專利名稱：將材料施加至襯底上的方法及系統(tǒng)的制作方法
將材料施加至襯底上的方法及系統(tǒng)
背景技術(shù)：
介紹無接觸沉積技術(shù)，諸如在制造太陽能電池、平板顯示器、薄膜晶體管(TFT)或印刷電路時的噴墨印刷或氣溶膠分布時，能夠在一襯底上沉積傳導(dǎo)線路等。需要的傳導(dǎo)線路的導(dǎo)電性可能必須與各種不同的其它要求或限制平衡。例如，雖較寬的傳導(dǎo)線路可較佳地傳導(dǎo)太陽能電池所造成的電能，但它們亦可能阻擋該進(jìn)程中所需求的太陽或其它的光。 然而，縮減傳導(dǎo)線路的寬度可能造成不佳的減低的導(dǎo)電性。而且，一種例如太陽能電池的制造，可能需要在一對應(yīng)數(shù)目的方向和/或一對應(yīng)數(shù)目的寬度來沉積許多的傳導(dǎo)線路。此外， 傳導(dǎo)線路典型必須被沉積在一襯底上的一特定位置，并依據(jù)一特定的分布可能在傳導(dǎo)線路之間有一預(yù)定的距離，或另一種適當(dāng)關(guān)系。目前適用于量產(chǎn)太陽能電池的系統(tǒng)和方法利用輸送帶處理在一沿單一軸線典型稱為“掃描軸線”或“掃描方向”的線性掃描中平移一襯底。此輸送帶處理典型會與多個噴嘴結(jié)合，它們被排列在一實質(zhì)上正交于該掃描軸線或方向，通常稱為“橫向掃描”軸線的印刷頭中。但是，在一現(xiàn)有技術(shù)的系統(tǒng)和方法中，當(dāng)一材料的沉積要依據(jù)特定的圖案或參數(shù)時， 噴嘴可能必須被特制地排列、安裝或控制。例如，在一襯底上印刷許多并行線路可能必須移除、消止、間插、或者保持某些噴嘴。要使系統(tǒng)和方法能夠依據(jù)一預(yù)定的參數(shù)組，諸如寬度、 方向和分布等，而在一襯底上達(dá)到一簡單、快速且具成本效益的傳導(dǎo)線路的沉積，乃是一種技術(shù)上的挑戰(zhàn)。


具體地指出有關(guān)本發(fā)明的主題并在本說明書的結(jié)論部分明確地提出請求。然而， 本發(fā)明的組織和操作方法，以及其目的、特征和優(yōu)點等，可配合附圖參閱以下的詳細(xì)說明而被最佳地理解，其中圖1示出依據(jù)本發(fā)明實施例的示例性金屬化圖案；圖2示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一相關(guān)印刷圖案的示圖；圖3示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一相關(guān)印刷圖案的示圖；圖4示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一相關(guān)印刷圖案的示圖；圖5示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一定位單元的示圖；圖6示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一定位單元的示圖；圖7示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一平移單元的示圖；圖8示出一依據(jù)本發(fā)明之實施例的印刷單元的一示例性排列，一平移單元及一襯底的示例性旋轉(zhuǎn)的示圖；及圖9示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的示例性圖案。應(yīng)該理解為了示圖的簡明和清楚起見，附圖中示出的組件并不一定被依比例繪制。例如，為了清楚，某些組件的尺寸可能會相對于其它組件被夸大。而且，若考慮適宜，標(biāo)號可能會在附圖中被重復(fù)以用來標(biāo)示對應(yīng)或類似的組件。
具體實施例方式在以下詳細(xì)說明中，許多特定的細(xì)節(jié)被陳述以便提供對本發(fā)明的徹底理解。但是， 本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)該理解無需特定細(xì)節(jié)本發(fā)明也可被實施。在其它實例中，公知的方法、程序、構(gòu)件、模塊、單元及/或電路等未被詳細(xì)描述，以避免模糊了本發(fā)明。本發(fā)明的實施例可被應(yīng)用于多種的印刷系統(tǒng)和方法。為了清楚和簡明起見，無接觸材料沉積系統(tǒng)的示例性實施例和參考說明將會被主要應(yīng)用于使用一噴墨系統(tǒng)的微電子、 平板顯示器和太陽能電池等傳導(dǎo)金屬線路的制造。但是，本發(fā)明的范圍并不被該示例性實施例所限制，而可被應(yīng)用于其它的沉積系統(tǒng)，諸如一氣溶膠噴射沉積系統(tǒng)或一分配器和其它的應(yīng)用，諸如制圖，壓印，大量媒體，封裝、電子和其它使用任何適當(dāng)墨汁或分配材料。本發(fā)明的實施例系指向印刷線路的方法，例如以無接觸沉積來印刷導(dǎo)電線路的方法。例如，該方法可包括由多個噴墨噴嘴將材料比如銀沉積在一襯底譬如一半導(dǎo)體晶片上來印刷導(dǎo)電性接觸線路等。該線路可被設(shè)計成具有一所需尺寸，例如寬度，其會滿足導(dǎo)電性要求。本發(fā)明的實施例亦指向依據(jù)預(yù)定參數(shù)譬如一襯底上之一或更多線路的方向、寬度或位置，及/或一有關(guān)間隔值或線路的其它關(guān)系之參數(shù)來沉積傳導(dǎo)線路等。該等實施例在例如于光生伏打電池的正面沉積金屬化圖案時將會是有利的。如此處所述的，依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，印刷頭或其它的印刷單元沿一垂直或正交于一掃描方向或軸線的方向或直線來設(shè)置。依據(jù)某些實施例，多個印刷頭或其它印刷單元可被沿一掃描軸線或方向來設(shè)置。如此設(shè)置的印刷頭還可被依據(jù)一所需和/或預(yù)定的間隔參數(shù)或數(shù)值來安裝、相隔或定置。例如，三個印刷頭可被沿一掃描方向來安裝，且近一步可被分開或間隔而使由該三個印刷頭所印成的三條對應(yīng)線路互相隔開或間隔一預(yù)定距離。這種安排可與輸送帶處理結(jié)合，如此處所述且在現(xiàn)有技術(shù)中已知的。例如，許多的平行線路可被以一對應(yīng)數(shù)目的沿一掃描軸線排列的印刷頭，及以一輸送帶沿該掃描軸線平移該襯底而來印刷或沉積在一襯底上的許多個位置。如此處所述的，本發(fā)明的實施例可以達(dá)平并行線路以各種不同的間隔值、參數(shù)或距離及依據(jù)其它參數(shù)而印刷。依據(jù)本發(fā)明的實施例，除了如此處所述的排列來制造平行線路之外，印刷頭也可相對于該掃描軸呈一角度來被安裝或設(shè)置，或它們可被斜傾、旋轉(zhuǎn)或設(shè)置成使一印刷線路的寬度依據(jù)一預(yù)定的參數(shù)。例如，在一單次掃描中，一較窄的第二線路可被以一 2厘米(cm)的距離平行于一較寬的第一線路來印成，及又一較寬的第三線路可被以一離該第二線路1. 5cm的距離而平行于該第一和第二線路來印成。如此處所述的，印刷頭或其它相關(guān)的印刷單元可被排列成能容許任何適當(dāng)?shù)膱D案。雖然本發(fā)明的實施例可應(yīng)用于多種印刷系統(tǒng)、方法和目的，但為了清楚簡明起見， 太陽能電池的正面金屬化將會被主要地描述于此。然而，應(yīng)請了解本發(fā)明的實施例并不限制于此處所述的示例，因此可被應(yīng)用于任何適當(dāng)?shù)南到y(tǒng)、方法或目的。太陽能電池的正面金屬化典型包含等間隔的細(xì)導(dǎo)電線路，通常稱為“手指”或“指線”等。指線路用于將光子產(chǎn)生的電流傳導(dǎo)至電端子，而可使一太陽能電池能提供電力。線路之間的間隔為一需要減少由該光生伏打組件的材料的電阻所生的損耗的要求，及要最小化陰影損耗的要求之間的折衷妥協(xié)。各指線之間的典型間隔為2mm，而該線寬可視制造技術(shù)
4而定，且可小于100 μ m。針對包含大面積的光生伏打組件，或當(dāng)數(shù)個太陽能電池被互接在一起來形成一太陽能模塊時，指線應(yīng)具有充分的導(dǎo)電性以便有效地將該光子產(chǎn)生的電流傳導(dǎo)至電端子。為克服此問題的通常方法是使用若干例如二條或三條正交于該指線的較寬線路，稱為“匯流條”或“條帶”者，以由等指線收集該光子產(chǎn)生的電流，及連接至其它太陽能電池或端子。匯流條的寬度典型為1. 5至3毫米(mm)?，F(xiàn)請參閱圖1，其示出依據(jù)本發(fā)明實施例的示例性金屬化圖案。如圖1所示，許多平行的細(xì)指線103可被以一特定間隔如104所示來沉積。另一組平行線路101則可較寬，例如所述的匯流線，可依據(jù)一第二間隔參數(shù)如102所示來印成。因此且如圖1所示，本發(fā)明的實施例可構(gòu)成能依據(jù)至少一對應(yīng)多個間隔參數(shù)和對應(yīng)多個寬度參數(shù)來沉積多個平行線路。在圖1中所示的圖案可為一典型的圖案的示例，其可使用例如量產(chǎn)的太陽能電池。為了清楚，該圖案將會被進(jìn)一步引述于此，然而，應(yīng)請理解此示例圖案被引用于此作為一示例，且各種不同的其它圖案、寬度、間隔或其它參數(shù)等也可配合本發(fā)明的實施例來使用。如前此處所述的，諸如一指線路103和匯流線或匯流條101的圖案可由一個或更多個噴嘴分布金屬化材料來敷設(shè)，噴嘴可被安裝在一印刷單元中，而該襯底會在底下沿一掃描方向來被掃描。因此，一沿一掃描軸定向的噴嘴陣列可適用于形成如圖1所示圖案的光生伏打太陽能電池的傳導(dǎo)線路。依據(jù)本發(fā)明的實施例且如此處所述，多條線路例如金屬化線路等可由一對應(yīng)多個印刷單元來印成或沉積。依據(jù)本發(fā)明的實施例，各金屬化線路可由單一沿該掃描軸定向的噴嘴數(shù)組來沉積。該噴嘴數(shù)組可被套裝或并設(shè)于單一印刷單元上，例如一如現(xiàn)有技術(shù)中的印刷頭。一印刷單元可包含任何適當(dāng)數(shù)目的噴嘴，例如數(shù)百個噴嘴。一依據(jù)本發(fā)明實施例所敷設(shè)的圖案，如前所述可只需要一較少量的金屬化材料，且能例如被以一具有大量減少噴墨陣列數(shù)目的噴墨印刷機來敷設(shè)。在某些實施例中，一線路可被以一排列成一實質(zhì)上沿一襯底的掃描軸來定向的線性陣列的沉積陣列數(shù)組來印成?，F(xiàn)請參閱圖2，其示出依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元示例排列及一相關(guān)的印刷圖案的示例。如圖2中所示，一印刷系統(tǒng)200可包含印刷單元201、202、203、204和205。其各含有分布噴嘴，諸如噴嘴210、211、212和213等套裝在印刷單元201上，及噴嘴215,216和 217等安裝在印刷單元205上。如所示，印刷單元可被沿著掃描方向(如坐標(biāo)系統(tǒng)270所示)排列，而使單一印刷單元的一部分的噴嘴能在一襯底260上印出一對應(yīng)的線路。如箭頭220所示，印刷單元可依據(jù)一預(yù)定的間隔參數(shù)來移位、平移或者定位或復(fù)位等。例如，為能制成5條相隔一特定距離的平行線路，印刷單元201 205可被依據(jù)該預(yù)定的間隔參數(shù)來定位，如圖2所示。例如，線路230可被印刷單元201印成；線路231可被印刷單元202印成依此類推。又由此處所述，其它的印刷排列方式亦同樣可用而不超出本發(fā)明的范圍。如圖2所示，在某些實施例中，線路諸如指線及/或匯流線等可被以一固定間隔及/或?qū)挾葋沓练e或印成。但是，本發(fā)明的實施例并不限于該方面。依據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，一印刷頭典型被制成具有一預(yù)定的噴嘴間隔，以便能例如由沿一橫向掃描軸定位該印刷頭而完成平行線路的印刷。但是，當(dāng)需要一不同的參數(shù)，例如一不同的平行線路的間隔時，該印刷頭可能不能再被使用，且因此，可能會以另一印刷頭更換。如前所述，依據(jù)本發(fā)明的實施例，不必更換印刷頭或單元，它們可僅被簡單地復(fù)位而容許適配許多的圖案。
現(xiàn)請參閱圖3，其示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元一示例性排列及一相關(guān)印刷圖案的圖例。如圖3所示，印刷單元或印刷頭可被移動、移位或者定位而形成任何印刷線路的間隔。在某些情況下，一些印刷頭或單元可被禁用，以便例如達(dá)到較大的印刷線路的間隔或距離。如圖3中所示，印刷單元201、202、203、204、205可被重排列，而達(dá)成一不同于圖 2所示的圖案。例如，印刷單元202可被移除，印刷單元203可被朝左移向印刷單元204，且印刷單元204可被朝右移向印刷單元203。因此，形成于襯底360上的各線路311、312、313、 314之間的間隔或距離乃可不同于圖2中所示的線路230 234。如此處所述，一印刷線路之間的距離可由適當(dāng)?shù)囟ㄎ挥∷卧蛴∷㈩^等來決定和/或達(dá)成，例如圖2和/或圖3所示。在某些實施例中，一印刷線路的所需寬度可由相對于一掃描方向呈一角度斜傾、斜向地定位、旋轉(zhuǎn)或定位一印刷單元而達(dá)成。現(xiàn)請參閱圖4，其示出依據(jù)本發(fā)明之實施例的印刷單元示例性排列及一相關(guān)印刷圖案的圖例。如圖4中所示，印刷單元410和411可相對于一掃描方向如箭頭440所示以一角度來旋轉(zhuǎn)、斜傾、轉(zhuǎn)動或者定位，例如角度θ 450所示。因此且如所示，可形成印刷線路 412和413的一對應(yīng)寬度。依據(jù)本發(fā)明的實施例，如圖4所示地將印刷單元定位于一角度可依據(jù)許多的考慮因素、限制及/或參數(shù)。例如，一印刷頭的斜傾或角度系可依據(jù)該印刷線路的一所需寬度。另一考慮則可為所沉積材料的重疊程度。例如，當(dāng)印刷頭411與該掃描方向之間的θ角度是90°時，則可能造成一完全重疊。即，示于印刷頭411上的噴嘴420和 430可完全地重疊。因此，噴嘴430能將材料沉積在實質(zhì)上由噴嘴420所沉積的材料相同的位置上。然而如所示，將該角度θ減少至小于90°的任何值可造成一材料沉積的重疊， 即，只有一些被一第一噴嘴所沉積的材料能被沉積在配裝于同一印刷頭或單元上的另一噴嘴所沉積的材料頂上。因此，本發(fā)明的實施例可由調(diào)整、構(gòu)設(shè)、或控制一印刷單元的定向而控制一重疊標(biāo)度。例如，當(dāng)前述的指線典型為窄線時，匯流條則典型較寬。因此，許多的印刷單元可以一角度定位如此處所述，而沉積一對應(yīng)數(shù)目的匯流線，或許多的印刷單元可被以一角度定位如此處所述，而沉積一單一的匯流條或其它可能的較寬線路。一線路的一特定寬度可由一印刷單元的一特定斜傾來達(dá)成。例如，若噴嘴420和430之間的距離為D，為了使印刷單元411能沉積一寬度W的線路，則一斜傾角度θ可被選擇為1 = 0((08(0))。當(dāng)計算一印刷頭相對于一掃描方向的角度(例如Θ)時，任何適當(dāng)?shù)膮?shù)皆可被納入考慮。例如，該印刷單元的長度，配裝在印刷單元上的噴嘴的數(shù)目，一印刷單元上的噴嘴之間的間隔或距離，沉積的重疊標(biāo)度，及一印刷線路的所需寬度等，皆可在如圖4所示及如前所述的斜傾一印刷單元時被考慮。該等噴嘴的數(shù)目，及其相對間隔，一線路的所需寬度，和所需的重疊標(biāo)度等皆可由適當(dāng)?shù)挠嬎愣_(dá)成。如一示例中，針對直徑50 μ m的小點尺寸及50%的重疊，則可能需要40個噴墨組件用以涵蓋Imm的橫向掃描區(qū)段。此等計算可被執(zhí)行而決定一旋轉(zhuǎn)或斜傾的角度(例如圖4中的θ )，可能也會將各種不同的如前所述的相關(guān)參數(shù)納入考慮。沿一掃描軸平行于一掃描軸或方向如前所述地來定位印刷單元或印刷頭在許多方法中是有利的。例如，在陣列中的噴嘴平行于指線路的定向會具有可由屬于相同陣列或印刷單元的多個噴嘴來沉積材料的優(yōu)點。因此，一在該現(xiàn)有技術(shù)中的問題，即當(dāng)沉積是由屬于不同的印刷頭來進(jìn)行時，因機械性失準(zhǔn)所造成的登記失誤可被克服或避免。對應(yīng)地，該方法會提供一種該印刷機能避免不同的印刷頭間須精確調(diào)準(zhǔn)的充分簡化的校準(zhǔn)程序的優(yōu)點。例如，將印刷頭如圖2、3和4所示地固定于一位置，可保證線路的精準(zhǔn)印刷，分別如圖2、3、 4中所示。本發(fā)明的實施例，例如參照圖2、3、4所述，可以以不同的方式來利用。例如，一材料沉積系統(tǒng)可達(dá)成圖案的高精度印刷或沉積。如現(xiàn)有技術(shù)中已知，輸送帶式的系統(tǒng)的精確度或分辨率相對于該掃描方向是不對稱的。在該掃描方向中，其分辨率主要是由該掃描速度和分辨率或精確度，及其噴射頻率來決定。而在橫向掃描方向的分辨率主要是由投射于該橫向掃描方向的每單位長度的噴嘴數(shù)目來決定。因此，在該掃描方向的分辨率、精準(zhǔn)度或精確度會固有地比在該橫向掃描方向者更高。本發(fā)明的實施例能夠由沿該掃描方向沉積任何走向或方向的線路而得放松或減少某些限制，譬如針對該橫向掃描方向的精確度或分辨率。依據(jù)本發(fā)明的實施例，一襯底可被旋轉(zhuǎn)或定位成使得當(dāng)以該掃描方向掃描該襯底時，沿任何方向或以任何走向的任何線路皆能印成。因此，在一依據(jù)本發(fā)明實施例的系統(tǒng)中，高分辨率可只在一軸向被要求，而在其它的例如正交軸向則能放松。通過使一襯底旋轉(zhuǎn)，任何含有沿任何方向或在任何定向線路的圖案，可達(dá)到高分辨率或精確的印刷。依據(jù)本發(fā)明的實施例，一種以直接穿入材料沉積印刷機來為光生伏打太陽能電池敷設(shè)金屬化線路的方法包含如下步驟通過沿一平行于第一組線路的軸線掃描一襯底而形成一第一組的金屬化線路(例如指線等)，由一排沿該掃描軸線路定向的噴嘴來沉積各線路，以例如90°來旋轉(zhuǎn)該襯底，及然后由沿一平行于第二組線路的軸線掃描該襯底來形成一第二組的金屬化線路(例如匯流線或匯流條)。應(yīng)請了解任何數(shù)目的該等線路組皆可由該方法及/或如前所述地被印刷或沉積而不超出本發(fā)明的范圍。現(xiàn)請參閱第5圖，其示出依本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一定位單元的圖例。如圖5所示，一系統(tǒng)500可包含一第一組的印刷單元510，其可被如圖2所述地排列。系統(tǒng)500可包含一第二組的印刷單元560，其可被如圖4所述地排列。系統(tǒng)500可包含一定位單元或總成，其含有一平移臺520和一旋轉(zhuǎn)單元530。旋轉(zhuǎn)單元530可設(shè)有一傳感器，譬如一光學(xué)編碼器，能以一高精確度追蹤其運動并提供反饋至一由該控制單元操作的封閉回路。旋轉(zhuǎn)單元530能夠以任何適當(dāng)角度和高精確度及分辨率來旋轉(zhuǎn)。例如，優(yōu)于 2微弧度(0. 4弧秒)的分辨率及優(yōu)于20微弧度G弧秒)的可重復(fù)性。如所示，線路550可印刷在襯底540上，襯底540可為一硅晶片或一太陽能電池。 依據(jù)本發(fā)明的實施例，平移臺520可沿該掃描軸線(或X軸線)如坐標(biāo)系統(tǒng)570所示地平移襯底討0。因此，每一線路550皆可被印刷單元510的一對應(yīng)的印刷單元印出?？蔀槿绱颂幩龅闹妇€路的線路550的沉積可包括沿著或依據(jù)如坐標(biāo)系統(tǒng)570所示的掃描方向來定位印刷單元510。印刷單元510更可被依據(jù)該等指線550的所需間隔來相隔，例如印刷單元 510可被設(shè)成互相分開2mm。一特別或特定的指線可被以一單獨的印刷單元來印成。因此， 印刷多條線路乃可由一對應(yīng)多個印刷單元或印刷頭來達(dá)成。在本發(fā)明的某些實施例中，當(dāng)材料被印刷單元510沉積之后，旋轉(zhuǎn)單元530可例如以90°來旋轉(zhuǎn)襯底M0。現(xiàn)請參閱圖6，其示出依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一定位單元的示圖。如此處所述，在印成指線路550之后，襯底540可被旋轉(zhuǎn)例如90°。依據(jù)本發(fā)明的實施例，在該旋轉(zhuǎn)之后，襯底540可被印刷單元560平移。如圖6所示，一組正交于線路 550的線路580可被印刷單元560印成。如所示，其結(jié)果可為一包括指線和匯流線的圖案皆全部在該掃描方向被印成。如所示，線路580可以比線路550更寬。因此，印刷每一線路 580可能須要一個以上的噴嘴。如所示，印刷單元可被相對于所示的掃描方向呈一角度來裝設(shè)、套裝、安裝、排列或定位。因此，多個噴嘴可被使用，以便能印成任一如前例如參照圖 4所述的線路580。雖于前所述的實施例包括沿一掃描方向平移一襯底及/或旋轉(zhuǎn)一襯底， 及其它的可能性和/或?qū)嵤├泊嬖?。例如，在某些實施例中，不同于或附加于平移?或旋轉(zhuǎn)。例如，一第一組的印刷單元可沿一第一方向平移來掃描一襯底以沉積一第一組線路， 例如該等指線，且一第二組的印刷單元，可能被不同地定位，可被沿一第二方向平移來掃描一襯底以沉積一第二組線路，例如該等匯流線。雖然所述之舉例的系統(tǒng)和方法包含一旋轉(zhuǎn)襯底的組件，但其它的可能性亦可被本發(fā)明的實施例達(dá)成。依據(jù)本發(fā)明的實施例，一印刷系統(tǒng)可包含一平移系統(tǒng)其能沿二正交或不同的軸線路來掃描一襯底。現(xiàn)請參閱圖7，其示出依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元的一示例性排列及一平移單元的示圖。如圖7所示，一系統(tǒng)700可包含印刷單元陣列710和740，及一平移單元或系統(tǒng)其可包含平移臺或單元760和770。如所示，襯底740可被由平移臺760和770由一第一位置平移至一第二位置。平移臺或單元760和770可被組合或操作性地連接，而使一襯底 720能被以第一和第二方向平移。例如且如所示，平移單元760可沿坐標(biāo)系統(tǒng)780所示的Y 方向來平移襯底720，而平移單元770可沿坐標(biāo)系統(tǒng)780所示的X方向來平移襯底720。如前所述，例如參照圖5，一第一組線路730，例如指線，可被以印刷單元數(shù)組710印刷或沉積， 而襯底720會在陣列710底下或附近被平移。襯底720可被平移單元760帶到一位置，在該處其可被拾取或移轉(zhuǎn)至平均單元770，平移單元770可在陣列740底下或附近平移該襯底 720，在該處有一可能正交于第一組線路720的第二組線路750(例如匯流線)將可被沉積。 應(yīng)該理解任何數(shù)目的平移單元諸如單元760和770可被組合而以任何適當(dāng)、可用或所需的方向平移一襯底，且因此，在任何方向的線路皆可沿一掃描方向來印成。雖如前所述示例主要為有關(guān)正交的掃描方向或旋轉(zhuǎn)，但其它的可能性也可由本發(fā)明的實施例來達(dá)成。例如，20°或120°的旋轉(zhuǎn)也是可能的。除了陰影損耗之外，一金屬化圖案也可依據(jù)各種不同的參數(shù)來最佳化，諸如該半導(dǎo)體的阻抗損耗，電荷載體平均自由路， 金屬化線路的總長度等等。因此一般較佳的圖案可具有任何由不同于上述的正交線路的金屬化線路所構(gòu)成的圖形?，F(xiàn)請參閱圖8，其示出一依據(jù)本發(fā)明實施例的印刷單元一示例性排列，一平移單元及一襯底的一示例性旋轉(zhuǎn)的示圖。如圖8中所示，一系統(tǒng)800可包含多個印刷單元510、平移臺520及一旋轉(zhuǎn)單元530，如此處參照圖5所述。線路550等可沉積在襯底540上，如此處參照圖5所述。如標(biāo)號810所示，襯底540可以以一不同于90°的角度旋轉(zhuǎn)。例如且如所示，襯底540可以120°的角度旋轉(zhuǎn)。請還參閱圖9，其示出一圖案其可由在一第一掃描之后以120°旋轉(zhuǎn)一襯底，并在一第二掃描之后再度旋轉(zhuǎn)120°而達(dá)成。依據(jù)本發(fā)明的實施例，在一襯底已如所示地旋轉(zhuǎn)之后，其可被平移至一第二組的印刷單元，在該處一第二組的線路可被沉積?？梢蕴娲鼗蚋郊拥?，一襯底可被前后平移，例如沿一第一方向而再沿反方向。例如，在襯底MO已被如810所示地旋轉(zhuǎn)之后，襯底540可再朝向印刷單元510被移回， 在該處一第二組的線路可被印成。因此，一襯底可在相同數(shù)組的印刷單元、印刷頭或噴嘴底下被掃描多次，且在該各多次掃描時更可被相對于該掃描軸以一不同的角度來定向置設(shè)。
本發(fā)明的實施例可包含一對象，譬如一計算機或處理器可讀的媒體，或一計算機或處理器儲存媒體，譬如一內(nèi)存，一硬盤驅(qū)動器，或一 USB閃存，編碼，包含或儲存指令，例如計算機可執(zhí)行的指令等，其在被一處理器或控制器執(zhí)行時，將會實現(xiàn)所公開的方法。除非明確地表明，所述的方法實施例并不限制于一特定的次序或順序。此外，某些所述的方法實施例或其元素等能在相同的時點或重疊的時點來發(fā)生或被進(jìn)行。如現(xiàn)有技術(shù)中已知的，一可執(zhí)行碼片段諸如一功能、任務(wù)、次任務(wù)或程序的執(zhí)行，可被視為該功能、程序或其它成分的執(zhí)行。雖本發(fā)明的實施例并不受限于此，論述所用的詞語例如“處理”、“運算”、“計算”、 “決定”、“建立”、“分析”、“檢查”等，乃可視為一計算機、一運算平臺、一運算系統(tǒng)、或其它子運算裝置的操作和/或處理，其會操控和/或轉(zhuǎn)換代表在該計算機寄存器內(nèi)的物理(例如電子)量之?dāng)?shù)據(jù)，和/或記入同樣代表在該計算機之寄存器和/或內(nèi)存或其它可儲存指令來進(jìn)行操作和/或處理的信息儲存媒體內(nèi)之物理量的其它數(shù)據(jù)。雖然本發(fā)明的實施例并不受限于此，所使用的“多個”和“多條”等詞語可包括例如 “復(fù)數(shù)的”或“二或更多的”。該“多個”或“多條”等詞語可遍用于本說明書中來描述二個或更多個構(gòu)件、裝置、組件、單元、參數(shù)等等。雖本發(fā)明的某些特征已被圖標(biāo)并描述于上，但許多修正、替代、變化和等同物也可發(fā)生于現(xiàn)有該技術(shù)。因此，應(yīng)請了解所附申請專利范圍系欲予涵蓋所有落諸于本發(fā)明之實質(zhì)精神內(nèi)的該等修正和變化。
權(quán)利要求
1.一種印刷方法，所述方法包含依據(jù)多個間隔值并依據(jù)一預(yù)定的掃描方向來定位多個印刷單元；及當(dāng)依據(jù)所述的預(yù)定掃描方向來引入一襯底與所述印刷單元間的一相對平移時，由所述多個印刷單元沉積材料于所述襯底上以形成多條平行線路于所述襯底上，而使所述多條平行線路依據(jù)所述多個間隔值互相隔開。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述多個印刷單元包含對應(yīng)的多個沿一第一方向排列的噴嘴的陣列，且其中定位所述多個印刷單元使得所述第一方向沿著所述掃描方向。
3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中每一所述的陣列形成所述多條平行線路之一。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中在至少一條所述的線路中，所述材料的細(xì)滴部分地重疊。
5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述材料是導(dǎo)電的，且所述襯底為一半導(dǎo)體晶片。
6.一種印刷方法，所述方法包含相對于一掃描方向以一預(yù)定角度來定位至少一個印刷單元，其中所述印刷單元包含沿第一方向排列的噴嘴的陣列，且其中所述角度依據(jù)至少一個線路寬度參數(shù)來決定；及當(dāng)沿所述掃描方向引入一襯底與所述印刷單元間的一相對平移時，由所述印刷單元沉積材料于所述襯底上，以依據(jù)所述寬度在所述襯底上形成一線路。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其中在至少一條線路中，所述材料的細(xì)滴部分地重疊。
8.如權(quán)利要求6所述的方法，其中所述材料是導(dǎo)電的，且所述襯底為一半導(dǎo)體晶片。
9.一種用于印刷的系統(tǒng)，包含用于依據(jù)多個間隔值并依據(jù)一預(yù)定的掃描方向來定位多個印刷單元的裝置；及用于依據(jù)所述預(yù)定掃描方向在一襯底與所述印刷單元之間引入一相對平移并用于沉積的裝置，當(dāng)引入所述相對平移時，由所述多個印刷單元于所述襯底上沉積材料以在所述襯底上形成多條平行線路，而使所述多條平行線路依據(jù)所述的多個間隔值來互相隔開。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述多個印刷單元包含對應(yīng)的多個沿一第一方向排列的噴嘴的陣列，且其中定位所述多個印刷單元使得所述第一方向沿著所述掃描方向。
11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中每一所述的陣列形成所述多條平行線路之一。
12.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中在至少一條所述的線路中，所述材料的細(xì)滴部分地重疊。
13.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其中所述材料是導(dǎo)電的，且所述襯底為一半導(dǎo)體晶片。
14.一種用于印刷的系統(tǒng)，包含用于相對于一掃描方向以一預(yù)定角度來定位至少一個印刷單元的裝置，其中所述印刷單元包含一沿第一方向排列的噴嘴的陣列，且其中所述角度是依據(jù)至少一個線路寬度參數(shù)來決定；及用于依據(jù)所述掃描方向在一襯底與所述印刷單元之間引入一相對平移并用以沉積的裝置，當(dāng)引入所述相對平移時，由所述印刷單元于所述襯底上沉積材料以依據(jù)所述寬度在所述襯底上形成一線路。
15.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中在至少一條線路中，所述材料的細(xì)滴部分地重疊。
16.如權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中所述材料是導(dǎo)電的，且所述襯底為一半導(dǎo)體晶片。
全文摘要
本發(fā)明的實施例涉及一種印刷線路的方法。一方法可包括依據(jù)一預(yù)定的間隔參數(shù)來定位多個印刷單元。一方法可包括依據(jù)一預(yù)定的間隔參數(shù)而以多個印刷單元沉積材料于一襯底上來形成對應(yīng)多個并行線路。一印刷單元可相對于一預(yù)定掃描方向呈一角度來定位，從而實現(xiàn)印刷線路的預(yù)定寬度。一襯底可在掃描之間旋轉(zhuǎn)，而使沿對應(yīng)多個方向的多條線路能沿一掃描方向印刷。
文檔編號C03C15/00GK102227387SQ200980147948
公開日2011年10月26日 申請日期2009年11月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月30日
發(fā)明者哈南·國泰特, 埃米爾·亞達(dá), 潤·阿瑟·皮萊格, 邁克爾·達(dá)弗拉 申請人:迅捷有限公司