專利名稱：一種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具，特別是用于單晶硅棒料切斷的組合夾具，屬半導(dǎo)體材
料加工技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體材料單晶硅的生產(chǎn)過(guò)程中，需要將單晶硅棒料按所需尺寸切斷，通用方 法是在帶鋸切割機(jī)上對(duì)單晶硅棒料進(jìn)行切割。目前在切割時(shí)，單晶硅棒料的夾卡方式采用 正反絲杠夾具，這種夾具操作繁瑣、耗時(shí)費(fèi)力，而且因單晶硅材質(zhì)較脆，且被切割的單晶硅 棒料直徑不均勻，對(duì)被切斷一側(cè)的單晶硅棒料缺乏合適的定位方式，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)切斷后的 單晶硅端面出現(xiàn)掰斷裂痕，或者切斷面相對(duì)單晶硅棒料軸線垂直度誤差過(guò)大的問(wèn)題，上述 問(wèn)題均會(huì)造成單晶硅質(zhì)量不合格，降低產(chǎn)品的使用率。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型用于解決上述已有技術(shù)之缺陷而提供一種夾卡方便、固定準(zhǔn)確可靠的 用于切斷單晶硅棒料的組合夾具。 本實(shí)用新型所稱問(wèn)題是通過(guò)以下技術(shù)方案解決的 —種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，設(shè)置在帶鋸切割機(jī)工作臺(tái)上，其特別之處 是它由分別位于帶鋸兩側(cè)的夾卡裝置和扶正裝置組成，所述夾卡裝置由導(dǎo)軌、滑塊和三組 并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成，其中導(dǎo)軌與工作臺(tái)托板固定，滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，夾緊機(jī)構(gòu)位于滑 塊上，所述扶正裝置由兩組并列的扶正機(jī)構(gòu)組成。 上述用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，所述扶正機(jī)構(gòu)包括豎直扶正汽缸、水平扶
正汽缸和水平支架，豎直扶正汽缸位于汽缸架上，兩水平扶正汽缸對(duì)稱設(shè)置在帶鋸切割機(jī)
的工作臺(tái)上，水平扶正汽缸活塞桿固接水平支架，水平支架內(nèi)設(shè)有支承輥。 上述用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括槽板、尼龍支承棒、汽缸
架和夾緊汽缸，槽板固定在滑塊上，夾緊汽缸豎直設(shè)置在汽缸架上，汽缸架與槽板固定，兩
尼龍支承棒位于槽板的凹槽內(nèi)、相對(duì)夾緊汽缸對(duì)稱配制。 本實(shí)用新型針單晶硅棒料切斷過(guò)程不易夾卡定位而影響切割質(zhì)量問(wèn)題設(shè)計(jì)了一 種組合夾具，該組合夾具在帶鋸兩側(cè)對(duì)單晶硅棒料分別夾緊、扶正，解決了原夾具因固定方 式不妥而造成的切割端面掰斷裂痕及垂直度誤差問(wèn)題。本實(shí)用新型摒棄傳統(tǒng)絲杠夾緊方 式，以?shī)A緊汽缸為主要夾緊件，實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)定位夾緊，其夾緊和松開(kāi)操作簡(jiǎn)便快捷，并具有夾 緊力均衡可靠的特點(diǎn)。采用本實(shí)用新型在有效降低單晶硅棒料切割不合格率、提高單晶硅 使用率的同時(shí)，還可提高生產(chǎn)效率，降低人工操作強(qiáng)度。

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1的A向視3[0011] 圖3是圖1的B向視圖； 圖4是圖1的C向視圖。 附圖中標(biāo)號(hào)如下l.帶鋸切割機(jī)，2.單晶硅棒料，3.豎直扶正汽缸，4.夾緊汽缸，
5. 汽缸架，6.槽板；7.滑塊，8.導(dǎo)軌，9.水平扶正汽缸，IO.水平支架，ll.支承輥，12.工作 臺(tái)托板，13.尼龍支承棒，14.帶鋸。
具體實(shí)施方式參看圖1、圖2，本實(shí)用新型設(shè)置在帶鋸切割機(jī)工作臺(tái)上，它由夾卡裝置和扶正裝 置組成，夾卡裝置和扶正裝置分別位于帶鋸兩側(cè)，定位夾緊被加工的單晶硅棒料2。位于帶 鋸右側(cè)的夾卡裝置由三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)定位夾緊單晶硅棒料右側(cè)；位于帶鋸左側(cè)的扶正 裝置由兩組并列的扶正機(jī)構(gòu)定位夾緊單晶硅棒料左側(cè)。 參看圖3，所述扶正機(jī)構(gòu)包括豎直扶正汽缸3、水平扶正汽缸9和水平支架10，豎直 扶正汽缸位于汽缸架上，兩水平扶正汽缸對(duì)稱設(shè)置在帶鋸切割機(jī)的工作臺(tái)面上，水平扶正 汽缸活塞桿固接水平支架，水平支架內(nèi)設(shè)有支承輥11。該機(jī)構(gòu)由三個(gè)汽缸對(duì)單晶硅棒料在 三個(gè)方向均壓夾持，即使單晶硅棒料外圓有誤差，也不會(huì)對(duì)夾持定位產(chǎn)生影響。在兩組扶正 機(jī)構(gòu)的夾持下，避免了單晶硅棒料切斷后端面出現(xiàn)掰斷裂痕，并減少了切斷面相對(duì)單晶硅 棒料軸線垂直度誤差。 參看圖1、圖2、圖4，所述夾卡裝置由導(dǎo)軌8、滑塊7和三組夾緊機(jī)構(gòu)組成，其中導(dǎo) 軌與工作臺(tái)托板12固定，滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，夾緊機(jī)構(gòu)位于滑塊上。夾緊機(jī)構(gòu)包括槽板
6、 尼龍支承棒13、汽缸架5和夾緊汽缸4，槽板固定在滑塊上，夾緊汽缸豎直設(shè)置在汽缸架 上，汽缸架與槽板固定，兩尼龍支承棒位于槽板的凹槽內(nèi)、相對(duì)夾緊汽缸對(duì)稱配制，夾緊汽 缸和尼龍支承棒對(duì)汽缸形成三點(diǎn)環(huán)繞固定夾緊。夾緊裝置可通過(guò)調(diào)整滑塊相對(duì)導(dǎo)軌的位置 改變夾緊機(jī)構(gòu)的工作位置，以滿足夾緊不同長(zhǎng)度單晶硅棒料的要求。如圖所示，本實(shí)施例滑 塊設(shè)置了兩塊，其中靠近帶鋸14的滑塊上設(shè)置兩組夾緊機(jī)構(gòu)，遠(yuǎn)離帶鋸的滑塊上設(shè)置一組 夾緊機(jī)構(gòu)。 本實(shí)用新型使用時(shí)配合帶鋸切割機(jī)對(duì)單晶硅棒料實(shí)施切斷加工，根據(jù)加工要求， 調(diào)整扶正機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)的工作位置，將單晶硅棒料定位夾緊，隨單晶硅棒料分段切斷，夾 緊裝置可隨工作臺(tái)托板水平移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)帶鋸切割機(jī)輸料。
權(quán)利要求一種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，它設(shè)置在帶鋸切割機(jī)工作臺(tái)上，其特征在于它由分別位于帶鋸兩側(cè)的夾卡裝置和扶正裝置組成，所述夾卡裝置由導(dǎo)軌(8)、滑塊(7)和三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成，其中導(dǎo)軌與工作臺(tái)托板(12)固定，滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，夾緊機(jī)構(gòu)位于滑塊上，所述扶正裝置由兩組并列的扶正機(jī)構(gòu)組成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，其特征在于所述扶正機(jī)構(gòu)包括豎直扶正汽缸(3)、水平扶正汽缸(9)和水平支架(IO)，豎直扶正汽缸位于汽缸架 上，兩水平扶正汽缸對(duì)稱設(shè)置在帶鋸切割機(jī)的工作臺(tái)上，水平扶正汽缸活塞桿固接水平支 架，水平支架內(nèi)設(shè)有支承輥(11)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，其特征在于所述夾緊機(jī)構(gòu)包括槽板(6)、尼龍支承棒(13)、汽缸架(5)和夾緊汽缸(4)，槽板固定在滑塊上，夾 緊汽缸豎直設(shè)置在汽缸架上，汽缸架與槽板固定，兩尼龍支承棒位于槽板的凹槽內(nèi)、相對(duì)夾 緊汽缸對(duì)稱配制。
專利摘要一種用于切斷單晶硅棒料的組合夾具，用于提高單晶硅棒料切割質(zhì)量。其技術(shù)方案是所述組合夾具設(shè)置在帶鋸切割機(jī)工作臺(tái)上，它由分別位于帶鋸兩側(cè)的夾卡裝置和扶正裝置組成，夾卡裝置由導(dǎo)軌、滑塊和三組并列的夾緊機(jī)構(gòu)組成，導(dǎo)軌與工作臺(tái)托板固定，滑塊與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接，夾緊機(jī)構(gòu)位于滑塊上，扶正裝置由兩組并列的扶正機(jī)構(gòu)組成。本實(shí)用新型在帶鋸兩側(cè)對(duì)單晶硅棒料分別夾緊、扶正，解決了切割端面掰斷裂痕及垂直度誤差問(wèn)題，它以?shī)A緊汽缸為夾緊件，實(shí)現(xiàn)三點(diǎn)定位夾緊，具有夾緊力均衡可靠、操作簡(jiǎn)便快捷的特點(diǎn)。采用本實(shí)用新型可有效降低單晶硅棒料切割不合格率、提高單晶硅使用率。
文檔編號(hào)B28D7/04GK201456258SQ20092010329
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月16日
發(fā)明者張學(xué)強(qiáng), 李旭超, 趙士鋒 申請(qǐng)人:寧晉賽美港龍電子材料有限公司