專利名稱：用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于切割晶片的開方機(jī)，特別地，涉及用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
金剛石線多線開方機(jī)切割技術(shù)是世界上比較先進(jìn)的小方錠的加工技術(shù)，它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的金剛石線(鉆石線)對(duì)半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦高速切割，從而達(dá)到切割效果。在整個(gè)切割過程中，金剛石線通過很多導(dǎo)線輪的引導(dǎo)，將金剛石線均勻的繞在繞線筒上，通過導(dǎo)向輪、切割主軸等走線機(jī)構(gòu)形成可以往返的走線系統(tǒng)，在主軸上形成一張線切割網(wǎng)，而待加工半導(dǎo)體等硬脆材料放在切割臺(tái)上鎖緊，切割頭通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)進(jìn)給切割，可將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為幾十塊小方錠，金剛石線多線切割技術(shù)與 傳統(tǒng)砂漿多線切割技術(shù)相比具有效率高，產(chǎn)能高等優(yōu)點(diǎn)，金剛石線開方多線切割技術(shù)是目前世界上采用最廣泛的半導(dǎo)體等硬脆材料切割技術(shù)。傳統(tǒng)的金剛石線多線開方機(jī)通常至少包括機(jī)架、托盤裝置、切割頭給進(jìn)裝置、驅(qū)動(dòng)裝置、多個(gè)導(dǎo)線輪以及纏繞于所述導(dǎo)線輪上的金剛石線、冷卻系統(tǒng)。參見示意圖1，傳統(tǒng)金剛石線多線開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)是將底座的冷卻液容納腔A中的冷卻液通過泵B抽出經(jīng)過過濾罐C過濾后再經(jīng)過管道流到噴灑裝置D對(duì)待冷卻區(qū)域進(jìn)行冷卻，然后冷卻液再流回到冷卻液容納腔A中，換言之，這是一種閉環(huán)(循環(huán))冷卻模式，因此在切割時(shí)所產(chǎn)生的大量硬脆材料粉末例如硅粉會(huì)混合在冷卻液中。雖然過濾罐中具有過濾袋，但其過濾功能不可能很強(qiáng)，因?yàn)槿绻^濾功能太強(qiáng)就使得冷卻液的流動(dòng)大大地受阻而無法工作，故過濾袋在實(shí)際使用中的作用很小。這樣，切割過程中硅粉會(huì)隨冷卻液經(jīng)泵一起打出再次噴灑在硅碇上并一起回流到冷卻液容納腔中，在此過程中，硅粉會(huì)粘附到金剛石線及設(shè)備驅(qū)動(dòng)輪上。硅粉的大量粘附變硬，使得設(shè)備驅(qū)動(dòng)輪不能正常工作，導(dǎo)致開方機(jī)異常斷線、成本的升高及合格率的降低，實(shí)為不容忽視的一大問題。更具體地說，當(dāng)應(yīng)用這種循環(huán)冷卻系統(tǒng)時(shí)，其冷卻液是工業(yè)用水和切削液的混合液，且該混合液在冷卻液容納腔、過濾罐和管道之間數(shù)次地循環(huán)，即冷卻液被循環(huán)地使用，故在實(shí)際應(yīng)用中冷卻液中充斥了大量的硅屑。這些硅屑很容易就將管道阻塞，這樣，就必須花費(fèi)人力對(duì)管道進(jìn)行清潔。另外，飛濺到切割主軸上的硅屑動(dòng)輒就使其不能運(yùn)轉(zhuǎn)，最嚴(yán)重的在于對(duì)金剛石線的耗損。當(dāng)硅粉非常嚴(yán)重地干涉到金剛石線的運(yùn)動(dòng)時(shí)，金剛石線就很容易斷開而需要重新布線，而熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)知道若重新布線則對(duì)金剛石線基本上就會(huì)有300-500m的耗損，即使以當(dāng)前的金剛石線的市場(chǎng)價(jià)格2. 5元/米來計(jì)算的話，由于經(jīng)常斷線而導(dǎo)致的耗損成本也是相當(dāng)龐大的數(shù)目。另外，實(shí)際上，以這種冷卻系統(tǒng)進(jìn)行循環(huán)式利用，冷卻液基本上用3次后就需要再次更換，現(xiàn)有技術(shù)中使用的混合液是由水和切削液按照一定比例(98 2)混合而成的，實(shí)際使用中，切割完一塊硅錠(850X850X275mm3)至少需要3. 86公斤的型號(hào)為GREATOPk的ALPHA COOL GP-I切削液或約2. 3公斤的型號(hào)為MBe的TP718切削液,分別以當(dāng)前的市場(chǎng)價(jià)大約在37元/公斤、60元/公斤來計(jì)算也相當(dāng)曰蟲印貝O因此，提供一種新的冷卻系統(tǒng)，以避免以上所述的缺點(diǎn)，實(shí)為相關(guān)領(lǐng)域業(yè)者目前迫切需要解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)，其包括供水水源、將水噴灑到待冷卻區(qū)域的噴灑單元、在所述供水水源和所述噴灑單元之間的進(jìn)水連接管、將從所述待冷卻區(qū)域流下的廢水收集在一起的收集單元、將廢水排出的水道，以及在所述收集單元與所述水道之間的排水連接管，其中，水依次經(jīng)過所述供水水源、進(jìn)水連接管、噴灑單元、收集單元并從所述水道排出。這種新的應(yīng)用于切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)，將常規(guī)的循環(huán)式冷卻系統(tǒng)(即閉環(huán)式冷卻系統(tǒng))改為開環(huán)式冷卻系統(tǒng)，即水依次通過供水水源、進(jìn)水連接管、噴灑單元、收集單元、排水連接管和水道而最終排出該開方機(jī)從而完成對(duì)待冷卻區(qū)域的冷卻過程。由于采用了開環(huán)式冷卻系統(tǒng)，本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)不再需要冷卻液容納腔，冷卻液可以經(jīng)過進(jìn)水連接管和噴灑單元噴灑在待切割硬脆材料上，廢液再通過收集單元和排水連接管直接排放到下水道中。在該過程中，切割時(shí)產(chǎn)生的大量的硬脆材料粉末例如硅粉將直接隨水從管道中沖走，而不會(huì)粘附到金剛石線及設(shè)備驅(qū)動(dòng)輪上。較優(yōu)地，所述晶片為硅、鍺、石英、石英玻璃或陶瓷其中之一者，所述的開方機(jī)為金剛石線多線開方機(jī)。可選擇地，所述供水水源為自來水供水水源或工業(yè)用水供水水源。較優(yōu)地所述噴灑單元設(shè)置于所述待冷卻區(qū)域的上方周邊和/或上方中央。
更優(yōu)地，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方周邊的噴灑單元為周邊噴灑單元，所述周邊噴灑單元包括噴管管路和噴嘴，其中，所述噴管管路是由四根噴管構(gòu)成的方形噴管，且在所述方形噴管管路上間隔地設(shè)有多個(gè)噴嘴。更優(yōu)地，所述方形噴管的四個(gè)角部分別具有進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中所述兩條支路的每一路連接三通管的一個(gè)孔，所述三通管的另外兩個(gè)孔分別與所述進(jìn)水孔相連通。較優(yōu)地，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方中央的噴灑單元為中央噴灑單元，所述中央噴灑單元為花灑式結(jié)構(gòu)。更優(yōu)地，所述中央噴灑單元的兩端具有兩個(gè)進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中每一支路與所述進(jìn)水孔的每一個(gè)相連通。較優(yōu)地，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有流量計(jì)。較優(yōu)地，所述水的流量為500-6000L/h，優(yōu)選500_1200L/h。較優(yōu)地，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有流量調(diào)節(jié)開關(guān)，其為自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)。較優(yōu)地，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有壓力表。較優(yōu)地，所述冷卻系統(tǒng)還包括用于控制水的物理參數(shù)的控制單元，所述物理參數(shù)至少包括流量和壓力其中之一者。通過利用本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)，金剛石線開方機(jī)切割得到的硬脆材料例如硅棒的合格率能達(dá)到98%以上。
如上所述，由于本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)采用開環(huán)式冷卻模式，因此省卻了冷卻液容納腔等構(gòu)件，并且由于本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)中使用廉價(jià)工業(yè)用水，故大大降低了成本；另外，金剛石線出現(xiàn)斷線的幾率變得非常低，且切割主軸不會(huì)由于被噴濺的硅粉而卡死停轉(zhuǎn)。因此本發(fā)明金剛石線開方機(jī)可以大大提高了切割效率和產(chǎn)能、提高設(shè)備的運(yùn)行率。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)中開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)的示意圖；
圖2是本發(fā)明開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)的示意圖；圖3是本發(fā)明開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)的正視平面圖，其中移除了與冷卻系統(tǒng)無關(guān)的構(gòu)件；圖4是本發(fā)明開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)的噴灑單元的分解圖；圖5是本發(fā)明開方機(jī)的冷卻系統(tǒng)中的噴管管路和噴嘴的剖面圖。
具體實(shí)施例方式參見圖2和圖3，本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)是用于切割硬脆材料I的金剛石線開方機(jī)上的，這種開方機(jī)一般均包括機(jī)架2、設(shè)置于機(jī)架上用于承載硬脆材料I的托盤裝置2、設(shè)置于機(jī)架上用于切割硬脆材料的切割頭給進(jìn)裝置、用于驅(qū)動(dòng)切割頭給進(jìn)裝置的驅(qū)動(dòng)裝置、多個(gè)導(dǎo)線輪以及纏繞于導(dǎo)線輪上的金剛石線、冷卻液供應(yīng)系統(tǒng)、與冷卻液供應(yīng)系統(tǒng)連接的噴灑頭。圖2為本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)的示意圖，其中該冷卻系統(tǒng)10包括以下構(gòu)件，包括供水水源11、噴灑單元12、進(jìn)水連接管13、收集單元14和水道15以及排水連接管16。其中，供水水源11可選用自來水供水水源、工業(yè)用水供水水源或者工廠回收用水水源等。較優(yōu)地，供水水源選用工業(yè)用水供水水源。結(jié)合圖3，進(jìn)水連接管13由剛性諸如鋼制成的進(jìn)水連接管段和柔性諸如塑膠制成的進(jìn)水連接管段組合而成，其中，金屬制成的進(jìn)水連接管段上安設(shè)有流量計(jì)17、流量控制閥18以及壓力表19，該流量計(jì)17通過兩段的法蘭盤分別與上下法拉盤相互固定在一起，柔性進(jìn)水連接管段分為四條支路，具體地，結(jié)合噴灑單元12在下面詳述。在本發(fā)明中，流量控制閥18是手動(dòng)，然而，可以理解其也可以是被自動(dòng)控制的。本領(lǐng)域技術(shù)人員還應(yīng)當(dāng)可以理解，進(jìn)水連接管13的管段是剛性還是柔性的特征并不是必需的，流量計(jì)17、流量控制閥18和壓力表19也不是必需的。圖4示出了噴灑單元12的分解圖，噴灑單元12具有周邊噴灑單元121和中央噴灑單元122，其分別設(shè)置于待冷卻區(qū)域即硅錠的上方周邊和上方中央。其中，周邊噴灑單元121包括噴管管路123和噴嘴124，噴管管路123是由四根噴管構(gòu)成的方形噴管，噴嘴124在方形噴管管路123上等間隔地設(shè)置，而該間隔與待切割硅片的間距相對(duì)應(yīng)，或者換言之該間隔使得噴嘴124與金剛石線相互對(duì)應(yīng)，從而當(dāng)切割操作時(shí)，金剛石線上的硅粉屑以及由金剛石線在硅錠上所切割出的細(xì)槽內(nèi)的硅屑也很容易被清洗掉。方形噴管的四個(gè)角部分別具有進(jìn)水孔125，進(jìn)水連接管13具有相應(yīng)于進(jìn)水孔125的兩條支路131、132，其中兩條支路的每一路連接到三通管133的一個(gè)孔，三通管133的另外兩個(gè)孔分別與方形噴管角部的進(jìn)水孔125相連通。中央噴灑單元122為花灑式結(jié)構(gòu)，即類似于淋浴用的花灑式噴頭的結(jié)構(gòu)，具體地，該中央噴灑單元122的兩端具有兩個(gè)進(jìn)水孔126，進(jìn)水連接管13具有相應(yīng)于進(jìn)水孔126的兩條支路133、134，其中每一支路與每一進(jìn)水孔126相連通。其中，上述的關(guān)于噴灑單元121的實(shí)施方式僅是一種較佳的方式，可選擇地，也可以僅選用周邊噴灑單元121或僅選用中央噴灑單元122。另外，也可以采用類似于金剛石線網(wǎng)的整體網(wǎng)式噴灑單元，將中央噴灑單元 放大到能夠覆蓋整體的加工區(qū)域或者在周邊噴灑單元的基礎(chǔ)上再在同一水平面上設(shè)置有十字交叉的數(shù)個(gè)噴管，但是由于在本發(fā)明中沒有外加壓力增加裝置，即，僅靠供水水源的水壓，故，當(dāng)采用整體的網(wǎng)式噴灑單元的同時(shí)也可能會(huì)存在壓力不足的問題。可選擇地，可以并不將進(jìn)水連接管分成四路，而是分成更多路如六路，其中的四路分別連接到周邊噴灑單元的四個(gè)角部的進(jìn)水孔上，其中的兩路連接到中央噴灑單元的兩端的進(jìn)水孔上，也可以將進(jìn)水連接管分成少于四路，如兩路或者三路，原理相同，在此不再贅述。其中，本發(fā)明的較佳實(shí)施方式中的冷卻系統(tǒng)采用硅錠作為開方機(jī)的加工材料，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的是其他的諸如鍺、石英、石英玻璃或陶瓷等材料均可作為開方機(jī)的加工材料。收集單元14為位于開方機(jī)殼體底部?jī)?nèi)的空腔，當(dāng)開方機(jī)上放置有硅錠，該收集單元14恰好位于硅錠的下方。該收集單元14內(nèi)形成有傾斜面，其底部還設(shè)有排液口，可選擇地，可以在該排液口上附設(shè)過濾件從而將廢水中的硅屑先行過濾。當(dāng)噴灑單元12將水噴灑到硅錠上，水就會(huì)攜帶硅屑等顆粒物匯流入到該收集單元14內(nèi)部。在機(jī)械加工領(lǐng)域內(nèi)，這種收集單元對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是很容易理解的，故在此不再贅述。在本發(fā)明中，水道15即為下水道，排水連接管16將收集單元14的孔與水道15連通。較優(yōu)地，在排水連接管連接到水道15的一側(cè)可附設(shè)有過濾件從而將廢水中的硅屑先行過濾。更優(yōu)地，可以在下水道的另一端統(tǒng)一設(shè)置廢水收集處理系統(tǒng)從而統(tǒng)一收集廢水并統(tǒng)一處理。需要注意的是，關(guān)于統(tǒng)一安設(shè)廢水收集處理系統(tǒng)并不是本發(fā)明的重點(diǎn)，故，在此不再贅述。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)可以理解上述的收集單元14和排水連接管16亦可以直接由收集排出裝置來替代，即兼有收集容納功能和排出功能的裝置，換言之，這里所述的收集排出裝置包括收集單元、排水連接管和水道的連接裝置但不限于這種裝置，例如，這種收集排出裝置甚至可以設(shè)計(jì)成將上述收集單元的排液口對(duì)準(zhǔn)下面的下水道而省略掉排水
連接管。在本發(fā)明另一種實(shí)施方式中，壓力、流量等參數(shù)可以直接由控制單元來自動(dòng)控制，該控制單元為電腦終端、壓力控制閥、流量控制閥等的綜合體，電腦終端可以讀出壓力控制閥和流量控制閥的壓力數(shù)和流量數(shù)，也可以藉由操作員來向電腦寫入壓力數(shù)和流量數(shù)等以此來控制管道中水的物理參數(shù)。結(jié)合金剛石線開方機(jī)介紹本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)的工作過程先建立好切割線網(wǎng)，將粘好的工件通過叉車放在專用硅碇上料小車，上料小車和機(jī)床連接后，將硅碇推進(jìn)切割室定位板上，手動(dòng)鎖緊硅碇托盤固定裝置，確認(rèn)切割各導(dǎo)輪槽距及技術(shù)參數(shù)正確無誤，設(shè)定硅碇切割高度，打開工業(yè)用水供水水源11的出水閥(或者打開進(jìn)水連接管13上的流量調(diào)節(jié)閥)，工業(yè)用水通過進(jìn)水連接管13上壓力表19、流量計(jì)17和噴灑單元12噴灑在硅碇上，通過開方機(jī)底座中的收集單元14將帶有硅屑的廢水收集的同時(shí)通過排水連接管16排出到水道15中，啟動(dòng)切割模式，切割頭、收放線輪驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)帶動(dòng)鋼線進(jìn)行往復(fù)切割運(yùn)動(dòng)，進(jìn)給伺服電機(jī)通過減速器驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠移動(dòng)切割頭進(jìn)行進(jìn)給，從而進(jìn)行工件切割狀態(tài)，待切割完成后切割頭自動(dòng)返回參考點(diǎn)，表示切割結(jié)束，關(guān)閉閥門，把上料小車和機(jī)床連接后，將工件拉出到上料小車上，通過叉車將工件送到工件清洗區(qū)，進(jìn)行清洗，清洗完畢后送檢驗(yàn)車間檢測(cè)，最后進(jìn)入下道工序。相比于傳統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)，本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)省略了冷卻液容納腔、泵體、過濾罐和過濾袋等裝置，也不需要使用比較昂貴的切削液，另外，采用單向的開環(huán)冷卻方式，這樣不僅使得整個(gè)冷卻系統(tǒng)的成本大大降低，并且被水沖洗下來的硅屑不會(huì)重新回流到加工工件上或飛濺到切割主軸內(nèi)也不會(huì)在收集單元中大量地堆積從而影響管道的暢通。尤其在防止金剛石線由于切割縫隙內(nèi)的硅屑的堆積而斷開的方面，本發(fā)明克服了本領(lǐng)域技術(shù)人員的偏見，即，本領(lǐng)域的技術(shù)人員一般均會(huì)認(rèn)為用水清潔和冷卻硅錠肯定不如用水和切削液的混 合液，而且切削液具有比水更大的粘性，相比于水更易于將硅屑粘附在金剛石線上。采用本發(fā)明后，金剛石線的斷線率非常低。因此本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)大大降低成本的同時(shí)提高了切割效率，有效地克服現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)。
權(quán)利要求
1.一種用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)，其包括供水水源、將水噴灑到待冷卻區(qū)域的噴灑單元、在所述供水水源和所述噴灑單元之間的進(jìn)水連接管、將從所述待冷卻區(qū)域流下的水收集在一起的收集單元、將水排出的水道，以及在所述收集單元與所述水道之間的排水連接管，其中，水依次經(jīng)過所述供水水源、進(jìn)水連接管、噴灑單元、收集單元并從所述水道排出。
2.如權(quán)利要求I所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述晶片為硅、鍺、石英、石英玻璃或陶瓷其中之一者，所述的開方機(jī)為金剛石線多線開方機(jī)。
3.如權(quán)利要求I所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述供水水源為自來水供水水源或工業(yè)用水供水水源。
4.如權(quán)利要求I至3中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述噴灑單元設(shè)置于所述待冷卻區(qū)域的上方周邊和/或上方中央。
5.如權(quán)利要求4所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方周邊的噴灑單元為周邊噴灑單元，所述周邊噴灑單元包括噴管管路和噴嘴，其中，所述噴管管路是由四根噴管構(gòu)成的方形噴管，且在所述方形噴管管路上間隔地設(shè)有多個(gè)噴嘴。
6.如權(quán)利要求5所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述方形噴管的四個(gè)角部分別具有進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中所述兩條支路的每一路連接三通管的一個(gè)孔，所述三通管的另外兩個(gè)孔分別與所述進(jìn)水孔相連通。
7.如權(quán)利要求4所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方中央的噴灑單元為中央噴灑單元，所述中央噴灑單元為花灑式結(jié)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求7所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述中央噴灑單元的兩端具有兩個(gè)進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中每一支路與所述進(jìn)水孔的每一個(gè)相連通。
9.如權(quán)利要求I至3中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有流量計(jì)。
10.如權(quán)利要求I至3中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述水的流量為500-6000L/h，優(yōu)選 500-1200L/h。
11.如權(quán)利要求I至3中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有流量調(diào)節(jié)開關(guān)，其為自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)。
12.如權(quán)利要求I至3中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)水連接管上還設(shè)置有壓力表。
13.如權(quán)利要求I所述的冷卻系統(tǒng)，所述冷卻系統(tǒng)還包括用于控制水的物理參數(shù)的控制單元，所述物理參數(shù)至少包括流量和壓力其中之一者。
14.一種用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)，其主要由供水水源、噴灑裝置、進(jìn)水連接管、收集排出裝置以及控制裝置所組成；其中所述進(jìn)水連接管在所述供水水源和所述噴灑裝置之間設(shè)置，所述收集排出裝置設(shè)置于開方機(jī)的下方殼體中，所述控制裝置用于控制水的物理參數(shù)，所述物理參數(shù)至少包括流量、壓力參數(shù)其中之一者；水從所述供水水源經(jīng)由所述進(jìn)水連接管并通過所述噴灑單元噴灑到待冷卻區(qū)域，再?gòu)乃龃鋮s區(qū)域匯流到所述收集排出裝置而排出所述開方機(jī)。
15.如權(quán)利要求I所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述晶片為硅、鍺、石英、石英玻璃或陶瓷其中之一者，所述的開方機(jī)為金剛石線多線開方機(jī)。
16.如權(quán)利要求I所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述供水水源為工業(yè)用水供水水源。
17.如權(quán)利要求14至16中任一所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述噴灑裝置設(shè)置于所述待冷卻區(qū)域的上方周邊和/或上方中央。
18.如權(quán)利要求17所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方周邊的噴灑裝置為周邊噴灑裝置，所述周邊噴灑裝置包括噴管管路和噴嘴，其中，所述噴管管路是由四根噴管構(gòu)成的方形噴管，且在所述方形噴管管路上間隔地設(shè)有多個(gè)噴嘴。
19.如權(quán)利要求18所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述方形噴管的四個(gè)角部分別具有進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中所述兩條支路的每一路連接三通管的一個(gè)孔，所述三通管的另外兩個(gè)孔分別與所述進(jìn)水孔相連通。
20.如權(quán)利要求17所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，設(shè)置于所述冷卻區(qū)域上方中央的噴灑裝置為中央噴灑裝置，所述中央噴灑裝置為花灑式結(jié)構(gòu)。
21.如權(quán)利要求20所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述中央噴灑裝置的兩端具有兩個(gè)進(jìn)水孔，所述進(jìn)水連接管具有相應(yīng)于所述進(jìn)水孔的兩條支路，其中每一支路與所述進(jìn)水孔的每一個(gè)相連通。
全文摘要
本發(fā)明公開一種用在切割晶片的開方機(jī)上的冷卻系統(tǒng)，其包括供水水源、將水噴灑到待冷卻區(qū)域的噴灑單元、在所述供水水源和所述噴灑單元之間的進(jìn)水連接管、將從所述待冷卻區(qū)域流下的廢水收集在一起的收集單元、將廢水排出的水道，以及在所述收集單元與所述水道之間的排水連接管，其中，水依次經(jīng)過所述供水水源、進(jìn)水連接管、噴灑單元、收集單元并從所述水道排出。應(yīng)用本發(fā)明的冷卻系統(tǒng)能在大大地提高切割效率和產(chǎn)能并降低成本、減少操作工勞動(dòng)力并提高設(shè)備的運(yùn)行率。
文檔編號(hào)B28D7/02GK102729350SQ20111008400
公開日2012年10月17日 申請(qǐng)日期2011年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月2日
發(fā)明者孟磊磊, 白延江, 薛抗美, 黃曉君 申請(qǐng)人:江蘇協(xié)鑫硅材料科技發(fā)展有限公司