專利名稱：透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法和透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法和透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，尤其涉及用于制造顯示元件保護(hù)基板的板基板層疊體的制造方法和在顯示元件的保護(hù)玻璃的制造エ序中使用的玻璃板貼合裝置。
背景技術(shù)：
在電視、筆記本個人電腦、汽車導(dǎo)航、計算器、移動電話、電子記事本、以及PDA (個人數(shù)字助理，Personal Digital Assistant)這些各種電子設(shè)備的顯示裝置中使用液晶顯示器(LCD)、有機EL顯示器(OELD)、電致發(fā)光顯示器(ELD)、場發(fā)射顯示器(FED)、以及等離子體顯示器(PDP)等顯示元件。于是，為了保護(hù)顯示元件，一般與顯示元件相對地設(shè)置保護(hù) 用的玻璃板制品。該玻璃板制品是將玻璃板加工成適于各顯示裝置的大小和形狀的制品，但為了應(yīng)對市場要求的價格水平，需要高生產(chǎn)效率地加工大量玻璃板制品。于是，在日本特開2009-256125號公報(專利文獻(xiàn)I)中提出了提高玻璃板制品生產(chǎn)效率的方法。具體而言提出了 “ー種玻璃板的加工方法，其特征在于，層疊多個素材玻璃板(I),并且利用介于各素材玻璃板(I)間的能夠剝離的固定材料(2 )將各素材玻璃板(I)一體地固定，形成素材玻璃塊(A);將該素材玻璃塊(A)在面方向分割形成小面積的分割玻璃塊(B);至少加工該分割玻璃塊(B)的外周形成俯視制品形狀的制品玻璃塊(C);對該制品玻璃塊(C)端面加工后，將該制品玻璃塊(C)各自分離開”(權(quán)利要求I)。由此記載了“在層疊了多個素材玻璃板狀態(tài)下進(jìn)行分割、外形加工、以及端面加工，因此能夠以少的エ序獲得多個玻璃板制品，生產(chǎn)率高”(段落0007)。另外，在專利文獻(xiàn)I中記載了“介于各素材玻璃板(I)間的固定材料(2)是照射紫外線時固化且升溫時固化狀態(tài)軟化的光固化性液狀固定材料”(權(quán)利要求4)。由此記載了“如果使光固化性液狀固定劑介于上下素材玻璃板間并在上下方向加壓，則該液狀固定劑在上下素材玻璃板間整面且均等厚度地擴展成膜狀，如果在該狀態(tài)下照射紅外線，則擴展成上述膜狀的液狀固定劑固化并將上下各玻璃板一體地固定。因此，能夠迅速且高精度地層疊多個素材玻璃板并將其一體地固定。另外，在最終加工(端面加工)后，如果將制品玻璃塊收納在熱水等中升溫，則各玻璃板間固化的固定劑軟化，成為膜狀而分離。因此，可不發(fā)生環(huán)境污染地容易地回收和處理固定剤?！?段落0007)。在專利文獻(xiàn)I的“具體實施方式
”欄中記載了，一邊使光固化性的液狀固定劑夾設(shè)在各素材玻璃板間，一邊層疊20塊素材玻璃板，接著，從層疊好的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)使固定劑固化，形成一體地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃塊(段落0010 0011)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-256125號公報

發(fā)明內(nèi)容
利用專利文獻(xiàn)I中記載的玻璃板的加工方法，能夠以高生產(chǎn)效率制造規(guī)定形狀的玻璃板制品。但是，電子設(shè)備有時要求在玻璃板上形成需要的印刷圖案(例如，移動電話顯示畫面的設(shè)計)，在這樣的情況下對于印刷的圖案要求高位置精度(例如，容許誤差為10
30μ m左右)。在專利文獻(xiàn)I中記載的方法中，一邊使光固化性的液狀固定劑夾設(shè)在各素材玻璃板間，一邊層疊20塊素材玻璃板，接著，從層疊好的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)使固定劑固化，形成一體地固定了上下各素材玻璃板的素材玻璃塊。但是，按這樣的步驟層疊素材玻璃板時固定劑沒有固化，玻璃面彼此容易產(chǎn)生微妙的位置偏離，因此，不適合高精度的位置對合。即，采用專利文獻(xiàn)I中記載的方法難以獲得高位置精度。 另外，在專利文獻(xiàn)I中雖然公開了貼合玻璃的方法的發(fā)明，但對于實現(xiàn)其的裝置沒有記載。為了エ業(yè)上批量生產(chǎn)，期望提供能夠貼合玻璃的裝置。于是，本發(fā)明的課題在于提供能夠?qū)崿F(xiàn)提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法。另外，本發(fā)明的另ー課題在于提供利用了該透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的板狀制品制造方法。另外，本發(fā)明的另ー課題還在于提供既提高板狀制品的生產(chǎn)效率又有助于提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置。為了解決上述課題本發(fā)明人進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在以規(guī)定的位置關(guān)系夾設(shè)光固化性固定劑來貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時，有效的是僅將夾在兩透光性硬質(zhì)基板間而擴展的固定劑的外周部分固化以使得預(yù)固定(預(yù)照射)。對于預(yù)固定的透光性硬質(zhì)基板的層疊體而言，即使層疊也不容易產(chǎn)生位置偏離。另ー方面，透光性硬質(zhì)基板彼此只不過是粘接著外周部分，因此在預(yù)固定后檢查貼合的位置精度，對于不合格品，在暫且剝離后容易進(jìn)行再次預(yù)固定這個步驟。另外，預(yù)固定需要的時間與將在透光性硬質(zhì)基板面擴展的固定劑全部固化的情況相比，以每單位面積的照射能量大概為5分之I左右完成。因此，如果在通過預(yù)固定層疊多個透光性硬質(zhì)基板后實施在基板表面的中央附近存在的固定劑的固化(主照射)，則也能夠以高位置精度和高生產(chǎn)效率制造透光性硬質(zhì)基板層疊體。將以上看法作為基礎(chǔ)完成的本發(fā)明在一方面是ー種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序，2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序，3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的エ序，5) 一邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序，6 )在維持上述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，7)主照射エ序，即照射用于使存在于上述預(yù)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體，8)將上述主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 7)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序。本發(fā)明在另一方面是ー種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序，2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序， 3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的エ序，5) —邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序，6 )在維持上述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，7’)將上述預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，8，)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的一個實施方式中進(jìn)ー步包括8”)將エ序8，)所得到的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，和8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成増加了層疊塊數(shù)的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另ー個實施方式中，上述外周部分存在于沒有形成板狀制品一部分的邊緣區(qū)域。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，主照射エ序是邊對已貼合的透光性硬質(zhì)基板面施加規(guī)定的壓カ邊進(jìn)行的。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，使分散在未固化固定劑中的氣泡移動到不受形狀加工的位置后實施主照射エ序。 在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附帯有用于位置對合的標(biāo)記，エ序4)包括邊利用攝像裝置對其攝像邊進(jìn)行位置調(diào)整。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附帯有用于發(fā)揮透光性硬質(zhì)基板制品的功能之一的規(guī)定印刷圖案和/或鍍覆圖案。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，上述固定劑含有粒狀物質(zhì)。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，通過使用了 365nm的光接收器的積算照度計進(jìn)行測定,光的照射量為lmj/cm2 500mJ/cm2的范圍。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的再另ー個實施方式中，透光性硬質(zhì)基板為玻璃板。本發(fā)明在另一方面是ー種板狀制品的制造方法，包括9)將采用上述透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體 在厚度方向進(jìn)行分割，形成分割成需要數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，10)分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行需要的形狀加工的エ序，11)通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱來剝離貼合著的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個板狀制品的エ序。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的一個實施方式中，在エ序9)和エ序10)之間進(jìn)一歩包括以下エ序在使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的另ー個實施方式中，剝離劑含有選自溶劑、氧化劑、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性剤。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑含有芐醇。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑含有陰離子系表面活性剤。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑含有磺酸型表面活性剤。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的再另ー個實施方式中，剝離劑的液溫為20°C 40°C，與剝離劑接觸的時間為I 20分鐘。本發(fā)明在再另一方面是ー種透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，具備上側(cè)載物臺，用于保持上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板，具有用于真空吸附上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板的吸引孔，能夠使上側(cè)載物臺沿Z軸方向移動的加壓單元，對上述吸引孔提供吸引力的吸引単元，用于保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下側(cè)載物臺，使下側(cè)載物臺沿X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向移動的機構(gòu)，用于在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下表面和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的上表面的任一表面或者兩表面涂布光固化性固定劑的機構(gòu)，以及排列在能夠向兩透光性硬質(zhì)基板貼合面的外周部分照射光的位置的光照射部。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的一個實施方式中，光照射部在上側(cè)載物臺的下表面沿著被保持的透光性硬質(zhì)基板的外周排列，井向下方照射光。通過這樣地排列光照射部，能夠選擇性地對存在于透光性硬質(zhì)基板外周部分的固定劑照射光。由于光照射在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板上，因此，在對下側(cè)透光性硬質(zhì)基板(可以為ー塊透光性硬質(zhì)基板，也可以為ニ塊以上的透光性硬質(zhì)基板層疊體)逐個地層疊上側(cè)透光性硬質(zhì)基板時特別地有效。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的另ー個實施方式中，光照射部在下側(cè)載物臺的上表面沿著被保持的透光性硬質(zhì)基板的外周排列，井向上方照射光。通過這樣地排列光照射部，能夠同樣選擇性地對存在于透光性硬質(zhì)基板外周部分的固定劑照射光。由于光照射在下側(cè)透光性硬質(zhì)基板上，因此，在對上側(cè)透光性硬質(zhì)基板(可以為ー塊透光性硬質(zhì)基板，也可以為ニ塊以上的透光性硬質(zhì)基板層疊體)逐個地層疊下側(cè)透光性硬質(zhì)基板時是有效的。這種情況下，如果不取出貼合后的透光性硬質(zhì)基板層疊體而保持在上側(cè)載物臺上，則能夠通過由下側(cè)載物臺供給接下來層疊的透光性硬質(zhì)基板來連 續(xù)地層疊透光性硬質(zhì)基板。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー個實施方式中，光照射部以包圍貼合的兩透光性硬質(zhì)基板外周側(cè)面的方式排列，向外周側(cè)面照射光。這種情況下也同樣能夠選擇性地對存在于透光性硬質(zhì)基板外周部分的固定劑照射光。向外周側(cè)面照射的光的能量被粘接劑吸收，因此光不會到達(dá)至透光性硬質(zhì)基板的中央附近。另外，由于可以將光照射部沿Z軸方向移動，所以能夠使光照射部符合貼合面的高度。因此，對上側(cè)透光性硬質(zhì)基板逐塊地層疊下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的情況、以及對下側(cè)透光性硬質(zhì)基板逐塊地層疊上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的情況均能夠適用。如果不取出貼合后的透光性硬質(zhì)基板層疊體而保持在上側(cè)載物臺上，則也能夠通過由下側(cè)載物臺供給接下來層疊的透光性硬質(zhì)基板來連續(xù)地層疊透光性硬質(zhì)基板。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー個實施方式中，進(jìn)ー步具備對設(shè)在上側(cè)和下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板表面的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的攝像單元；基于拍攝結(jié)果檢測設(shè)在上側(cè)和下側(cè)表面的對準(zhǔn)標(biāo)記偏離位置程度的圖像處理單元；和基于檢測到的位置偏離程度控制上述下側(cè)載物臺移動機構(gòu)的控制單元。利用攝像單元對透光性硬質(zhì)基板彼此的位置關(guān)系進(jìn)行微調(diào)整，由此能夠以更高的位置精度層疊基板。因此，在對透光性硬質(zhì)基板表面賦予印刷圖案、鍍覆圖案等需要高位置精度的情況下，也能夠應(yīng)對。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー個實施方式中，光照射部照射光的上述外周部分是沒有形成板狀制品的一部分的邊緣區(qū)域。選擇性地對邊緣區(qū)域光照射時，構(gòu)成板狀制品的部分的基板沒有受到用于預(yù)固定的光照射。因此，在之后主照射時能夠使該部分的光照射經(jīng)歷均勻，具有能夠抑制由固定劑變形帶來的基板變形的這個優(yōu)點。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー實施方式中，保持在上側(cè)載物臺和/或下側(cè)載物臺的透光性硬質(zhì)基板是2塊以上透光性硬質(zhì)基板的層疊體。將在本發(fā)明中貼合的上側(cè)和/或下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板制成由2塊以上透光性硬質(zhì)基板形成的層疊體，由此能夠制造3塊以上基板層疊體。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー實施方式中，用于涂布固定劑的機構(gòu)涂布含有粒狀物質(zhì)的固定劑。固定劑含有粒狀物質(zhì)，由此能夠使固定劑的厚度一定，因此加工精度提高。另外，利用固定劑成分與粒狀物質(zhì)線膨脹系數(shù)的不同，以后剝離時的剝離性也提高。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的再另ー實施方式中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。根據(jù)本發(fā)明，能夠以高位置精度制造透光性硬質(zhì)基板層疊體。由此，能夠以高尺寸精度在エ業(yè)上制造板狀制品。本發(fā)明能夠很好地用于例如批量生產(chǎn)顯示元件的保護(hù)玻璃的方法。


圖I是表示能夠用于實施本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第一例的模式圖。圖2是表示上側(cè)載物臺下表面的例子的模式圖。圖3是表示在下側(cè)載物臺上載置第一塊基板的狀態(tài)的圖。圖4是表示將載置在下側(cè)載物臺上的第一塊基板運送到上側(cè)載物臺的正下方的狀態(tài)的圖。圖5是表示使上側(cè)載物臺下降真空吸附第一塊基板的狀態(tài)的圖。圖6是表示ー邊保持吸附的第一塊基板一邊使上側(cè)載物臺上升的狀態(tài)的圖。圖7是表示在下側(cè)載物臺載置第二塊基板的狀態(tài)的圖。圖8是表示在第二塊基板的上表面涂布固定劑的狀態(tài)的圖。圖9是表示將載置在下側(cè)載物臺的第二塊基板運送到上側(cè)載物臺的正下方、利用照相機拍攝兩基板表面帶有的對準(zhǔn)標(biāo)記的狀態(tài)的圖。圖10是表示在保持于上側(cè)載物臺的第一塊基板的下表面涂布固定劑的狀態(tài)的圖。圖11是表示使上側(cè)載物臺下降貼合ニ塊基板并對基板的外周部照射UV的狀態(tài)的圖。圖12是顯示在UV照射后使上側(cè)載物臺上升的狀態(tài)的圖。圖13是表示利用下側(cè)載物臺運送貼合的基板并返回到原始位置的狀態(tài)的圖。圖14是表示能夠用于實施本發(fā)明的基板貼合裝置的第二例的模式圖。圖15是表示能夠用于實施本發(fā)明的基板貼合裝置的第三例的模式圖。圖16是表示在端面加工基板層疊體時固定劑成為障礙而使基板沒有受到磨邊的狀態(tài)的模式圖。圖17是表示在端面加工基板層疊體時通過使固定劑外緣露出部分的粘合力降低來使各基板受到磨邊的狀態(tài)的模式圖。
具體實施例方式〈第一的實施方式〉在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的第一實施方式中，實行I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序，
2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序，3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的エ序，5) —邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序，6 )在維持所述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，7)主照射エ序，即照射用于使存在于所述預(yù)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的 未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體，8)將上述主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 7)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序。在エ序(I)和エ序(2)中，準(zhǔn)備作為加工對象的透光性硬質(zhì)基板。作為透光性硬質(zhì)基板，沒有特別限制，可以舉出玻璃板(素材玻璃板、帶透明導(dǎo)電膜的玻璃基板、形成有電極或電路的玻璃基板等)、藍(lán)寶石基板、石英基板、塑料基板、氟化鎂基板等。作為玻璃，也可以舉出強化玻璃。對透光性硬質(zhì)基板的大小沒有特別限制，但典型而言，具有10000 250000mm2左右的面積，具有O. I 2_左右的厚度。一般各透光性硬質(zhì)基板是相同的尺寸。沒有限定，但可以在各透光性硬質(zhì)基板的表面賦予用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定印刷圖案、鍍覆圖案。作為印刷圖案的例子，可以舉出移動電話顯示畫面的設(shè)計，作為鍍覆圖案的例子，可以舉出實施了鍍鉻圖案的旋轉(zhuǎn)編碼器。在エ序(3)中，在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑。光固化性固定劑是通過照射紫外線等光而固化且在高溫加熱則軟化的固定劑，已知各種固定劑。作為在本發(fā)明中使用的光固化性固定劑，能夠使用公知的任意光固化性固定劑，沒有特別限制。光固化性固定劑可以涂布在任一個透光性硬質(zhì)基板的貼合面上，但從提高粘接性的觀點考慮，優(yōu)選在兩個透光性硬質(zhì)基板的貼合面上涂布。作為優(yōu)選在本發(fā)明中使用的光固化性固定劑，例如可以舉出在W02008/018252中記載的含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酷、(B)單官能(甲基)丙烯酸酷、以及(C)光聚合引發(fā)劑的粘接性組合物。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，能夠使用低聚物/聚合物末端或者側(cè)鏈被(甲基)丙烯?；?個以上的多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物、具有2個以上(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯単體。例如，作為多官能(甲基)丙烯酸酯低聚物/聚合物，可以舉出1，2-聚丁ニ烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本曹達(dá)公司制的“TE-2000”、“TEA-1000”)、其氫化物(例如，日本曹達(dá)公司制的“TEAI-1000”)、1，4-聚丁ニ烯末端氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有機化學(xué)公司制的“ BAC-45”)、聚異戊ニ烯末端(甲基)丙烯酸酯、聚酯系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化學(xué)公司制的“ UV-2000B”、“UV-3000B”、“UV-7000B”、根上エ業(yè)公司制的“ KHP-11”、“KHP-17”)、聚醚系氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化學(xué)公司制的“ UV-3700B”、“UV-6100B”)、或者雙酚A型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。作為2官能(甲基)丙烯酸酯単體，可以舉出1，3-丁ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，4- 丁ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，6-己ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、1，9-壬ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、新戊ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酯、ニ環(huán)戊基ニ(甲基)丙烯酸酷、2-こ基-2- 丁基-丙ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酯、新戊ニ醇改性三羥甲基丙烷ニ(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇ニ(甲基)丙烯酸酯、聚丙ニ醇ニ(甲基)丙烯酸酷、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基ニこ氧基苯基)丙烷、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、或者2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基四こ氧基苯基)丙烷等。作為3官能(甲基)丙烯酸酯単體，可以舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰氧基こ基]異氰脲酸酯等。作為4官能以上的(甲基)丙烯酸酯単體，可以舉出ニ羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇こ氧基四(甲基)丙烯酸酯、ニ季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、或者ニ季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。
作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酯単體，可以舉出(甲基)丙烯酸甲酷、(甲基)丙烯酸こ酷、(甲基)丙烯酸丙酷、(甲基)丙烯酸丁酷、(甲基)丙烯酸2-こ基己酷、(甲基)丙烯酸異辛酷、(甲基)丙烯酸異癸酷、(甲基)丙烯酸月桂酷、(甲基)丙烯酸硬脂酷、(甲基)丙烯酸苯酷、(甲基)丙烯酸環(huán)己酷、(甲基)丙烯酸ニ環(huán)戊基酷、(甲基)丙烯酸ニ環(huán)戊烯基酷、(甲基)丙烯酸ニ環(huán)戊烯氧基こ酷、(甲基)丙烯酸異冰片酯、甲氧基化環(huán)癸三烯(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-羥基こ酷、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酷、(甲基)丙烯酸3-羥基丙酷、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酷、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酷、(甲基)丙烯酸縮水甘油酷、己內(nèi)酯改性四氫糠基(甲基)丙烯酸酷、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥基丙酷、(甲基)丙烯酸N，N- ニ甲基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸N，N- ニこ基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸叔丁基氨基こ酷、(甲基)丙烯酸こ氧羰基甲酷、苯酚環(huán)氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、苯酚(環(huán)氧こ烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、苯酚(環(huán)氧こ烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、對枯基苯酚環(huán)氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚環(huán)氧こ烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧こ烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬基苯酚(環(huán)氧こ烷8摩爾改性)(甲基)丙烯酸酷、壬基苯酚(環(huán)氧丙烷2. 5摩爾改性)(甲基)丙烯酸酷、2-こ基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酷、環(huán)氧こ烷改性鄰苯ニ甲酸(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧こ烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟こ酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、ω-羧基-聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯、鄰苯ニ甲酸單羥基こ基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸ニ聚物、β -(甲基)丙烯酰氧基こ基氫琥珀酸酷、η-(甲基)丙烯酰氧基烷基六氫鄰苯ニ甲酰亞胺、2- (1，2-環(huán)己ニ甲酰亞胺)こ基(甲基)丙烯酸酯、こ氧基ニこニ醇(甲基)丙烯酸酷、(甲基)丙烯酸芐酯等。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯與(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的配合比，優(yōu)選為
(A): (B) = 5:95 95:5 (質(zhì)量份)。如果5質(zhì)量份以上，則也沒有初期粘接性降低的可能，如果95質(zhì)量份以下，則能夠確保剝離性。已固化的固定劑通過在溫水中浸潰而剝離成膜狀。(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的含量進(jìn)ー步優(yōu)選在(A)和(B)的合計量100質(zhì)量份中為40 80質(zhì)量份。(C)光聚合引發(fā)劑是為了利用可見光線、紫外線的活性光線使其敏化來促進(jìn)樹脂組合物的光固化而配合的，可以使用公知的各種光聚合引發(fā)劑。具體地可以舉出ニ苯甲酮或者其衍生物；苯偶?；蛘咂溲苌?；蒽醌或者其衍生物；苯偶姻；苯偶姻甲基醚、苯偶姻こ基醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻異丁基醚、安息香ニ甲醚等苯偶姻衍生物；ニこ氧基苯こ酮、4-叔丁基三氯苯こ酮等苯こ酮衍生物；2_ ニ甲基氨基こ基苯甲酸酯；對ニ甲基氨基こ基苯甲酸酯；ニ苯基ニ硫化物；噻噸酮或者其衍生物；樟腦醌；7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-羧酸、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-羧基-2-溴こ基酷、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代雙環(huán)[2. 2. I ]庚燒-I-羧基-2-甲基酷、7，7- ニ甲基-2，3- ニ氧代雙環(huán)[2. 2. I]庚烷-I-酰氯等樟腦醌衍生物；2-甲基-1- [4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙烷-I-酮、2-芐基-2-ニ甲基氨基-1- (4-嗎啉基苯基)-丁酮-I等α-氨基烷基苯酮衍生物；苯甲?；吮交?氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲?；吮交趸?、苯甲酰基ニこ氧基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲酰基ニ甲氧基苯基氧化膦、2，4，6-三甲基苯甲?；摔逞趸交趸瘎俚人峄趸瘎傺苌?、輕基_苯基_こ酸2- [2-氧代-2-苯基-こ酸氧基_こ氧基]_こ酯和/或輕基_苯基_こ酸2- [2-輕基-こ氧基]-こ酯等。光聚合引發(fā)劑能夠使用I種或者將2種以上組合使用。在它們之中，從效果大的方面考慮，優(yōu)選選自I安息香ニ甲醚、羥基-苯基-こ酸2- [2-氧代-2-苯基-こ酰氧基-こ氧基]-こ酯以及羥基-苯基-こ酸2- [2-羥基-こ氧基]-こ酯中的I種或者2種以上。(C)光聚合引發(fā)劑的含量優(yōu)選相對于(A)和(B)的合計100質(zhì)量份為O. I 20質(zhì)量份，更優(yōu)選為O. 5 10質(zhì)量份。如果為O. I質(zhì)量份以上，則可靠地獲得固化促進(jìn)效果，如果20質(zhì)量份以下，則能夠獲得充分的固化速度。添加I質(zhì)量份以上(C)成分可以不依賴于光照射量地固化，進(jìn)而組合物固化體的交聯(lián)度變高，從在切削加工時不產(chǎn)生位置偏離等方面、從剝離性提高方面考慮，進(jìn)ー步優(yōu)選添加I質(zhì)量份以上(C)成分。光固化性固定劑優(yōu)選含有在固定劑的成分(A)、(B)以及(C)中不溶解的粒狀物質(zhì)(D)0由此，固化后的組合物能夠保持一定的厚度，因此加工精度提高。進(jìn)而，由于粘接性組合物的固化體與粒狀物質(zhì)(D)的線膨脹系數(shù)不同，所以在利用上述粘接劑組合物貼合透光性硬質(zhì)基板后剝離時剝離性提高。作為粒狀物質(zhì)(D)的材質(zhì)，一般使用的有機粒子、或者無機粒子均可。具體而言，作為有機粒子，可以舉出聚こ烯粒子、聚丙烯粒子、交聯(lián)聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯(lián)聚苯こ烯粒子等。作為無機粒子，可以舉出玻璃、ニ氧化硅、氧化鋁、鈦等陶瓷粒子。從加工精度提高、即控制粘接劑的膜厚的觀點考慮，粒狀物質(zhì)(D)優(yōu)選為球狀。粒狀物質(zhì)(D)基于激光法的平均粒徑優(yōu)選在20 200 μ m的范圍。如果上述粒狀物質(zhì)的平均粒徑低于20 μ m，則剝離性較差，如果為200 μ m以上，則在加工預(yù)固定的部件時容易產(chǎn)生偏離，在尺寸精度面較差。從剝離性和尺寸精度的觀點考慮，更優(yōu)選的平均粒徑(D50)為35 μ m 150 μ m,進(jìn)一步優(yōu)選為50 μ m 120 μ m。粒徑分布利用激光衍射式粒度分布測定裝置進(jìn)行測定。從粘接性、加工精度、剝離性的觀點考慮，粒狀物質(zhì)(D)的用量優(yōu)選相對于(A)和
(B)的合計量100質(zhì)量份為O. I 20質(zhì)量份，更優(yōu)選為O. 2 10質(zhì)量份，最優(yōu)選為O. 2 6質(zhì)量份。在光固化性固定劑中能夠添加用于提高貯藏穩(wěn)定性的阻聚劑(E)。作為阻聚劑，可以舉出甲基氫醌、氫醌、2，2-亞甲基-雙(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、鄰苯ニ酚、氫醌單甲基醚、單叔丁基氫醌、2，5-ニ叔丁基氫醌、對苯醌、2，5-ニ苯基-對苯醌、2，5-ニ叔丁基-對苯醌、苦味酸、檸檬酸、吩噻嗪、叔丁基鄰苯ニ酚、2-丁基-4-羥基苯甲醚以及2，6-ニ叔丁基對甲酚等。阻聚劑(E)的用量優(yōu)選相對于(A)和(B)的合計量100質(zhì)量份為O. 001 3質(zhì)量份，更優(yōu)選為O. 01 2質(zhì)量份。如果為O. 001質(zhì)量份以上，則可確保貯藏穩(wěn)定性，如果為3質(zhì)量份以下，則獲得良好的粘接性，也不會未固化。在エ序(4)中，利用預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置。一般地在面方向使兩透光性硬質(zhì)基板以嚴(yán)密重疊的方式対置。作為實施其的機構(gòu)，考慮使用用于約束透光性硬質(zhì)基板的移動方向而使其移動到一定位置的導(dǎo)軌、框架。在要求更高精度的定位時，優(yōu)選利用具有定位機構(gòu)的貼合裝置進(jìn)行。為了高精度的定位，更優(yōu)選在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對合的標(biāo)記，使用可以ー邊利用攝像裝置將其拍攝ー邊進(jìn)行位置調(diào)整的貼合裝置。如果在貼合兩透光性硬質(zhì)基板后進(jìn)行位置偏離的修正，則有可能固定劑從貼合面漏出、或在基板表面有傷痕，因此，位置偏離修正優(yōu)選在貼合前實行。
在エ序(5)中，ー邊維持エ序(4)中規(guī)定的位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓力，以固定劑在貼合面上擴展的方式貼合。從層疊精度的觀點考慮，優(yōu)選固定劑在貼合面上以一定的厚度擴展到整體。如果涂布的固定劑的量過少，則固定劑不擴展到貼合面整體而成為在貼合面上產(chǎn)生氣泡的原因。如果產(chǎn)生氣泡，則位置精度降低。如果涂布的固定劑的量過多，則固定劑從貼合面的間隙漏出。即使固定劑稍微漏出，也可以拭去，沒有大的問題，但它的量多則浪費固定劑。貼合時的壓カ也與固定劑的擴展有關(guān)系。因此，除固定劑的量以外，還優(yōu)選適當(dāng)?shù)卣{(diào)整貼合壓力。作為實現(xiàn)其的機構(gòu)，考慮使用具備控制貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時的壓力的功能的貼合裝置的方法。貼合時的壓カ可以考慮上述進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定，例如可以為5g/cm2 50g/cm2、典型地可以為 10g/cm2 30g/cm2。進(jìn)而，也考慮控制固定劑的厚度本身。作為厚度的控制方法，可以舉出先前所述的在固定劑中混合粒狀物質(zhì)的方法，除此之外考慮使用具備控制貼合透光性硬質(zhì)基板彼此時的透光性硬質(zhì)基板高度的功能的貼合裝置的方法。在エ序(6)中，在維持所述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。通過向固定劑的外周部分照射光，從而固定劑僅外周部分固化成環(huán)狀，能夠以比較弱的力貼合兩透光性硬質(zhì)基板，能夠發(fā)揮層疊透光性硬質(zhì)基板時防止位置偏離的功能。如果出于貼合的透光性硬質(zhì)基板不易引起位置偏離這個目的，則外周部分應(yīng)是具有一定程度寬度的區(qū)域，但如果過度地照射到內(nèi)部，則破壞了不引起位置偏離的程度的預(yù)固定這個目的，并且照射時間也延長，因此生產(chǎn)效率降低。典型而言，利用LED単元16照射的外周部分為5 25mm，更典型而言，為7 17mm左右的寬度。另外，照射光的外周部分優(yōu)選存在于不形成板狀制品的一部分的邊緣區(qū)域。在以后主照射時，能夠使形成板狀制品的部分的光照射經(jīng)歷均勻，抑制固定劑變形。其結(jié)果，也能夠抑制該部分基板變形。內(nèi)部固定劑不固化保持流動性,但由于外周部的固定劑固化，因而不會從兩透光性硬質(zhì)基板的間隙漏出。照射光的波長可以根據(jù)使用的固定劑的特性進(jìn)行適當(dāng)變更，例如可以照射微波、紅外線、可見光、紫外線、X線、Y線、電子束等。由于使用簡便，具有比較高的能量，所以照射光一般為紫外線。這樣，在本發(fā)明中，所謂光不僅指可見光也指包含廣泛波長區(qū)域的電磁波(能量線)。照射的光是預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板所必須的程度的照射量即可，利用使用了365nm光接收器的積算照度計來測定，一般可以為I 500mJ/cm2,典型地可以為50 450mJ/cm2,更典型地可以為200 400mJ/cm2。作為照射時間，一般為I 120秒，典型而言為2 60秒左右，優(yōu)選為15秒 45秒左右。通過維持著貼合的壓カ地實行光照射，從而抑制固化變形而控制固定劑的厚度，能夠提高透光性硬質(zhì)基板的層疊精度。在エ序(7)中，照射用于使存在于所述預(yù)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。由于能夠在形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體前的制造預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的時刻檢查層疊精度，因此，具 有不良情況發(fā)生時容易修復(fù)的優(yōu)點。為了使存在于預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化固定劑固化，可以對預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板的貼合面整體照射光。由于外周部分的固定劑已經(jīng)固化，因此并不需要對外周部分照射光。但是為了使固定劑的固化狀態(tài)均化化，優(yōu)選使被夾在貼合面間而存在的固定劑整體的照射經(jīng)歷均勻化。為此，有對在預(yù)固定時沒有照射光的內(nèi)部區(qū)域選擇性地照射光的方法。也考慮在光照射時利用不透射紫外線的材料遮蓋透光性硬質(zhì)基板的外周部分。另外，為了提高貼合的位置精度，優(yōu)選邊對貼合的透光性硬質(zhì)基板面施加規(guī)定的壓カ邊進(jìn)行。通過施加壓力，可以防止因固定劑固化收縮而在基板的Z軸方向發(fā)生翹曲、圖案偏離、不能真空吸附這樣的問題。施加的壓カ可以考慮透光性硬質(zhì)
基板的強度進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定，例如可以為5g/cm2 50g/cm2,典型而言可以為10g/cm2 30g/
2
cm οエ序(7)中照射的光的照射量利用使用了 365nm光接收器的積算照度計進(jìn)行測定，一般為30 4000mJ/cm2，典型而言為100 3000mJ/cm2，更典型而言為300 2500mJ/cm2，優(yōu)選為1000 2000mJ/cm2。作為照射時間，一般為O. I 120秒，典型而言為I 30
秒，更典型而言為10 20秒左右。優(yōu)選在エ序(7)前使混雜存在于未固化的固定劑中的氣泡移動到不受形狀加工的位置。這是由于以下的理由。在預(yù)固定時有時氣泡進(jìn)入到固定劑層中。在氣泡存在的狀態(tài)下進(jìn)行主照射吋，由于固定劑固化，氣泡被固定化在其位置。如果該氣泡存在于接受切斷加エ、外形加工、開孔加工這樣的形狀加工的位置，換言之如果存在于直接加工工具(刀片、磨刀石)接觸的地方，則發(fā)生碎屑。于是，通過在主照射前預(yù)先使氣泡移動到不受形狀加工的位置，能夠預(yù)防發(fā)生碎屑。作為使其移動的方法，有用手、棒擠壓基板來使氣泡移動的方法。在エ序(8)中，將エ序(7)中得到的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 7)。由此形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的主固定透光性硬質(zhì)基板層置體。從提聞板狀制品的生廣效率的觀點考慮，優(yōu)選制造層置有10塊以上的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體，典型而言優(yōu)選層疊有10 30塊的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體。〈第二實施方式〉在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的第二實施方式中，實行I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序，
2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序，3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序，4)以預(yù)先規(guī)定的面方向的位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面平行的方式對置的エ序，5) —邊維持上述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序，
6 )在維持所述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，7’)將上述預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，8，)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。截至エ序(I) (6)為止以與第一實施方式同樣的步驟進(jìn)行。エ序(6)之后，在本實施方式中，實施工序(7’)，即將上述預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。在第一實施方式中，在形成層疊有2塊透光性硬質(zhì)基板的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體后立即進(jìn)行主照射形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。即，毎次預(yù)照射結(jié)束后進(jìn)行主照射。在第二實施方式中，在形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體后不立即進(jìn)行主照射，而是通過重復(fù)エ序(I) (6)來制作由多個透光性硬質(zhì)基板形成的預(yù)固定層疊體。之后，在エ序(8’)中，照射用于使存在于所得到的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。由于對由多個透光性硬質(zhì)基板形成的預(yù)固定層疊體進(jìn)行一次主照射，因此，能夠減少制造由多個透光性硬質(zhì)基板形成的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體所必須的主照射的次數(shù)，從而生產(chǎn)效率提高。但是，如果形成由過多的透光性硬質(zhì)基板構(gòu)成的預(yù)固定層疊體，則在主照射時紫外線無法到達(dá)至內(nèi)部的固定劑，從而固定劑的固化容易不充分，因此，預(yù)固定層疊體優(yōu)選最多由5塊透光性硬質(zhì)基板構(gòu)成。為了提高貼合的位置精度，エ序(8’)也與エ序(7)同樣地優(yōu)選邊對貼合的透光性硬質(zhì)基板面施加規(guī)定的壓カ邊進(jìn)行。另外，出于與エ序(7)所述的同樣的理由，優(yōu)選在エ序(8’)前使混雜存在于未固化的固定劑中的氣泡移動到不受形狀加工的位置?！吹谌龑嵤┓绞健翟诒景l(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的第三實施方式中，截至エ序
(I) (8’)為止按與第二實施方式同樣的步驟進(jìn)行，之后進(jìn)ー步包括8”)將エ序8，)中得到的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，和8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成増加了層疊塊數(shù)的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。
在本實施方式中，對主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)ー步層疊透光性硬質(zhì)基板，由此制造層疊塊數(shù)増加的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。如前所述，構(gòu)成預(yù)固定層疊體的透光性硬質(zhì)基板的塊數(shù)存在界限，因此，達(dá)到一定程度的塊數(shù)的預(yù)固定層疊體有必要進(jìn)行主照射來形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。但是，通過按照對預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體重復(fù)透光性硬質(zhì)基板的貼合和預(yù)照射并在達(dá)到一定程度的塊數(shù)的時刻進(jìn)行主照射的步驟層疊透光性硬質(zhì)基板，能夠減少主照射的次數(shù)并且制造由多個透光性硬質(zhì)基板構(gòu)成的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。為了提高貼合的位置精度，エ序(8”’)也與エ序(7)同樣地優(yōu)選邊對貼合的透光性硬質(zhì)基板面施加規(guī)定的壓カ邊進(jìn)行。另外，出于與エ序(7)所述的同樣的理由，優(yōu)選在エ序(8”’)前使混雜存在于未固化的固定劑中的氣泡移動到不受形狀加工的位置?！窗鍫钪破返闹圃臁的軌蛴缮鲜霾捎猛腹庑杂操|(zhì)基板層疊體的制造方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體制造板狀制品。 首先，在エ序(9)中，在厚度方向分割透光性硬質(zhì)基板層疊體，形成分割為需要數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體。對于分割方法沒有特別限制，可以舉出各自単獨地或者組合地使用圓板切割器(鉆石盤、超硬合金盤)、固定磨粒式或者游離磨粒式鋼絲鋸、激光束、蝕亥IJ (例如利用氫氟酸、硫酸等的化學(xué)蝕刻，電解蝕刻)、以及紅熱帶(鎳鉻合金線)來分割成相同大小的長方體形狀的方法。蝕刻也能夠用于被分割的切斷面的表面處理。接著，在エ序(10)中，分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行需要的形狀加エ。在該エ序中，由于能夠?qū)γ總€被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體一體地加工成目標(biāo)透光性硬質(zhì)基板制品的形狀，因此，具有格外地提高透光性硬質(zhì)基板制品的生產(chǎn)速度的優(yōu)點。形狀加工可以利用公知的任意機構(gòu)進(jìn)行，例如可以舉出利用旋轉(zhuǎn)磨刀石的磨削、利用超聲波震動鉆的開孔、利用旋轉(zhuǎn)刷子的端面加工、利用蝕刻的開孔、利用蝕刻的端面加工、利用蝕刻的外形加工、利用燃燒器的火焰加工等。加工方法能夠各自単獨或者組合地使用。蝕刻也能夠用于形狀加工后的表面處理。在エ序(11)中，通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱從而剝離貼合著的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個透光性硬質(zhì)基板制品。作為加熱方法，沒有特別限制，但為了使固定劑軟化成膜狀而很好地分離為各透光性硬質(zhì)基板制品，優(yōu)選在溫水中浸潰形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體的方法。優(yōu)選的溫水溫度根據(jù)采用的固定劑而不同，但通常為60 95°C左右，優(yōu)選為80 90°C。在此，エ序(9)所分割成的透光性硬質(zhì)基板層疊體的端面通過透光性硬質(zhì)基板31和固定劑32形成平坦的面。如果利用旋轉(zhuǎn)刷子33等加工該端面，則固定劑成為障礙地各透光性硬質(zhì)基板的角部不被磨邊，相反地中心部被削掉很多(圖16)，因此，透光性硬質(zhì)基板的耐沖擊強度不充分。于是，優(yōu)選預(yù)先減弱露出在被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體端面的固定劑外緣的粘合力以使得在端面加工時各透光性硬質(zhì)基板可被磨邊。作為具體的方法，可以舉出以下方法在エ序(9)與エ序(10)之間，在使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸(例如浸潰、噴霧、涂布等)(圖17)。有必要使粘合力降低的是從外緣向內(nèi)側(cè)1_以下左右的極其微小的區(qū)域，需要將溫度和時間調(diào)節(jié)到貼合面整體的粘合力不降低的程度。雖然也依賴于使用的剝離劑，但液溫一般為50°C以下，典型而言為20°C 40°C。接觸的時間通常是ー般為30分鐘以下，典型而言為I 20分鐘。如果使剝離劑的液溫過高、或使接觸時間過長，則甚至貼合面內(nèi)部變得容易粘合力降低，因此應(yīng)注意。剝離劑只要是能夠使固定劑的粘合力降低的液體，則沒有特別限制，可以根據(jù)使用的固定劑的特性適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇，一般含有選自溶剤、氧化劑、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上。
使用溶劑和/或表面活性劑作為剝離劑吋，與剝離劑接觸的固定劑由于溶脹而在與基板界面產(chǎn)生變形，因此，粘合力降低。優(yōu)選利用切割器等物理機構(gòu)將溶脹的固定劑切斷(送入切割部)，之后進(jìn)行干燥。由此，溶脹的固定劑收縮，因此，利用刷子等進(jìn)行的端面加工變得更加容易。使用氧化劑作為剝離劑時，將固定劑碳化使其脆化，由此粘合力降低。因此，通過在溶劑和/或表面活性劑中進(jìn)一歩并用氧化劑，能夠協(xié)同地使粘合力降低。作為溶劑，無機溶劑、有機溶劑均可，例如可以舉出水、氫氟酸、鹽酸、醇類(例如甲醇、こ醇、正丙醇、異丙醇、丁醇、芐醇)、酯類(例如こ酸こ酷、こ酸丁酷、こ酸正丙酷、乳酸こ酷、鄰苯ニ甲酸ニ甲酷、己ニ酸ニ甲酷)、酮類(例如甲基こ基酮(MEK)、甲基異丁基酮(MIBK)、丙酮)、氯系溶劑(例如ニ氯甲烷、三氯こ烯、四氯こ烯)、氟系溶劑(例如氫氯氟烴(HCFC)、氫氟碳(HFC))、ニ元醇醚類(例如こニ醇單甲醚(甲基溶纖劑)、こニ醇單こ醚(こ基溶纖劑)、こニ醇單丁醚(丁基溶纖劑)、丁基卡必醇(butyl carbitol)、こニ醇單叔丁基醚(ETB)、丙ニ醇單甲醚(PGME)、丙ニ醇單甲醚こ酸酯(PGMEA)、3-甲氧基-3-甲基-1-丁醇(MMB)),胺系溶劑(例如N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、ニ甲基甲酰胺(DMF)、N，N- ニ甲基こ酰胺(DMAC))、醚類(例如こ基こ氧基丙酸酯(EEP)、四氫呋喃(THF))、ニ甲基亞砜(DMS0)。在溶劑中，典型而言，可以使用醇，可以優(yōu)選使用芐醇。作為氧化劑，可以舉出硫酸、硝酸、過氧化氫、過硫酸銨、酰基過氧化物、苯甲?；^氧化物、叔丁基過氧化物、氫過氧化物、臭氧水、高氯酸、次氯酸等。表面活性劑也可使用陰離子性表面活性剤、陽離子性表面活性剤、兩性表面活性齊U、以及非離子性表面活性劑中的任ー個。作為陰離子性表面活性剤，可以舉出羧酸型(例如脂肪酸鹽、聚氧こ烯烷基醚羧酸鹽、N-脂環(huán)基肌氨酸鹽、N-?；劝彼猁})、硫酸酷型(例如烷基硫酸酯鹽、聚氧こ烯烷基醚硫酸鹽、醇こ氧基硫酸酷、油脂硫酸酯鹽)、磺酸型(例如烷基苯磺酸鹽、烷磺酸鹽、α -烯烴磺酸鹽、ニ烷基磺基琥珀酸、萘磺酸鹽-甲醛縮合物、烷基萘磺酸鹽、N-甲基-N-?；；撬猁})、磷酸酯型(例如烷基磷酸鹽、聚氧こ烯烷基醚磷酸鹽、聚氧こ烯烷基苯基醚磷酸鹽)等。作為陽離子性表面活性剤，可以舉出胺鹽型(例如烷基胺こ酸鹽)、季銨鹽型(例如單烷基銨鹽、ニ烷基銨鹽、こ氧基化銨鹽)。作為兩性表面活性劑，可以舉出甜菜堿型(例如烷基ニ甲基氨基こ酸甜菜堿、烷基酸胺丙基甜菜喊、燒基輕基橫基甜菜喊、燒基輕基橫基甜菜喊)、燒基~■甲基胺氧化物等。作為非離子性表面活性剤，可以舉出酯型(例如甘油脂肪酸酷、丙ニ醇脂肪酸酷、脫水山梨糖醇脂肪酸酷、蔗糖脂肪酸酷)、醚型(例如聚氧こ烯烷基醚、聚氧こ烯烷基苯基醚、聚氧こ烯聚氧丙烯醚)、醚酯型(例如聚氧こ烯脫水山梨糖醇脂肪酸酷、烷基甘油醚)、烷基鏈烷醇酰胺型(脂肪酸鏈烷醇酰胺、脂肪酸酰胺環(huán)氧烷加成物)、烷基多糖苷。
在表面活性劑中，典型而言能夠使用陰離子性表面活性剤，優(yōu)選能夠使用磺酸型的陰離子性表面活性剤。從安全方面、環(huán)境方面的觀點考慮，剝離劑優(yōu)選含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上，由于安全方面的理由，更優(yōu)選含有水、醇類、以及表面活性劑三種。這種情況下，優(yōu)選剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性劑，例如以30 40:40 50:10 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性剤。剝離劑也可僅由這三種構(gòu)成。作為一例，以水芐醇磺酸型陰離子性表面活性剤=35:50:15的質(zhì)量比混合制備剝離劑。另外，作為固定劑，使用在后述的實施例中敘述的固定劑(I)，使用本發(fā)明的方法制造由20塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。將該玻璃板層疊體浸潰在35°C的該剝離劑中5分鐘，之后，利用旋轉(zhuǎn)刷子加工端面。通過顯微鏡觀察加工后的端面，結(jié)果各玻璃板的角部被磨邊成圓形。另ー方面，不在剝離劑中浸潰地進(jìn)行端面加工時，各玻璃板的角部沒有被磨邊。 同樣地使用本發(fā)明的方法制造由12塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。將該玻璃板層疊體浸潰在35°C的該剝離劑中5分鐘，之后，利用旋轉(zhuǎn)刷子加工端面。通過顯微鏡觀察加エ后的端面，結(jié)果各玻璃板的角部被磨邊成圓形。另ー方面，不在剝離劑中浸潰地進(jìn)行端面加工時，各玻璃板的角部沒有被磨邊。<裝置構(gòu)成例>對于本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的例子進(jìn)行說明。本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置用于制造基板貼合面僅外周部分被粘接劑粘接的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。被夾在基板的貼合面之間的未固化的固定劑在之后的エ序中固化使透光性硬質(zhì)基板完全地貼合，能夠制造基板的貼合面整體被粘接劑粘接的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向分割，能夠形成分割成需要數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體。分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行需要的形狀加工，通過加熱(例如溫水浸潰)形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體來將貼合著的透光性硬質(zhì)基板彼此剝離，從而能夠形成多個板狀制品。貼合的透光性硬質(zhì)基板彼此可以各自是I塊的透光性硬質(zhì)基板，也可以是由2塊以上透光性硬質(zhì)基板形成的層疊體。透光性硬質(zhì)基板的層疊體可以是利用本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置制造的預(yù)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體，也可以是在之后進(jìn)行了主固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體。典型而言，希望通過使用本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置來制造層疊有10 30塊左右的透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體。圖I是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第一例的模式圖。透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10具備架臺11、上側(cè)載物臺12、加壓單元13、吸引単元14、吸引孔15、LED単元
16、下側(cè)載物臺17、下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18、側(cè)邊夾19、下側(cè)基板用涂布單元20、上側(cè)基板用涂布單元21、攝像單元22、以及電氣單元23。架臺11是搭載透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的各構(gòu)成設(shè)備的基座部分，在內(nèi)部配置有電氣單兀23。電氣單兀23通過PLC (Programmable Logic Controller)進(jìn)行各構(gòu)成設(shè)備的程序控制。上側(cè)載物臺12通過真空吸附而保持上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板25。因此，在上側(cè)載物臺12的下表面開有多個吸引孔15，吸引孔15通過配管與吸引単元14連接。圖2是上側(cè)載物臺12下表面的模式圖，示出了吸引孔15的排列例。作為吸引単元14，可使用真空泵、真空噴射器等。在上側(cè)載物臺12的上部連接有用于對下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24邊擠壓邊貼合上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的加壓單元13。加壓單元13具有能夠使上側(cè)載物臺12沿Z方向移動(垂直方向)的升降活塞(未圖示)，可通過伺服電機控制加壓力、移動速度、加壓時間、高度。在上側(cè)載物臺12的下表面嵌入多個用于向上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25照射固定劑固化所需的紫外線的LED單元16。LED單元16以沿著吸附在上側(cè)載物臺12的上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的外周的方式排列。在圖2中示出LED單元16排列狀態(tài)的例子。LED單元16不僅是一列而且也能夠通過并列配置二列以上來使照射的外周部分的寬度増大。LED對透光性硬質(zhì)基板的照射時間的控制可通過電源的0N/0FF進(jìn)行。照射的光是預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板所必須的程度的照射量即可，利用使用了 365nm光接收器的積算照 度計進(jìn)行測定，利用使用了 365nm光接收器的積算照度計進(jìn)行測定，一般可以為I 500mJ/cm2,典型而言可以為50 450mJ/cm2，更典型而言可以為200 400mJ/cm2。作為照射時間，一般為I 120秒，典型而言為2 60秒左右。下側(cè)載物臺17保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24，并且在加壓時承受來自上側(cè)載物臺12的壓力。下側(cè)載物臺17由紫外線透射性材料制成，作為材料，例如可舉出石英玻璃、氟化鎂、氟化鈣、甲基丙烯酸系樹脂等透明塑料。下側(cè)載物臺17可以通過下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18沿X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向移動。下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18由可以水平方向旋轉(zhuǎn)的Θ工作臺、可以水平移動的X工作臺以及Y工作臺構(gòu)成。這些工作臺通過電機驅(qū)動。在下側(cè)載物臺17的上表面設(shè)有可以沿X軸方向和Y軸方向移動的電機驅(qū)動的側(cè)邊夾19用于將載置的透光性硬質(zhì)基板定位。作為側(cè)邊夾19的代替，也可以在下側(cè)載物臺17的上表面設(shè)置用于將透光性硬質(zhì)基板載置到規(guī)定位置的定位制動器。這種情況下，利用制動器以手動方式將透光性硬質(zhì)基板載置在固定透光性硬質(zhì)基板的位置。另外，為了防止透光性硬質(zhì)基板位置偏離，也可以與上側(cè)載物臺12同樣地通過真空吸附來保持下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板24。下側(cè)基板用涂布單元20具備光固化性固定劑的分配器20a和與其連接的可以在X軸、Y軸以及Z軸方向移動的電機驅(qū)動的自動裝置20b，能夠以任意的圖案在下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的上表面涂布固定劑。固定劑被裝入注射器并自動地定量排出。涂布量通過數(shù)字壓カ計和涂布速度來控制。在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25被保持在上側(cè)載物臺12的狀態(tài)下，上側(cè)基板用涂布單元21向上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的下表面自動地涂布光固化性固定劑。涂布量由壓カ計和涂布時間控制。上側(cè)基板用涂布單元21在上側(cè)和下側(cè)載物臺的側(cè)面具備帶有可以在水平方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的電機驅(qū)動的自動裝置21b，在涂布時前端的旋轉(zhuǎn)噴嘴21a被配置在上側(cè)載物臺12中央附近的下方，從噴嘴21a前端涂布固定劑。涂布完成時，被收納在上側(cè)和下側(cè)載物臺的側(cè)面以使得不成為透光性硬質(zhì)基板貼合的障礙。攝像單元22利用安裝在臂前端部分上下2處的數(shù)碼照相機22a對設(shè)在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24各表面的位置對合用的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝。電氣単元23基于拍攝到的圖像信息來檢測上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24相対的位置偏離狀態(tài)?；跈z測結(jié)果，利用下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18將下側(cè)載物臺17的位置在X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向微調(diào)整，實行修正位置偏離的動作。位置偏離修正后進(jìn)行兩透光性硬質(zhì)基板的貼合。作為照相機，除了將CCD、CMOS用于攝像元件的數(shù)碼照相機以外，也能夠使用模擬相機，但從高分辨率的觀點考慮，優(yōu)選數(shù)碼照相機。攝像單元22具備利用X軸、Y軸方向的電機驅(qū)動的移動機構(gòu)22b，在攝像時數(shù)碼照相機22a移動到對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)入視野的規(guī)定位置。攝像完成時，數(shù)碼照相機22a移動以使得不成為透光性硬質(zhì)基板貼合的障礙。對于使用第一例的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的透光性硬質(zhì)基板的貼合步驟，邊參照圖3 13邊進(jìn)行說明。首先，將第一塊透光性硬質(zhì)基板26載置在下側(cè)載物臺17上，利用側(cè)邊夾19 (未圖示)固定在規(guī)定位置(圖3)。透光性硬質(zhì)基板26對下側(cè)載物臺17的載置能夠通過手動 進(jìn)行，但也可以將多個透光性硬質(zhì)基板26收納到專用的盒體中并自動地載置在下側(cè)載物臺17上。載置的透光性硬質(zhì)基板26介由下側(cè)載物臺移動機構(gòu)18 (未圖示)移動到上側(cè)載物臺12的正下方(圖4)。接著，通過加壓單元13使上側(cè)載物臺12下降。由來自吸引孔15(未圖示)的吸引力真空吸附透光性硬質(zhì)基板26 (圖5)。吸附好的透光性硬質(zhì)基板26—邊被保持一邊與上側(cè)載物臺12 —起上升，等待第二塊基板(圖6)。接著，將第二塊透光性硬質(zhì)基板27載置到下側(cè)載物臺17上，利用側(cè)邊夾19(未圖示)固定在規(guī)定位置上(圖7)。以規(guī)定的圖案從下側(cè)基板用涂布單元20在第二塊透光性硬質(zhì)基板27的上表面涂布固定劑28 (圖8)。如果涂布完成后載置在下側(cè)載物臺17的第二塊透光性硬質(zhì)基板27移動到上側(cè)載物臺12的正下方，則利用安裝在攝像單元22臂前端的照相機拍攝對準(zhǔn)標(biāo)記，根據(jù)拍攝結(jié)果微調(diào)整下側(cè)載物臺17的位置，從而進(jìn)行兩透光性硬質(zhì)基板(26、27)的位置調(diào)整(圖9)。位置調(diào)整后，安裝于上側(cè)基板用涂布單元21臂前端的噴嘴21a移動到被保持在上側(cè)載物臺12的第一塊基板26的中央附近，固定劑29由噴嘴21a涂布在第一塊透光性硬質(zhì)基板26的下表面(圖10)。如果在上側(cè)和下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板(26，27)上涂布固定劑(28，29)后，通過加壓単元13使上側(cè)載物臺12降下來對ニ塊透光性硬質(zhì)基板(26，27)加壓并貼合，則被夾在上側(cè)和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的固定劑(28，29)由于加壓而擴展到透光性硬質(zhì)基板整面。ー邊維持加壓狀態(tài)，ー邊由LED単元16對透光性硬質(zhì)基板的外周部照射紫外線(圖11)。由此僅位于外周部的固定劑31固化。內(nèi)部固定劑30不固化保持流動性，但外周部的固定劑31固化，因此不會從兩透光性硬質(zhì)基板的間隙漏出。紫外線照射后解除對上側(cè)基板26的吸附，僅上側(cè)載物臺12上升(圖12)。貼合的透光性硬質(zhì)基板由下側(cè)載物臺17運送，返回到初始的位置(圖13)。通過以上エ序完成透光性硬質(zhì)基板的貼合。圖14是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第二實施方式的模式圖。在本實施方式中，LED単元16沿著下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的外周排列在下側(cè)載物臺17的上表面，向上方照射紫外線。圖15是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第三實施方式的模式圖。LED單元16以包圍貼合的兩透光性硬質(zhì)基板外周側(cè)面的方式排列，向外周側(cè)面照射紫外線。LED単元16具有Z軸方向的移動機構(gòu)，可以根據(jù)貼合面的高度移動到最適的高度。實施例作為一例，依照本發(fā)明，使用圖I中記載的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置在下述條件下實施工序(I) (6)來制造預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體,結(jié)果能夠檢查層疊精度,不良情況發(fā)生時的修補變得容易。在制造預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體后，在下述條件下進(jìn)ー步實施工序(7) (8)來制造主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體,接著,實施工序(9) (10)的加工。依照エ序(11)剝離得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體，結(jié)果固定劑軟化成膜狀而很好地分離為各板狀制品。使用下述玻璃板作為透光性硬質(zhì)基板。玻璃板使用I塊尺寸為橫530mmX縱420mmX厚O. 7mm的帶有鍍覆圖案的玻璃板。對于固定劑(I),混合下述的(A) (E)成分制成光固化性固定劑(I)。作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酷，日本合成公司制“UV-3000B”(氨基甲酸酯丙烯酸 酷，以下簡稱為“UV-3000B”)20質(zhì)量份、ニ環(huán)戊基ニ丙烯酸酯(日本化藥公司制的“KAYARADR-684",以下簡稱為“R-684”)15質(zhì)量份，作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酷，2- (I, 2-環(huán)己ニ甲酰亞胺)こ基丙烯酸酯(東亞合成公司制的“ARONIX M-140”，以下簡稱為“M-140”)50質(zhì)量份、苯酚環(huán)氧こ烷2摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司制的“ARONIX M-101A”)15質(zhì)量份，作為(C)光聚合引發(fā)劑，安息香ニ甲醚(BASF公司制的“IRGA⑶RE651”，以下簡稱為“BDK”)8質(zhì)量份，作為(D)粒狀物質(zhì)，平均粒徑為100 μ m的球狀交聯(lián)聚苯こ烯粒子(GANZ化成公司制的“GS-100S”) I質(zhì)量份，作為(E)阻聚劑，2，2_亞甲基-雙(4-甲基-6_叔丁基苯酚)(住友化學(xué)公司制“SUMILIZER MDP-S”，以下簡稱為 “MDP”)O. I 質(zhì)量份在エ序(3)中，在玻璃板的兩貼合面各涂布40g固定劑(I)。在エ序(5)中，貼合時的壓カ為20g/cm2，用LED單元16照射的外周部分為12mm左右的寬度。在エ序(6)中，由LED單元16照射的外周部分為12mm左右的寬度，使上述光固化性粘接劑固化吋，UV照射量為300mJ/cm2 (利用了 365nm光接收器的積算照度計的測定)，UV照射時間為30秒鐘，進(jìn)行預(yù)固定。在エ序(7)中，施加的壓カ為20g/cm2，光的照射量通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進(jìn)行測定，為2000mJ/cm2，照射時間為20秒鐘，進(jìn)行主固定。在エ序(8)中，使用固定劑(I)并使用本發(fā)明的方法制造由12塊玻璃板形成的玻璃板層疊體。在エ序(9)中，使用圓板切割器(鉆石盤)，分割成長方體形狀(橫100_X縱55mmX厚9. 6mm)。在エ序(10)中，依次進(jìn)行利用旋轉(zhuǎn)磨刀石的磨削、利用超聲波震動鉆的開孔、利用旋轉(zhuǎn)刷子的端面加工，進(jìn)行形狀加工。在エ序(11)中，將該玻璃板層疊體浸潰在85 °C的溫水中剝離。以上，邊參照附圖邊對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限定于這些實施方式，可以進(jìn)行各種變更。符號說明
權(quán)利要求
1.一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括 1)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序， 2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序， 3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序， 4)以預(yù)先規(guī)定的面方向位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面按照兩面平行的方式對置的エ序， 5)ー邊維持所述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序， 6)在維持所述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序， 7)主照射エ序，即照射用于使存在于所述預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體， 8)將所述主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序O 7)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序。
2.一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括 1)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的エ序， 2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的エ序， 3)在第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面上涂布光固化性固定劑的エ序， 4)以預(yù)先規(guī)定的面方向位置關(guān)系使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面按照兩面平行的方式對置的エ序， 5)ー邊維持所述位置關(guān)系，一邊對第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加規(guī)定的壓カ來貼合兩透光性硬質(zhì)基板的エ序， 6)在維持所述壓カ的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩透光性硬質(zhì)基板夾持而擴展的固定劑的外周部分固化的光，形成預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序， V )將所述預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成至少貼合有3塊透光性硬質(zhì)基板的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序， 8’)主照射エ序，即照射用于使存在于エ序V )所得到的預(yù)固定透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，進(jìn)ー步包括 8”)將エ序8’)所得到的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體當(dāng)作第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次エ序I) 6)，形成復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序，和 8”’ )主照射エ序，即照射用于使存在于エ序8”)所得到的復(fù)合透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的未固化的固定劑固化的光，形成増加了層疊塊數(shù)的主固定透光性硬質(zhì)基板層疊體。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，所述外周部分存在于沒有形成板狀制品一部分的邊緣區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，主照射エ序是邊對已貼合的透光性硬質(zhì)基板面施加規(guī)定的壓カ邊進(jìn)行的。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，使分散存在于未固化固定劑中的氣泡移動到不受形狀加工的位置后實施主照射エ序。
7.根據(jù)權(quán)利要求I 6中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于位置對合的標(biāo)記，エ序4)包括邊利用攝像裝置對其攝像邊進(jìn)行位置調(diào)整。
8.根據(jù)權(quán)利要求I 7中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的一個功能的規(guī)定印刷圖案和/或鍍覆圖案。
9.根據(jù)權(quán)利要求I 8中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，所述固定劑含有粒狀物質(zhì)。
10.根據(jù)權(quán)利要求I 9中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，エ序6)中的光照射量通過使用了 365nm光接收器的積算照度計進(jìn)行測定，為lmj/cm2 500mJ/cm2 的范圍。
11.根據(jù)權(quán)利要求I 10中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。
12.一種板狀制品的制造方法，包括 9)將采用權(quán)利要求I 11中任一項所述的方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向進(jìn)行分割，形成分割成所需數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體的エ序， 10)分別對被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行所需的形狀加工的エ序， 11)通過對形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱來剝離被貼合的透光性硬質(zhì)基板彼此，形成多個板狀制品的エ序。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的板狀制品的制造方法，其中，在エ序9)和エ序10)之間進(jìn)一歩包括以下エ序在為了使被各透光性硬質(zhì)基板夾持的固定劑外緣的露出部分的粘合力降低所必須的溫度和時間條件下，使被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體與剝離劑接觸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有選自溶劑、氧化齊U、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有選自水、醇類、氧化劑、以及表面活性劑中的ー種或者ニ種以上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑以30 50:30 50:5 20的質(zhì)量比含有水、醇類和表面活性剤。
17.根據(jù)權(quán)利要求13 16中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有芐醇。
18.根據(jù)權(quán)利要求13 17中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有陰離子系表面活性剤。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑含有磺酸型表面活性齊 。
20.根據(jù)權(quán)利要求13 19中任一項所述的板狀制品的制造方法，其中，剝離劑的液溫為20°C 40°C，與剝離劑接觸的時間為I 20分鐘。
21.一種透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，具備上側(cè)載物臺，用于保持上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板，具有用于真空吸附上側(cè)的透光性硬質(zhì)基板的吸引孔， 加壓單元，能夠使上側(cè)載物臺沿Z軸方向移動， 吸引単元，對所述吸引孔提供吸引力， 下側(cè)載物臺，用于保持下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板， 使下側(cè)載物臺沿X軸方向、Y軸方向以及Θ軸方向移動的機構(gòu)， 用于在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板的下表面和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的上表面中的任一表面或者兩表面涂布光固化性固定劑的機構(gòu)，以及 光照射部，排列在能夠向兩透光性硬質(zhì)基板貼合面的外周部分照射光的位置。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，光照射部在上側(cè)載物臺的下表面沿著被保持的透光性硬質(zhì)基板的外周排列，井向下方照射光。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，光照射部在下側(cè)載物臺的上表面沿著被保持的透光性硬質(zhì)基板的外周排列，井向上方照射光。
24.根據(jù)權(quán)利要求21所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，光照射部以包圍被貼合的兩透光性硬質(zhì)基板的外周側(cè)面的方式排列，井向外周側(cè)面照射光。
25.根據(jù)權(quán)利要求21 24中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，進(jìn)ー步具備對設(shè)在上側(cè)和下側(cè)的透光性硬質(zhì)基板表面的對準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行拍攝的攝像單元，基于攝像結(jié)果檢測設(shè)在上側(cè)和下側(cè)表面的對準(zhǔn)標(biāo)記偏離位置的程度的圖像處理單元，和基于檢測到的位置偏離程度控制所述下側(cè)載物臺移動機構(gòu)的控制單元。
26.根據(jù)權(quán)利要求21 25中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，光照射部所照射光的所述外周部分是沒有形成板狀制品的一部分的邊緣區(qū)域。
27.根據(jù)權(quán)利要求21 26中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，保持在上側(cè)載物臺和/或下側(cè)載物臺的透光性硬質(zhì)基板是2塊以上的透光性硬質(zhì)基板的層疊體。
28.根據(jù)權(quán)利要求21 27中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，用于涂布固定劑的機構(gòu)涂布含有粒狀物質(zhì)的固定劑。
29.根據(jù)權(quán)利要求21 28中任一項所述的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置，其中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠提高生產(chǎn)效率并且實現(xiàn)位置精度的提高的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法。另外，還提供有助于提高板狀制品的生產(chǎn)效率并且提高位置精度的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法和透光性硬質(zhì)基板貼合裝置中，在以規(guī)定的位置關(guān)系夾設(shè)光固化性固定劑來使透光性硬質(zhì)基板彼此貼合時，僅使存在于兩透光性硬質(zhì)基板外周部分的固定劑固化以使得預(yù)固定。
文檔編號C03C27/12GK102725241SQ20118000667
公開日2012年10月10日 申請日期2011年1月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月21日
發(fā)明者中島剛介, 宮崎隼人, 栗村啟之 申請人:電氣化學(xué)工業(yè)株式會社