專利名稱：多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法以及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種難以混入氣泡的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法以及制造裝置。
背景技術(shù)：
在利用VAD方法制造玻璃母材時，向合成用噴管送入四氯化硅(原料)、四氯化鍺等摻雜劑、氧氣、氫氣等，利用水解反應(yīng)合成玻璃微粒，并堆疊在標(biāo)靶上。此時，由于也存在未堆疊在標(biāo)靶上的玻璃微粒，所以將其從安裝在反應(yīng)容器上的排氣口排出。如果未堆疊的玻璃微粒沒有充分排出而滯留在反應(yīng)容器內(nèi)，則有可能使滯留的玻璃微粒附著在制造中的多孔質(zhì)玻璃母材上，在之后的多孔質(zhì)玻璃母材在燒結(jié)爐中玻璃化時，以附著的玻璃微粒為核，在內(nèi)部產(chǎn)生氣泡。另外，如果玻璃微粒將排氣口堵塞，使排氣口處的排氣壓力變動，則反應(yīng)容器內(nèi)的玻璃微粒的流動發(fā)生波動。這樣一來，有可能無法在多孔質(zhì)玻璃母材上穩(wěn)定地使玻璃微粒堆疊，堆疊速度在合成中變動，制造后的多孔質(zhì)玻璃母材的特性在長度方向上變動。在日本特開2006-248884號公報中公開了下述技術(shù)，即，以使噴管的火焰穩(wěn)定，使堆疊效率提高，高效率地生產(chǎn)高品質(zhì)的多孔質(zhì)玻璃母材為目的，對從噴管的周圍流過的凈化空氣的流速進(jìn)行限定。另外，在日本特開2005-179077號公報中公開了下述技術(shù)，S卩，為了防止附著在反應(yīng)容器的內(nèi)壁上的玻璃微粒剝落，并向多孔質(zhì)玻璃母材上附著，而在噴管附近設(shè)置導(dǎo)入空氣的單元，與在噴管中流動的反應(yīng)氣體的供給量相對應(yīng)，對空氣的流量進(jìn)行控制。針對上述的問題，在日本特開2006-248884號公報、日本特開2005-179077號公報的技術(shù)中，通過從噴管附近流過清潔的空氣(凈化空氣)，朝向排氣口生成空氣的氣流，由此使氣流穩(wěn)定，另外將不需要的玻璃微粒向排氣口引導(dǎo)。但是，針對在VAD方法中，將凈化空氣噴出口安裝在哪個位置或者朝向哪個方向，能夠使多孔質(zhì)玻璃母材的特性在長度方向上穩(wěn)定、且難以向玻璃母材中混入氣泡這一點沒有作出描述，即使流過凈化空氣，也可能在纖芯和包層的界面上產(chǎn)生氣泡。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種制造方法以及制造裝置，其在利用VAD方法制造光纖用多孔質(zhì)玻璃母材時，使多孔質(zhì)玻璃母材的特性在長度方向上穩(wěn)定，且難以在多孔質(zhì)玻璃母材中混入氣泡。為了實現(xiàn)目的，提供一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其包含反應(yīng)容器，其具有凈化空氣噴出口及排氣口 ；以及大于或等于一個的噴管，其將含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體向反應(yīng)容器內(nèi)噴出，凈化空氣噴出口位于反應(yīng)容器的設(shè)置有所述大于或等于一個的噴管中原料投入量最多的噴管的壁面上，排氣口位于反應(yīng)容器的與原料投入量最多的噴管相對的壁面上，反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶上，并使該標(biāo)靶向上方升起，沿軸向使多孔質(zhì)玻璃母材堆疊，該多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置的特征在于，凈化空氣噴出口的下端位于原料投入量最多的噴管的下端的下方，排氣口的開口部的下端位于原料投入量最多的噴管的下端的上方，凈化空氣噴出口下端的管路向上方傾斜。在本發(fā)明的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置中，優(yōu)選凈化空氣噴出口下端的管路相對于水平方向的角度，比原料投入量最多的噴管相對于水平方向的角度大。另外，優(yōu)選凈化空氣噴出口位于噴管的兩側(cè)。作為本發(fā)明的其它方式，提供一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法， 在該方法中，利用大于或等于一個的噴管將含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體，向反應(yīng)容器內(nèi)噴出，從凈化空氣噴出口將凈化空氣向反應(yīng)容器內(nèi)供給，從排氣口將反應(yīng)容器內(nèi)的氣體排出，將反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶上，并使該標(biāo)靶向上方升起，沿軸向使多孔質(zhì)玻璃母材堆疊，其中，該凈化空氣噴出口設(shè)置在反應(yīng)容器的設(shè)置有所述大于或等于一個的噴管中原料投入量最多的噴管的壁面上，該排氣口設(shè)置在反應(yīng)容器的與原料投入量最多的噴管相對的壁面上，該多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法的特征在于，凈化空氣噴出口的下端位于原料投入量最多的噴管的下端的下方，排氣口的開口部的下端位于所述原料投入量最多的噴管的下端的上方，凈化空氣噴出口下端的管路向上方傾斜。在本發(fā)明的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法中，優(yōu)選凈化空氣噴出口下端的管路相對于水平方向的角度，比原料投入量最多的噴管相對于水平方向的角度大。另外，優(yōu)選從凈化空氣噴出口供給的空氣壓力與反應(yīng)容器的內(nèi)部壓力相比達(dá)到大于或等于25 而小于或等于 301^。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法以及制造裝置，由于含有玻璃微粒的氣流的流動不會發(fā)生紊亂，所以可以使多孔質(zhì)玻璃母材的特性在長度方向上穩(wěn)定、且在多孔質(zhì)玻璃母材中難以混入氣泡。


圖1是表示本發(fā)明所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置的實施方式的概念圖。圖2是從排氣口側(cè)觀察圖1所示的制造裝置內(nèi)部的壁面的一個例子的概念圖。圖3 (a)、圖3 (b)、圖3 (c)是從排氣口側(cè)觀察圖1所示的制造裝置內(nèi)部的壁面的其它例子的概念圖。圖4是表示凈化空氣供給壓力與氣泡產(chǎn)生數(shù)量之間的關(guān)系的曲線圖。圖5是表示凈化空氣供給壓力與玻璃合成時的上升速度之間的關(guān)系的曲線圖。
具體實施例方式下面，參照附圖，說明本發(fā)明的實施方式。附圖以說明為目的，并不對發(fā)明的范圍進(jìn)行限定。在附圖中，為了避免說明的重復(fù)，相同標(biāo)號表示相同部分。附圖中的尺寸的比例不一定準(zhǔn)確。圖1是作為本發(fā)明所涉及的實施方式的多孔質(zhì)玻璃母材制造裝置100的概念圖。 制造裝置100是利用VAD方法制造多孔質(zhì)玻璃母材19的裝置。制造裝置100具有反應(yīng)容器11，其收容旋轉(zhuǎn)的標(biāo)靶17 ；噴管13，其將由玻璃原料氣體和燃燒氣體的反應(yīng)氣體15利用火焰水解反應(yīng)而生成的玻璃微粒，朝向作為初始材料的標(biāo)靶17噴射；上升裝置41，其將標(biāo)靶17升起；以及凈化空氣產(chǎn)生裝置43，其用于向反應(yīng)容器11中供給凈化空氣31。
在反應(yīng)容器11的上壁45上設(shè)置貫通孔47，與標(biāo)靶17連接的支撐棒配置為，沿上下方向從貫通孔47中穿過。標(biāo)靶17的上端由旋轉(zhuǎn)卡盤49把持并旋轉(zhuǎn)，并且利用上升裝置 41使標(biāo)靶17沿上下方向移動。通過一邊使標(biāo)靶17旋轉(zhuǎn)一邊向上方升起，從而在標(biāo)靶17上使玻璃微粒沿軸向堆疊，制造出多孔質(zhì)玻璃母材19。在反應(yīng)容器11的下部，朝向標(biāo)靶17的上升軸向的斜上方安裝大于或等于一個的噴管13，其前端向反應(yīng)容器11內(nèi)部凸出。在本實施方式中，在VAD方法中，使用對包層部和纖芯部分別進(jìn)行合成的兩個噴管13a、13b。噴管13的噴出氣體的端口形成為同心圓狀，使用按氣體種類確定了噴出端口的多重管(例如8重管)噴管。噴管13利用針對每個端口設(shè)置的未圖示的配管，與未圖示的氣體供給裝置連接， 對氫氣以及氧氣這樣的燃燒氣體 助燃?xì)怏w、四氯化硅(SiC14)等玻璃原料氣體進(jìn)行供給。 氣體供給裝置由燃燒氣體·助燃?xì)怏w供給裝置以及原料氣體供給裝置構(gòu)成，由未圖示的控制部的氣體流量控制部控制，燃燒氣體·助燃?xì)怏w、玻璃原料氣體的供給量由噴管13的各個端口分別進(jìn)行調(diào)整。另外，也適當(dāng)?shù)卦O(shè)置其它密封氣體等的供給裝置，向噴管13的規(guī)定端口供給。在反應(yīng)容器11的安裝有噴管的側(cè)壁51上設(shè)置凈化空氣噴出口 27，向其從凈化空氣產(chǎn)生裝置43經(jīng)由配管53供給凈化空氣31。凈化空氣31是被凈化后的空氣。凈化的程度只要是不會在多孔質(zhì)玻璃母材19上產(chǎn)生不良部位程度的凈化即可。在反應(yīng)容器11的與安裝有噴管的壁面相對的側(cè)壁55上設(shè)置排氣口 29，其將反應(yīng)容器11內(nèi)的氣體吸入并排出，排氣口四利用管路與未圖示的廢氣處理裝置連接。另外，在管路的內(nèi)部設(shè)置用于調(diào)整排氣量的未圖示的排氣閥。排氣閥的開度由未圖示的控制部內(nèi)的排氣閥控制部進(jìn)行調(diào)整，以使反應(yīng)容器11內(nèi)的氣壓恒定。在制造裝置100中，通過具有以上結(jié)構(gòu)，從而利用第一噴管(即，包層噴管，并且是原料投入量最多的噴管)13a、第二噴管(纖芯噴管)1 噴出含有玻璃原料氣體以及燃燒氣體等的反應(yīng)氣體15，反應(yīng)氣體15進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶17上，制造出多孔質(zhì)玻璃母材19。圖2是從排氣口四側(cè)觀察制造裝置100的內(nèi)部的壁面21a的一個例子的概念圖。 在制造裝置100中，針對設(shè)置在反應(yīng)容器11的壁面21a上的噴管13a、凈化空氣噴出口 27、 以及設(shè)置在壁面21b上的排氣口 29，設(shè)定為規(guī)定的相對位置關(guān)系。S卩，凈化空氣噴出口 27 配置為，在反應(yīng)容器11的壁面21a上，噴出口下端25位于第一噴管13a的下端23的下方。 另外，排氣口四設(shè)定為，位于與噴管13a相對的壁面21b上，且開口部下端位于噴管13a的下端23的上方。并且，使凈化空氣噴出口下端25的管路的傾角(噴出口下端25與水平方向的夾角)θ 1比第一噴管13a的傾角(噴管13a與水平方向的夾角)θ 2大。通過將傾角θ 1和傾角θ 2設(shè)定為上述相對關(guān)系，從而可以使玻璃微粒與凈化空氣31的流動相附和，使未堆疊的玻璃微粒向排氣口四高效地流入，防止氣泡的產(chǎn)生。凈化空氣噴出口 27也可以相對于第一噴管13a設(shè)置一個或者多個。另外，對于凈化空氣噴出口 27，也可以使凈化空氣噴出口 27的上部和噴管13a的下部在高度方向上重疊。在存在多個的情況下，如果將凈化空氣噴出口 27配置在噴管13a的兩側(cè)(圖2)，則利用從噴管火焰的下側(cè)噴出的凈化空氣和從火焰兩側(cè)噴出的凈化空氣，形成朝向排氣口四流動的氣流，玻璃微粒被兩側(cè)的氣流夾持，而更穩(wěn)定地向標(biāo)靶輸送。另外，未堆疊的玻璃微粒也在反應(yīng)容器11內(nèi)從左右被夾持而難以擴(kuò)散，更高效率地被排出。圖3 (a)、圖3 (b)、圖3 (c)是從排氣口側(cè)觀察制造裝置100的內(nèi)部的壁面的其它例子的概念圖。在圖3(a)中，凈化空氣噴出口 27設(shè)置為將第一噴管13a包圍。在圖3(b)中， 凈化空氣噴出口 27設(shè)置為將兩個噴管13a、1 包圍。在圖3(c)中，凈化空氣噴出口 27以橢圓狀開口，配置在噴管13a、13b的兩側(cè)。另外，在各例中，凈化空氣噴出口 27的噴出口下端25位于第一噴管13a的下端23的下方，且噴出口下端25的管路的傾角θ 1比第一噴管 13a的傾角θ 2小。即使在上述的例子中，玻璃微粒也被氣流夾持而穩(wěn)定地輸送，并堆疊在標(biāo)靶17上，未堆疊的玻璃微粒乘著凈化空氣的流動而向排氣口流動，被高效地排出。另外，如果凈化空氣31的供給壓力過低，則沒有輸送效果，另外，如果供給壓力過高，則氣流過于強(qiáng)烈而使火焰不穩(wěn)定，妨礙從噴管13a噴出的玻璃微粒向多孔質(zhì)玻璃母材 19上穩(wěn)定地堆疊。優(yōu)選從凈化空氣噴出口 27供給的空氣壓力與反應(yīng)容器11的內(nèi)部壓力相比達(dá)到大于或等于25 而小于或等于301^。由此，玻璃微粒的輸送效果(整流效果)沒有顯著下降，另外不會由于凈化空氣31的氣流而導(dǎo)致噴管火焰的紊亂及由此導(dǎo)致的生長速度的變動。下面，說明本發(fā)明所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法的實施方式。在本實施方式中，利用制造裝置100向在制造裝置100的反應(yīng)容器11內(nèi)旋轉(zhuǎn)的作為初始材料的標(biāo)靶17 上，堆疊通過從噴管13噴出的玻璃原料氣體以及燃燒氣體的火焰水解反應(yīng)而生成的玻璃微粒，并使標(biāo)靶17向上方升起，制造出多孔質(zhì)玻璃母材19。此時，從噴管13的周圍供給整流后的凈化空氣31。凈化空氣31是由凈化空氣噴出口 27向反應(yīng)容器11供給的，其中，該凈化空氣噴出口 27以使噴出口下端25位于第一噴管13a的下端23的下方位置處的方式設(shè)置在壁面 21a上，并且朝向排氣口四而設(shè)定為朝向上方，該排氣口四位于與第一噴管13a相對的壁面21b上，且開口部下端位于第一噴管13a的下端的上方。通過在比第一噴管13a的下端低的位置上設(shè)置凈化空氣噴出口 27的噴出口下端 25，從而從噴管火焰的下側(cè)噴出凈化空氣31，可以在反應(yīng)容器11內(nèi)產(chǎn)生使玻璃微粒乘著凈化空氣31而輸送的氣流。由此，玻璃微粒的氣流不會紊亂，玻璃微粒穩(wěn)定地向作為初始材料的標(biāo)靶17上堆疊。另外，未堆疊的玻璃微粒的量主要由原料最多的噴管13a的火焰決定， 因此，可以使反應(yīng)容器11內(nèi)的未堆疊的玻璃微粒乘著凈化空氣31的流動而高效地排出至排氣口 29，從而難以向多孔質(zhì)玻璃母材19上再次附著。由此，根據(jù)本實施方式所涉及的多孔質(zhì)玻璃母材19的制造方法以及制造裝置 100，由于以使噴出口下端25位于第一噴管13a的下端23的下方位置處的方式設(shè)置凈化空氣噴出口 27，將凈化空氣噴出口 27以朝向排氣口四的方式設(shè)定為朝向上方，所以在利用 VAD方法制造光纖用多孔質(zhì)玻璃母材19時，可以使多孔質(zhì)玻璃母材19的特性在長度方向 (軸向)上穩(wěn)定，且在多孔質(zhì)玻璃母材19中難以混入氣泡，其中，排氣口四位于與噴管13 相對的壁面21b上，且開口部下端位于噴管13的下端的上方。實施例在制造裝置100中，使用對纖芯部和包層部分別進(jìn)行合成的兩個噴管，進(jìn)行光纖用玻璃母材的制造。向合成纖芯部的噴管13b中以0. 5升/分鐘的流量投入作為原料的四氯化硅氣體，向合成包層部的噴管13a中以6升/分鐘的流量投入作為原料的四氯化硅氣體，一邊以80mm/hr的速度將標(biāo)靶升起，一邊制造出光纖用玻璃母材。以反應(yīng)容器11內(nèi)的負(fù)壓相對于大氣壓達(dá)到-20 的方式，從與反應(yīng)容器連接的排氣管進(jìn)行排氣，將比噴管13a的下端位置23低150mm的位置作為噴出口下端25，將高度為 250mm、寬度為IOOmm大小的凈化空氣噴出口 27在噴管13a的兩側(cè)設(shè)置2個。此時，排氣口 29以開口部的下端處于比凈化空氣噴出口 27的上端高120mm的位置上的方式安裝，噴管 13a的設(shè)置角度相對于水平方向成為30度，凈化空氣噴出口下端25的管路的角度相對于水平方向成為45度。凈化空氣產(chǎn)生裝置43與凈化空氣噴出口 27連接，以相對于大氣壓達(dá)到 +5 的壓力，從噴出口向反應(yīng)容器11內(nèi)供給凈化空氣。在該條件下連續(xù)地制造20根多孔質(zhì)玻璃母材19，對在多孔質(zhì)玻璃母材19中混入的氣泡的個數(shù)進(jìn)行測定。氣泡的個數(shù)平均在一根多孔質(zhì)玻璃母材19中有0. 3個。對比例1從反應(yīng)容器11中拆去凈化空氣噴出口 27，制造20根多孔質(zhì)玻璃母材，對在多孔質(zhì)玻璃母材中混入的氣泡的個數(shù)進(jìn)行測定，其結(jié)果，如在圖4中的凈化空氣供給壓力為零的情況下的氣泡個數(shù)為3個所示，平均在一根多孔質(zhì)玻璃母材中有3個氣泡，氣泡產(chǎn)生頻度大幅度地增加。對比例2從凈化空氣噴出口 27以與反應(yīng)容器11的底面平行的角度供給凈化空氣，制造多孔質(zhì)玻璃母材，對在多孔質(zhì)玻璃母材中混入的氣泡的個數(shù)進(jìn)行測定，其結(jié)果，平均在一根多孔質(zhì)玻璃母材中有2個氣泡。對比例3使反應(yīng)容器11內(nèi)的負(fù)壓相對于大氣壓達(dá)到_20Pa，將凈化空氣的壓力設(shè)為0. 4Pa, 與實施例相同地，制造20根多孔質(zhì)玻璃母材，對在多孔質(zhì)玻璃母材中混入的氣泡的個數(shù)進(jìn)行測定，其結(jié)果，平均在一根多孔質(zhì)玻璃母材中有1. 5個氣泡。另外，在圖4中示出凈化空氣供給壓力與氣泡產(chǎn)生數(shù)量之間的關(guān)系圖。根據(jù)該圖可知，通過使凈化空氣的壓力大于或等于5Pa，從而氣泡的數(shù)量極度減少。對比例4使反應(yīng)容器11內(nèi)的負(fù)壓相對于大氣壓達(dá)到_20Pa，將凈化空氣的壓力設(shè)為15Pa， 與實施例相同地，制造出多孔質(zhì)玻璃母材，但如圖5所示，使多孔質(zhì)玻璃母材的上升速度從 80mm/hr下降至60mm/hr，無法得到良好的多孔質(zhì)玻璃母材。根據(jù)圖5可知，如果凈化空氣的壓力超過10Pa，則上升速度極度下降。根據(jù)以上結(jié)果，如本實施例所示，從噴管火焰的下側(cè)噴出凈化空氣31，在反應(yīng)容器 11內(nèi)產(chǎn)生使玻璃微粒乘著凈化空氣31而輸送的氣流。由此，玻璃微粒的氣流不會紊亂，穩(wěn)定地堆疊在標(biāo)靶17上。另外，可以確認(rèn)下述情況，即，未堆疊的玻璃微粒的量主要由原料最多的噴管的火焰決定，因此，可以使反應(yīng)容器內(nèi)的未堆疊的玻璃微粒乘著該凈化空氣31的流動而高效地排出至排氣口，難以向多孔質(zhì)玻璃母材19上再次附著，可以使多孔質(zhì)玻璃母材19的特性在長度方向上穩(wěn)定且其中難以混入氣泡。
權(quán)利要求
1.一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其包含反應(yīng)容器，其具有凈化空氣噴出口及排氣口 ；以及大于或等于一個的噴管，其將含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體向所述反應(yīng)容器內(nèi)噴出，所述凈化空氣噴出口位于所述反應(yīng)容器的設(shè)置有所述大于或等于一個的噴管中原料投入量最多的噴管的壁面上，所述排氣口位于所述反應(yīng)容器的與所述原料投入量最多的噴管相對的壁面上，所述反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶上，并使該標(biāo)靶向上方升起，沿軸向使多孔質(zhì)玻璃母材堆疊，該多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置的特征在于，所述凈化空氣噴出口的下端位于所述原料投入量最多的噴管的下端的下方， 所述排氣口的開口部的下端位于所述原料投入量最多的噴管的下端的上方， 所述凈化空氣噴出口下端的管路向上方傾斜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于，所述凈化空氣噴出口下端的管路相對于水平方向的角度，比所述原料投入量最多的噴管相對于水平方向的角度大。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造裝置，其特征在于， 所述凈化空氣噴出口位于所述噴管的兩側(cè)。
4.一種多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，在該方法中，利用大于或等于一個的噴管將含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體，向反應(yīng)容器內(nèi)噴出，從凈化空氣噴出口將凈化空氣向所述反應(yīng)容器內(nèi)供給， 從排氣口將所述反應(yīng)容器內(nèi)的氣體排出，將該反應(yīng)氣體進(jìn)行反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶上，并使該標(biāo)靶向上方升起，沿軸向使多孔質(zhì)玻璃母材堆疊，其中，該凈化空氣噴出口設(shè)置在所述反應(yīng)容器的設(shè)置有所述大于或等于一個的噴管中原料投入量最多的噴管的壁面上，該排氣口設(shè)置在所述反應(yīng)容器的與所述原料投入量最多的噴管相對的壁面上，該多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法的特征在于，所述凈化空氣噴出口的下端位于所述原料投入量最多的噴管的下端的下方， 所述排氣口的開口部的下端位于所述原料投入量最多的噴管的下端的上方， 所述凈化空氣噴出口下端的管路向上方傾斜。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其特征在于，所述凈化空氣噴出口下端的管路相對于水平方向的角度，比所述原料投入量最多的噴管相對于水平方向的角度大。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的多孔質(zhì)玻璃母材的制造方法，其特征在于，從所述凈化空氣噴出口供給的空氣壓力與所述反應(yīng)容器的內(nèi)部壓力相比達(dá)到大于或等于251 而小于或等于301^。
全文摘要
本發(fā)明提供一種多孔質(zhì)玻璃母材制造方法及制造裝置，其在利用VAD方法制造光纖用多孔質(zhì)玻璃母材時，使多孔質(zhì)玻璃母材的特性在長度方向上穩(wěn)定且其中難以混入氣泡。利用設(shè)置在反應(yīng)容器上的至少大于或等于1個噴管噴出含有玻璃原料氣體及燃燒氣體的反應(yīng)氣體，使由反應(yīng)氣體反應(yīng)而生成的玻璃微粒堆疊在標(biāo)靶上，制作多孔質(zhì)玻璃母材。在多孔質(zhì)玻璃母材制造方法中，在反應(yīng)容器的壁面(21a)上設(shè)置凈化空氣噴出口，其噴出口下端部位于原料投入量最多的噴管的下端部的下方位置處。將凈化空氣噴出口以朝向排氣口的方式設(shè)定為朝向上方，從凈化空氣噴出口向反應(yīng)容器供給凈化空氣，其中，該排氣口位于與噴管相對的壁面(21b)上，與噴管相比在上方開口。
文檔編號C03B37/018GK102417294SQ201110221280
公開日2012年4月18日 申請日期2011年8月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月3日
發(fā)明者川崎希一郎, 鈴木智哉 申請人:住友電氣工業(yè)株式會社