專利名稱：一種石英管耐高溫涂層的制作方法及耐高溫石英管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在石英管表面形成耐高溫涂層的方法及耐高溫石英管。
背景技術(shù)：
用于集成電路、半導(dǎo)體芯片氧化、還原、擴(kuò)散、外延加工的爐具，要求化學(xué)穩(wěn)定性好，膨脹系數(shù)小，耐高溫的高純度材料。目前，一般采用高純度的石英玻璃制成石英管， 石英玻璃的軟化點(diǎn)溫度約1730°C，可在1100°C下長(zhǎng)時(shí)間使用，短時(shí)間最高使用溫度可達(dá) 1450°C，然而在特有的情況下，例如石英管進(jìn)爐后要經(jīng)過(guò)1250°C高溫的長(zhǎng)時(shí)間使用，顯然超過(guò)了 1100°C，則不可長(zhǎng)時(shí)間使用，因此石英管必須較大幅度地增加壁厚，其結(jié)果不僅大大提高生產(chǎn)成本，而且由于石英管壁厚的增加，使其自重增加，在高溫下易造成石英管中部下垂變形，同時(shí)降低了石英管的使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種石英管耐高溫涂層的制作方法，所得涂層能夠進(jìn)一步提高石英管在高溫下長(zhǎng)時(shí)間使用的極限，延長(zhǎng)石英管的使用壽命，節(jié)約成本。本發(fā)明同時(shí)還要提供一種耐高溫石英管，其能夠在高溫下長(zhǎng)時(shí)間使用，制作成本低，使用壽命長(zhǎng)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的一種技術(shù)方案是 一種石英管耐高溫涂層的制作方法，其包括如下步驟
(1)、將氧化鋁打磨成粉狀后與酒精混合均勻，形成氧化鋁質(zhì)量分?jǐn)?shù)為M 26%的乳白色氧化鋁溶液；
(2)、將石英管體用酒精擦拭干凈，然后將其耐高溫區(qū)浸沒于步驟(1)調(diào)配好的氧化鋁溶液中，滾動(dòng)石英管體獲得表面涂層均勻的涂層石英管；
(3)、用氫氧焰對(duì)步驟(2)所得涂層石英管進(jìn)行表面火焰燒結(jié)處理，完畢即得所述石英管耐高溫涂層。優(yōu)選地，步驟(2)中，涂層石英管的表面涂層的厚度為8(Γ 20μπι。最有選為 100 μ m0本發(fā)明采取的又一技術(shù)方案是一種耐高溫石英管，其包括由石英玻璃制成的石英管體，所述耐高溫石英管還包括根據(jù)上述的制作方法制作的耐高溫涂層。所述耐高溫涂層的厚度優(yōu)選為8(Γ120 μ m,更優(yōu)選的厚度為100 μ m。由于采用以上技術(shù)方案的實(shí)施，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明制作方法簡(jiǎn)單，且獲得的耐高溫涂層能夠使得石英管表面組織連接更加緊密， 提高了石英管表面組織失穩(wěn)的溫度，延長(zhǎng)了石英管的使用壽命，節(jié)約了成本。本發(fā)明的耐高溫石英管，由于包括采用特定方法制作而成的耐高溫涂層，在石英管體的厚度相同的情況下，本發(fā)明石英管的使用壽命更長(zhǎng)；在達(dá)到相同的使用壽命時(shí)，本發(fā)明的石英管的制作成本更低。


下面結(jié)合具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。圖1為根據(jù)本發(fā)明的耐高溫石英管的主視示意圖； 圖2為圖1的剖視示意其中1、石英管體；10、低溫區(qū)；11、高溫區(qū)；2、耐高溫涂層。
具體實(shí)施例方式如圖1與圖2所示，按照本實(shí)施例的石英管包括具有低溫區(qū)10和高溫區(qū)11的石英管體1以及形成在所述石英管體1的高溫區(qū)11的表面的耐高溫涂層2。具有該結(jié)構(gòu)的石英管按照如下方法制作得到
(1)、首先將氧化鋁打磨成粉狀后與酒精混合均勻，形成乳白色氧化鋁溶液，且溶液中的氧化鋁的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為M 26% ；
(2)、將石英管體1表面用酒精擦拭干凈，再將石英管體1的耐高溫區(qū)2浸沒于調(diào)配好的氧化鋁溶液中，滾動(dòng)使表面形成約100 μ m厚的涂層；
(3)、用氫氧焰對(duì)步驟(2)石英管體的涂層進(jìn)行表面火焰燒結(jié)處理形成耐高溫涂層2。 完成后表面應(yīng)為正常石英管的透明狀。本發(fā)明的耐高溫石英，其管體表面組織連接更加緊密，提高警惕石英組織失穩(wěn)的溫度，比未經(jīng)處理過(guò)的石英管耐高溫可提高50°C左右。延長(zhǎng)了石英管的使用壽命，節(jié)約了成本。以上對(duì)本發(fā)明做了詳盡的描述，其目的在于讓熟悉此領(lǐng)域技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種石英管耐高溫涂層的制作方法，其特征在于所述方法包括如下步驟(1)、將氧化鋁打磨成粉狀后與酒精混合均勻，形成氧化鋁質(zhì)量分?jǐn)?shù)為M 26%的乳白色氧化鋁溶液；(2)、將石英管體用酒精擦拭干凈，然后將其耐高溫區(qū)浸沒于步驟(1)調(diào)配好的氧化鋁溶液中，滾動(dòng)石英管體獲得表面涂層均勻的涂層石英管；(3)、用氫氧焰對(duì)步驟(2)所得涂層石英管進(jìn)行表面火焰燒結(jié)處理，完畢即得所述石英管耐高溫涂層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英管耐高溫涂層的制作方法，其特征在于步驟(2)中，涂層石英管的表面涂層的厚度為8(Γ120 μ m。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英管耐高溫涂層的制作方法，其特征在于步驟(2)中，涂層石英管的表面涂層的厚度為100 μ m。
4.一種耐高溫石英管，其包括由石英玻璃制成的石英管體(1)，其特征在于所述耐高溫石英管還包括根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的制作方法制作的耐高溫涂層 (2)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的耐高溫石英管，其特征在于所述耐高溫涂層的厚度為 80 120μπι。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的耐高溫石英管，其特征在于所述耐高溫涂層的厚度為 100 μ m0
全文摘要
本發(fā)明涉及一種石英管耐高溫涂層的制作方法及耐高溫石英管，所述制作方法包括如下步驟(1)將氧化鋁打磨成粉狀后與酒精混合均勻，形成氧化鋁質(zhì)量分?jǐn)?shù)為24~26%的乳白色氧化鋁溶液；(2)將石英管體用酒精擦拭干凈，然后將其耐高溫區(qū)浸沒于步驟(1)調(diào)配好的氧化鋁溶液中，滾動(dòng)石英管體獲得表面涂層均勻的涂層石英管；(3)用氫氧焰對(duì)步驟(2)所得涂層石英管進(jìn)行表面火焰燒結(jié)處理，完畢即得所述石英管耐高溫涂層。本發(fā)明所得耐高溫石英管，由于包括采用特定方法制作而成的耐高溫涂層，在石英管體的厚度相同的情況下，本發(fā)明石英管的使用壽命更長(zhǎng)；在達(dá)到相同的使用壽命時(shí)，本發(fā)明的石英管的制作成本更低。
文檔編號(hào)C03C17/23GK102351432SQ201110172680
公開日2012年2月15日 申請(qǐng)日期2011年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月24日
發(fā)明者沈法松 申請(qǐng)人:蘇州凱西石英電子有限公司