專利名稱：硅棒晶托的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種單晶硅生產(chǎn)過程中使用的可防止邊皮脫落的硅棒晶托。
背景技術(shù)：
在單晶硅生產(chǎn)過程中需要使用線切方機(jī)切割單晶硅棒，圓硅棒需要粘接在晶托上 才能裝入線切方機(jī)中進(jìn)行切割，切割過程快結(jié)束時(shí)，經(jīng)常發(fā)生硅棒邊皮脫落的現(xiàn)象，脫落的 邊皮壓在線網(wǎng)上形成斷線，使切割暫停，需重新布線繼續(xù)切割。邊皮脫落造成斷線，不但影 響了產(chǎn)品質(zhì)量，還浪費(fèi)大量時(shí)間需重新布線、檢查，再開機(jī)完成此次切割。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便，容易清洗，確保切 割過程中邊皮不會(huì)脫落的硅棒晶托。本實(shí)用新型涉及的硅棒晶托，包括晶托基體，其特殊之處是在晶托基體的圓周面 上設(shè)有四個(gè)插槽，所述的插槽沿圓周方向均布，該硅棒晶托還設(shè)有用來插裝在插槽內(nèi)的弧 形擋板。上述的硅棒晶托，所述的插槽是由焊接在晶托基體圓周面上且內(nèi)外布置的兩個(gè)拱 形鋼片形成，以將擋板固定夾緊。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便，而且便于清洗。在硅棒粘接完畢后，把 擋板插入到插槽中，將切割后的硅棒邊皮擋住，固定效果好，從根本上杜絕了邊皮脫落造成 斷線情況的發(fā)生，把由于邊皮脫落造成的斷線損失降低為零。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1 (去掉左側(cè)和后面擋板)的俯視圖；圖3是圖1中擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3的仰視圖。圖中晶托基體1，插槽2，擋板3，拱形鋼片4。
具體實(shí)施方式
如圖所示，該硅棒晶托有一個(gè)晶托基體1，在晶托基體1的圓周面上設(shè)有四個(gè)插槽 2，所述的插槽2沿圓周方向均布，該硅棒晶托還設(shè)有用來插裝在插槽2內(nèi)的鋼質(zhì)弧形擋板 3。所述的插槽2是由焊接在晶托基體1圓周面上且內(nèi)外布置的兩個(gè)拱形鋼片4形成，以將 擋板3固定夾緊。當(dāng)晶棒與晶托基體1粘接后，把擋板3插入到插槽2中可起到固定晶棒 的作用，防止切割后的邊皮脫落。
權(quán)利要求一種硅棒晶托，包括晶托基體，其特征是在晶托基體的圓周面上設(shè)有四個(gè)插槽，所述的插槽沿圓周方向均布，該硅棒晶托還設(shè)有用來插裝在插槽內(nèi)的弧形擋板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒晶托，其特征是所述的插槽是由焊接在晶托基體圓周 面上且內(nèi)外布置的兩個(gè)拱形鋼片形成。
專利摘要一種硅棒晶托，解決了在單晶硅生產(chǎn)過程中硅棒與晶托粘接后裝入線切方機(jī)進(jìn)行切割過程中，硅棒邊皮脫落造成斷線的問題。它包括晶托基體，其特殊之處是在晶托基體的圓周面上設(shè)有四個(gè)插槽，所述的插槽沿圓周方向均布，該硅棒晶托還設(shè)有用來插裝在插槽內(nèi)的弧形擋板。在硅棒粘接完畢后，把擋板插入到插槽中，將切割后的硅棒邊皮擋住，固定效果好，從根本上杜絕了邊皮脫落造成斷線情況的發(fā)生，并且結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便，容易清洗。
文檔編號B28D7/04GK201677413SQ201020169378
公開日2010年12月22日 申請日期2010年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月19日
發(fā)明者劉雷, 唐迪, 羅貴實(shí), 陳鵬 申請人:錦州日鑫硅材料有限公司