專利名稱：在無對準(zhǔn)的情況下快速對鋸方器的線引導(dǎo)器進(jìn)行替換的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例涉及用在線鋸裝置中的滑輪、線鋸裝置和用于在線鋸裝置中引導(dǎo)線的方法。更具體地，它們涉及構(gòu)造為用于線鋸裝置的滑輪，以及用于鋸方器(squarer)或者用于裁剪器等的對硬材料(諸如硅或石英的塊)進(jìn)行切割或鋸切的線鋸裝置，例如用于切割娃晶片。
背景技術(shù)：
存在一種線鋸裝置，其用于從一件硬的或脆弱的材料(諸如硅)切割出方塊或磚塊、薄的切片(例如半導(dǎo)體晶片)。在這種裝置中，繃緊的線被從線軸饋送并且由用于在切割區(qū)域中引導(dǎo)線的滑輪引導(dǎo)和張緊。用于進(jìn)行鋸切的線主要設(shè)置有研磨材料。作為一種選項(xiàng)，可以作為漿料提供研磨材料。該研磨材料可以在線即將與被切割的材料接觸前應(yīng)用。因此，通過用于切割材料的線對切割位置執(zhí)行研磨。作為另一種選項(xiàng)，可以在具有涂層的線上提供研磨劑。例如，鉆石顆?？梢员辉O(shè)置在例如具有涂層的金屬線上，其中，鉆石顆粒被鑲嵌在線的涂層中。由此，將研磨劑牢固地連接到線。線鋸裝置被用在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域，諸如半導(dǎo)體企業(yè)或太陽能企業(yè)。由此，越來越關(guān)注所制造的商品的生產(chǎn)率和成本。對于線鋸裝置來說，硬材料(諸如硅)的切割需要在非常高的精確度(即，在數(shù)十微米或數(shù)個(gè)微米內(nèi))以及非常高的速度下完成。由此，線在非常高的速度下傳輸通過線鋸裝置并且用于對材料進(jìn)行切割的可移動(dòng)部分以微米精確度移動(dòng)。如果線鋸裝置中的組件的磨損太大，那么不能夠提供非常高的精確度。因?yàn)檫@些組件需要被替換或翻新以提供期望的生產(chǎn)率和位置，所以它們需要在線鋸裝置工作的制造場所被規(guī)律地替換。因?yàn)楦鱾€(gè)組件需要有存貨以進(jìn)行立即替換否則線鋸裝置例如在組件翻新的過程中不能工作，所以可能顯著地增加擁有成本(COO)。因此，期望減少線鋸裝置的擁有成本并且提供更容易的維護(hù)，同時(shí)仍然提供期望的精確度和生產(chǎn)率。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到以上內(nèi)容，提供了根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求1的輪單元、根據(jù)獨(dú)立權(quán)利要求7的線引導(dǎo)件以及根據(jù)權(quán)利要求15的方法。通過權(quán)利要求、說明書和附圖，本發(fā)明的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征將會(huì)變得清楚。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，提供了用于具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)線引導(dǎo)件的輪單元，該線引導(dǎo)件被構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置。輪單元包括用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)接收到預(yù)定位置的徑向外表面，以及用于在工作期間限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用的限制裝置。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，提供了一種構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置的線引導(dǎo)件。線引導(dǎo)件包括輪單元。輪單元用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)接收到預(yù)定位置的徑向外表面，以及用于在工作期間限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用的限制裝置。線引導(dǎo)件包括輪胎。輪胎包括輪胎部分，具有適合于在輪單元的徑向外表面處被接收的徑向內(nèi)表面，以及在輪胎部分的徑向外表面處設(shè)置的用于引導(dǎo)線的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，提供了一種經(jīng)由為線鋸裝置構(gòu)造的線引導(dǎo)件來引導(dǎo)線的方法。該方法包括將具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪胎放置在線引導(dǎo)件的輪單元上，以及在線引導(dǎo)件的工作期間阻擋線弓I導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分。實(shí)施例也涉及用于執(zhí)行所公開的方法的設(shè)備以及包括用于執(zhí)行上述方法步驟的設(shè)備部件。這些方法步驟可以由硬件組件、通過適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)以及通過兩種或者任何其他方式的任意組合來實(shí)現(xiàn)。此外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例也涉及所描述的設(shè)備工作的方法。其包括用于執(zhí)行設(shè)備的每個(gè)功能的方法步驟。


因此，為了能夠詳細(xì)地理解本發(fā)明的上述特征的方式，可以通過參照實(shí)施例獲得上文中總結(jié)的本發(fā)明的更具體的描述。附圖涉及本發(fā)明的實(shí)施例并且在下文中描述。圖1示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線鋸裝置的示意圖；圖2a和圖2b示出了通常用在線鋸裝置中的線引導(dǎo)件以及線鋸的局部的放大圖；圖3a和圖3b示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的、具有輪單元和輪胎的線引導(dǎo)件的示意圖；圖4示出的示意圖表示根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件的另一個(gè)實(shí)施例；圖5是用于引導(dǎo)根據(jù)這里描述的實(shí)施例的線引導(dǎo)件的輪胎的示意圖；圖6是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的、在工作期間的線引導(dǎo)件的示意圖；圖7a和圖7b是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的、具有輪單元和輪胎的線引導(dǎo)件的示意圖和俯視圖；以及圖8是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的用于對線進(jìn)行引導(dǎo)的方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將會(huì)參照本發(fā)明的具體實(shí)施例，這些實(shí)施例中的一個(gè)或多個(gè)示例在附圖中示出。在附圖的以下描述中，相同的附圖標(biāo)記涉及相同的組件。一般，僅描述對于各個(gè)實(shí)施例的差異。每個(gè)示例通過本發(fā)明的解釋說明的方式提供的，并且不意味著是本發(fā)明的限制。此夕卜，作為一個(gè)實(shí)施例的一部分示出或描述的特征可以被用在其他實(shí)施例上或結(jié)合其他實(shí)施例使用，以產(chǎn)生另一個(gè)實(shí)施例。本說明書意圖包括這些修改和變化。此外，在以下的描述中，線管理單元將會(huì)被理解為操作為向線鋸裝置(諸如裁剪器、鋸方器或晶片切割線鋸)的切割區(qū)域或工作區(qū)域供應(yīng)線的裝置。通常，線鋸包括用于沿著線移動(dòng)方向傳輸并引導(dǎo)線的線引導(dǎo)件，而線管理單元提供線張力的控制。此外，由線管理單元提供的線在切割區(qū)域中形成線網(wǎng)。通常，線網(wǎng)將會(huì)被認(rèn)為是由單個(gè)線管理單元形成的網(wǎng)。應(yīng)當(dāng)理解，線網(wǎng)可以含有一個(gè)以上的工作區(qū)域，該工作區(qū)域被限定為其中執(zhí)行鋸切處理的區(qū)域。因此，根據(jù)這里描述的一些實(shí)施例，線網(wǎng)可以具有由來自不同線管理單元的線形成的多個(gè)區(qū)域。圖1示出了線鋸裝置100。如可以從在線網(wǎng)艙110中形成線網(wǎng)的線10的圖案看到的，圖1中示出的示例表示了鋸方器。線鋸裝置的殼體被劃分為由虛線表示的不同區(qū)域。線網(wǎng)形成在線網(wǎng)艙110中。此外，提供了容納線網(wǎng)裝置100的其他組件和設(shè)備的殼體部分111。例如，提供線操作裝置艙112和電箱114。此外，在殼體部分111內(nèi)，也可以提供罐120和124以及相應(yīng)的泵121和125。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，例如在線鋸裝置利用鉆石線工作時(shí)，第一罐120被用于未使用的冷卻液，或者例如在線鋸裝置100利用需要附加研磨劑的線工作時(shí)，可以用于未使用的(新鮮的)漿料。泵121將冷卻液(或者分別將漿料)朝向切割區(qū)域中的期望位置抽吸。其在圖1中由管道122所表示。已使用的冷卻液(或漿料)可以通過管道126流動(dòng)回來并且由泵125抽吸到第二罐124中。在使用冷卻液或漿料的情況下，如果能夠被重新放入罐120中，已使用的可消耗的流體的一部分能夠被重新使用。因此，根據(jù)不同的實(shí)施例，可消耗流體的一部分、可消耗流體的全部或者可消耗流體中沒有任何部分能夠被重新使用，并且因此重新放入罐120中。作為一個(gè)示例，可以在管道126中設(shè)置額外的閥，以選擇性地選擇使用的流體被泵入的罐。根據(jù)另一個(gè)示例，可以提供罐124與120之間的流體連接，以將已使用的流體的一部分重新放入罐120中。根據(jù)不同的實(shí)施例，如上所述，可消耗的流體可以是冷卻流體或漿料。通常，如果使用漿料，那么漿料也具有冷卻線對材料進(jìn)行切割的位置的功能。在線操縱艙112中，分別提供了兩個(gè)操縱部分，其分別用于將線10遞送到切割區(qū)域并且從切割區(qū)域接收線。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，線布置在繞著線軸軸線132a旋轉(zhuǎn)的線軸132上。線被在多個(gè)滾輪134上引導(dǎo)到線網(wǎng)艙110中。其他的滑輪134和136將線引導(dǎo)到切割區(qū)域中以形成線網(wǎng)。由此，其他的滑輪(未示出)需要將線10從一個(gè)滑輪136引導(dǎo)到其他滑輪136。為了避免不必要的復(fù)雜性，這些其他滑輪在圖1中未示出。在切割之后，線由其他滑輪134朝向線操作艙112引導(dǎo)并且被布置在繞線軸軸線130a旋轉(zhuǎn)的線軸130上。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另一個(gè)實(shí)施例，線操作系統(tǒng)可以適合于雙向使用，使得在一個(gè)方向上線被從線軸132饋送到線軸130，并且在另一個(gè)方向，線被從線軸130饋送到線軸132。由此，根據(jù)典型的實(shí)施方式，對應(yīng)于線軸130和132的兩個(gè)單元包括類似的組件，諸如滑輪等，以在兩個(gè)鋸切方向上都具有相應(yīng)的線操作。如果使用鉆石線，可以關(guān)注線鋸裝置的雙向使用。如圖1中的虛線所示，電箱114可以用來控制不同組件的操作。例如，可以控制支撐件140的移動(dòng)、泵121和125的操作以及線軸130和132的旋轉(zhuǎn)。此外，額外地或可選地，罐120和124的填充水平可以被測量并且各個(gè)信號可以被饋送到控制單元。根據(jù)另一個(gè)實(shí)施例，其他控制信號和監(jiān)視信號可以被饋送到電箱114或從電箱114饋送出來。例如，來自對線軸進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電機(jī)的信號、來自線張緊器的信號、到達(dá)線張緊器的信號、用于饋送可消耗流體(類似于漿料或冷卻流體)的信號或者線斷裂檢測信號可以被從電箱饋送出來或饋送到電箱。雖然在圖1中示出了集成在線鋸裝置100中的電箱114，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說，很明顯電箱或一般的控制單元可以被設(shè)置在線鋸裝置中的不同位置，例如，在線鋸裝置之外，并且可以相應(yīng)地提供到達(dá)以及離開控制單元的響應(yīng)控制信號。設(shè)置在支撐件140的一側(cè)上的滑輪136通常由公共軸152連接，諸如，管道、管線或棍等。由此，可以在利用線10鋸切材料期間提供滑輪136的同步旋轉(zhuǎn)。具有軸線152的滑輪136由此形成用于線網(wǎng)的線引導(dǎo)件150。為了形成具有高精確度的網(wǎng)，滑輪通常具有一個(gè)或多個(gè)凹槽，以在凹槽中對線進(jìn)行引導(dǎo)。根據(jù)一些實(shí)施例，如圖1所示，四個(gè)線引導(dǎo)件150設(shè)置在線鋸裝置100中。輪單元(諸如滑輪)的個(gè)數(shù)和輪單元的位置由線鋸系統(tǒng)(諸如鋸方器或裁剪器工具)的構(gòu)造決定。然而，每個(gè)輪必須被對準(zhǔn)，以在預(yù)定精確度內(nèi)沿著相同方向?qū)€進(jìn)行引導(dǎo)。在本領(lǐng)域中，輪單元被公知為通常具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。例如，已知的輪單元提供作為線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽。由此，已經(jīng)知道了不同的解決方案。線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以被切割在輪單元自身內(nèi)。例如，每個(gè)輪的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)提供了多個(gè)凹槽，諸如六到十個(gè)凹槽。每個(gè)輪支持一根線。這意味著，當(dāng)一個(gè)凹槽磨損時(shí)，可以使用下一個(gè)凹槽來引導(dǎo)線。對于每次凹槽改變，操作者需要將滑輪重新對準(zhǔn)以確保線的零度角，即，確保與對線進(jìn)行引導(dǎo)的其他輪單元一同使用的凹槽的適當(dāng)對準(zhǔn)。在輪單元沒有被良好對準(zhǔn)的情況下，線可能在操作期間斷裂并且因此可能引起其他的錯(cuò)誤或成本。在本領(lǐng)域中已知的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的全部凹槽都磨損時(shí)，線鋸裝置必須被停止以進(jìn)行維護(hù)。由于輪單元的重量和尺寸，每個(gè)輪通常必須由兩個(gè)操作員拆卸。本領(lǐng)域中已知的另一個(gè)示例使用安裝到輪單元上的涂層(諸如塑料涂層)。涂層可以被形成凹槽，以提供線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。以此方式，僅替換具有多個(gè)凹槽的涂層，而不是整個(gè)輪單元。使用用于提供線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的涂層，解決了對輪進(jìn)行替換的問題，但是不能增加對準(zhǔn)的安全性。必須以與線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)被直接設(shè)置在輪上時(shí)所需的相同努力來將線對準(zhǔn)。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，提供了輪單元和具有輪單元的線引導(dǎo)件，其有助于在改變線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)之后進(jìn)行線的對準(zhǔn)。通常，通過將利用兩個(gè)以上凹槽提供線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪胎安裝到具有限制裝置的輪單元上，容易進(jìn)行磨損的凹槽的替換，并且在同時(shí)，可以避免在改變到另一個(gè)凹槽之后對線進(jìn)行對準(zhǔn)的需要。根據(jù)一些實(shí)施例，具有限制裝置的輪單元和提供這里描述的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪胎允許更可靠地改變磨損的凹槽。線引導(dǎo)裝置和輪單元的實(shí)施例，特別是結(jié)合這里描述的輪胎，確保了安全并容易地操作和精確地對準(zhǔn)引導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的線以及節(jié)約時(shí)間和成本。通常用于例如鋸方器的線引導(dǎo)件參照圖2a和圖2b示出。圖2a示出了軸線252以及具有輪部分256和線引導(dǎo)部分260的滑輪236。在圖2b中的放大圖中，可以看到輪部分456和線引導(dǎo)部分260。在圖2a和圖2b中，以其中制造有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的分離輪胎的形式提供線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)，使得輪胎可以與輪單元以及線引導(dǎo)件可拆卸地連接。線在線鋸裝置的使用期間使得線引導(dǎo)部分260的凹槽268磨損，其中線在線鋸裝置中在高速下在張緊的狀態(tài)下被引導(dǎo)。由于這個(gè)原因，多個(gè)凹槽(例如，十個(gè)凹槽)設(shè)置在已知的線鋸裝置中，使得當(dāng)?shù)谝话疾鄄辉倌軌蚴褂脮r(shí)，線可以移動(dòng)到不同的(例如相鄰的)凹槽。通常，如果凹槽的磨損不再允許期望的精確度，那么線需要被移動(dòng)到另一個(gè)凹槽。在全部凹槽268都被磨損之后，線引導(dǎo)件260通常被移動(dòng)到線鋸裝置之外，并且線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)被替換和/或輪256被重新涂布。然而，在替換了輪上的輪胎之后，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)和線必須被對準(zhǔn)，以確保適當(dāng)?shù)墓δ芤约按_保線引導(dǎo)。例如，當(dāng)一個(gè)輪的輪胎被替換時(shí)，新的輪胎必須與線鋸裝置其余輪對準(zhǔn)。這里描述的實(shí)施例允許在改變了線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)之后確保線的合適對準(zhǔn)，同時(shí)有助于改變凹槽。圖3a示出了這里描述的線引導(dǎo)件300的實(shí)施例。圖3b示出了在附圖中由虛線圓圈表示的圖3a的部分的放大圖。線引導(dǎo)件300具有軸線352。軸線352例如可以是棍、管線或管道等?；?36被安裝在軸線352上。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，一個(gè)或多個(gè)滑輪336可以被安裝在軸線352上。通常，可以有四個(gè)以上的滑輪或者可以有2到12個(gè)滑輪，諸如例如4到8個(gè)滑輪。在圖3a中示出的示例中，提供了 5個(gè)滑輪 336。每個(gè)滑輪336包括輪單元356和諸如輪胎360的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。如圖3b所示，輪單元356具有徑向外表面357。徑向外表面357適合于接收輪胎360。由此，輪胎360具有與表面357接觸的徑向內(nèi)表面。由此，根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另外的實(shí)施例，輪單元356的徑向外表面357沿著與軸線352平行的方向基本平坦。這意味著，輪單元356不具有諸如凹槽等的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。相反地，該表面適合于接收輪胎360。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，輪單元356的徑向外表面357可以沿著與軸線352平行的表面具有弓形的、階梯的或彎曲等的形狀。然而，該彎曲或階梯不形成為線引導(dǎo)凹槽等。例如，可以描述使得彎曲的一階導(dǎo)數(shù)不改變符號，類似于階梯的結(jié)構(gòu)在與軸線352平行的方向上具有至少4mm的尺寸，和/或這些結(jié)構(gòu)不是具有銳利的尖端的凹陷(例如凹槽)。如圖3b所示，根據(jù)一些實(shí)施例，提供了突起358(諸如凸緣)或?qū)?zhǔn)元件等。由此，輪胎360可以被可拆卸地在預(yù)定位置與輪單元356連接，其中可以設(shè)置小的公差。小的公差允許在線鋸裝置的線網(wǎng)的形成具有期望的精確度。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的不同實(shí)施例，可以在徑向和軸向提供用于定位線的、±150μπι以下的公差。通常，公差在與旋轉(zhuǎn)軸平行的方向上可以是±10μπι到± 100 μ m，更典型地是±30μπι到±70 μ m。根據(jù)另一個(gè)選擇或者可選的實(shí)施方式，沿著徑向，可以提供典型地±5μπι到±60μπι的公差，更典型地是±10μπ 到±30 μ m的公差。根據(jù)這里描述的實(shí)施例，輪胎360可以設(shè)置在輪單元356的徑向外側(cè)。通常，輪胎360具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)365，例如，兩個(gè)以上凹槽。此外，輪單元356通常提供限制裝置370，其適合于限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)368的一部分。在兩個(gè)凹槽形成線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)365的情況下，如圖3a和圖3b示例性所示，限制裝置370可以在線鋸裝置中的輪單元工作期間適合于限制一個(gè)凹槽的使用。根據(jù)這里描述的一些實(shí)施例，限制裝置可以是輪單元的一部分。根據(jù)一些實(shí)施例，限制元件可以是覆蓋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的元件。例如，限制元件可以是輪單元的突起，其定位為使得線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分被覆蓋。通常，限制裝置可以是輪單元的一部分或者可以被例如通過安裝元件(例如、螺釘、螺栓、焊接連接等)安裝到輪單元。根據(jù)其他實(shí)施例，限制裝置可以是配合到線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分中的裝置。例如，限制裝置可以是配合到線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽內(nèi)的鍵，并且由此限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用。根據(jù)其他實(shí)施例，限制裝置可以是防止線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用的片。例如，片可以被粘貼到線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)上，以覆蓋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分。通常，限制裝置可以延伸到輪單元的整個(gè)長度，即，繞著輪單元的整個(gè)外周延伸，或者可以僅為輪單元的區(qū)段設(shè)置?，F(xiàn)在參照圖4描述可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例。在圖4中，一個(gè)輪單元456被安裝到軸線452。輪單元具有用于接收線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的徑向外表面457，具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的可拆卸可連接的涂層，諸如具有形成為線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽的輪胎460。輪胎部分具有徑向內(nèi)表面，以由輪單元456 的徑向外表面457接收。此外，輪單元456和提供線弓I導(dǎo)結(jié)構(gòu)460的輪胎可以具有固定元件、接合元件等，以使輪單元和輪胎適合于使得輪胎460可拆卸地連接到輪單元456。如上所述，根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的一些實(shí)施例，在圖4中由附圖標(biāo)記460表示的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以提供兩個(gè)凹槽。根據(jù)一些實(shí)施例，在圖4中示出限制裝置470。限制裝置470適合于限制或者甚至阻擋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)460的一部分的使用。例如，圖4的限制裝置470通過進(jìn)行覆蓋來限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一個(gè)凹槽的使用。在圖4中示出的實(shí)施例中，限制裝置470被安裝到輪單元456。通常地，限制裝置470可以由連接元件472(諸如螺釘?shù)?安裝到輪單元456。根據(jù)其他實(shí)施例，限制裝置可以以任何其他合適的方式安裝到輪單元，例如，被焊接到輪單元456、被膠粘到輪單元456以及通過插入連接到輪單元而被連接等。圖5示出了這里所描述的輪胎的實(shí)施例。由此，可以理解輪單元和輪胎是相關(guān)聯(lián)的組件，其被用來形成根據(jù)這里描述的其他實(shí)施例的線引導(dǎo)件。輪胎560具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)564以及與輪單元接觸的徑向內(nèi)表面561。通常，根據(jù)一些實(shí)施例，輪胎可以被設(shè)置為塑料輪胎，其中在交付工作時(shí)已經(jīng)具有凹槽。因此，替換的輪胎可以被構(gòu)造為可丟棄的產(chǎn)品，即，制造為僅單次使用。因此，輪胎可以在將輪胎安裝到線引導(dǎo)件上之前已經(jīng)形成凹槽。因此，線引導(dǎo)件不需要被裝運(yùn)到不同的工廠來進(jìn)行重新涂布和/或重新形成凹槽。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的另一個(gè)實(shí)施例，輪胎560可以被設(shè)置為具有開口 512的環(huán)，S卩，輪輪胎是開口的環(huán)。由此，輪胎可以被容易地定位為在被可拆卸地連接到輪單元之前位于輪單元的外表面的徑向外側(cè)。由此，開口 512被理解為中斷的環(huán)。例如，中斷可以小到Imm以下，諸如例如0.3到0.7mm。圖6示出了是根據(jù)這里描述的實(shí)施例的在工作期間的其上設(shè)置線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪單兀有的一部分的不意圖。通常，輪單兀656具有例如兩個(gè)凹槽665和666的引導(dǎo)結(jié)構(gòu)660。在圖6中示出的示例中，限制裝置670覆蓋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)460的一部分，即兩個(gè)凹槽中的凹槽666。線610被示出為由凹槽665引導(dǎo)。線例如被引導(dǎo)到另一個(gè)輪或滑輪，但是也可以被引導(dǎo)到線軸等或存在于線鋸裝置中的其他裝置。當(dāng)凹槽665磨損時(shí)，引導(dǎo)結(jié)構(gòu)660可能被卸下、回轉(zhuǎn)一周并以使得凹槽665現(xiàn)在由限制裝置670覆蓋并且凹槽666可以被用來引導(dǎo)線610的方式再次安裝。因此，因?yàn)榫哂邢拗蒲b置的輪單元僅可以使用一個(gè)凹槽，所以在替換線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)之后不需要對準(zhǔn)步驟。通常，當(dāng)兩個(gè)凹槽設(shè)置在線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)中時(shí)，輪胎可以通過旋轉(zhuǎn)而被使用兩次。根據(jù)這里描述的實(shí)施例的輪單元允許線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的可靠的對準(zhǔn)以及容易的替換。根據(jù)可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例，固定元件可以設(shè)置在輪單元處，以可拆卸地將提供引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪胎連接到輪單元。在圖7a和圖7b中示出固定元件的示例。圖7a示例性地示出了在外表面上安裝了輪胎760的輪單元756。通常，夾片720和721可以設(shè)置在輪單元處。作為示例，夾片可以被焊接到輪單元。根據(jù)一些實(shí)施例，突起740(諸如釘銷等)可以沿著與旋轉(zhuǎn)軸平行的方向設(shè)置在線引導(dǎo)件處，例如設(shè)置在輪胎760的各個(gè)側(cè)面上。通常，夾持元件730確保輪胎760與輪單元之間的連接。為了清楚，限制裝置在圖7a和圖7b中未示出。在圖7b中，示出了圖7a中示出的實(shí)施例的俯視圖。線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)760 (諸如輪胎)提供了兩個(gè)凹槽765和766。在圖7b的俯視圖中，可以看到釘銷740和夾持元件730。根據(jù)一些實(shí)施例，上述輪單元和線引導(dǎo)件可以被用在線鋸裝置中，該線鋸裝置可以是裁剪器、鋸方器、線鋸或多重線鋸。由此，裁剪器可以被理解為這樣一種裝置，其可以被用來從已經(jīng)在鋸方器中被分離為磚塊的磚塊或方塊上鋸切掉端件。鋸方器是這樣一種線鋸，其通常將硅坯料鋸切為期望尺寸的方塊，使得線鋸或多重線鋸可以在晶片制造工藝中從磚塊鋸切出晶片。如果使用了具有涂層(例如鉆石涂層)的線或細(xì)線，上述系統(tǒng)特別有用。因此，在可以與這里描述的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，這里描述的線操作部分和線鋸裝置適合于具有約400 μ m以下的直徑的細(xì)線，諸如在約200 μ m到約400 μ m之間的直徑，更具體地，在約200 μ m到約300 μ m之間的直徑。此外，這里描述的線引導(dǎo)部分和線鋸裝置適合于具有涂層的線，例如，具有其中嵌入了鉆石顆粒的鎳涂層的線。這種線可以通常具有約300 μ m到約400 μ m的芯直徑,例如310 μ m到340 μ m。對于這些線來說,線的扭轉(zhuǎn)可能增加線斷裂或涂層損壞的風(fēng)險(xiǎn)，使得無扭轉(zhuǎn)操作是有利的。通過使用鉆石線，可以將生產(chǎn)率增加2個(gè)數(shù)量級以上。在使用鉆石線時(shí)，線鋸的其他部分可以適合于鉆石線。例如，機(jī)械部分、電部分和/或軟件可以適合于鉆石線的使用。通常，這里描述的線引導(dǎo)件和用于線引導(dǎo)件的輪的實(shí)施例適合于或被構(gòu)造為用于線鋸裝置，它們可以被用在線鋸裝置中和/或可以是線鋸裝置的一部分。除了可以用于制造適合于或構(gòu)造為用于線鋸裝置的滑輪的其他方面之外，滑輪可以提供對具有400 μ m以下的厚度(或者上述的其他直徑中的任何一者的厚度)的線進(jìn)行引導(dǎo)的凹槽結(jié)構(gòu)。由此，必須注意凹槽結(jié)構(gòu)特別對于線直徑和切割工藝進(jìn)行設(shè)計(jì)，使得允許高精確度切割，例如具有250 μ m以下或者甚至50 μ m以下的精確度。通常，在可以與這里的其他實(shí)施例結(jié)合的實(shí)施例中，滑輪具有至少一個(gè)以下的半徑，或者在實(shí)施例中具有全部以下的半徑。滑輪可以具有IOOmm到150mm之間的直徑，特別是112_的直徑(這里，直徑表示由線觀察的直徑，即，在線引導(dǎo)凹槽內(nèi)的直徑)。根據(jù)其他實(shí)施例，滑輪也可以具有100到350mm之間的直徑，例如在140mm到170mm之間，特別是158mm的直徑。根據(jù)本發(fā)明的方面，提供了 一種用于在線鋸裝置中引導(dǎo)線的方法。通常，線鋸裝置可以是上文中參照輪單元和線引導(dǎo)件描述的線鋸裝置。在圖8中，示出了根據(jù)這里描述的實(shí)施例的方法的示意性流程圖。通常，方法800包括步驟810，其中線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(諸如輪胎)被放置在線引導(dǎo)件的輪單元上。根據(jù)一些實(shí)施例，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以被可拆卸地連接到輪單元。例如，固定元件可以被設(shè)置為用于可拆卸地將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)連接到輪單元。參照圖7a和圖7b描述了固定元件的示例。根據(jù)這里描述的一些實(shí)施例，被連接到輪單元的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以提供兩個(gè)凹槽。通常，輪單元和線引導(dǎo)件可以是如上文中參照圖3a、圖3b、圖4、圖5和圖6描述的輪單元和線引導(dǎo)件。通常，方法800還包括步驟820，其中，在線引導(dǎo)件的工作期間阻擋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分。根據(jù)一些實(shí)施例，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分被如上文中參照圖3a、圖3b、圖4、圖5和圖6描述的限制裝置所阻擋。作為示例，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)包括凹槽，其中的一者在線引導(dǎo)件工作期間通過被覆蓋而被阻擋。根據(jù)本發(fā)明的方面，提供了用于具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)線引導(dǎo)件的輪單元。線引導(dǎo)件被構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置。通常，輪單元包括用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)接收到預(yù)定位置的徑向外表面；以及用于在工作期間限制線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用的限制裝置。根據(jù)一些實(shí)施例，輪單元可以適合于容納用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可拆卸地連接到輪單元的固定元件。通常，輪單元的外表面可以是基本上平坦的。在示例性實(shí)施例中，限制裝置可以在工作期間阻擋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分的使用。通常，限制裝置可拆卸地連接到輪單元。在一些實(shí)施例中，限制裝置可以適合于限制被形成為兩個(gè)凹槽的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽的使用。根據(jù)其他方面，提供了一種構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置的線引導(dǎo)件。線引導(dǎo)件可以包括如上所述的輪單元和輪胎。通常，輪胎包括輪胎部分，具有適合于在輪單元的徑向外表面處被接收的徑向內(nèi)表面；以及在輪胎部分的徑向外表面處設(shè)置的用于引導(dǎo)線的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。通常，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以包括兩個(gè)凹槽。根據(jù)一些實(shí)施例，輪單元可以適合于容納用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可拆卸地連接到輪單元的固定元件。根據(jù)一些其他的實(shí)施例，輪胎可以適合于被固定到輪單元的固定元件。通常，輪胎基本由塑料材料構(gòu)成。根據(jù)其他方面，提供了一種經(jīng)由為線鋸裝置構(gòu)造的線引導(dǎo)件來引導(dǎo)線的方法。該方法包括將具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的輪胎放置在線引導(dǎo)件的輪單元上；以及在線引導(dǎo)件的工作期間阻擋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分。通常，輪胎的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以包括兩個(gè)凹槽。根據(jù)一些實(shí)施例，阻擋線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的一部分可以包括覆蓋形成線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽中的一個(gè)凹槽。根據(jù)其他一些實(shí)施例，方法可以包括通過固定元件將輪胎固定到輪單元上。通常，通過使用根據(jù)這里描述的實(shí)施例的輪單元和線引導(dǎo)件，線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)被從輪單元分離，這允許在線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)磨損時(shí)容易地替換線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。此外，可以快速地通過簡單的夾片系統(tǒng)固定線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的末端的涂層。根據(jù)一些實(shí)施例，通過使用具有上述限制裝置的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的兩個(gè)凹槽，因?yàn)閮H可以使用一個(gè)凹槽，所以確保了線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的對準(zhǔn)，由此避免了選擇錯(cuò)誤凹槽的風(fēng)險(xiǎn)。選擇錯(cuò)誤凹槽將會(huì)以不利的方式影響線鋸的操作，諸如促進(jìn)了線的斷裂等。此外，通過使用根據(jù)這里描述的實(shí)施例的輪單元和線引導(dǎo)件，改進(jìn)了線引導(dǎo)件的對準(zhǔn)的質(zhì)量。通過由這里描述的線引導(dǎo)件對線進(jìn)行引導(dǎo)，避免了線的錯(cuò)配的風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，減少了用于替換線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的停機(jī)時(shí)間并且有助于替換線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)。雖然上文涉及本發(fā)明的實(shí)施例，但是，可以在不超出其基本范圍的情況下得出本發(fā)明的其他和另外的實(shí)施例，其范圍由以下權(quán)利要求所決定。
權(quán)利要求
1.一種用于具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)線引導(dǎo)件(336)的輪單元(356 ；456 ；656 ;756)，所述線引導(dǎo)件被構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置(100)，所述輪單元包括: 徑向外表面(357 ;457)，其用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)接收到預(yù)定位置；以及 限制裝置(370 ；470 ;670)，其用于在工作期間限制所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的一部分的使用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪單元，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)適合于容納用于將所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)可拆卸地連接到所述輪單元的固定元件(720 ；721)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輪單元，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)的外表面(357 ；457)是基本上平坦的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任意一項(xiàng)所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)適合于在工作期間阻擋所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的一部分的使用。
5.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任意一項(xiàng)所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)可拆卸地連接到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任意一項(xiàng)所述的輪單元，其中，所述限制裝置(370；470 ；670)適合于限制被形成為兩個(gè)凹槽的線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的凹槽(365 ；665 ；666)的使用。
7.一種構(gòu)造為用于具有線的線鋸裝置的線引導(dǎo)件，所述線引導(dǎo)件包括: 根據(jù)權(quán)利要求1到3中任意一 項(xiàng)所述的輪單元(356 ；456 ；656 ；756);以及 輪胎，所述輪胎包括: 輪胎部分，其具有適合于在輪單元(356 ；456 ；656 ；756)的徑向外表面(357 ；457)處被接收的徑向內(nèi)表面；以及 線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ;760)，其設(shè)置在所述輪胎部分的徑向外表面(357 ；457)處，以引導(dǎo)所述線。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的線引導(dǎo)件，其中，所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460 ；560 ；660 ；760)包括兩個(gè)凹槽(365 ；665 ；666)。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)適合于容納用于將所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)可拆卸地連接到所述輪單元的固定元件(720 ；721)。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪單元(356；456 ；656 ；756)適合于容納用于將所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)可拆卸地連接到所述輪單元的固定元件(720 ；721)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪胎適合于被固定到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)的固定元件(720 ；721)。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪胎適合于被固定到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)的固定元件(720 ；721)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪胎適合于被固定到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)的固定元件(720 ；721)。
14.根據(jù)權(quán)利要求7所述的線引導(dǎo)件，其中，所述輪胎基本由塑料材料構(gòu)成。
15.一種經(jīng)由為線鋸裝置(100)配置的線引導(dǎo)件(336)來引導(dǎo)線的方法，所述方法包括: 將具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的輪胎放置在所述線引導(dǎo)件(336)的輪單元(356 ；456 ；656 ；756)上；以及 在所述線引導(dǎo)件(336)的工作期間阻擋所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360 ；460 ；560 ；660 ；760)的一部分。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，所述輪胎的所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460 ；560 ；660 ；760)包括兩個(gè)凹槽(365 ；665 ；666)。
17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，其中，阻擋所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460 ；560 ；660 ；760)的一部分包括阻擋形成所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)的凹槽中的一個(gè)凹槽(365 ；665 ;666)。
18.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，還包括通過固定元件(720；721)將所述輪胎固定到所述輪單元(356 ；456 ；656 ；756)上。
全文摘要
本發(fā)明涉及在無對準(zhǔn)的情況下快速對鋸方器的線引導(dǎo)器進(jìn)行替換。描述了一種用于旋轉(zhuǎn)線引導(dǎo)件(336)的輪單元(356；456；656；756)以及用于線鋸裝置(100)的線引導(dǎo)件。輪單元包括徑向外表面(357；457)，其用于將線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460；560；660；760)接收到預(yù)定位置；以及限制裝置(370；470；670)，其用于在工作期間限制所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460；560；660；760)的一部分的使用。此外，描述了一種經(jīng)由為線鋸裝置(100)構(gòu)造的線引導(dǎo)件(336)來引導(dǎo)線的方法。該方法包括將具有線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460；560；660；760)的輪胎放置在所述線引導(dǎo)件(336)的輪單元(356；456；656；756)上；以及在所述線引導(dǎo)件(336)的工作期間阻擋所述線引導(dǎo)結(jié)構(gòu)(360；460；560；660；760)的一部分。
文檔編號B28D5/04GK103085181SQ201110459119
公開日2013年5月8日 申請日期2011年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月28日
發(fā)明者吉恩-馬克·羅斯特, 阿爾諾德·羅比, 約翰·施派爾 申請人:應(yīng)用材料瑞士股份有限公司