專利名稱：斷裂棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在對(duì)圓形的構(gòu)件精細(xì)地進(jìn)行切斷加工的步驟等的切斷步驟中所 使用的斷裂棒。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體時(shí)將圓板狀的晶片分割成多個(gè)四邊形的步驟中，通常將晶片固定于 切片板上，使用較薄的切片機(jī)，使切片機(jī)旋轉(zhuǎn)而對(duì)芯片之間進(jìn)行掃描，由此將多個(gè)芯片形成 為四邊形。此外，在專利文獻(xiàn)1中提出有如下的半導(dǎo)體晶片加工裝置，其于將半導(dǎo)體晶片切 斷成芯片狀時(shí)，對(duì)晶片的表面進(jìn)行刻劃并沿解理面進(jìn)行斷裂，由此將該晶片分割成多個(gè)芯 片。[先前技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開平2003-282485號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，在專利文獻(xiàn)1中，對(duì)晶片表面的正方形區(qū)域進(jìn)行刻劃及斷裂而將晶片切斷 加工成芯片。圖1(a)是半導(dǎo)體晶片的切割步驟的平面圖，圖1(b)、圖1(c)分別為A-A線、 B-B線截面圖。在圖1中，將切片板102貼附于圓環(huán)形狀的切晶環(huán)101上，且將晶片103安 裝在該切片板102的黏結(jié)面上。此時(shí)，如圖1(a)所示，在工件103的正方形的部分上預(yù)先 形成多個(gè)格子狀的刻劃線，且如圖1 (b)、圖1 (c)所示，必須使用固定長(zhǎng)度的斷裂棒104、105 沿該刻劃線進(jìn)行斷裂。此處，如圖2(a)所示，如果可從晶片103的圓形的大致整個(gè)區(qū)域切出芯片，則可無(wú) 浪費(fèi)地獲得芯片，因此效率變佳。但是此時(shí)，刻劃線的長(zhǎng)度變得不固定。如圖2(b)中A-A 線截面圖所示，當(dāng)使用長(zhǎng)度與晶片103的半徑大致相等的斷裂棒106、107時(shí)，A-A線的部分 可斷裂。但是，切晶環(huán)101的厚度例如為1. 2mm 2. Omm而厚于晶片103的厚度(大約為 0. 8mm)，因此如圖2 (c)中B-B線截面圖所示，在B-B線部分，斷裂棒107接觸于切晶環(huán)101 而無(wú)法進(jìn)行斷裂。因此，存在必須根據(jù)刻劃線的長(zhǎng)度而更換斷裂棒的不足。本發(fā)明是鑒于上述的先前問(wèn)題而完成的，其技術(shù)性課題在于提供一種可容易地變 更斷裂棒的刀尖的長(zhǎng)度的斷裂棒。為了解決所述問(wèn)題，本發(fā)明的斷裂棒包括一對(duì)旋轉(zhuǎn)軸，其形成于斷裂棒的兩端； 及柱狀的斷裂部，其形成于所述旋轉(zhuǎn)軸之間；且在所述斷裂部的所述柱狀的外周面上，與所 述旋轉(zhuǎn)軸的中心軸平行地形成有復(fù)數(shù)個(gè)具有不同特性的刀尖。此處，所述斷裂部為多棱柱狀，所述斷裂部是分別將所述多棱柱狀的各脊線部設(shè) 為刀尖，也可使刀尖的規(guī)格因各條脊線而不同。此處，所述多邊形狀部的脊線的兩端分別具有缺口，將缺口之間作為刀尖，并且也可使刀尖的長(zhǎng)度因各條脊線而不同。此處，也可使所述斷裂部的長(zhǎng)度方向上的刀尖的中央部位于同一位置。此處，所述斷裂部的刀尖的前端也可分別具有槽。[發(fā)明的效果]根據(jù)具有所述特征的本發(fā)明，僅使斷裂棒沿旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)便可容易地變更斷裂棒的 刀尖的長(zhǎng)度。因此，可獲得能夠容易地選擇與應(yīng)斷裂的工件的刻劃線的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)的刀尖而 進(jìn)行斷裂的效果。


圖1(a) 圖1(c)是表示使用先前的晶片加工裝置將切晶環(huán)上的工件加以斷裂的 狀態(tài)的圖。圖2(a) 圖2(c)是表示使用長(zhǎng)條的斷裂棒將切晶環(huán)上的工件加以斷裂的狀態(tài)的 圖。圖3(a)、圖3(b)是表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖4(a)、圖4(b)是表示本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖5(a)、圖5(b)是表示本發(fā)明的第3實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖6(a)、圖6(b)是表示本發(fā)明的第4實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖7(a)、圖7(b)是表示本發(fā)明的第5實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖8(a)、圖8(b)是表示本發(fā)明的第6實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖9(a)、圖9(b)是表示本發(fā)明的第7實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的立體圖及側(cè)視圖。圖10(a) 圖10(c)是表示本發(fā)明的各實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的刀尖的變形例的部分 截面圖。圖11(a)、圖11(b)是表示使用本發(fā)明進(jìn)行斷裂時(shí)的工件的一例的圖。圖12(a) 圖12(c)是表示使用本發(fā)明的斷裂棒將工件切斷的狀態(tài)的圖。[符號(hào)的說(shuō)明]10、20、30、40、50、60、70斷裂棒lla、llb、21a、21b、31a、31b、41a、41b、71a、71b 旋轉(zhuǎn)軸13a、14a、15a、23a、24a、25a、26a、33a、34a、35a、36a、37a、42a、43a、44a、46a、47a、48a、73、74...76刀尖13b、13c、14b、14c、15b、15c、23b、23c、24b、24c、25b、25c、26b、26c、33b、33c、34b、34c、35b、35c、36b、36c、37b、37c、42b、42c、43b、43c、44b、44c、46b、46c、47b、47c、48b、48c缺口
具體實(shí)施例方式圖3(a)是表示本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的斷裂棒的一例的立體圖，圖3 (b)是所述 斷裂棒的側(cè)視圖。如這些圖所示，第1實(shí)施形態(tài)的斷裂棒10具有三棱柱狀的形狀，且在兩 端形成有圓形的旋轉(zhuǎn)軸lla、llb。而且，將中央的三棱柱狀的部分設(shè)為斷裂部12。此處，將 1條脊線的中央部設(shè)為刀尖13a，且如圖所示將脊線的兩端設(shè)為缺口 13b、13c。斷裂部12的 另一條脊線也相同地，中央部分成為刀尖14a、15a，在脊線的靠近旋轉(zhuǎn)軸的兩端設(shè)置有缺口14b、14c、15b、15c。刀尖13a、14a、15a相對(duì)于斷裂棒的長(zhǎng)度方向的中心點(diǎn)而左右對(duì)稱，且這 些刀尖的長(zhǎng)度互不相同，刀尖13a的長(zhǎng)度最短，刀尖15a的長(zhǎng)度最長(zhǎng)。圖4(a)是表示第2實(shí)施形態(tài)的斷裂棒20的立體圖，圖4(b)是該斷裂棒20的側(cè) 視圖。該實(shí)施形態(tài)的斷裂棒20的兩端具有旋轉(zhuǎn)軸21a、21b，該斷裂棒20的中央部成為四棱 柱狀的斷裂部22。斷裂部22的各條脊線的中央部分成為刀尖23a、24a、25a、26a，在各條脊 線的靠近旋轉(zhuǎn)軸的部分上設(shè)置有與第1實(shí)施形態(tài)相同的缺口 23b、23c、24b、24c、25b、25c及 26b、26c。此時(shí)，中央的脊線的刀尖23a 26a的長(zhǎng)度也各不相同，刀尖23a的長(zhǎng)度最短，刀 尖24a、25a、26a的長(zhǎng)度依序變長(zhǎng)。圖5(a)是表示第3實(shí)施形態(tài)的斷裂棒30的立體圖，圖5 (b)是該斷裂棒30的側(cè) 視圖。該實(shí)施形態(tài)的斷裂棒30的兩端也具有旋轉(zhuǎn)軸31a、31b，該斷裂棒30的中央部成為 五棱柱狀的斷裂部32。斷裂部32的各條脊線的中央部分成為刀尖33a、34a、35a、36a、37a， 在各條脊線的靠近旋轉(zhuǎn)軸的部分上設(shè)置有與第1實(shí)施形態(tài)相同的缺口 33b、33c、34b、34c、 35b、35c、36b、36c及37b、37c。此時(shí)，中央的脊線的刀尖33a 37a的長(zhǎng)度也各不相同，刀 尖33a的長(zhǎng)度最短，刀尖34a、35a、36a、37a的長(zhǎng)度依序變長(zhǎng)。圖6 (a)是表示第4實(shí)施形態(tài)的斷裂棒40的立體圖，圖6 (b)是該斷裂棒40的側(cè) 視圖。該實(shí)施形態(tài)的斷裂棒40的兩端也具有旋轉(zhuǎn)軸41a、41b，該斷裂棒40的中央部成為 六棱柱狀的斷裂部42。斷裂部42的各條脊線的中央部分成為刀尖43a、44a、45a、46a、47a、 48a，在各條脊線的靠近旋轉(zhuǎn)軸的部分上設(shè)置有與第1實(shí)施形態(tài)相同的缺口 43b、43c、44b、 44c、45b、45c、46b、46c、47b、47c及48b、48c。此時(shí)，中央的脊線的刀尖43a 48a的長(zhǎng)度也 各不相同，刀尖43a的長(zhǎng)度最短，刀尖44a、45a、46a、47a、48a的長(zhǎng)度依序變長(zhǎng)。圖7 (a)、圖8 (a)是分別表示第5、第6實(shí)施形態(tài)的斷裂棒50、60的立體圖，圖7 (b)、 圖8(b)是這些斷裂棒50、60的側(cè)視圖。在這些實(shí)施形態(tài)中，除了斷裂部為七棱柱、八棱柱 的方面以外，其他方面與所述實(shí)施形態(tài)相同而省略詳細(xì)的說(shuō)明。這些具有多邊形的斷裂部 的斷裂棒的脊線也同樣地成為刀尖，它們的脊線的長(zhǎng)度分別因各條脊線而不同，另外，多邊 形的邊數(shù)可任意地設(shè)定，此外，也并不限定于正多邊形。此外，并不限定于棱柱，如圖9所示，也可設(shè)為在圓柱狀構(gòu)件的表面使刀尖部分突 出的結(jié)構(gòu)。該斷裂棒70的兩端具有一對(duì)旋轉(zhuǎn)軸71a、71b，中央的圓柱部分成為斷裂部72。 而且，在中央的斷裂部72，共用長(zhǎng)度方向的中心并從中心對(duì)稱地在表面上形成有刀尖73、 74…76。這些刀尖的長(zhǎng)度不同，但這些刀尖均與旋轉(zhuǎn)軸71a、71b的軸平行地形成。另外，刀 尖的個(gè)數(shù)可任意地選擇。其次，進(jìn)一步說(shuō)明刀尖的形狀的變形例。在所述的各實(shí)施形態(tài)中，刀尖的形狀的截 面為三角形，但當(dāng)以上下刀尖對(duì)工件進(jìn)行斷裂時(shí)，也可以將任意一個(gè)刀尖設(shè)為截面是三角 形的刀尖，將另一個(gè)刀尖設(shè)為帶有槽的刀尖。圖10是將帶有槽的刀尖放大后從側(cè)面觀察的 部分截面圖。如果舉例說(shuō)明六棱柱狀的斷裂棒40，則該斷裂棒40的各個(gè)刀尖為如圖10(a) 所示沿脊線具有細(xì)槽的刀尖43a-l，而代替圖6的三角形的刀尖，例如刀尖43a。該槽形成 于刀尖的整個(gè)區(qū)域，槽的寬度是以窄于工件的刻劃間距的方式來(lái)選擇。其他刀尖也相同。此外，帶有槽的刀尖中，如圖10(b)中刀尖43a_2所示，也可與槽的底面平行地對(duì) 槽的端部進(jìn)行開槽。此外，如圖10(c)中刀尖43a-3所示，也可使槽的部分突出而設(shè)置槽。 其他刀尖也都相同。
此外，在所述實(shí)施形態(tài)中，使設(shè)置在多棱柱的各條脊線或圓柱的表面的刀尖的長(zhǎng) 度不同，但例如當(dāng)利用非正多邊形的各條脊線作為刀尖時(shí)，或當(dāng)在圖9所示的圓柱的表面 設(shè)置有刀尖時(shí)，也可使刀尖截面角度(收斂角度)因每個(gè)刀尖而變化，此外，當(dāng)為圖10所示 的帶有槽的刀尖時(shí)，也可使槽的寬度或深度因每個(gè)刀尖而變化。其次，對(duì)使用本發(fā)明的斷裂棒將圓形的工件加以斷裂時(shí)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。如圖 11(a)的平面圖、圖11(b)的中央縱截面圖所示，在切晶環(huán)101的底面上安裝有切片板102， 在切片板102的上表面貼附有圓形的工件110。在該圓形的工件110上預(yù)先形成有格子狀 且整體上大致為圓形的刻劃線。圖12(a)是該工件110的切斷步驟的正視圖，圖12(b)、圖 12(c)分別為A-A線、B-B線截面圖。此處，使用具有所述六棱柱狀的斷裂部42的斷裂棒40 來(lái)進(jìn)行斷裂，如圖12所示，在工件的上下配置一對(duì)斷裂棒。此處，線Ll L6表示斷裂時(shí)的 斷裂棒的刀尖的長(zhǎng)度。即，線Ll是使用最短的刀尖43a進(jìn)行斷裂時(shí)的刀尖所接觸的線。此 時(shí)，如圖12所示，上下使用相同的斷裂棒40，將任意一個(gè)斷裂棒40，例如僅將下方的斷裂棒 40向圖中的上方上推來(lái)進(jìn)行斷裂。如此一來(lái)，上方的斷裂棒40不與切晶環(huán)101的面接觸便 可進(jìn)行斷裂。而且，使工件僅移動(dòng)刻劃線的間距。繼而，當(dāng)將比該線Ll稍長(zhǎng)的線L2加以斷裂時(shí)，使上下的斷裂棒40旋轉(zhuǎn)60°，然 后使用較短的刀尖44a來(lái)進(jìn)行斷裂。以下相同，針對(duì)線L3、L4、L5、L6而分別使用45a、46a、 47a、48a來(lái)進(jìn)行斷裂。如此一來(lái)，僅使斷裂棒旋轉(zhuǎn)便可選擇所需長(zhǎng)度的刀尖，因此無(wú)需根據(jù) 刀尖的長(zhǎng)度來(lái)更換斷裂棒，從而可簡(jiǎn)化制造步驟，縮短制造時(shí)間。另外，在該實(shí)施形態(tài)中，表示了上下使用相同的斷裂棒來(lái)進(jìn)行斷裂的步驟，但也可 是僅任意一者使用圖3 圖8所示的斷裂棒，而另一者使用截面為圖10所示的具有帶槽的 刀尖的斷裂棒。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]本發(fā)明是用于對(duì)圓形構(gòu)件進(jìn)行切斷加工的步驟中，可按照刻劃線的長(zhǎng)度來(lái)提供且 可容易地變更斷裂棒的刀尖，對(duì)切斷加工有用。
權(quán)利要求
一種斷裂棒，其包括一對(duì)旋轉(zhuǎn)軸，其形成于斷裂棒的兩端；及柱狀的斷裂部，其形成于所述旋轉(zhuǎn)軸之間；且所述斷裂部在所述柱狀的外周面上，與所述旋轉(zhuǎn)軸的中心軸平行地形成有復(fù)數(shù)個(gè)具有不同特性的刀尖。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斷裂棒，其特征在于 所述斷裂部為多棱柱狀，且所述斷裂部是分別將所述多棱柱狀的各脊線部設(shè)為刀尖，且使刀尖的規(guī)格因各條脊線 而不同。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的斷裂棒，其特征在于所述多棱柱狀的脊線的兩端分別具有缺口，將缺口之間作為刀尖，且使刀尖的長(zhǎng)度因 各條脊線而不同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的斷裂棒，其特征在于使所述斷裂部的長(zhǎng)度方向上的刀尖的中央部位于同一位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的斷裂棒，其特征在于 所述斷裂部的刀尖的前端分別具有槽。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于可容易地根據(jù)工件的刻劃線的長(zhǎng)度而選擇斷裂棒的刀尖的長(zhǎng)度。在斷裂棒10的兩端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)軸11a、11b，在這些旋轉(zhuǎn)軸11a、11b之間設(shè)置有多棱柱狀的斷裂部12。在多棱柱狀的斷裂部的脊線部上分別設(shè)置有長(zhǎng)度不同的刀尖13a、14a、15a。如此一來(lái)，可通過(guò)使斷裂棒10沿旋轉(zhuǎn)軸11a、11b旋轉(zhuǎn)而容易地選擇刀尖的長(zhǎng)度。
文檔編號(hào)B28D5/00GK101905490SQ201010198260
公開日2010年12月8日 申請(qǐng)日期2010年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月5日
發(fā)明者池田健一郎 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司