專利名稱：一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片切割技術(shù)，具體涉及ー種硅片切割液板式換熱冷卻裝置。
背景技術(shù)：
在硅片切割機書中，切割液是ー種必不可缺的切割輔助耗材，切割液的主要作用是減小摩擦，減少磨損，冷卻切割工具，還具有清洗和防銹作用。切割硅片時對砂漿的濃度和溫度都有嚴格的要求，切割完的硅片每片的厚度在O. 2mm±0. 02，在切割硅錠吋，是靠切割液粘附在鋼絲上，通過由電機帶動滾輪，鋼絲纏繞在滾輪上快速旋轉(zhuǎn)，進行碾磨切割，進行過程中會產(chǎn)生大量的熱量，其切割液的溫度可達到45-50°C，而設(shè)計要求是切割時的溫度是20°C ±2°C，如果不對砂漿進行降溫，會嚴重影響切割質(zhì)量，現(xiàn)有的一般做法把從砂漿泵抽出的砂漿直接進入板式換熱器中進行冷卻，溫度可以控制在20±1°C之間，保證了切割要求，對硅片質(zhì)量產(chǎn)生至關(guān)重要的作用。一般的硅片切割機有三臺換熱器，分別是砂漿回流砂漿一臺，切割砂漿兩臺，其結(jié)構(gòu)原理圖結(jié)構(gòu)原理如圖I所示,其工作原理為電機8把砂漿9從砂漿缸中抽出，同時經(jīng)過管式換熱器3、4換熱流出進入切割室6，經(jīng)過切割后的切割液溫度高，此時由一臺回流泵7，把切割后的砂漿抽入管式過熱器5進行冷卻，最后再流回砂漿缸，另一路流入的冷卻水由三通調(diào)節(jié)閥1、2進行水量調(diào)節(jié)以控制切割液所需溫度。它的缺點在于占空間面積大，管道多，容易堵塞，特別是不方便檢修，且檢修時間長。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，本實用新型提供一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，使硅片切割機換熱冷卻裝置所占空間大大減少，管道連接方便，不容易堵塞，從而長時間不用檢修和清洗，工作效率大幅度提高。本發(fā)明解決技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，包括板式換熱器、砂漿泵、砂漿缸、進漿管、出漿管、進水管、出水管及調(diào)節(jié)閥，所述砂漿泵安裝在所述砂漿缸上，所述進漿管連接砂漿缸和板式換熱器，所述出漿管連接所述板式換熱器和硅片切割室，所述進水管、出水管連換熱器和外部水路，所述調(diào)節(jié)閥安裝在進水管上。進ー步地，所述調(diào)節(jié)閥為電子調(diào)節(jié)閥，所述裝置還包括兩個溫度傳感器和ー控制模塊，所述溫度傳感器分別設(shè)置在所述砂漿缸和板式換熱器內(nèi)，其信號輸出線連接所述控制模塊，所述控制模塊連接所述電子調(diào)節(jié)閥。本實用新型的有益效果在于采用了現(xiàn)有的板式換熱器取代了管式換熱器，不僅節(jié)省了空間節(jié)約了材料，而且檢修方便，不容易堵塞；采用電子控制，使控制智能化，更重要的是溫度調(diào)整精度高且穩(wěn)定。


[0010]圖I是現(xiàn)有技術(shù)中硅片切割冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型所述硅片切割液板式換熱冷卻裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖來進一步闡述本實用新型。如圖2所示，一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，包括板式換熱器b、砂漿泵C、砂漿缸d、進漿管g、出漿管f、進水管h、出水管i及調(diào)節(jié)閥a，所述砂漿泵c安裝在所述砂漿缸d上，所述進漿管g連接砂漿缸d和板式換熱器b，所述出漿管f連接所述板式換熱器b和硅片切割室e，所述進水管h、出水管i連換熱器和外部水路，所述調(diào)節(jié)閥a安裝在進水管h上。進ー步地，所述調(diào)節(jié)閥a為電子調(diào)節(jié)閥，所述裝置還包括兩個溫度傳感器和ー控 制模塊，所述溫度傳感器分別設(shè)置在所述砂漿缸和板式換熱器內(nèi)，其信號輸出線連接所述控制模塊，所述控制模塊連接所述電子調(diào)節(jié)閥。本實用新型的工作原理為砂漿泵c將砂漿從砂漿缸d中抽出進入板式換熱器b內(nèi)進行冷卻，冷卻過后通過出漿管f進入切割室e，溫度傳感器分別測量砂漿缸d和板式換熱器b內(nèi)的溫度并輸入至控制模塊，控制模塊經(jīng)過計算得出需要的冷卻水量，通過控制電子調(diào)節(jié)閥a控制進水量。
權(quán)利要求1.一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，其特征在于，包括板式換熱器、砂漿泵、砂漿缸、進漿管、出漿管、進水管、出水管及調(diào)節(jié)閥，所述砂漿泵安裝在所述砂漿缸上，所述進漿管連接砂漿缸和板式換熱器，所述出漿管連接所述板式換熱器和硅片切割室，所述進水管、出水管連換熱器和外部水路，所述調(diào)節(jié)閥安裝在進水管上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述ー種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)閥為電子調(diào)節(jié)閥，所述裝置還包括兩個溫度傳感器和ー控制模塊，所述溫度傳感器分別設(shè)置在所述砂漿缸和板式換熱器內(nèi)，其信號輸出線連接所述控制模塊，所述控制模塊連接所述電子調(diào)節(jié)閥。
專利摘要本實用新型公開了一種硅片切割液板式換熱冷卻裝置，包括板式換熱器、砂漿泵、砂漿缸、進漿管、出漿管、進水管、出水管及調(diào)節(jié)閥，通過溫度傳感器獲取砂漿缸及板式換熱器內(nèi)的溫度，計算出冷卻所需進水量，并控制調(diào)節(jié)閥的動作。本實用新型跟傳統(tǒng)的冷卻裝置相比，結(jié)構(gòu)更加簡單，功能更加全面，冷卻效果顯著。
文檔編號B28D7/02GK202399422SQ20112057197
公開日2012年8月29日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者王國忠 申請人:株洲德瑞佳科技有限公司