專利名稱：光纖母材、光纖母材的制造方法以及光纖的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有芯層和包圍該芯層的包覆層、主要使用于光通信的光纖的制造方法以及光纖母材的制造方法。
背景技術(shù)：
最近，除提高光纖的光傳送特性之外，對于降低光纖價格的要求日益增高。作為光纖的制造方法，已知氣相帶軸淀積法(Vapor-phase Axial Deposition method :VAD法)、改進(jìn)型化學(xué)氣相淀積法(Modified Chemical Vapor Deposition method MCVD法)、外側(cè)氣相淀積法(Outside Vapor Deposition method :0VD法)、等離子化學(xué)氣相淀積法(Plasma Chemical Vapor D印osition method :PCVD 法)、溶膠-凝膠法、口 , F 4 >子Λ 一 y法(Rod-h-Tube method =RIT法)以及組合這些的制造方法。但是，這些制造方法已經(jīng)成熟，改進(jìn)的余地少。因此，實現(xiàn)制造成本的削減當(dāng)然不會容易。另外，現(xiàn)在的狀況是，由于在公元2000年前后廣泛進(jìn)行的設(shè)備投資所設(shè)置的諸多光纖制造裝置的制造能力過剩，進(jìn)行追加的投資或開發(fā)也極為困難。并且，這些老式生產(chǎn)設(shè)備成為阻礙降低制造成本的重要原因。關(guān)于現(xiàn)在的光纖的制造環(huán)境，由于是如上所述的狀況，因此，目前期望的光纖制造方法是，在極力充分運用現(xiàn)有制造設(shè)備的同時，并優(yōu)化組合以往的技術(shù)來削減制造成本的光纖的制造方法。例如，在形成占光纖大部分的包覆層中，將用OVD法這樣的氣相合成生成的石英類玻璃微粒淀積在芯棒外周形成多孔質(zhì)母材層，將其進(jìn)行熱處理制造透明玻璃母材層的方法是作為低成本且高品質(zhì)的大型光纖母材的制造方法的優(yōu)異方法。但是，將用OVD法這樣的氣相合成形成的多孔質(zhì)層進(jìn)行熱處理形成透明玻璃母材層的透明玻璃化裝置，以防止混入從發(fā)熱體產(chǎn)生的雜質(zhì)為目的，通常是使用具有二氧化硅玻璃的爐心管的加熱爐。但是，該爐心管在多孔質(zhì)層的透明玻璃化所需要的接近1600°C的溫度下容易軟化變形。并且，特別是為使大型的光纖母材透明玻璃化，則需要粗徑的爐心管，但在該粗徑爐心管中存在耐久性的問題。為解決該問題，日本專利第2565712號公報中提出了制造不透明玻璃母材的方法是，將其直接拉絲成為光纖的方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于以上情況而進(jìn)行的，其目的在于，得到大型的光纖母材以及可以謀求削減光纖的制造成本的光纖母材的制造方法以及光纖的制造方法。為解決上述課題，達(dá)到目的，本發(fā)明涉及的光纖母材的制造方法是具有芯層和圍繞該芯層的包覆層的光纖母材的制造方法，該方法具有以下工序在具有芯層且呈棒狀的包含石英類玻璃的芯棒的外周淀積石英類玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層的多孔質(zhì)母材層形成工序；和在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍下、非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍的至少任意一種的條件下將上述多孔質(zhì)母材層脫水的脫水工序；和在減壓下將脫水后的上述多孔質(zhì)母材層燒結(jié)達(dá)到成為含有獨立氣泡的半透明玻璃母材層的燒結(jié)工序；和在非活性氣體(氦氣除外)氛圍中將含有獨立氣泡的上述半透明玻璃母材層透明玻璃化進(jìn)而成為上述包覆層的透明玻璃化工序。另外，本發(fā)明涉及的光纖制造方法是具有芯層和圍繞該芯層的包覆層的光纖的制造方法，該方法具有以下工序在具有芯層且呈棒狀的包含石英類玻璃的芯棒的外周淀積石英類玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層的多孔質(zhì)母材層形成工序；和在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍下、非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍的至少任意一種的條件下將上述多孔質(zhì)母材層脫水的脫水工序、和在減壓下將脫水后的上述多孔質(zhì)母材層燒結(jié)達(dá)到成為含有獨立氣泡的半透明玻璃母材層的燒結(jié)工序；和將含有上述芯棒和上述半透明玻璃母材層的半透明母材進(jìn)行拉絲使上述半透明玻璃母材層變?yōu)橥该鞑Ａ拥睦z工序。另外，本發(fā)明涉及的光纖制造方法是具有芯層和圍繞該芯層的包覆層的光纖的制造方法，該方法具有以下工序在芯軸的外周淀積石英類玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層，然后將上述芯軸從上述多孔質(zhì)母材層中抽出，制造筒狀多孔質(zhì)體的筒狀多孔質(zhì)體的制作工序； 在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍以及非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍的至少任意一種的條件下，將上述筒狀多孔質(zhì)體脫水的脫水工序；和將脫水的上述筒狀多孔質(zhì)體在減壓下燒結(jié)達(dá)到成為含有獨立氣泡的半透明玻璃圓筒體的燒結(jié)工序；和將具有上述芯層且呈棒狀的包含石英類玻璃的芯棒插入上述半透明玻璃圓筒體中的芯棒插入工序；和邊對插入了上述芯棒的上述半透明玻璃圓筒體加熱，邊拉絲使上述芯棒和上述半透明玻璃圓筒體熔融一體化且使上述半透明玻璃圓筒體成為構(gòu)成透明玻璃的上述包覆層的拉絲工序。再有，本發(fā)明涉及的光纖的制造方法是具有1層或1層以上的芯層和環(huán)繞該芯層的1層或1層以上的包覆層的光纖的制造方法，該方法具有以下工序在具有上述芯層且呈棒狀的芯棒的外周淀積玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層以制成第1預(yù)制品的第1預(yù)制品制作工序；和對上述第1預(yù)制品進(jìn)行脫水處理以及燒結(jié)處理使多孔質(zhì)母材層達(dá)到成為含有獨立氣泡的半透明玻璃母材層的脫水·燒結(jié)工序；和將進(jìn)行了上述脫水處理以及上述燒結(jié)處理的上述第1預(yù)制品插入玻璃管中以制成第2預(yù)制品的第2預(yù)制品制作工序；和邊對上述第2 預(yù)制品加熱，邊拉絲使上述半透明玻璃母材層和上述玻璃管熔融一體化且使上述半透明玻璃母材層成為由透明玻璃構(gòu)成的上述包覆層的拉絲工序。另外，本發(fā)明涉及的光纖母材是在芯棒的外周形成初始包覆層而形成的光纖母材，其特征在于，初始包覆層為內(nèi)部含有獨立氣泡的半透明玻璃狀態(tài)、該初始包覆層的拉絲開始側(cè)的前端部分是不含獨立氣泡的透明玻璃狀態(tài)。具體地，本發(fā)明的要點如下。1. 一種光纖母材，其是在芯棒的外周形成包覆原層而形成的光纖母材，其特征在于，上述包覆原層為內(nèi)部含有獨立氣泡的半透明玻璃狀態(tài)、上述包覆原層的拉絲開始側(cè)的前端部分是不含獨立氣泡的透明玻璃狀態(tài)。2.按照上述1記載的光纖母材，其特征在于，上述半透明玻璃狀態(tài)部分的平均密度為 1. 8g/cm3 或 1. 8g/cm3 以上、不足 2. 2g/cm3。
3.按照上述1記載的光纖母材，其特征在于，上述拉絲開始側(cè)前端部的透明玻璃狀態(tài)部分至少包含前端錐形部的全區(qū)域。4.按照上述1記載的光纖母材，其特征在于，拉絲開始時，將上述光纖母材安裝在拉絲爐中時，上述拉絲開始側(cè)前端部的透明玻璃狀態(tài)部分全部收納于上述拉絲爐內(nèi)。5. 一種光纖母材的制造方法，其特征在于，包含以下工序在芯棒外周圍淀積二氧化硅玻璃微粒形成多孔質(zhì)層的多孔質(zhì)層形成工序、和進(jìn)行脫水處理以及燒結(jié)處理直到上述多孔質(zhì)層變?yōu)楹歇毩馀莸陌胪该鞑Ａ拥拿撍?燒結(jié)工序、和將上述半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)前端部加熱而透明化的前端透明化工序。6.按照上述5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，上述脫水 燒結(jié)工序在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍氣體中、以及非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍氣體中的任意一種中，對上述多孔質(zhì)層進(jìn)行脫水處理后， 在減壓下，進(jìn)行燒結(jié)，直到上述多孔質(zhì)層變?yōu)閷嵸|(zhì)上含有真空的獨立氣泡的半透明玻璃層。7.按照上述5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，作為上述前端部透明化工序的上述半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)前端部的加熱方法，使用采用電爐的加熱、采用可燃性氣體火焰噴射的加熱、以及采用等離子焰的噴射的加熱的任意一種。8.按照上述5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，在上述前端部透明化工序中，在上述拉絲開始側(cè)前端部的透明化的同時，進(jìn)行上述拉絲開始側(cè)前端部的錐形狀加工。附圖的簡單說明

圖1是示出本發(fā)明涉及的光纖母材的制造方法以及光纖的制造方法的實施方案1 的工序的順序的流程圖。圖2是示出實施方案1制作的光纖的折射率分布圖的圖。圖3是將說明采用VAD法的芯煙粒(二 τ· 7 —卜)的制作過程的芯煙粒的部分制成縱斷面的模式圖。圖4是將示出加熱 拉伸芯棒的狀態(tài)的電爐拉伸裝置的加熱爐的部分制成縱斷面的側(cè)面圖。圖5是將說明采用OVD法的多孔質(zhì)母材層的形成的多孔質(zhì)母材層的部分作成縱斷面的模式圖。圖6是在脫水工序以及燒結(jié)工序中為將多孔質(zhì)母材層制成半透明玻璃母材層所使用的脫水·燒結(jié)爐的縱斷面圖。圖7是在透明玻璃化工序中，將半透明玻璃母材層制成第2包覆層所使用的區(qū)域加熱爐的縱斷面圖。圖8是示出光纖缺陷檢測裝置的概要的構(gòu)成的側(cè)視圖。圖9是示出輸入透光性長形體缺陷檢測裝置的圖像傳感器的散射光和以該散射光為基礎(chǔ)得到的散射光強(qiáng)度分布圖案的說明圖。圖10是通過計算求出在透明化中為不殘留氣泡而進(jìn)行的燒結(jié)工序的壓力和半透明玻璃母材層的密度的關(guān)系的曲線圖。圖11是示出本發(fā)明涉及的光纖的制造方法的實施方案2的工序的順序的流程圖。圖12是示出實施例中制作的光纖的折射率分布圖。圖13是將說明采用OVD法形成多孔質(zhì)母體層的多孔質(zhì)母體層的部分制成縱斷面的模式圖。圖14是在脫水工序以及燒結(jié)工序中將筒狀多孔質(zhì)體制成半透明玻璃圓筒體所使用的脫水·燒結(jié)爐的縱斷面圖。圖15(a)和圖15(b)是示出通過從噴燒器中噴射出的氫氧焰加熱熔融半透明玻璃圓筒體的拉絲方向側(cè)的端部熔融封閉半透明玻璃圓筒體端部的狀態(tài)的工序圖。圖16(a)和圖16(b)是示出在插入芯棒之前，加熱熔融半透明玻璃圓筒體的拉絲方向側(cè)的端部熔融封閉半透明玻璃圓筒體的端部的工序圖。圖17是示出本發(fā)明涉及的光線的制造方法的實施方案3的順序的流程圖。圖18是示出在實施例12中制作的光纖的折射率分布圖的圖面。圖19是示出在實施例13中制作的光纖的折射率分布圖的圖面。圖20是示出在實施例14中制作的光纖的折射率分布圖的圖面。圖21是示出在實施例15中制作的光纖的折射率分布圖的圖面。圖22是示出在實施例16中制作的光纖的折射率分布圖的圖面。圖23是在脫水·燒結(jié)工序中將多孔質(zhì)母材層制成半透明玻璃母材層所使用的脫水·燒結(jié)爐的縱斷面圖。圖M是將示出半透明玻璃母材層的含有獨立氣泡的狀態(tài)的一部分制成放大斷面圖的側(cè)面圖。圖25是將示出向保持在大致鉛直方向的套管中插入第1預(yù)制品的狀態(tài)的套管制成斷面的側(cè)面圖。圖沈是將示出向保持在大致水平方向的套管中插入第1預(yù)制品的狀態(tài)的套管制成斷面的側(cè)面圖。圖27(a)和圖27(b)是示出通過從噴燒器中噴射出的氫氧焰加熱熔融第2預(yù)制品的拉絲方向側(cè)的端部熔融封閉套管端部的狀態(tài)的工序圖。圖^(a)和圖^(b)是示出在插入第2預(yù)制品之前，加熱熔融套管的拉絲方向側(cè)的端部熔融封閉套管的端部的工序圖。圖四是說明采用實施例13的VAD法的芯煙粒制作過程的模式圖。圖30是示出說明多孔質(zhì)層形成工序的在芯棒外周形成多孔質(zhì)層的狀態(tài)的側(cè)面圖。圖31是示出脫水·燒結(jié)工序的狀態(tài)的脫水·燒結(jié)爐的斷面圖。圖32是對應(yīng)母材兩端部的錐形部的部分具有特殊加熱器的脫水·燒結(jié)爐的側(cè)面圖。圖33是示出在加熱爐中將半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)的前端部進(jìn)行透明玻璃化的狀態(tài)的圖。圖34是示出在拉絲爐中進(jìn)行拉絲的狀態(tài)的圖。以及，圖35是示出在加熱爐中將半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)的前端部進(jìn)行透明玻璃化的同時通過熔斷形成前端錐形部的狀態(tài)的圖面。發(fā)明詳述下面，基于附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明涉及的光纖母材、光纖母材的制造方法以及光纖的制造方法的實施方案。另外，本發(fā)明并不受這些實施方案的限定。下面，將本發(fā)明的構(gòu)成上的特征的概要作為實施方案進(jìn)行說明，之后將依據(jù)實際的物質(zhì)作為實施例詳細(xì)說明。本發(fā)明的光纖的制造方法應(yīng)用于具有芯層和包覆層、且具有各種折射率分布特性的光纖的制造方法中，是有益的，具體地，適合單模光纖(Single Mode Fiber;以下稱為 SMF)等光纖的制造方法。另外，也可以適用于傳送損失小適于寬帶WDM傳送的光纖制造方法。[實施方案1]圖1是示出本發(fā)明涉及的光纖母材的制造方法以及光纖的制造方法的實施方案1 的工序的順序的流程圖。本實施方案的光纖母材的制造方法，包含多孔質(zhì)母材層形成工序、 和脫水工序、和燒結(jié)工序、和透明玻璃化工序。另外，本實施方案的光纖的制造方法具有取代光纖母材制造方法的透明玻璃化工序的拉絲工序。首先，在步驟Sl的多孔質(zhì)母材層形成工序中，在中心軸上具有芯層3A并呈棒狀的包含石英類玻璃的芯棒7A的外周淀積石英類玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層9C。接著，在步驟S2的脫水工序中，在規(guī)定的減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍中、或者非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍中3種環(huán)境(條件)中的任意一種環(huán)境(條件)下將多孔質(zhì)母材層9C脫水。再有，在步驟S3的燒結(jié)工序中，在減壓下燒結(jié)上述脫水工序脫水的多孔質(zhì)母材層 9C，轉(zhuǎn)變?yōu)楹袑嵸|(zhì)上為真空的獨立氣泡的半透明玻璃狀態(tài)的半透明玻璃母材層9B。這里， 所謂“半透明玻璃狀態(tài)”是指全體基本均一地含有獨立氣泡的狀態(tài)、外觀上白濁且不透明的狀態(tài)。與此相反，所謂“透明玻璃狀態(tài)”是指除一部分殘留在不良狀態(tài)的部分中的微少的獨立氣泡之外，全體基本均一地不含獨立氣泡的狀態(tài)，外觀上是透明的狀態(tài)。另外，這里，所謂 “獨立氣泡”是指在半透明玻璃母材層9B的內(nèi)部形成的且與周圍氛圍氣體物理上隔離的氣泡或空間。再有，這里，所謂“真空”是指JIS Z 81 中的以下的定義，S卩，“以比大氣壓低的壓力的氣體充滿的特定的空間狀態(tài)”。并且，在本實施方案中的光纖母材的制造方法中，接下來過渡到步驟S4的透明玻璃化工序，在非活性氣體(氦氣除外)氛圍中將含有獨立氣泡的半透明玻璃母材層9B進(jìn)行透明玻璃化形成包覆層9A。由此制作光纖母材。另外，在本實施方案的光纖的制造方法中，不進(jìn)行步驟S4，也可以過渡到步驟S5 的拉絲工序。而且，在該拉絲工序中，使半透明玻璃母材層9B拉絲成為透明玻璃層。按照由這樣的順序的光纖母材的制造方法以及光纖制造方法，可以不使用昂貴的氦氣，可以在短時間制造大型的光纖母材，另外，由于也可以使制造設(shè)備長壽命化和省略工序，因此可以降低光纖制造成本。下面，用實施例說明詳細(xì)的實施方案。另外，在理解內(nèi)容上沒有問題的程度記述圖面，其形狀不一定是按照實際的縮小。另外，在本實施例中，光纖的諸特性只要沒有特別說明，則是以ITU-T G. 650中規(guī)定的定義為基準(zhǔn)。(實施例1)
圖2是示出將實施例1制作的光纖母材最終制成光纖的折射率分布圖的圖。如圖 2所示，由于光纖具有階梯折射率型的折射率分布，因此在1. 3 μ m帶域具有零分散波長，是所謂的SMF。在圖2中，光纖成為形成為斷面同心圓狀的疊層結(jié)構(gòu)，沿中心軸線形成芯層3A， 并且，之后，從中心部向徑向外向，由按照第1包覆層5A以及第2包覆層9A的順序形成的各層構(gòu)成。由芯層3A和第1包覆層5A構(gòu)成的部分是與后述的芯棒7A對應(yīng)的部分。如果只對芯棒7A的部分進(jìn)行觀察，芯層3A和第1包覆層5A的外徑比(以下稱為包覆/芯比)為 4. 8/1。另外，在本實施例中，所謂芯層3A的外徑，是指相對于第1包覆層5A的折射率的芯層3A的比折射率差的最大值的1/2部分的直徑。·芯棒的制作在本實施例中，首先用VAD法制作后面成為芯棒7A的芯煙粒7B。圖3是說明采用本實施例的VAD法的芯煙粒7B的制作過程的模式圖，將芯煙粒7B的部分作為縱斷面圖。在圖3中，在VAD法中，通過包含多重管結(jié)構(gòu)的芯噴燒器21，送入由氣化的四氯化硅(SiCl4)、 四氯化鍺(GeCl4)、氧(O2)以及氫(H2)構(gòu)成的氣體23，并點火燃燒。而且，在火焰中進(jìn)行水解反應(yīng)得到合成玻璃微粒。向種棒11噴射該合成玻璃微粒，并附著于種棒11上。噴射附著的合成玻璃微粒形成芯層煙粒3B。芯層煙粒:3B是后來成為芯層3A的部分。而且，種棒11邊旋轉(zhuǎn)邊緩慢地向圖3的上方向拉出。在芯噴燒器21的上部設(shè)置類似的包覆噴燒器22，送入四氯化硅(SiCl4)、氧(O2) 以及氫(H2)構(gòu)成的氣體24，并反應(yīng)，在芯煙粒7B的外周形成后來成為第1包覆層5A的包覆層煙粒5B。由此，成為含有芯層煙粒:3B和包覆層煙粒5B的形成規(guī)定粗細(xì)的棒狀的芯煙粒7B。然后，對該芯煙粒7B進(jìn)行脫水處理和燒結(jié)處理。該處理與以往相同，沒有特別的特征，因此圖面省略。通過該脫水·燒結(jié)處理，芯煙粒7B被透明玻璃化，成為含有芯層3A 和第1包覆層5A的芯棒7A。·芯棒的拉伸接著，用圖4所示的立式的電爐拉伸裝置41加熱 拉伸該被透明玻璃化的含有芯層3A和第1包覆層5A的芯棒7A，制成外徑51mm的棒。圖4是示出加熱·拉伸芯棒7A的狀態(tài)的電爐拉伸裝置41的側(cè)面圖，將加熱爐42的部分作成縱斷面。在圖4中，電爐拉伸裝置41具有具有貫通鉛直方向的開口 4h、42b的加熱爐42、和設(shè)置在該加熱爐42上方的上部把持部43、和設(shè)置在加熱爐42下方的下部把持部44。加熱爐42內(nèi)部具有作為發(fā)熱體的圓筒狀的加熱器45。芯棒7A按照沿加熱器45 的中心軸線以鉛直方向延伸地安裝，上下端部貫通開口 42a、42b，并伸出加熱爐42的外部。 并且，芯棒7A的上端部用設(shè)置在上部把持部43的上部卡子46固定，另一方面，芯棒7A的下端部用設(shè)置在下部把持部44的下部卡子47固定。上部把持部43以及下部把持部44分別由導(dǎo)軌48以及導(dǎo)軌49引導(dǎo)，支持可以在芯棒7A的長方向移動。說明拉伸裝置41的動作。邊用加熱器45加熱芯棒7A的粗徑部，邊將上部卡子46 向?qū)τ诩訜釥t42相對接近的方向移動，下部卡子向?qū)τ诩訜釥t42相對遠(yuǎn)離的方向移動，由此，將芯棒7A拉伸為規(guī)定的粗度。另外，該加熱·拉伸工序中的熱源不僅限于加熱爐42，也可以使用氫氧焰等火焰或者等離子體火焰等。·多孔質(zhì)母材層形成工序接著，在拉伸了的芯棒7A的外周用OVD法淀積石英類玻璃微粒，制作直徑300mm 的多孔質(zhì)母材層9C。多孔質(zhì)母材層9C是后來成為半透明玻璃母材層的9B，以及最終被透明玻璃化成為第2包覆層9A的部分。圖5是說明采用OVD法制作多孔質(zhì)母材層9C的模式圖，將多孔質(zhì)母材層9C的部分作為縱斷面。在圖5中，OVD法中，通過噴燒器31，送入氣化的四氯化硅(SiCl4)、氧(O2) 以及氫(H2)構(gòu)成的氣體32，點火燃燒。并且，在火焰中水解反應(yīng)，得到合成玻璃微粒。將該合成玻璃微粒噴射在旋轉(zhuǎn)的芯棒7A上，淀積在芯棒7A的周圍。一次淀積的合成玻璃微粒的層的厚度并不太厚，因此邊反復(fù)往返噴燒器31，邊反復(fù)其直到成為充分粗度的多孔質(zhì)母材層9C。多孔質(zhì)母材層9C的平均密度(即，將從總重量減去芯棒7A的重量的多孔質(zhì)母材層9C的重量用從總體積減去芯棒7A的體積的多孔質(zhì)母材層9C的體積除的值)約為0. 7g/

·脫水工序以及燒結(jié)工序接著，用圖6所示的脫水·燒結(jié)爐61，在表1的條件下將該多孔質(zhì)母材層9C脫水·燒結(jié)，制成內(nèi)部含有實質(zhì)上為真空的獨立氣泡的半透明玻璃母材層9B。(表1)脫水條件
權(quán)利要求
1.一種光纖母材，其是在芯棒的外周形成包覆原層而形成的光纖母材，其特征在于，上述包覆原層為內(nèi)部含有獨立氣泡的半透明玻璃狀態(tài)、上述包覆原層的拉絲開始側(cè)的前端部分是不含獨立氣泡的透明玻璃狀態(tài)。
2.按照權(quán)利要求1記載的光纖母材，其特征在于，上述半透明玻璃狀態(tài)部分的平均密度為 1. 8g/cm3 或 1. 8g/cm3 以上、不足 2. 2g/cm3。
3.按照權(quán)利要求1記載的光纖母材，其特征在于，上述拉絲開始側(cè)前端部的透明玻璃狀態(tài)部分至少包含前端錐形部的全區(qū)域。
4.按照權(quán)利要求1記載的光纖母材，其特征在于，拉絲開始時，將上述光纖母材安裝在拉絲爐中時，上述拉絲開始側(cè)前端部的透明玻璃狀態(tài)部分全部收納于上述拉絲爐內(nèi)。
5.一種光纖母材的制造方法，其特征在于，包含以下工序在芯棒外周圍淀積二氧化硅玻璃微粒形成多孔質(zhì)層的多孔質(zhì)層形成工序、和進(jìn)行脫水處理以及燒結(jié)處理直到上述多孔質(zhì)層變?yōu)楹歇毩馀莸陌胪该鞑Ａ拥拿撍Y(jié)工序、和將上述半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)前端部加熱而透明化的前端透明化工序。
6.按照權(quán)利要求5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，上述脫水 燒結(jié)工序在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍氣體中、以及非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍氣體中的任意一種中，對上述多孔質(zhì)層進(jìn)行脫水處理后，在減壓下，進(jìn)行燒結(jié)，直到上述多孔質(zhì)層變?yōu)閷嵸|(zhì)上含有真空的獨立氣泡的半透明玻璃層。
7.按照權(quán)利要求5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，作為上述前端部透明化工序的上述半透明玻璃層的拉絲開始側(cè)前端部的加熱方法，使用采用電爐的加熱、采用可燃性氣體火焰噴射的加熱、以及采用等離子焰的噴射的加熱的任意一種。
8.按照權(quán)利要求5記載的光纖母材的制造方法，其特征在于，在上述前端部透明化工序中，在上述拉絲開始側(cè)前端部的透明化的同時，進(jìn)行上述拉絲開始側(cè)前端部的錐形狀加工。
全文摘要
本發(fā)明涉及不使用昂貴的氦氣制作大型光纖母材、可以謀求削減制造成本的光纖母材的制造方法，該方法具有以下工序在包含具有芯層、形成棒狀的芯棒的外周淀積玻璃微粒形成多孔質(zhì)母材層的多孔質(zhì)母材層形成工序；和在減壓下、非活性氣體和鹵素氣體的氛圍下、非活性氣體和鹵素類化合物氣體的氛圍下的至少任意一種的條件下將上述多孔質(zhì)母材層脫水的脫水工序；和在減壓下將脫水后的上述多孔質(zhì)母材層燒結(jié)成變?yōu)楹歇毩馀莸陌胪该鞑Ａ覆膶拥臒Y(jié)工序；和在非活性氣體(氦氣除外)氛圍中將含有獨立氣泡的上述半透明玻璃母材層透明化進(jìn)而成為上述包覆層的透明玻璃化工序。
文檔編號C03B37/014GK102583997SQ20111045927
公開日2012年7月18日 申請日期2005年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月29日
發(fā)明者折田伸昭, 森平英也, 金尾昭博 申請人:古河電氣工業(yè)株式會社