為沖壓成形面52A和沖壓成形面62A同時(shí)與熔融玻璃塊24接觸。另外,將沖壓成形時(shí)間設(shè)為0.07秒。
另外,沖壓成形面52A、62A的溫度通過配置在離沖壓成形面52A、62A深I(lǐng)mm位置處的熱電偶進(jìn)行測(cè)量。該熱電偶在沖壓成形面52A、62A的中心部配置有一個(gè),且在離中心部的半徑為30mm的圓周上沿著圓周方向在呈0°、90°、180°、270°的位置處分別配置有一個(gè)熱電偶。
-第二沖壓工序的實(shí)施條件-
在調(diào)整第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,并對(duì)所得到的玻璃坯料的平面度進(jìn)行測(cè)量后發(fā)現(xiàn),當(dāng)?shù)诙_壓工序的持續(xù)時(shí)間在2秒以上時(shí),玻璃坯料的平面度達(dá)到4 μ m。因此,將第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間設(shè)為2秒。第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的板狀玻璃26的溫度(取出溫度)為495°C。將實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力設(shè)定為始終保持為0.5MPa。另外,板狀玻璃26的溫度是假設(shè)為通過配置在沖壓成形面52A、62A的中心部的熱電偶測(cè)量的溫度而求出的值。由此,以玻璃坯料的平面度為指標(biāo)來(lái)控制第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間,從而得到了平面度出色的玻璃坯料。-沖壓成形模-沖壓成形模50使用由鑄鐵制成且沖壓成形模主體52與導(dǎo)向部件54呈一體地構(gòu)成的一體型沖壓成形模。另外,沖壓成形模60與沖壓成形模50同樣地也使用一體型沖壓成形模。另外,沖壓成形面52A、62A整個(gè)面都形成為平坦面。另外,在使用的一體型沖壓成形模50、60的沖壓成形模主體52、62內(nèi)部設(shè)有流通冷卻水的流道,并且在沖壓成形模50、60的外周側(cè)配置有加熱器,從而能夠控制沖壓成形面52A、62A的溫度及其面內(nèi)的溫度分布。在此,對(duì)冷卻水的流量和加熱器的加熱條件進(jìn)行控制,以使沖壓成形模50的沖壓成形面52A的溫度與沖壓成形模60的沖壓成形面62A的溫度之差始終維持在±10°C以內(nèi)的范圍。(實(shí)施例A2)除了進(jìn)一步延長(zhǎng)第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間并將板狀玻璃的取出溫度設(shè)為490°C之外,與實(shí)施例Al同樣地制成玻璃坯料。(實(shí)施例A3)除了沖壓成形模50、60使用沖壓成形模主體52、62與導(dǎo)向部件54、64分開構(gòu)成的分離型沖壓成形模之外,與實(shí)施例Al同樣地制成玻璃坯料。(實(shí)施例A4)除了經(jīng)時(shí)性地降低實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力之外,與實(shí)施例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,按照下述方式控制沖壓壓力,即,當(dāng)以第二沖壓工序剛開始后不久的沖壓壓力為基準(zhǔn)(100% )時(shí),在板狀玻璃26的溫度達(dá)到屈服點(diǎn)-25°C的溫度時(shí)沖壓壓力變?yōu)?0%。(實(shí)施例A5)除了經(jīng)時(shí)性地降低實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力之外,與實(shí)施例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,按照下述方式控制沖壓壓力,即,在以第二沖壓工序剛開始后不久的沖壓壓力為基準(zhǔn)(100% )時(shí),在板狀玻璃26的溫度達(dá)到屈服點(diǎn)+25°C的溫度時(shí)沖壓壓力變?yōu)?0%。(實(shí)施例A6)除了經(jīng)時(shí)性地降低實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力之外,與實(shí)施例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,按照下述方式控制沖壓壓力,即,在以第二沖壓工序剛開始后不久的沖壓壓力為基準(zhǔn)(100% )時(shí),在板狀玻璃26的溫度達(dá)到屈服點(diǎn)+40°C的溫度時(shí)沖壓壓力變?yōu)?0%。(實(shí)施例A7)除了經(jīng)時(shí)性地降低實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力之外,與實(shí)施例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,按照下述方式控制沖壓壓力,即,在以第二沖壓工序剛開始后不久的沖壓壓力為基準(zhǔn)(100% )時(shí),在板狀玻璃26的溫度達(dá)到屈服點(diǎn)-40°C的溫度時(shí)沖壓壓力變?yōu)?0%。
(實(shí)施例A8)
除了經(jīng)時(shí)性地降低實(shí)施第二沖壓工序過程中的沖壓壓力之外,與實(shí)施例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,按照下述方式控制沖壓壓力,即,在以第二沖壓工序剛開始后不久的沖壓壓力為基準(zhǔn)(100% )時(shí),在板狀玻璃26的溫度達(dá)到屈服點(diǎn)時(shí)沖壓壓力變?yōu)?0%。
(實(shí)施例A9)
除了將板狀玻璃26的取出溫度設(shè)為485°C,并且沖壓成形模50、60使用分離型的沖壓成形模之外,與實(shí)施例A2同樣地制成玻璃坯料。
(比較例Al)
除了將第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間設(shè)為低于2秒且將板狀玻璃的取出溫度設(shè)為520°C之外,與實(shí)施例Al同樣地制成玻璃坯料。
(比較例A2)
除了省略第二沖壓工序之外,與實(shí)施例Al同樣地制成玻璃坯料。
(比較例A3)
使用與實(shí)施例Al中使用的材料相同的玻璃材料,并且通過垂直直接沖壓方式制成玻璃坯料。在制造玻璃坯料時(shí)使用具備旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的沖壓裝置,其中,該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)上沿著其外周邊緣呈等間隔地配置有12個(gè)下模,并且,在進(jìn)行沖壓時(shí),該旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)以每隔30度角度交替重復(fù)進(jìn)行移動(dòng)和停止的方式朝向一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)。
另外,在沿著旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)方向?qū)εc配置在旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的外周邊緣上的12個(gè)下模相對(duì)應(yīng)的12個(gè)下模停止位置賦予Pl P12的編號(hào)時(shí),在處于下述下模停止位置上的下模的沖壓面上或者下模側(cè)分別配置有下述部件。
.下模停止位置Pl:熔融玻璃供給裝置
.下模停止位置P2:上模
.下模停止位置P9:取出裝置(真空吸附裝置)
在該沖壓裝置中,在下模停止位置Pl處,向下模供給規(guī)定量的熔融玻璃,在下模停止位置P2處,利用上模和下模將熔融玻璃沖壓成形為板狀玻璃,在下模停止位置P9處,將板狀玻璃(玻璃坯料)取出。另外,在下模從停止位置P2向停止位置P9移動(dòng)時(shí)實(shí)施均熱、冷卻工序,在下模從停止位置P9向停止位置P12移動(dòng)時(shí)利用加熱器對(duì)下模進(jìn)行預(yù)熱。
上模和下模的材質(zhì)以及沖壓成形面的平滑度、平面度與實(shí)施例Al中使用的沖壓成形模50、60相同。另外,將即將供給到處于下模停止位置Pl處的下模上的熔融玻璃的粘度調(diào)節(jié)為500dPa.S。
-沖壓工序的實(shí)施條件-
另外,沖壓工序的詳細(xì)實(shí)施條件如下。將即將實(shí)施沖壓工序之前的上模的沖壓成形面的溫度設(shè)為380°C,將即將實(shí)施沖壓工序之前的下模的沖壓成形面的溫度設(shè)為480°C,將即將實(shí)施沖壓工序之前的上模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差設(shè)為30°C,將即將實(shí)施沖壓工序之前的下模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差設(shè)為30°C。另外,在從向下模供給了規(guī)定量的熔融玻璃起經(jīng)過了 2秒后朝向下方驅(qū)動(dòng)上模。
另外,將從上模與下模上的熔融玻璃接觸至上模與下模分離為止的時(shí)間(沖壓成形時(shí)間)設(shè)為0.3秒。在按照以上所說(shuō)明的條件實(shí)施沖壓工序的情況下,沖壓工序結(jié)束時(shí)的板狀玻璃的溫度(取出溫度)為500°C。另外,上模和下模的沖壓成形面的溫度通過配置在離沖壓成形面深5mm位置處的熱電偶進(jìn)行測(cè)量。該熱電偶在沖壓成形面的中心部配置有一個(gè),且在離中心部的半徑為15mm的圓周上沿著圓周方向在呈0° >90° >180° >270°的位置處分別配置有一個(gè)熱電偶。(比較例A4)除了按照取出溫度變?yōu)?95°C的方式延長(zhǎng)了沖壓成形時(shí)間之外,與比較例A3同樣地制成玻璃坯料。另外,由于生產(chǎn)速度非常慢從而缺乏實(shí)用性,因此,在制造了數(shù)十塊左右的玻璃坯料之后停止進(jìn)行沖壓。(比較例A5)除了在下模停止位置P3處的沖壓面上還配置有冷卻用上模之外,沖壓裝置使用與比較例A3中使用的沖壓裝置相同的裝置。另外,冷卻用上模具有與配置在下模停止位置P2處的沖壓面上的沖壓成形用上模實(shí)質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)。在此,在下模停止位置P2處實(shí)施的沖壓工序按照與比較例A3相同的條件實(shí)施。另外,在下模停止在下模停止位置P3處的期間內(nèi)維持下述狀態(tài),S卩,使整體被預(yù)熱至480°C左右的冷卻用上模與配置在下模上的板狀玻璃之間的距離為冷卻用上模與板狀玻璃快要接觸程度的距離。(評(píng)價(jià))對(duì)于各實(shí)施例和比較例中制成的玻璃坯料的平面度、裂縫以及生產(chǎn)率進(jìn)行了評(píng)價(jià),其結(jié)果如表I 表3所示。另外,在通過水平直接沖壓制造玻璃坯料的所有實(shí)施例以及比較例Al、A2中,實(shí)施第一沖壓工序和第二沖壓工序過程中的沖壓成形面之間的溫度最高為550°C,在通過垂直直接沖壓制造玻璃坯料的比較例A3 A5中,實(shí)施沖壓工序過程中的沖壓成形面之間的溫度在450°C 500°C的范圍內(nèi)。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料, 在所述第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將所述熔融玻璃塊成形為板狀,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 在所述第二沖壓工序中,利用所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓, 在所述取出工序中,在經(jīng)過了所述第二沖壓工序之后,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間的所述板狀玻璃取出, 在所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法中,至少在實(shí)施所述第一沖壓工序和所述第二沖壓工序的期間內(nèi),使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同, 在所述第一沖壓工序中,在使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與所述熔融玻璃塊接觸之后對(duì)所述熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下。
2.如權(quán)利要求1所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí) 間進(jìn)行選擇,以使所述第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的所述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下。
3.如權(quán)利要求1或2所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法還包括將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成所述熔融玻璃塊的熔融玻璃塊形成工序,其中,所述熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出而形成的。
4.如權(quán)利要求3所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,所述熔融玻璃的粘度在500dPa.s 1050dPa.s的范圍內(nèi)。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法,其特征在于, 即將實(shí)施所述第一沖壓工序之前的所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度在構(gòu)成所述熔融玻璃塊的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下。
7.如權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的制造方法,其特征在于,使所述第二沖壓工序中的沖壓壓力呈經(jīng)時(shí)性地降低。
8.如權(quán)利要求7所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 在被夾持在所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間的所述板狀玻璃的溫度降低至構(gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C的范圍內(nèi)時(shí)降低所述沖壓壓力。
9.如權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 在實(shí)施所述第二沖壓工序的過程中,使所述板狀玻璃的一個(gè)面與所述第一沖壓成形模的沖壓成形面始終無(wú)縫隙地緊密接觸,并且使所述板狀玻璃的另一個(gè)面與所述第二沖壓成形模的沖壓成形面始終無(wú)縫隙地緊密接觸。
10.如權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到4 μ m以下。
11.如權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的至少與所述板狀玻璃接觸的區(qū)域呈大致平坦的面。
12.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于, 在至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板, 在所述第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將所述熔融玻璃塊成形為板狀,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 在所述第二沖壓工序中,利用所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓, 在所述取出工序中,在經(jīng)過了所述第二沖壓工序之后,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間的所述板狀玻璃取出, 在所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法中,至少在實(shí)施所述第一沖壓工序和所述第二沖壓工序的期間內(nèi),使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同, 在所述第一沖壓工序中,在使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與所述熔融玻璃塊接觸之后對(duì)所述熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下。
13.如權(quán)利要求12所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使所述第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的所述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下。
14.如權(quán)利要求12或13所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。
15.—種磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 在至少經(jīng)過第一沖壓工序、第二沖壓工序以及取出工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板,進(jìn)而至少經(jīng)過在所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序而制造磁記錄介質(zhì), 在所述第一沖壓工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓從而將所述熔融玻璃塊成形為板狀,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 在所述第二沖壓工序中,利用所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模持續(xù)對(duì)所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間形成的板狀玻璃進(jìn)行沖壓, 在所述取出工序中,在經(jīng)過了所述第二沖壓工序之后,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模分離,從而將被夾持在所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間的所述板狀玻璃取出, 在所述磁記錄介質(zhì)的制造方法中,至少在實(shí)施所述第一沖壓工序和所述第二沖壓工序的期間內(nèi),使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同, 在所述第一沖壓工序中,在使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與所述熔融玻璃塊接觸之后對(duì)所述熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下。
16.如權(quán)利要求15 所述的磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二沖壓工序的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使所述第二沖壓工序結(jié)束時(shí)的所述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下。
17.如權(quán)利要求15或16所述的磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。
18.—種磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 至少經(jīng)過利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形的沖壓成形工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 至少所述第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件, 所述沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面, 所述導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離, 所述沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟, 在所述第一步驟中,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模相互靠近直到所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸為止,由此將所述熔融玻璃塊成形為板狀玻璃, 在所述第二步驟中,在所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用所述第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和所述第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)所述板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
19.如權(quán)利要求18所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模分別至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件, 所述沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面, 所述導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模的一部分接觸,由此將所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離, 所述第一步驟通過下述方式來(lái)實(shí)施,上述方式是指:使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模相互靠近,直到所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸為止, 所述第二步驟通過下述方式來(lái)實(shí)施,上述方式是指:在所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模的導(dǎo)向部件接觸的狀態(tài)下,利用所述第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和所述第二沖壓成形模的沖壓成形模主體進(jìn)一步持續(xù)對(duì)所述板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
20.如權(quán)利要求18或19所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法還包括將熔融玻璃流的前端部切斷從而形成所述熔融玻璃塊的熔融玻璃塊形成工序,其中,所述熔融玻璃流是使熔融玻璃從玻璃流出口垂下并朝向垂直方向的下方側(cè)連續(xù)流出而形成的。
21.如權(quán)利要求20所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,所述熔融玻璃的粘度在500dPa.s 1050dPa.s的范圍內(nèi)。
22.如權(quán)利要求18 21中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向垂直的方向上對(duì)置配置。
23.如權(quán)利要求18 22中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二步驟的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行控制,以使所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度達(dá)到10 μ m以下。
24.如權(quán)利要求18 23中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 對(duì)所述第二步驟的持續(xù)時(shí)間進(jìn)行選擇,以使所述第二步驟結(jié)束時(shí)的所述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下。
25.如權(quán)利要求18 24中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,即將實(shí)施所述第一步驟之前的所述第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與所述第二沖壓成形模的沖壓成形模的溫度之差的絕對(duì)值在0°c 10°C的范圍內(nèi)。
26.如權(quán)利要求18 25中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 即將實(shí)施所述第一步驟之前的所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的面內(nèi)溫度差的絕對(duì)值在O°C 100°C的范圍內(nèi)。
27.如權(quán)利要求18 26中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 至少在實(shí)施所述沖壓成形工序的期間內(nèi),使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面的溫度與所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同, 并且,在使所述第一沖壓成形模的沖壓成形面和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面大致同時(shí)與所述熔融玻璃塊接觸之后對(duì)所述熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形。
28.如權(quán)利要求18 27中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 持續(xù)進(jìn)行所述第二步驟直到所述板狀玻璃的溫度至少變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°C的溫度以下為止。
29.如權(quán)利要求18 28中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,使所述第二步驟中的沖壓壓力呈經(jīng)時(shí)性地降低。
30.如權(quán)利要求29所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 在被夾持在所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模之間的所述板狀玻璃的溫度降低至構(gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的屈服點(diǎn)±30°C的范圍內(nèi)時(shí)降低所述沖壓壓力。
31.如權(quán)利要求18 30中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的平面度在10 μ m以下。
32.如權(quán)利要求18 31中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于,所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料的平面度在4μηι以下。
33.如權(quán)利要求18 32中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面的至少與所述板狀玻璃接觸的區(qū)域呈大致平坦的面。
34.如權(quán)利要求18 33中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模分別還設(shè)有第一推動(dòng)部件和第二推動(dòng)部件, 所述第一推動(dòng)部件沿著與所述沖壓成形面垂直的方向朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)同時(shí)推動(dòng)所述沖壓成形模主體和所述導(dǎo)向部件, 在通過所述第一推動(dòng)部件使所述導(dǎo)向部件和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模的一部分接觸之后,所述第二推動(dòng)部件沿著與所述沖壓成形面垂直的方向朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的另一個(gè)沖壓成形模側(cè)推動(dòng)所述沖壓成形模主體。
35.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于,在至少經(jīng)過沖壓成形工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板, 在所述沖壓成形工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 至少所述第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件, 所述沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面, 所述導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離, 所述沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟, 在所述第一步驟中,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模相互靠近直到所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸為止,由此將所述熔融玻璃塊成形為板狀玻璃, 在所述第二步驟中,在所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用所述第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和所述第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)所述板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
36.如權(quán)利要求35所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃 基板用玻璃坯料的平面度與所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。
37.一種磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 在至少經(jīng)過沖壓成形工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料之后,至少經(jīng)過對(duì)所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的主表面進(jìn)行研磨的研磨工序制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板,進(jìn)而至少經(jīng)過在所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形成磁記錄層的磁記錄層形成工序而制造磁記錄介質(zhì), 在所述沖壓成形工序中,利用第一沖壓成形模和第二沖壓成形模對(duì)下落中的熔融玻璃塊進(jìn)行沖壓成形,其中,所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模在與所述熔融玻璃塊的下落方向相交叉的方向上對(duì)置配置, 至少所述第一沖壓成形模至少設(shè)有沖壓成形模主體和導(dǎo)向部件, 所述沖壓成形模主體設(shè)有沖壓成形面, 所述導(dǎo)向部件至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為大致固定的距離, 所述沖壓成形工序包括第一步驟和第二步驟, 在所述第一步驟中,使所述第一沖壓成形模與所述第二沖壓成形模相互靠近直到所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸為止,由此將所述熔融玻璃塊成形為板狀玻璃, 在所述第二步驟中,在所述第一沖壓成形模的導(dǎo)向部件與所述第二沖壓成形模接觸的狀態(tài)下,利用所述第一沖壓成形模的沖壓成形模主體和所述第二沖壓成形模進(jìn)一步持續(xù)對(duì)所述板狀玻璃進(jìn)行沖壓。
38.如權(quán)利要求37所述的磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的平面度與所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板的平面度實(shí)質(zhì)上相同。
39.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造裝置,其特征在于,至少具備: 熔融玻璃流出管,其設(shè)有使熔融玻璃流朝向垂直方向下方側(cè)垂下的流出口, 一對(duì)剪切刀片,其在與從所述熔融玻璃流出管流出的熔融玻璃流的垂下方向大致垂直的方向上以相對(duì)置的方式配置在所述熔融玻璃流的垂下方向的兩側(cè),并且,通過從所述熔融玻璃流的兩側(cè)插入而將所述熔融玻璃流的前端部切斷,從而形成熔融玻璃塊,以及 第一沖壓成形模和第二沖壓成形模,其在與朝向垂直方向下方側(cè)落下的所述熔融玻璃塊的下落方向大致垂直的方向上以相對(duì)置的方式配置在所述熔融玻璃塊的下落方向的兩偵牝并且,通過從兩側(cè)將所述熔融玻璃塊夾住從而將所述熔融玻璃塊沖壓成形為板狀玻璃,至少所述第一沖壓成形模至少具備: 沖壓成形模主體,其設(shè)有沖壓成形面, 導(dǎo)向部件,其至少具有下述功能,上述功能是指:當(dāng)沖壓成形時(shí)被朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)時(shí),和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模的一部分接觸,由此將所述第一沖壓成形模和所述第二沖壓成形模的沖壓成形面之間的距離保持為 大致固定的距離, 第一推動(dòng)部件,其沿著與所述沖壓成形面垂直的方向朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)同時(shí)推動(dòng)所述沖壓成形模主體和所述導(dǎo)向部件,以及 第二推動(dòng)部件,其在通過所述第一推動(dòng)部件而使所述導(dǎo)向部件和與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模的一部分接觸之后,沿著與所述沖壓成形面垂直的方向朝向與所述沖壓成形面相對(duì)置而配置的所述第二沖壓成形模側(cè)推動(dòng)所述沖壓成形模主體。
40.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其包括使用一對(duì)沖壓成形模對(duì)熔融玻璃塊進(jìn)行直接沖壓從而將熔融玻璃塊成形為板狀玻璃的成形工序,其中,一對(duì)所述沖壓成形模相對(duì)置而配置且溫度實(shí)質(zhì)上相同, 所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法的特征在于, 在所述成形工序中,利用一對(duì)所述沖壓成形模持續(xù)擠壓所述熔融玻璃塊,直到所述熔融玻璃塊的溫度變?yōu)闃?gòu)成所述板狀玻璃的玻璃材料的應(yīng)變點(diǎn)+10°c的溫度以下為止。
41.如權(quán)利要求40所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 在維持所述熔融玻璃塊與一對(duì)所述沖壓成形模緊密接觸的狀態(tài)直到所述熔融玻璃塊的溫度變?yōu)樗霾AР牧系膽?yīng)變點(diǎn)以下之后,進(jìn)行退火處理。
42.如權(quán)利要求40或41所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 所述成形工序包括用于確定所述板狀玻璃的板厚的第一沖壓工序和用于提高所述板狀玻璃的平面度的第二沖壓工序,并且,使用一對(duì)所述沖壓成形模連續(xù)地進(jìn)行所述第一沖壓工序和所述第二沖壓工序。
43.如權(quán)利要求40 42中任一項(xiàng)所述的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法,其特征在于, 按照所述板狀玻璃的厚度達(dá)到2mm以下且平面度達(dá)到10 μ m以下的方式實(shí)施所述成形工序。
44.一種磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法,其特征在于, 通過權(quán)利要求40 43中任一項(xiàng)所述的制造方法制成磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料,并對(duì)所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃還料進(jìn)行加工從而制造磁記錄介質(zhì)玻璃基板。
45.—種磁記錄介質(zhì)的制造方法,其特征在于, 通過權(quán)利要求44所述的制造方法制成所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板,并至少經(jīng)過在所述磁記錄介質(zhì)玻璃基板上形 成磁記錄層的磁記錄層形成工序來(lái)制造磁記錄介質(zhì)。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明的磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法、和利用該制造方法的磁記錄介質(zhì)玻璃基板的制造方法、磁記錄介質(zhì)的制造方法、以及磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造裝置,能夠謀求改善平面度;在該磁記錄介質(zhì)玻璃基板用玻璃坯料的制造方法中,在使一對(duì)沖壓成形模大致同時(shí)與熔融玻璃塊接觸后進(jìn)行沖壓成形從而制成板狀玻璃,并在利用一對(duì)沖壓成形模持續(xù)對(duì)板狀玻璃進(jìn)行沖壓之后將板狀玻璃取出,并且,對(duì)持續(xù)沖壓板狀玻璃的時(shí)間進(jìn)行控制使得玻璃坯料的平面度達(dá)到10μm以下,其中,一對(duì)沖壓成形模在水平方向上相對(duì)置而配置且沖壓成形面及沖壓成形面的溫度實(shí)質(zhì)上相同。
文檔編號(hào)C03B11/00GK103155038SQ20118004626
公開日2013年6月12日 申請(qǐng)日期2011年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月30日
發(fā)明者村上明, 大澤誠(chéng), 杉山伸博, 佐藤崇, 谷野秀和, 磯野英樹, 越阪部基延, 本橋孝朗 申請(qǐng)人:Hoya株式會(huì)社