專(zhuān)利名稱(chēng)：光纖母材制造裝置以及光纖母材制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光纖母材制造裝置以及光纖母材制造方法。
背景技術(shù)：
作為制造光纖的母材的方法，眾所周知有VAD法或外包法。圖7是表示使用VAD 法的以往的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。如圖7所示，光纖母材制造裝置101具備反應(yīng)容器110、靶棒(target)部件120、 纖芯燃燒器(core burner) 130以及包層燃燒器(clad burner) 140。靶棒部件120設(shè)置于反應(yīng)容器110內(nèi)。纖芯燃燒器130和包層燃燒器140使玻璃微粒沿軸向堆積在靶棒部件 120的前端(下方)。此外，在使用外包法的以往的光纖母材制造裝置中，不設(shè)置纖芯燃燒器130而只具備包層燃燒器140。靶棒部件120例如是由石英形成的棒狀的部件，沿豎直方向延伸并設(shè)置于反應(yīng)容器110內(nèi)。靶棒部件120經(jīng)由保持部121而支承于立柱(Column) 122。在立柱122內(nèi)設(shè)置有使靶棒部件120繞其中心軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)、且沿中心軸線(xiàn)方向移動(dòng)的未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置。纖芯燃燒器130是堆積用于在靶棒部件120的前端(下方)沿軸向形成纖芯而使用的玻璃微粒并生成纖芯煙灰(core soot)Sl的燃燒器。包層燃燒器140是堆積用于在纖芯煙灰Sl的外周形成包層而使用的玻璃微粒并生成包層煙灰(clad soot)S2的燃燒器。通過(guò)在靶棒部件120的前端(下方)沿軸向生成纖芯煙灰Sl和包層煙灰S2，由此制造光纖多孔質(zhì)母材 S(以下，簡(jiǎn)稱(chēng)多孔質(zhì)母材幻。通過(guò)對(duì)所制造的多孔質(zhì)母材S進(jìn)行基于加熱的脫水處理以及透明玻璃化處理，來(lái)制成光纖母材。另外，在根據(jù)需要調(diào)整不足的包層之后，通過(guò)對(duì)光纖母材進(jìn)行拉絲來(lái)制造光纖。在所制造的光纖母材的內(nèi)部要求盡可能地沒(méi)有氣泡。這是為了防止氣泡使拉絲后的光纖的強(qiáng)度降低而增加光的傳送損失而需要的。作為在光纖母材內(nèi)產(chǎn)生氣泡的原因可舉出例如塵?；烊氲街圃熘械亩嗫踪|(zhì)母材S內(nèi)的情況。為了抑制氣泡的產(chǎn)生而進(jìn)行將反應(yīng)容器配置于腔室(booth)的內(nèi)部，向腔室內(nèi)導(dǎo)入清潔的空氣即潔凈空氣(clean air)，來(lái)減少反應(yīng)容器內(nèi)的塵埃(例如，參照日本特開(kāi)平7-300332號(hào)公報(bào))。即，如圖7所示，光纖母材制造裝置101設(shè)置有腔室150，其在內(nèi)部配置反應(yīng)容器110 ；進(jìn)氣裝置160，其用于向腔室 150內(nèi)供給潔凈空氣；排氣裝置180，其將反應(yīng)容器110內(nèi)的空氣向外部排出。此外，排氣裝置180與形成于反應(yīng)容器110的反應(yīng)容器排氣口 111連結(jié)。通過(guò)使進(jìn)氣裝置160動(dòng)作而向腔室150內(nèi)供給潔凈空氣。在反應(yīng)容器110的側(cè)壁設(shè)置具有直徑比包層燃燒器140的直徑大的的開(kāi)口部，在該開(kāi)口部?jī)?nèi)嵌合插入有包層燃燒器140。從開(kāi)口部與包層燃燒器140之間的間隙向腔室150內(nèi)供給的潔凈空氣流入到反應(yīng)容器110內(nèi)。由于反應(yīng)容器110內(nèi)的空氣通過(guò)排氣裝置180的動(dòng)作向外部排出，故供給到腔室150內(nèi)的潔凈空氣，通過(guò)反應(yīng)容器110內(nèi)向外部排出。因此具備腔室150、進(jìn)氣裝置160 以及排氣裝置180的光纖母材制造裝置101，能夠使反應(yīng)容器110內(nèi)的塵埃的數(shù)量減少。由此得到能夠減少混入到多孔質(zhì)母材S內(nèi)的塵埃的數(shù)量，能夠抑制光纖母材內(nèi)的氣泡的一定的效果。然而，在進(jìn)行光纖母材制造裝置101的維護(hù)時(shí)，由于作業(yè)員進(jìn)入到腔室150內(nèi)進(jìn)行作業(yè)，故在腔室150內(nèi)產(chǎn)生塵埃。另外，未堆積于靶棒部件120的玻璃微粒，附著于反應(yīng)容器110的內(nèi)表面，或者發(fā)生在制造時(shí)多孔質(zhì)母材S的煙灰破裂而產(chǎn)生煙灰粉。因此，需要清掃反應(yīng)容器110或者腔室150。清掃作業(yè)也是由作業(yè)員在腔室150內(nèi)進(jìn)行的。在進(jìn)行維護(hù)或者清掃時(shí)產(chǎn)生的煙灰粉等塵埃，附著于腔室150的內(nèi)表面(特別是地面151)。當(dāng)在進(jìn)行維護(hù)或者清掃后再次開(kāi)始多孔質(zhì)母材S的制造時(shí)，利用進(jìn)氣裝置160 的動(dòng)作在腔室150內(nèi)產(chǎn)生空氣流，因此有可能揚(yáng)起附著于腔室150的內(nèi)表面的塵埃。另外， 由于排氣裝置180經(jīng)由反應(yīng)容器排氣口 111將反應(yīng)容器110內(nèi)的空氣排出，故產(chǎn)生從腔室 150內(nèi)朝向反應(yīng)容器110內(nèi)的空氣流。被揚(yáng)起的塵埃沿著這樣的空氣流進(jìn)行流動(dòng)，由此該塵埃浸入到反應(yīng)容器110內(nèi)并混入到制造中的多孔質(zhì)母材S中。即，存在在進(jìn)行維護(hù)或者清掃之后，使得制造的光纖母材內(nèi)的氣泡的數(shù)量增加的問(wèn)題。另外，由于預(yù)見(jiàn)到光纖母材內(nèi)的氣泡的增加，故在進(jìn)行維護(hù)或者清掃等之后，在一定的時(shí)間內(nèi)不能夠再次開(kāi)始制造。因此，存在降低光纖母材制造裝置101的處理能力的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的以往的實(shí)際情況所做出的，其目的在于提供一種能夠?qū)⑶皇覂?nèi)的塵埃不通過(guò)反應(yīng)容器內(nèi)而排出，能夠抑制塵埃向反應(yīng)容器內(nèi)浸入、抑制在光纖母材內(nèi)產(chǎn)生氣泡的光纖母材制造裝置以及光纖制造方法。本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置具備腔室；反應(yīng)容器，其配置在上述腔室的內(nèi)部；靶棒部件，其配置在上述反應(yīng)容器內(nèi)；燃燒器，其使玻璃微粒堆積于上述靶棒部件；分隔板，其將上述腔室的內(nèi)部空間劃分成第一空間和第二空間，且具有將上述第一空間與上述第二空間相互連通的多個(gè)貫通孔，其中第一空間配置有上述反應(yīng)容器和上述燃燒器；進(jìn)氣部，其向上述第一空間內(nèi)供給清潔的空氣；以及排氣部，其將上述第二空間內(nèi)的空氣排出。優(yōu)選地，在本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置中，朝向重力方向依次配置有上述第一空間和上述第二空間。優(yōu)選地，在本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置中，配置有上述進(jìn)氣口、上述燃燒器以及上述分隔板，以使上述空氣流從上述進(jìn)氣部通過(guò)進(jìn)氣口供給到上述第一空間，并經(jīng)過(guò)配置有上述燃燒器的位置，進(jìn)而經(jīng)過(guò)上述分隔板上的上述多個(gè)貫通孔被導(dǎo)入到上述第
二空間。優(yōu)選地，本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置，具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第一支承部件配置于上述分隔板，上述第一支承部件構(gòu)成為包括彈性部件。優(yōu)選地，本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置，具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第二支承部件，固定在形成上述第二空間的上述腔室的內(nèi)表面。優(yōu)選地，本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置，具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第三支承部件，固定在配置于上述腔室的外部的剛性部材上。優(yōu)選地，本發(fā)明的第1方式的光纖母材制造裝置，具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第四支承部件，固定在上述反應(yīng)容器的外表面。本發(fā)明的第2方式的光纖母材制造方法，使用上述的光纖母材制造裝置，一邊使上述空氣供給到上述第一空間后經(jīng)過(guò)配置有上述燃燒器的位置，進(jìn)而經(jīng)過(guò)上述分隔板上的上述多個(gè)貫通孔導(dǎo)入到上述第二空間，一邊制造光纖母材。在進(jìn)行光纖母材制造裝置的維護(hù)或者清掃時(shí)，作業(yè)員在腔室內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)容器的維護(hù)以及清掃。另外，有時(shí)在反應(yīng)容器內(nèi)制造的多孔質(zhì)母材會(huì)發(fā)生煙灰破裂。由于在這樣的情況下會(huì)產(chǎn)生煙灰的微粒即煙灰粉，故需要清掃產(chǎn)生的煙灰粉。由于維護(hù)和清掃等會(huì)在腔室內(nèi)產(chǎn)生煙灰粉等塵埃，而產(chǎn)生的塵埃會(huì)附著于腔室的分隔板。當(dāng)在該狀態(tài)下開(kāi)始多孔質(zhì)母材的制造，將清潔的空氣從進(jìn)氣裝置導(dǎo)入到第一空間內(nèi)時(shí)，則在第一空間內(nèi)產(chǎn)生空氣流， 有可能將附著于分隔板的塵埃揚(yáng)起。然而，在本發(fā)明的分隔板上形成有多個(gè)貫通孔。另外，在光纖母材制造裝置中設(shè)置將第二空間內(nèi)的空氣排出的排氣部，通過(guò)該排氣部的動(dòng)作，產(chǎn)生經(jīng)過(guò)多個(gè)貫通孔從第一空間朝向第二空間的空氣流。即，能夠使第一空間內(nèi)的大部分空氣不經(jīng)過(guò)反應(yīng)容器內(nèi)而流動(dòng)到第二空間。即便存在附著于分隔板的塵埃被揚(yáng)起的情況，塵埃也能夠沿著從第一空間朝向第二空間的空氣流進(jìn)行流動(dòng)，并經(jīng)過(guò)多個(gè)貫通孔移動(dòng)到第二空間。由此即便存在在分隔板上附著有塵埃的狀態(tài)下開(kāi)始多孔質(zhì)母材的制造的情況，也能夠減少侵入到反應(yīng)容器內(nèi)的塵埃的數(shù)量，能夠抑制塵埃混入到制造中的多孔質(zhì)母材內(nèi)的情況。如上所述，具有以下效果在通過(guò)加熱多孔質(zhì)母材而使多孔質(zhì)母材透明玻璃化所得到的光纖母材中，能夠抑制上述光纖母材內(nèi)的氣泡的產(chǎn)生。


圖1是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。圖2是表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的、使用外包法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。圖3是表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。圖4是表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。圖5是表示本發(fā)明的第四實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。圖6是表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。
圖7是表示使用VAD法的以往的光纖母材制造裝置的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1 光纖母材制造裝置；10 反應(yīng)容器；20 靶棒部件；22 立柱(剛性部件)；30 纖芯燃燒器(燃燒器)；31 第一支承部件；32 彈性部件；33 第二支承部件；34 第三支承部件；35 第四支承部件；40 包層燃燒器(燃燒器)；50 腔室；50a 第一空間；50b 第二空間；51 分隔板；51a 貫通孔；60 進(jìn)氣裝置(進(jìn)氣部)；61 進(jìn)氣口 ；70 第一排氣裝置(排氣部)。
具體實(shí)施例方式以下，針對(duì)本發(fā)明的光纖母材制造裝置以及光纖制造方法，引用附圖進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。此外，在以下的說(shuō)明中使用的附圖，為了易于理解本發(fā)明的特征，且為了方便，有時(shí)將主要部分進(jìn)行放大表示，因此各構(gòu)成要素的尺寸比率等不局限于與實(shí)際相同。<第一實(shí)施方式>圖1是表示本實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置1的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。其中，圖1的紙面上下方向表示豎直方向。如圖1所示，光纖母材制造裝置1是制造光纖多孔質(zhì)母材S (以下，簡(jiǎn)稱(chēng)“多孔質(zhì)母材S”)的裝置，該光纖母材制造裝置1具備反應(yīng)容器10、靶棒部件20、纖芯燃燒器30 (燃燒器)、包層燃燒器40 (燃燒器)、腔室50、進(jìn)氣裝置60 (進(jìn)氣部)、第一排氣裝置70 (排氣部)以及第二排氣裝置80。在反應(yīng)容器10的內(nèi)部配置所制造的多孔質(zhì)母材S。在反應(yīng)容器10上形成有未圖示的開(kāi)口部，反應(yīng)容器10內(nèi)側(cè)的空間與外側(cè)的空間連通。此外，作為反應(yīng)容器10的材料一般使用石英或者金屬，或者也可以是SUS (不銹鋼)或鋁。另外，在反應(yīng)容器10上設(shè)置有反應(yīng)容器排氣口 11。反應(yīng)容器排氣口 11是用于將反應(yīng)容器10內(nèi)的氣體向外部排出的通氣口。靶棒部件20設(shè)置在反應(yīng)容器10內(nèi)，是沿鉛直方向延伸的棒狀部件，在靶棒部件20 的前端(下方)沿軸向制造多孔質(zhì)母材S。此外，靶棒部件20配置為從反應(yīng)容器10突出一部分。靶棒部件20例如使用石英制造。靶棒部件20經(jīng)由保持部21支承于立柱22 (剛性部件)。在立柱22上設(shè)置有未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，該驅(qū)動(dòng)裝置使靶棒部件20繞其中心軸線(xiàn)旋轉(zhuǎn)并且沿中心軸線(xiàn)方向移動(dòng)。立柱22是沿鉛直方向延伸的柱狀的剛性部件，設(shè)置在腔室 50的外部。纖芯燃燒器30用于使玻璃微粒沿軸向堆積在靶棒部件20的前端(下方)并生成纖芯煙灰Sl而使用。纖芯燃燒器30的噴嘴前端配置為，從設(shè)置于反應(yīng)容器10的開(kāi)口部突出到反應(yīng)容器10內(nèi)，并朝向斜上方設(shè)置。向纖芯燃燒器30供給載體氣體，該載體氣體包括用于生成玻璃微粒的原料亦即四氯化硅(SiCl4)或四氯化鍺(GeCl4)等玻璃原料氣體、 氫等燃料氣體、被用于燃料氣體的燃燒的氧氣、以及氬等惰性氣體。此外，為了調(diào)整光纖所產(chǎn)生的折射率分布，故供給到纖芯燃燒器30和后述的包層燃燒器40的玻璃原料氣體的組成相互不同，向纖芯燃燒器30供給有例如四氯化鍺(GeCl4)等摻雜劑用原料。在纖芯燃燒器30中，在通過(guò)燃料氣體和氧氣的燃燒所產(chǎn)生的燃燒氣體內(nèi)，通過(guò)由玻璃原料氣體進(jìn)行的氧化反應(yīng)或水解反應(yīng)等而生成玻璃微粒。
包層燃燒器40用于使玻璃微粒堆積在纖芯煙灰Sl的外周并生成包層煙灰S2而使用。此外，多孔質(zhì)母材S由纖芯煙灰Sl和包層煙灰S2形成。包層燃燒器40配置在芯燃燒器30的鉛直方向上方。包層燃燒器40的噴嘴前端配置為，從設(shè)置于反應(yīng)容器10的開(kāi)口部突出到反應(yīng)容器10內(nèi)。與纖芯燃燒器30同樣，向包層燃燒器40供給玻璃原料氣體、 燃料氣體、氧氣以及載體氣體。作為玻璃原料氣體可舉出例如四氯化硅(SiCl4)等。在包層燃燒器40中，在通過(guò)燃料氣體和氧氣的燃燒所產(chǎn)生的燃燒氣體內(nèi)，通過(guò)由玻璃原料氣體進(jìn)行氧化反應(yīng)等而生成玻璃微粒。其中，包層燃燒器40也可以是多個(gè)。在腔室50的內(nèi)部配置有反應(yīng)容器10。腔室50在其內(nèi)部形成供清潔的空氣即潔凈空氣流動(dòng)的空間。在腔室50內(nèi)設(shè)置有將腔室50的內(nèi)部空間劃分成第一空間50a和第二空間50b的分隔板51。此外，朝向重力方向依次配置有第一空間50a和第二空間50b。S卩，分隔板51配置在反應(yīng)容器10的鉛直方向下方。分隔板51是在進(jìn)行光纖母材制造裝置1的維護(hù)或清掃時(shí)，形成進(jìn)入裝置內(nèi)的作業(yè)員的立腳點(diǎn)的部位。分隔板51具有在板厚方向上貫通的多個(gè)貫通孔51a。即，多個(gè)貫通孔51a配置為將第一空間50a和第二空間50b相互連通。此外，本實(shí)施方式的多個(gè)貫通孔51a形成為遍及分隔板51的整個(gè)面。在腔室50的第一空間50a內(nèi)配置有反應(yīng)容器10、纖芯燃燒器30以及包層燃燒器 40。反應(yīng)容器10雖未圖示但被固定于腔室50的側(cè)壁或立柱22。此外，反應(yīng)容器10的反應(yīng)容器排氣口 11構(gòu)成為，貫通腔室50的側(cè)壁設(shè)置，能夠使反應(yīng)容器10內(nèi)的空氣不經(jīng)過(guò)第一空間50a而排出到外部。纖芯燃燒器30經(jīng)由第一支承部件31固定于分隔板51。包層燃燒器40雖未圖示但被固定于腔室50的側(cè)壁。在腔室50上形成有腔室排氣口 52。腔室排氣口 52以與第二空間50b連通的方式設(shè)置于腔室50，將第二空間50b內(nèi)的氣體排出到外部。在腔室50的分隔板51的鉛直方向下方配置底面53。底面53成為在腔室50中形成第二空間50b的內(nèi)表面的一部分。進(jìn)氣裝置60是將潔凈空氣(通過(guò)過(guò)濾器等除去塵埃的空氣)供給到包含在腔室 5內(nèi)的第一空間50a的裝置。進(jìn)氣裝置60供給潔凈空氣，由此第一空間50a保持為例如等級(jí)1000左右的潔凈度。圖1的進(jìn)氣裝置60分別設(shè)置在腔室50的上表面以及腔室50的側(cè)壁的上表面附近。此外，也可以構(gòu)成為僅在腔室50的上表面或僅在腔室50的側(cè)壁的上表面附近設(shè)置，所設(shè)置的進(jìn)氣裝置60也可以是一個(gè)。進(jìn)氣裝置60用于向腔室50的第一空間50a供給潔凈空氣的進(jìn)氣口 61，是開(kāi)設(shè)于腔室50的頂板或側(cè)壁的孔，且可以設(shè)置多個(gè)。另外進(jìn)氣口 61配置于比纖芯燃燒器30和包層燃燒器40更靠上方。換而言之，從進(jìn)氣裝置60供給的潔凈空氣，經(jīng)過(guò)進(jìn)氣口 61被供給到第一空間50a，并經(jīng)過(guò)配置纖芯燃燒器30和包層燃燒器40的位置。進(jìn)而經(jīng)過(guò)分隔板51 上的多個(gè)貫通孔51a被導(dǎo)入到第二空間50b。S卩，進(jìn)氣口 61、纖芯燃燒器30以及包層燃燒器40、以及分隔板51配置于潔凈空氣的流路。第一排氣裝置70是經(jīng)由腔室排氣口 52，將第二空間50b內(nèi)的空氣排出的裝置。第二排氣裝置80是經(jīng)由反應(yīng)容器排氣口 11，吸引反應(yīng)容器10內(nèi)的空氣的裝置。 此外，由于在反應(yīng)容器10內(nèi)的空氣中含有在纖芯燃燒器30以及包層燃燒器40產(chǎn)生的燃燒氣體及排出氣體等，故優(yōu)選在第二排氣裝置80內(nèi)設(shè)置排出氣體凈化裝置等。接下來(lái)，對(duì)使用本實(shí)施方式的光纖母材制造裝置1的光纖多孔質(zhì)母材S的制造方
7法進(jìn)行說(shuō)明。通過(guò)設(shè)置于立柱22的未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)作，靶棒部件20繞其中心軸線(xiàn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并且從鉛直方向下方朝向上方進(jìn)行移動(dòng)。通過(guò)該靶棒部件20進(jìn)行移動(dòng)，由此在纖芯燃燒器30和包層燃燒器40的燃燒氣體內(nèi)生成的玻璃微粒，沿軸向堆積在靶棒部件20的前端(下方)。利用從纖芯燃燒器30供給的玻璃微粒生成纖芯煙灰Si，并利用從包層燃燒器 40供給的玻璃微粒生成包層煙灰S2。此外，由于纖芯燃燒器30設(shè)置在包層燃燒器40的鉛直方向下方，故在從下方朝向上方進(jìn)行移動(dòng)的靶棒部件20的前端(下方)，首先生成纖芯煙灰Si，然后在纖芯煙灰Sl的外周生成包層煙灰S2。因此制造出在中心部配置纖芯煙灰 Si、在外周部配置包層煙灰S2的多孔質(zhì)母材S。接下來(lái)，對(duì)抑制本實(shí)施方式的反應(yīng)容器10內(nèi)的塵埃數(shù)量的作用進(jìn)行說(shuō)明。潔凈空氣從進(jìn)氣裝置60供給到第一空間50a。另外，第二排氣裝置80使反應(yīng)容器 10內(nèi)的空氣經(jīng)由反應(yīng)容器排氣口 11排出到腔室50的外部，而不經(jīng)過(guò)第一空間50a。由于在反應(yīng)容器10上形成有未圖示的開(kāi)口部，故形成從第一空間50a朝向反應(yīng)容器10內(nèi)的潔凈空氣流。S卩，能夠抑制反應(yīng)容器10內(nèi)的塵埃數(shù)量。此外，即便在裝置的構(gòu)成上不設(shè)置開(kāi)口部的情況下，在反應(yīng)容器10的構(gòu)成上形成有間隙的情況下，也能起到本申請(qǐng)的效果。在進(jìn)行光纖母材制造裝置1的維護(hù)或者清掃時(shí)，作業(yè)員在腔室50內(nèi)進(jìn)行反應(yīng)容器 10、纖芯燃燒器30以及包層燃燒器40等的維護(hù)或者清掃。由于進(jìn)行維護(hù)或者清掃等會(huì)在腔室50內(nèi)產(chǎn)生煙灰粉等塵埃，且產(chǎn)生的塵埃沿重力方向落下并附著在分隔板51的上表面。然而，在本實(shí)施方式的腔室50的分隔板51上形成有貫通于板厚方向的多個(gè)貫通孔51a，因此能夠使附著在分隔板51上表面的塵埃通過(guò)多個(gè)貫通孔51a而朝向第二空間 50b落下。因此能夠容易地進(jìn)行分隔板51上表面的塵埃的清掃。朝向第二空間50b落下的塵埃堆積在腔室50的底面53。另一方面，在以往技術(shù)中，即便實(shí)施分隔板51的清掃，也存在塵埃殘留在分隔板 51的上表面的可能性。當(dāng)在該狀態(tài)下開(kāi)始多孔質(zhì)母材S的制造，將潔凈空氣從進(jìn)氣裝置60 供給到第一空間50a時(shí)，在第一空間50a中產(chǎn)生空氣流，并有可能揚(yáng)起附著于分隔板51的塵埃。相對(duì)與此，根據(jù)本實(shí)施方式，在分隔板51上形成有多個(gè)貫通孔51a。另外，腔室排氣口 52與第一排氣裝置70連接，通過(guò)第一排氣裝置70的動(dòng)作，第二空間50b內(nèi)的空氣通過(guò)腔室排氣口 52被排出到外部。通過(guò)將第二空間50b內(nèi)的空氣從腔室排氣口 52排出，由此產(chǎn)生通過(guò)多個(gè)貫通孔51a從第一空間50a朝向第二空間50b的空氣流。即，能夠使第一空間50a的空氣不經(jīng)過(guò)反應(yīng)容器10內(nèi)而流動(dòng)到第二空間50b。即便是在附著于分隔板51 的上表面的塵埃被揚(yáng)起的情況下，塵埃沿著從第一空間50a朝向第二空間50b的空氣流進(jìn)行流動(dòng)，從而塵埃通過(guò)貫通孔51a移動(dòng)到第二空間50b。因此在塵埃附著于分隔板51的狀態(tài)下，即便是在開(kāi)始多孔質(zhì)母材S的制造的情況下，也能夠減少浸入到反應(yīng)容器10內(nèi)的塵埃數(shù)量，能夠抑制塵?；烊氲街圃熘械亩嗫踪|(zhì)母材S。如上所述，能夠抑制在通過(guò)加熱多孔質(zhì)母材S使多孔質(zhì)母材S透明玻璃化而得到的光纖母材內(nèi)的氣泡的產(chǎn)生。另外，從進(jìn)氣裝置60的進(jìn)氣口 61供給的潔凈空氣被供給到第一空間50a，并經(jīng)過(guò)配置纖芯燃燒器30和包層燃燒器40的位置。進(jìn)而通過(guò)分隔板51的多個(gè)貫通孔51a被導(dǎo)入到第二空間50b。S卩，進(jìn)氣口 61、纖芯燃燒器30、包層燃燒器40以及分隔板51配置于潔凈空氣的流路。因此在從進(jìn)氣口 61朝向第二空間50b的潔凈空氣的流路上配置有纖芯燃燒器30和包層燃燒器40，從而使在纖芯燃燒器30和包層燃燒器40的周?chē)a(chǎn)生的塵埃朝向第二空間50b排出。此外，由于多個(gè)貫通孔51a形成于分隔板51的整個(gè)面，故從第一空間50a朝向第二空間50b的空氣流，遍及分隔板51的整個(gè)面產(chǎn)生。S卩，多個(gè)貫通孔51a的空氣流，從第一空間50a朝向第二空間50b，形成為與鉛直方向平行的流動(dòng)(層流)，因此能夠防止有可能在腔室50的側(cè)壁與分隔板51之間的角部、或者在支承纖芯燃燒器30的第一支承部件31的周?chē)犬a(chǎn)生的空氣的滯留。由此能夠遍及分隔板51的整個(gè)面將塵埃排出到第二空間50b。另外，由于產(chǎn)生經(jīng)過(guò)多個(gè)貫通孔51a從第一空間50a朝向第二空間50b的空氣流， 故能夠防止堆積于腔室50的底面53的塵埃被揚(yáng)起，而再次浸入到第一空間50a。另外，能夠利用從第一空間50a朝向第二空間50b的空氣流，使塵埃通過(guò)多個(gè)貫通孔51a移動(dòng)到第二空間50b。由此，即便是在維護(hù)或者清掃后的第一空間50a殘存有很多塵埃的狀態(tài)下，也能夠?qū)⑦@些塵埃迅速地排出到第二空間50b。由此能夠縮短或者消除在維護(hù)或者清掃后不能開(kāi)始制造多孔質(zhì)母材S的一定的待機(jī)時(shí)間(用于使塵埃落下的時(shí)間)。艮口， 能夠提高使用光纖母材制造裝置1的多孔質(zhì)母材S的處理能力。然而，在多孔質(zhì)母材S的制造中，從纖芯燃燒器30和包層燃燒器40產(chǎn)生燃燒氣體，并借助該燃燒氣體的熱生成玻璃微粒。由于該燃燒氣體被導(dǎo)入到反應(yīng)容器10內(nèi)，故反應(yīng)容器10的內(nèi)部或者與反應(yīng)容器10的內(nèi)部連通的第一空間50a的溫度上升。即，反應(yīng)容器10和腔室50被加熱，由于熱導(dǎo)致的劣化在發(fā)展，因此有可能從劣化的反應(yīng)容器10或腔室50產(chǎn)生塵埃。另外，利用燃燒氣體進(jìn)行加熱，有可能對(duì)腔室50、纖芯燃燒器30以及包層燃燒器 40產(chǎn)生變形或者松弛等。由于這樣的變形或松弛，有可能使纖芯燃燒器30和包層燃燒器 40的供給玻璃微粒的方向發(fā)生變化，而產(chǎn)生制造中的多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)以及光學(xué)特性的偏差或者煙灰破裂。然而，在本實(shí)施方式的光纖母材制造裝置1中，產(chǎn)生通過(guò)多個(gè)貫通孔51a從配置有纖芯燃燒器30和包層燃燒器40的第一空間50a，朝向第二空間50b的空氣流。因此，由于能夠?qū)⑷紵龤怏w的熱有效地向第二空間50b排出，故能夠抑制反應(yīng)容器10和腔室50的熱劣化。即，能夠抑制以熱劣化為原因的塵埃的產(chǎn)生。另外，由于能夠?qū)⑷紵龤怏w的熱有效地排出到第二空間50b，故能夠抑制腔室50、纖芯燃燒器30以及包層燃燒器40的熱變形或者松弛等。即，能夠防止和抑制多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)的偏差、煙灰破裂等。另外，腔室50使用一般的透明部件，但作為該部件的材料也可以使用耐熱性不高而廉價(jià)的塑料板(丙烯板或聚氯乙烯板等)，在該情況下能夠削減光纖母材制造裝置1的裝置成本。此外，本實(shí)施方式的分隔板51雖配置于反應(yīng)容器10的鉛直方向下方，但并不限定于這樣的構(gòu)成，也可以采用分隔板51不設(shè)置在反應(yīng)容器10的鉛直方向下方的位置的構(gòu)成。 這樣的構(gòu)成如果能使附著于分隔板51的塵埃不經(jīng)過(guò)反應(yīng)容器10內(nèi)，而從第一空間50a排出到第二空間50b，就能夠減少浸入到反應(yīng)容器10的塵埃數(shù)量，抑制所制造的光纖母材內(nèi)氣泡的產(chǎn)生。
另外，本實(shí)施方式的光纖母材制造裝置1是使用VAD法的制造裝置，但不限定于該方法，也可以是使用外包法的光纖母材制造裝置。圖2是表示本實(shí)施方式的、使用外包法的光纖母材制造裝置IA的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。此外，在圖2中，對(duì)與圖1所示的光纖母材制造裝置1相同的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。在圖2表示的光纖母材制造裝置IA中，在反應(yīng)容器10的內(nèi)部設(shè)置有靶棒部件20。 在外包法中使玻璃微粒堆積在靶棒部件20的周?chē)０邪舨考?0是由纖芯或纖芯與包層的一部分形成的棒狀玻璃，或者是之后被抽走的虛擬光纖。包層燃燒器40可以設(shè)置多個(gè)，另外，也可以根據(jù)需要向包層燃燒器40供給四氯化鍺(GeCl4)等摻雜劑用原料。如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式具有以下效果能夠使腔室50內(nèi)的塵埃不經(jīng)過(guò)反應(yīng)容器10內(nèi)而排出，能夠抑制塵埃浸入反應(yīng)容器10內(nèi)、抑制光纖母材內(nèi)的氣泡的產(chǎn)生?！吹诙?shí)施方式〉圖3是表示本實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置IB的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。此外，對(duì)圖3中與圖1表示的第一實(shí)施方式相同的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式的纖芯燃燒器30經(jīng)由第一支承部件31配置于分隔板51。另外，第一支承部件31構(gòu)成為夾持彈性部件32。彈性部件32由具有彈性的橡膠或樹(shù)脂形成，是用于在分隔板51振動(dòng)時(shí)吸收其振動(dòng)，抑制纖芯燃燒器30的振動(dòng)的部件。由于在分隔板51上形成有多個(gè)貫通孔51a，故分隔板51的剛性與沒(méi)有貫通孔51a 的情況相比較低。因此，有可能伴隨設(shè)置于腔室50的裝置(例如進(jìn)氣裝置60)的動(dòng)作，產(chǎn)生分隔板51的振動(dòng)。當(dāng)分隔板51振動(dòng)時(shí)，經(jīng)由第一支承部件31固定于分隔板51的纖芯燃燒器30振動(dòng)，因此使玻璃微粒從纖芯燃燒器30向靶棒部件20的供給方向不穩(wěn)定，有可能產(chǎn)生所制造的光纖多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)的偏差。然而，通過(guò)在本實(shí)施方式的第一支承部件31上設(shè)置彈性部件32，即便是在分隔板 51振動(dòng)的情況下，彈性部件32也能吸收分隔板51的振動(dòng)，從而能夠防止并抑制纖芯燃燒器30振動(dòng)。因此根據(jù)本實(shí)施方式，具有通過(guò)防止并抑制纖芯燃燒器30的振動(dòng)而使多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)穩(wěn)定的效果。<第三實(shí)施方式>圖4是表示本實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置IC的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。此外，對(duì)圖4中與圖1表示的第一實(shí)施方式相同的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式的纖芯燃燒器30經(jīng)由第二支承部件33被固定于腔室50的底面53。 第二支承部件33由沿鉛直方向延伸的多個(gè)棒狀部件形成，該棒狀部件以與分隔板51的貫通孔51a非接觸的狀態(tài)，插通于分隔板51的貫通孔51a。即，第二支承部件33以與分隔板 51非接觸的狀態(tài)配置于底面53。另外，在纖芯燃燒器30與分隔板51之間，形成有用附圖標(biāo)記h表示的間隔。由于第二支承部件33是與分隔板51非接觸，故即便在分隔板51振動(dòng)的情況下， 其振動(dòng)也不傳遞到第二支承部件33，其結(jié)果能夠防止纖芯燃燒器30的振動(dòng)。因此根據(jù)本實(shí)施方式，具有能夠防止纖芯燃燒器30振動(dòng)，使多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)穩(wěn)定的效果。另外，由于在纖芯燃燒器30與分隔板51之間形成有間隔h，故具有能夠容易地清掃纖芯燃燒器30的周?chē)男Ч＿€具有能夠抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)鷱牡谝豢臻g50a 朝向第二空間50b的空氣流的滯留，能夠防止并抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)逊e塵埃的效^ ο此外，本實(shí)施方式的第二支承部件33固定于底面53，但并不限定于此，也可以構(gòu)成為固定于腔室50的側(cè)壁?！吹谒膶?shí)施方式〉圖5是表示本實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置ID的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。此外，對(duì)圖5中與圖1表示的第一實(shí)施方式相同的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式的纖芯燃燒器30經(jīng)由第三支承部件34而固定于配置在腔室50的外部的立柱22。第三支承部件34雖未圖示但設(shè)置為貫通腔室50的側(cè)壁。另外，第三支承部件34為與分隔板51非接觸。另外，在纖芯燃燒器30與分隔板51之間，形成有利用附圖標(biāo)記h表示的間隔。由于第三支承部件34是與分隔板51非接觸，故即便在分隔板51振動(dòng)的情況下， 其振動(dòng)也不傳遞給第三支承部件34，其結(jié)果是能夠防止纖芯燃燒器30的振動(dòng)。因此根據(jù)本實(shí)施方式，具有能夠防止纖芯燃燒器30的振動(dòng)、使多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)穩(wěn)定的效果。另外，由于在纖芯燃燒器30與分隔板51之間形成有間隔h，故具有能夠容易地清掃纖芯燃燒器30的周?chē)男Ч?。另外，具有能夠抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)鷱牡谝豢臻g 50a朝向第二空間50b的空氣流的滯留、能夠防止并抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)逊e塵埃的效果。<第五實(shí)施方式>圖6是表示本實(shí)施方式的、使用VAD法的光纖母材制造裝置IE的概略構(gòu)成的垂直剖視圖。此外，對(duì)圖6中與圖1表示的第一實(shí)施方式相同的要素標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略其說(shuō)明。本實(shí)施方式的纖芯燃燒器30經(jīng)由第四支承部件35而固定于反應(yīng)容器10的外表面。此外，反應(yīng)容器10以與分隔板51非接觸的狀態(tài)被固定于腔室50的側(cè)壁或立柱22。因此第四支承部件35是與分隔板51非接觸。另外，在纖芯燃燒器30與分隔板51之間形成有用附圖標(biāo)記h表示的間隔。由于第四支承部件35與分隔板51非接觸，故即便在分隔板51振動(dòng)的情況下，其振動(dòng)也不傳遞給第四支承部件35，其結(jié)果能夠防止纖芯燃燒器30的振動(dòng)。因此根據(jù)本實(shí)施方式，具有能夠防止纖芯燃燒器30的振動(dòng)、使多孔質(zhì)母材S的品質(zhì)穩(wěn)定的效果。另外，由于在纖芯燃燒器30與分隔板51之間形成有間隔h，故具有能夠容易地清掃纖芯燃燒器30的周?chē)男ЧＡ硗?，具有能夠抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)鷱牡谝豢臻g 50a朝向第二空間50b的空氣流的滯留、能夠防止并抑制在纖芯燃燒器30的周?chē)逊e塵埃的效果。<實(shí)施例>在利用表1表示的各個(gè)裝置制造了煙灰母材之后，進(jìn)行脫水、透明玻璃化處理，得到外徑為Φ 100mm、有效長(zhǎng)度為IOOOmm的光纖母材。在將從清掃后到制造開(kāi)始的待機(jī)時(shí)間設(shè)定為2小時(shí)的情況下，以及在清掃結(jié)束之后立刻開(kāi)始制造的情況下，分別制造5根母材，對(duì)5根母材的平均的氣泡數(shù)量進(jìn)行了計(jì)數(shù)。另外，對(duì)產(chǎn)生煙灰破裂之后立即制造的母材的氣泡數(shù)量進(jìn)行了計(jì)數(shù)。還測(cè)量了腔室50的側(cè)壁的最高溫度。另外，根據(jù)母材的折射率分布的測(cè)量結(jié)果對(duì)所制造的母材包覆一定倍率的包層而制造光纖時(shí)所預(yù)想的MFD (Mode Field Diameter)的變動(dòng)進(jìn)行推定。這是以比較例1為基準(zhǔn)進(jìn)行的計(jì)算。此外，如表1所示，調(diào)整從進(jìn)氣裝置60供給的潔凈空氣的供給量。這是以比較例 1為基準(zhǔn)進(jìn)行的計(jì)算。表1 (增加貫通孔51a相對(duì)于分隔板51的面積的開(kāi)口率的項(xiàng)目)
使用裝置潔凈空氣供給量 (以比較例1為基準(zhǔn))貫通孔51a 相對(duì)于分隔板51的面積的開(kāi)口率光纖母材中的氣泡數(shù)量腔室側(cè)璧最高溫度C]1根母材中的 MFD的變動(dòng) (以比較例1 為基準(zhǔn))清掃后放置 2小時(shí)后并始制造(5根母材平均的氣泡數(shù)量)清掃后立刻開(kāi)始制造 (5根母材平均的氣泡數(shù)量)發(fā)生煙灰破裂后的母材的氣泡數(shù)量比較例11011,0倍-1.43.012911.0比較例21011.5倍-1.41.87762.2實(shí)施例111.5倍36 1.01.22750.8實(shí)施例211.9倍74 0.40.81601.0實(shí)施例31B1.9倍m0.60.40600.8實(shí)施例41C1.9倍74 0.40.60610.8實(shí)施例51D1.9倍74 0.00.00600.8對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行考察。當(dāng)將使用發(fā)明裝置的實(shí)施例1與使用以往裝置的比較例1和比較例2進(jìn)行比較時(shí)，實(shí)施例1中即便增加潔凈空氣的供給量，MFD變動(dòng)也沒(méi)變大而是形成為比比較例1稍微小些，因此能夠看到熱對(duì)策的效果。另外，在實(shí)施例1中，在清掃之后立即制造的母材或者在煙灰破裂之后立即制造的母材，母材中的氣泡減少因此也能夠看到氣泡減少的效果。因此通過(guò)使用本發(fā)明的裝置，能夠得到對(duì)玻璃微粒的堆積不產(chǎn)生影響，而減少氣泡的效果。另外，在比較例1中示出，在生成100根左右母材后，觀察到腔室50的側(cè)壁由于熱而變形，且母材的氣泡數(shù)量也有增大的趨勢(shì)。在測(cè)量此時(shí)的腔室50內(nèi)的潔凈度時(shí)，相對(duì)于通常小于等級(jí)1000，其結(jié)果為等級(jí)3500左右，潔凈度下降。另一方面，在實(shí)施例1中，即便生成了 100根母材，也未看到腔室50的側(cè)壁的變形等，氣泡數(shù)量也沒(méi)有增大。接著，比較實(shí)施例1、實(shí)施例2、實(shí)施例3。在實(shí)施例2和實(shí)施例3中，將潔凈空氣供給量設(shè)定為比實(shí)施例1多。另外，在實(shí)施例2和實(shí)施例3中，將貫通孔51a的開(kāi)口面積設(shè)為比實(shí)施例1大，使?jié)崈艨諝馔L(fēng)量增大。在此，實(shí)施例1使用的貫通孔51a的開(kāi)口面積相對(duì)于分隔板51的面積的比率(開(kāi)口率)為36%，相對(duì)于此，實(shí)施例2以及實(shí)施例3的開(kāi)口率為74%。在實(shí)施例2中，與實(shí)施例1相比雖能看到MFD變動(dòng)有稍微變大的趨勢(shì)，但在第一支承部件31上設(shè)置有彈性部件32的實(shí)施例3中卻未看到上述趨勢(shì)。由此，在實(shí)施例3 中，即便是使分隔板51的開(kāi)口面積增大并增加潔凈空氣通風(fēng)量的情況下，也未產(chǎn)生纖芯燃燒器的振動(dòng)弓I起的特性變動(dòng)。接著，比較實(shí)施例1、實(shí)施例2、實(shí)施例4。在實(shí)施例4中，將潔凈空氣供給量和開(kāi)口率設(shè)定為與實(shí)施例2相同。在實(shí)施例2中，與實(shí)施例1相比，雖能看到MFD變動(dòng)有稍微增大的趨勢(shì)，但在纖芯燃燒器30經(jīng)由第二支承部件33而固定于腔室50的底面53的實(shí)施例4中卻未看到那樣的趨勢(shì)。因此在實(shí)施例4中，即便是在增大分隔板51的開(kāi)口面積，增加潔凈空氣通風(fēng)量的情況下，也未產(chǎn)生纖芯燃燒器30的振動(dòng)引起的特性變動(dòng)。根據(jù)纖芯燃燒器30經(jīng)由第三支承部件34而固定于配置在腔室50的外部的立柱 22的實(shí)施例5，進(jìn)一步增大了減少氣泡的效果。以上，對(duì)光纖母材制造裝置以及光纖母材制造方法進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明但并不限定于此，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可適當(dāng)?shù)刈兏９I(yè)實(shí)用性本發(fā)明能夠廣泛地適用于光纖母材制造裝置以及光纖母材制造方法。
1權(quán)利要求
1.一種光纖母材制造裝置，其特征在于，具備腔室；反應(yīng)容器，其配置在上述腔室的內(nèi)部； 靶棒部件，其配置在上述反應(yīng)容器內(nèi)； 燃燒器，其使玻璃微粒堆積于上述靶棒部件；分隔板，其將上述腔室的內(nèi)部空間劃分成第一空間和第二空間，且具有將上述第一空間與上述第二空間相互連通的多個(gè)貫通孔，其中第一空間配置有上述反應(yīng)容器和上述燃燒器；進(jìn)氣部，其向上述第一空間內(nèi)供給清潔的空氣；以及排氣部，其將上述第二空間內(nèi)的空氣排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于， 朝向重力方向依次配置有上述第一空間和上述第二空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于，配置有進(jìn)氣口、上述燃燒器以及上述分隔板，以使上述空氣流從上述進(jìn)氣部通過(guò)上述進(jìn)氣口供給到上述第一空間，并經(jīng)過(guò)配置有上述燃燒器的位置，進(jìn)而經(jīng)過(guò)上述分隔板上的上述多個(gè)貫通孔被導(dǎo)入到上述第二空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于， 具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第一支承部件配置于上述分隔板， 上述第一支承部件構(gòu)成為包括彈性部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于， 具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第二支承部件，固定在形成上述第二空間的上述腔室的內(nèi)表
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于， 具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第三支承部件，固定在配置于上述腔室的外部的剛性部材上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，其特征在于， 具備多個(gè)上述燃燒器，上述燃燒器的一部分經(jīng)由第四支承部件固定在上述反應(yīng)容器的外表面。
8.一種光纖母材制造方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求1所述的光纖母材制造裝置，一邊使上述空氣供給到上述第一空間后經(jīng)過(guò)配置有上述燃燒器的位置，進(jìn)而經(jīng)過(guò)上述分隔板上的上述多個(gè)貫通孔導(dǎo)入到上述第二空間，一邊制造光纖母材。
全文摘要
本發(fā)明提供一種光纖母材制造裝置以及光纖母材制造方法。該光纖母材制造裝置具備腔室；反應(yīng)容器，其配置在上述腔室的內(nèi)部；靶棒部件，其配置在上述反應(yīng)容器內(nèi)；燃燒器，其使玻璃微粒堆積于上述靶棒部件；分隔板，其將上述腔室的內(nèi)部空間劃分成第一空間和第二空間，且具有將上述第一空間與上述第二空間相互連通的多個(gè)貫通孔，其中第一空間配置有上述反應(yīng)容器和上述燃燒器；進(jìn)氣部，其向上述第一空間內(nèi)供給清潔的空氣；排氣部，其將上述第二空間內(nèi)的空氣排出。
文檔編號(hào)C03B37/018GK102408192SQ201110219299
公開(kāi)日2012年4月11日 申請(qǐng)日期2011年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者山田成敏 申請(qǐng)人:株式會(huì)社藤倉(cāng)