專利名稱：硅塊脫膠系統(tǒng)和脫膠方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅塊脫膠系統(tǒng)；本發(fā)明還涉及一種利 用上述硅塊脫膠系統(tǒng)的脫膠方法。
背景技術(shù)：
脫膠工作是硅片加工中必不可少的一道工序。在硅片加工過程中，將硅塊使用某 種膠水粘接到多線切割機(jī)的工裝上，為了保證工裝循環(huán)使用，在硅塊與工裝之間粘接一層 磨砂玻璃。工裝放入多線切割機(jī)中切割成硅片，待切割結(jié)束后，將切割完成的硅片取下，形 成硅塊頭尾料。硅塊頭尾料在提煉過程中，雜質(zhì)會(huì)沉積和漂浮在硅塊的底部和頂部，雜質(zhì)區(qū) 域的硅料不滿足使用要求，則在硅片加工中不對(duì)該區(qū)域進(jìn)行切割。切割結(jié)束后，可以將硅塊 的頭尾部進(jìn)行再次提純。請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)硅塊頭尾料的結(jié)構(gòu)示意圖。硅塊11通過玻璃12粘在工裝13上，工裝13通過八個(gè)鎖緊螺絲14鎖在硅塊11 上，供硅片切割時(shí)使用。硅片切割完后，將剩余粘接在工裝13上的玻璃12與硅塊11的頭 尾料連同工裝13進(jìn)行高溫加熱，使膠水失去粘接性能，使玻璃12、硅塊頭尾料、工裝13分 離，從而實(shí)現(xiàn)工裝13循環(huán)使用，硅塊頭尾料進(jìn)行再次提純的工作目的。脫膠時(shí)，由于烘箱中的溫度較高，為了避免工裝13、鎖緊螺絲14的變形，操作人員 首先要將工裝13上八個(gè)鎖緊螺絲14全部卸下，再將重量約IOkg的工裝13放入400°C的烘 箱中進(jìn)行加熱，加熱15分鐘后再將其取出，利用鏟刀把頭尾料、玻璃12、工裝13分離，頭尾 料分類放好，待工裝13自然冷卻后再將八個(gè)鎖緊螺絲14重新鎖緊，再次使用。從上述的工作過程中不難看出，現(xiàn)有的脫膠工藝存在以下幾點(diǎn)缺陷1、工作環(huán)境差為滿足使用，烘箱數(shù)量較多，導(dǎo)致室內(nèi)溫度較高；膠水通過400°C的高溫烘烤后會(huì) 冒出大量白色刺鼻性煙霧，污染環(huán)境，對(duì)操作人員的身體帶來損害。2、易發(fā)生質(zhì)量事故每個(gè)工裝需裝卸鎖緊螺絲，如在裝卸過程中螺絲未緊固到位，則在切割過程中容 易出現(xiàn)位移現(xiàn)象，嚴(yán)重時(shí)導(dǎo)致整塊硅塊報(bào)廢，帶來不必要的經(jīng)濟(jì)損失。3、產(chǎn)能低工裝經(jīng)烘箱烘烤后溫度高，需自然冷卻后才可使用，工裝從烘箱取出后到使用需 40-60分鐘的冷卻時(shí)間，如產(chǎn)能加大，需要大量的工裝進(jìn)行彌補(bǔ)，增大企業(yè)的生產(chǎn)負(fù)擔(dān)。因此，如何改善硅塊脫膠時(shí)的工作環(huán)境，提高硅塊與玻璃的脫膠效率，降低硅塊脫 膠成本，是本領(lǐng)域技術(shù)人員目前需要解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種硅塊脫膠系統(tǒng)，該脫膠裝置能有效改善硅塊脫膠的工作 環(huán)境，并提高脫膠效率，降低硅塊脫膠的生產(chǎn)成本。本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種利用上述硅塊脫膠系統(tǒng)的硅塊脫膠方法。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種硅塊脫膠系統(tǒng)，包括容納待脫膠工裝的箱 體、容納所述箱體的脫膠反應(yīng)室，以及與所述箱體內(nèi)部連通的加熱水槽，該加熱水槽內(nèi)生成 的水蒸氣對(duì)所述工裝脫膠。優(yōu)選地，所述加熱水槽設(shè)于所述箱體的下側(cè)，所述箱體的頂部和底部均為透氣式結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，所述箱體的頂部和底部均由平行設(shè)置的若干桿體形成，相鄰所述桿體之 間的距離形成蒸汽通道；且所述頂部的桿體與所述底部的桿體之間的夾角大于0度。優(yōu)選地，所述箱體沿其周向具有全密封結(jié)構(gòu)，其側(cè)面設(shè)有全密封門，所述待脫膠工 裝從所述全密封門進(jìn)入所述箱體。優(yōu)選地，還包括與所述加熱水槽可選擇地連通的保溫水箱；該保溫水箱與所述加 熱水槽之間設(shè)有第一電磁閥，所述加熱水槽內(nèi)設(shè)有上限位和下限位，當(dāng)所述加熱水槽內(nèi)的 水位低于所述下限位時(shí)，所述第一電磁閥開啟；當(dāng)所述加熱水槽內(nèi)的水位高于所述上限位 時(shí)，所述第一電磁閥關(guān)閉。優(yōu)選地，所述保溫水箱的入口與所述脫膠反應(yīng)室的蒸汽出口連通。優(yōu)選地，所述保溫水箱具有壓力排氣閥，當(dāng)所述保溫水箱中的壓力大于或等于預(yù) 定的壓力時(shí)，所述壓力排氣閥開啟。優(yōu)選地，所述箱體的數(shù)目至少為兩個(gè)，且各所述箱體沿所述加熱水槽的蒸汽方向 依次設(shè)置。本發(fā)明還提供一種硅塊脫膠方法，包括下述步驟步驟1 提供上述任一項(xiàng)所述的硅塊脫膠系統(tǒng)；步驟2 將裝有待脫膠工裝的箱體放入脫膠反應(yīng)室；步驟3 加熱水槽對(duì)所述工裝進(jìn)行蒸汽加熱；步驟4 將所述工裝取出、脫膠。優(yōu)選地，所述步驟3之后還包括步驟31 收集脫膠后的廢蒸汽。優(yōu)選地，所述步驟2和所述步驟3之間還包括步驟21 利用所述廢蒸汽對(duì)所述加 熱水槽(23)進(jìn)行預(yù)熱。本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)，包括容納待脫膠工裝的箱體、容納所述箱體的脫 膠反應(yīng)室，以及與所述箱體內(nèi)部連通的加熱水槽，該加熱水槽內(nèi)生成的水蒸氣對(duì)所述工裝 脫膠。由于工裝設(shè)于箱體中，加熱水槽內(nèi)的水蒸氣進(jìn)入脫膠反應(yīng)室后，再作用于箱體內(nèi)的待 脫膠工裝，使脫膠用的蒸汽既對(duì)工裝上的膠體產(chǎn)生作用，又避免膠體溶在水里對(duì)水蒸氣產(chǎn) 生污染、降低脫膠的耗水量；而且可以避免膠體在高溫條件下產(chǎn)生污染環(huán)境的刺鼻煙霧，改 變硅塊脫膠的工藝條件，使操作工人的工作環(huán)境得到改善，減少操作工人的身體損害。同 時(shí)，對(duì)水加熱可以大幅度減少電能的損耗，降低硅塊的脫膠成本，與創(chuàng)造節(jié)約型社會(huì)的發(fā)展 趨勢(shì)相吻合。另外，由于水蒸氣的溫度相對(duì)較低，硅塊、工裝和鎖定硅塊、工裝的鎖緊螺栓在水 蒸氣的作用下變形量較小，因此，將硅塊放入箱體內(nèi)加熱時(shí)，可以不拆掉鎖緊螺栓，從而提 高硅塊的脫膠效率，同時(shí)也減小硅塊安裝難度，提高安裝效率。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)還包括與所述加熱水槽
4可選擇地連通的保溫水箱；該保溫水箱與所述加熱水槽之間設(shè)有第一電磁閥，所述加熱水 槽內(nèi)設(shè)有上限位和下限位，當(dāng)所述加熱水槽內(nèi)的水位低于所述下限位時(shí)，所述第一電磁閥 開啟；當(dāng)所述加熱水槽內(nèi)的水位高于所述上限位時(shí)，所述第一電磁閥關(guān)閉。這樣，通過自動(dòng) 控制的第一電磁閥對(duì)加熱水槽內(nèi)的水量進(jìn)行控制，減小脫膠工作對(duì)操作人員的依賴，可以 提高脫膠工作的安全可靠性。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述箱體的數(shù)目至少為兩個(gè)，且各所述箱體沿所述 加熱水槽的蒸汽方向依次設(shè)置。這樣，可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)甚至多個(gè)硅決進(jìn)行脫膠，從而明顯 提高脫膠效率，可以滿足企業(yè)產(chǎn)能增大的生產(chǎn)需要，為企業(yè)增產(chǎn)提供便利，減小企業(yè)資金壓 力。在提供上述硅塊脫膠系統(tǒng)的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還提供一種應(yīng)用上述硅塊脫膠系統(tǒng)的 硅塊脫膠方法；由于硅塊脫膠系統(tǒng)具有上述技術(shù)效果，利用該硅塊脫膠系統(tǒng)的硅塊脫膠方 法也具有相應(yīng)的技術(shù)效果。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一個(gè)硅塊頭尾料的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明所提供硅塊脫膠系統(tǒng)一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明所提供箱體一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第一種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程圖；圖5為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第二種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程圖；圖6為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第三種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的核心是提供一種硅塊脫膠系統(tǒng)，該脫膠裝置能有效改善硅塊脫膠的工作 環(huán)境，并提高脫膠效率，降低硅塊脫膠的生產(chǎn)成本。本發(fā)明的另一核心是提供一種利用上述 硅塊脫膠系統(tǒng)的硅塊脫膠方法。本文所涉及的上、下等方位詞，是以水蒸氣流動(dòng)的方向?yàn)榛鶞?zhǔn)來定義的，應(yīng)當(dāng)理解 本文中所采用的方位詞不應(yīng)當(dāng)限制本專利的保護(hù)范圍。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。當(dāng)水的溫度超過100°C時(shí)(或說超過沸點(diǎn)時(shí))，水分子因?yàn)槲樟俗銐虼蟮膬?nèi)能， 從而使其轉(zhuǎn)換成脫離分子束縛的斥力，分子之間的距離開始變大，水便從液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài) 水，此過程稱作氣化。而凝結(jié)是放熱過程，水蒸氣會(huì)發(fā)出大量的熱量，也就是從100度蒸汽 凝結(jié)成100度的水會(huì)放出大量熱量然后形成100度的水。蒸汽與沸水的溫度是一樣高的； 但是它們?cè)诔合碌膯挝恢亓?例如1公斤)所含有的熱量(專業(yè)名稱叫做“焓”)是不 同的，水蒸氣的“焓”比沸水多539大卡/公斤(這個(gè)數(shù)據(jù)在“熱工學(xué)”里可以查到)。常壓 下，水蒸氣是180度，沸水是100度，且水蒸氣可利用空間要比水大。本發(fā)明利用了水的上 述特點(diǎn)，對(duì)硅塊進(jìn)行脫膠。請(qǐng)參考圖2，圖2為本發(fā)明所提供硅塊脫膠系統(tǒng)一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)，包括容納待脫膠工裝的箱體21、容納箱體21的脫
5膠反應(yīng)室22，以及與箱體21內(nèi)部連通的加熱水槽23，該加熱水槽23內(nèi)生成的水蒸氣對(duì)工 裝進(jìn)行脫膠。由于工裝設(shè)于箱體21中，加熱水槽23內(nèi)的水蒸氣進(jìn)入脫膠反應(yīng)室22后，再 作用于箱體21內(nèi)的待脫膠工裝，使脫膠用的蒸汽既對(duì)工裝上的膠體產(chǎn)生作用，又避免膠體 溶在水里對(duì)水蒸氣產(chǎn)生污染、降低脫膠的耗水量；而且可以避免膠體在高溫條件下產(chǎn)生污 染環(huán)境的刺鼻煙霧，改變硅塊脫膠的工藝條件，使操作工人的工作環(huán)境得到改善，減少操作 工人的身體損害。同時(shí)，對(duì)水加熱可以大幅度減少電能的損耗，降低硅塊的脫膠成本，與創(chuàng) 造節(jié)約型社會(huì)的發(fā)展趨勢(shì)相吻合。另外，由于水蒸氣的溫度相對(duì)較低，硅塊、工裝和鎖定硅塊、工裝的鎖緊螺栓在水 蒸氣的作用下變形量較小，因此，將硅塊放入箱體21內(nèi)加熱時(shí)，可以不拆掉鎖緊螺栓，從而 提高硅塊的脫膠效率，同時(shí)也減小硅塊安裝難度，提高安裝效率。具體地，本發(fā)明所提供的加熱水槽23可以設(shè)于箱體21的下側(cè)，且箱體21的頂部 212和底部213均為透氣式結(jié)構(gòu)。按照自然規(guī)律，水蒸氣受熱后會(huì)向上流動(dòng)，將加熱水槽23 安裝在箱體21的下側(cè)，可以使加熱水槽23中生成的水蒸氣自然向上流動(dòng)，經(jīng)具有透氣功能 的箱體21底部213進(jìn)入箱體21，對(duì)工裝進(jìn)行加熱，使其脫膠，然后經(jīng)具有透氣功能的箱體 21頂部212流出箱體21，完成作業(yè)過程。該結(jié)構(gòu)簡單，符合自然規(guī)律，易于實(shí)現(xiàn)，可以簡化 硅塊脫膠系統(tǒng)，降低硅塊脫膠成本。顯然，如果箱體21與加熱水槽23處于平行或交錯(cuò)的位置，通過抽氣泵等動(dòng)力部件 將水蒸氣抽到箱體21內(nèi)，也可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的。請(qǐng)參考圖3，圖3為本發(fā)明所提供箱體一種具體實(shí)施方式
的結(jié)構(gòu)示意圖。在一種具體的實(shí)施方式中，箱體21的頂部212和底部213均由平行設(shè)置的若干桿 體形成，相鄰桿體之間的距離形成蒸汽通道；且頂部212的桿體與底部213的桿體之間的夾 角大于0度。若干桿體形成的箱體21結(jié)構(gòu)簡單，易于加工生產(chǎn)，有利于降低箱體21的生產(chǎn) 成本。而且，如果在脫膠反應(yīng)室22中設(shè)置兩個(gè)甚至兩個(gè)以上的箱體21，相鄰的兩箱體21中 一者的頂部212將與另一者的底部213相鄰，頂部212的桿體與底部213的桿體之間的夾 角大于0度時(shí)，可以確保頂部212的桿體與底部213的桿體不平行，形成預(yù)定的角度后可以 預(yù)防膠體落入加熱水槽23中，防止加熱水槽23受到膠體污染。圖3中桿體均為直桿，易于生產(chǎn)，成本低。顯然，箱體21具有透氣式結(jié)構(gòu)可以具有 多種結(jié)構(gòu)，可以是網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，或者是彎折的桿體結(jié)構(gòu)、波浪形的桿體結(jié)構(gòu)，應(yīng)當(dāng)理解，上述的 各種具有透氣性功能的結(jié)構(gòu)都能實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的功能，都應(yīng)該在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，本發(fā)明所提供的箱體21沿其周向可以具有全密封結(jié)構(gòu)， 且在其側(cè)面設(shè)置全密封門211，待脫膠工裝從全密封門211進(jìn)入箱體21。當(dāng)工裝脫膠結(jié)束 后，需要將箱體21和工裝一起移出脫膠反應(yīng)室22，箱體21的周向?yàn)槿芊饨Y(jié)構(gòu)可以增強(qiáng)操 作的安全性，減小操作工人被燙傷的可能，為安全生產(chǎn)提供保障?？梢詫?duì)上述硅塊脫膠系統(tǒng)作進(jìn)一步的改進(jìn)。在進(jìn)一步的技術(shù)方案中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)還可以包括與加熱水槽23 可選擇地連通的保溫水箱24 ；該保溫水箱24與加熱水槽23之間設(shè)有第一電磁閥241，加熱 水槽23內(nèi)設(shè)有上限位和下限位，當(dāng)加熱水槽23內(nèi)的水位低于下限位時(shí)，第一電磁閥241開 啟；當(dāng)加熱水槽23內(nèi)的水位高于上限位時(shí)，第一電磁閥241關(guān)閉。這樣，通過自動(dòng)控制的電 磁閥對(duì)加熱水槽23內(nèi)的水量進(jìn)行控制，減小脫膠工作對(duì)操作人員的依賴，可以提高脫膠工作的安全可靠性。還可以在保溫水箱24的進(jìn)水口設(shè)置第二電磁閥242，且在保溫水箱24中設(shè)置上限 位和下限位，當(dāng)保溫水箱24內(nèi)的水位低于下限位時(shí)，第二電磁閥242開啟；當(dāng)保溫水箱24 內(nèi)的水位高于上限位時(shí)，第二電磁閥242關(guān)閉。這樣可以進(jìn)一步增強(qiáng)硅塊脫膠系統(tǒng)的自動(dòng) 生產(chǎn)能力，提高安全可靠性。同時(shí)，為了提高加熱水槽23中低溫水的溫度，可以對(duì)保溫水箱24中的水進(jìn)行預(yù) 熱，優(yōu)選地可以將保溫水箱24的入口與脫膠反應(yīng)室22的蒸汽出口連通。即利用從脫膠反 應(yīng)室22中產(chǎn)出的廢蒸汽對(duì)加保溫水箱24中的低溫水進(jìn)行預(yù)熱，形成循環(huán)工作鏈，從而提高 加熱水槽23中的進(jìn)水溫度，縮短加熱低溫水的時(shí)間，提高脫膠效率，降低加熱能耗。還可以在保溫水箱24里設(shè)置壓力排氣閥25，當(dāng)保溫水箱24中的壓力大于或等于 預(yù)定的壓力時(shí)，壓力排氣閥25開啟。以確保保溫水箱24的壓力不會(huì)太大，提高硅塊脫膠系 統(tǒng)的安全可靠性。另外，上述的硅塊脫膠系統(tǒng)中箱體21的數(shù)目至少為兩個(gè)，且各箱體21沿加熱水槽 23的蒸汽方向依次設(shè)置，即如圖2所示的層疊設(shè)置。這樣，可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)甚至多個(gè)硅塊 進(jìn)行脫膠，從而明顯提高脫膠效率，可以滿足企業(yè)產(chǎn)能增大的生產(chǎn)需要，為企業(yè)增產(chǎn)提供便 利，減小企業(yè)資金壓力。請(qǐng)?jiān)俅螀⒖紙D2，在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)可以按 下述的流程工作。通過加熱水槽23將水加溫并保持沸騰，形成大量水蒸氣，水蒸氣根據(jù)力的作用向 上飄移；在箱體21中放入待脫膠的工裝，水蒸氣會(huì)穿過箱體21，并將箱體21中的工裝迅速 加熱；水蒸氣升至頂端后，會(huì)隨導(dǎo)管進(jìn)入保溫水箱24中，保溫水箱24中為常溫水，因水蒸氣 的作用，保溫水箱24中的水不斷升溫；當(dāng)保溫水箱24內(nèi)壓力到達(dá)壓力排氣閥25預(yù)設(shè)的壓 力時(shí)，壓力排氣閥25可以自動(dòng)打開排氣。加熱水槽23中的水量隨著蒸發(fā)不斷減少，當(dāng)水位低于下限位a后，第一電磁閥241 自動(dòng)打開，保溫水箱24中經(jīng)過蒸汽加溫的熱水會(huì)通過導(dǎo)管進(jìn)入加熱水槽23中，當(dāng)加熱水槽 23的水位到達(dá)上限位b后，第一電磁閥241自動(dòng)閉合；同時(shí)保溫水箱24的進(jìn)入口設(shè)有第二 電磁閥242，保溫水箱24中的水位低于下限位d后，第二電磁閥242自動(dòng)打開，補(bǔ)充新水，保 溫水箱24中的水位到達(dá)上限位c后，第二電磁閥242自動(dòng)閉合，停止加水，確保硅塊脫膠系 統(tǒng)中的水量保持平衡，系統(tǒng)安全可靠地工作。除了上述硅塊脫膠系統(tǒng)，本發(fā)明還提供一種利用上述硅塊脫膠系統(tǒng)的硅塊脫膠方法。請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第一種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程 圖。在第一種具體的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠方法可以包括下述步驟Sll 提供本說明書前面所述的硅塊脫膠系統(tǒng)；S12 將裝有待脫膠工裝的箱體放入脫膠反應(yīng)室；S13 加熱水槽對(duì)工裝進(jìn)行蒸汽加熱；S14 將工裝取出、脫膠。請(qǐng)參考圖5，圖5為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第二種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程圖。在第二種具體的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠方法可以包括下述步驟S21 提供本說明書前面所述的硅塊脫膠系統(tǒng)；S22 將裝有待脫膠工裝的箱體放入脫膠反應(yīng)室；S23 加熱水槽對(duì)工裝進(jìn)行蒸汽加熱；S241 將工裝取出、脫膠；S242:收集脫膠后的廢蒸汽。廢蒸汽從脫膠反應(yīng)室中流出后仍有較高的溫度，可以 用在生產(chǎn)的其它環(huán)節(jié)，對(duì)廢蒸汽進(jìn)行二次利用，避免能量損失，提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。另外，將工裝取出、脫膠和收集廢蒸汽可以同步進(jìn)行，也可以先后進(jìn)行。請(qǐng)參考圖6，圖6為本發(fā)明所提供硅塊脫膠方法第三種具體實(shí)施方式
的生產(chǎn)流程 圖。在第三種具體的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的硅塊脫膠方法可以包括下述步驟S31 提供本說明書前面所述的硅塊脫膠系統(tǒng)；S32 將裝有待脫膠工裝的箱體放入脫膠反應(yīng)室；S33:利用廢蒸汽對(duì)加熱水槽進(jìn)行預(yù)熱，形成循環(huán)生產(chǎn)鏈，利用廢蒸汽的熱量，減少 加熱低溫水所需要的能量，以降低脫膠成本。S34 加熱水槽對(duì)工裝進(jìn)行蒸汽加熱；S351 將工裝取出、脫膠；S352:收集脫膠后的廢蒸汽。廢蒸汽從脫膠反應(yīng)室中流出后仍有較高的溫度，可以 用在生產(chǎn)的其它環(huán)節(jié)，對(duì)廢蒸汽進(jìn)行二次利用，避免能量損失，提高企業(yè)的生產(chǎn)效率。另外，將工裝取出、脫膠和收集廢蒸汽可以同步進(jìn)行，也可以先后進(jìn)行。以上對(duì)本發(fā)明所提供的硅塊脫膠系統(tǒng)和硅塊脫膠方法進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng) 用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說明只是用于幫助理 解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離 本發(fā)明原理的前提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā) 明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
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權(quán)利要求
一種硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，包括容納待脫膠工裝的箱體(21)、容納所述箱體(21)的脫膠反應(yīng)室(22)，以及與所述箱體(21)內(nèi)部連通的加熱水槽(23)，該加熱水槽(23)內(nèi)生成的水蒸氣對(duì)所述工裝脫膠。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述加熱水槽(23)設(shè)于所述箱 體(21)的下側(cè)，所述箱體(21)的頂部(212)和底部(213)均為透氣式結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述箱體(21)的頂部(212)和 底部(213)均由平行設(shè)置的若干桿體形成，相鄰所述桿體之間的距離形成蒸汽通道；且所 述頂部(212)的桿體與所述底部(213)的桿體之間的夾角大于0度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述箱體(21)沿其周向具有全 密封結(jié)構(gòu)，其側(cè)面設(shè)有全密封門(211)，所述待脫膠工裝從所述全密封門(211)進(jìn)入所述箱 體(21)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述加熱水 槽(23)可選擇地連通的保溫水箱(24)；該保溫水箱(24)與所述加熱水槽(23)之間設(shè)有 第一電磁閥(241)，所述加熱水槽(23)內(nèi)設(shè)有上限位和下限位，當(dāng)所述加熱水槽(23)內(nèi)的 水位低于所述下限位時(shí)，所述第一電磁閥(241)開啟；當(dāng)所述加熱水槽(23)內(nèi)的水位高于 所述上限位時(shí)，所述第一電磁閥(241)關(guān)閉。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述保溫水箱(24)的入口與所 述脫膠反應(yīng)室(22)的蒸汽出口連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述保溫水箱(24)具有壓力排 氣閥(25)，當(dāng)所述保溫水箱(24)中的壓力大于或等于預(yù)定的壓力時(shí)，所述壓力排氣閥(25) 開啟。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅塊脫膠系統(tǒng)，其特征在于，所述箱體的數(shù)目(21)至少為兩 個(gè)，且各所述箱體(21)沿所述加熱水槽(23)的蒸汽方向依次設(shè)置。
9.一種硅塊脫膠方法，其特征在于，包括下述步驟步驟1 提供如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的硅塊脫膠系統(tǒng)；步驟2 將裝有待脫膠工裝的箱體放入脫膠反應(yīng)室(22)；步驟3 加熱水槽(23)對(duì)所述工裝進(jìn)行蒸汽加熱；步驟4 將所述工裝取出、脫膠。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅塊脫膠方法，其特征在于，所述步驟3之后還包括步驟31 收集脫膠后的廢蒸汽。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的硅塊脫膠方法，其特征在于，所述步驟2和所述步驟3之間 還包括步驟21 利用所述廢蒸汽對(duì)所述加熱水槽(23)進(jìn)行預(yù)熱。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種硅塊脫膠系統(tǒng)和應(yīng)用該系統(tǒng)的脫膠方法，公開的硅塊脫膠系統(tǒng)包括容納待脫膠工裝的箱體(21)、容納所述箱體的脫膠反應(yīng)室(22)，以及與所述箱體(21)內(nèi)部連通的加熱水槽(23)，該加熱水槽(23)內(nèi)生成的水蒸氣作用于所述工裝。該脫膠系統(tǒng)和方法可以避免膠體在高溫條件下產(chǎn)生污染環(huán)境的刺鼻煙霧，使操作工人的工作環(huán)境得到改善，減少操作工人的身體損害。同時(shí)，對(duì)水加熱可以大幅度減少電能的損耗，降低硅塊的脫膠成本。另外，通過水蒸氣脫膠時(shí)可以不拆掉鎖緊螺栓，從而提高硅塊的脫膠效率，同時(shí)也減小硅塊安裝難度，提高安裝效率。
文檔編號(hào)B28D7/04GK101898391SQ201010259318
公開日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2010年8月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月19日
發(fā)明者呂勝振, 張言樂, 殷貴寶, 陳樂 , 陳瑛 申請(qǐng)人:英利能源(中國)有限公司