專利名稱：多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片脫膠保護(hù)裝置，特別是一種多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置。
背景技術(shù)：
目前單晶(多晶)硅棒加工成200um左右厚度的硅片都是采用多線鋸切割，切割前需
要通過(guò)專用粘膠將硅棒，樹(shù)脂板(玻璃板)，鋼板粘接在一起，切割后需要進(jìn)行沖洗和脫膠，
將硅片從樹(shù)脂板(玻璃板)上脫離開(kāi)，在此過(guò)程中，切割好的硅片很容易因傾倒而造成破
裂，破裂后的硅片就無(wú)法進(jìn)行下步工序，造成硅片生產(chǎn)的成品率不高等問(wèn)題，也因此造
成了很大的損失。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的不足而提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、方便取出硅片 且防止硅片因傾倒而破裂的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置。
為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，它主要 包括硅片固定夾具，硅片固定夾具底部設(shè)有連接板，連接板與鋼板配合連接，硅片固定 夾具兩側(cè)是端板，端板與底部的連接板固定連接，在硅片固定夾具兩側(cè)，兩端板之間設(shè) 有連接桿，在連接桿上通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)連接有插條。使得插條對(duì)硅片起到支撐和保護(hù)的 作用以防止硅片傾倒導(dǎo)致破裂。
為了使得插條較為容易安裝，同時(shí)也為了防止插條在安裝時(shí)造成對(duì)硅片的破壞，所 述的可拆卸結(jié)構(gòu)是由均布在連接桿上的凹槽和與之配合的設(shè)置在插條上的開(kāi)口槽組成 的，其所述的插條的一端的開(kāi)口槽為U型開(kāi)口槽，另一端的開(kāi)口槽為折角型向下開(kāi)口槽， 在折角型向下開(kāi)口槽上設(shè)有圓孔槽。折角型向下開(kāi)口槽使得插條一端一旦與連接桿連接 就無(wú)法在外力作用下脫落，且還具有一定的自由滑動(dòng)的空間；而U型開(kāi)口槽能方便的與 連接桿拆卸連接。
為了使插條起到更好的支撐，隔離，保護(hù)的效果，且是插條和和凹槽能夠方便的配合連接安裝，凹槽的直徑比圓孔槽直徑小0. 5 1毫米，凹槽寬度比插條厚度大0. 5 1毫
米，凹槽之間的間距為5毫米。連接桿上至少均布有兩條插條厚度為1~1. 5mra。插條還
可以是以間距為4厘米均布在連接桿上，且插條是厚度為1 1. 5毫米的不銹鋼插條。
木實(shí)用新型所得到的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，為方便多線鋸
切割后硅片脫膠的取出起到了很大的作用，且脫膠過(guò)程粘膠軟化后硅片能靠住不銹鋼插
條，有效的防止了硅片因傾倒而導(dǎo)致的硅片破裂的成本損耗，且插條和連接桿之間的連接
安全可靠，操作方便。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖2是本實(shí)用新型插條主視圖3是本實(shí)用新型帶凹槽的連接桿的剖面圖4是本實(shí)用新型硅片固定夾具立體圖5是本實(shí)用新型硅棒立體圖。
圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例2結(jié)構(gòu)示意圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例2圖6A-A剖面俯視圖。
1: U型開(kāi)口槽、2:折角型向下開(kāi)口槽、3:圓孔槽、4:插條、5:硅片、6:連接 桿、7:端板、8:鋼板、9:硅棒、10:螺母、11:螺栓、12:連接板、13:硅片固定夾 具、14:凹槽。
具體實(shí)施方式

下面通過(guò)實(shí)施例結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明專利作進(jìn)一步的描述。 實(shí)施例1
如圖l、圖4所示，本實(shí)施例所描述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，它主要包 括硅片固定夾具13、硅片固定夾具13底部設(shè)有連接板12，連接板12與鋼板8通過(guò)螺栓 11配合連接，硅片固定夾具13兩側(cè)是端板7，端板7與底部的連接板12通過(guò)螺母10 固定連接，在硅片固定夾具13兩側(cè)，兩端板7之間設(shè)有連接桿6，在連接桿6上通過(guò)可 拆卸結(jié)構(gòu)連接有插條4。如圖2、圖3所示所述的可拆卸結(jié)構(gòu)是由均布在連接桿6上的凹 槽14和與之配合的設(shè)置在插條4上的開(kāi)口槽組成的，其所述的插條4的一端的開(kāi)口槽為U型開(kāi)口槽l，另一端的開(kāi)口槽為折角型向下開(kāi)口槽2，折角型向下開(kāi)口槽2是上設(shè)有圓 槽3，使得插條4該端與連接桿5安裝后不易脫落。在連接桿6上連接設(shè)置有兩條插條4。 插條4的厚度為1毫米，圓孔槽3直徑為2毫米，凹槽的寬度為1.5毫米，開(kāi)口直徑為 l毫米。
使用時(shí)，如圖5所示，先將帶有切割好的硅棒9的鋼板8通過(guò)螺栓11安裝在連接板 12上，然后在硅片固定夾具13的兩側(cè)安裝上插條4，使得插條4在硅棒9兩邊，對(duì)切割 好的硅片起到支撐作用后，逆時(shí)針?lè)较驅(qū)⒐杵潭▕A具13翻轉(zhuǎn)180° (硅片5朝上)，放 入脫膠槽內(nèi),膠軟化后硅片5豎立在插條4之間，不會(huì)傾倒造成破裂。 實(shí)施例2
如圖6、圖7所示，本實(shí)施例所描述的多線鋸切割后的硅片脫膠保護(hù)裝置,其所述 的連接桿6上5毫米均布有凹槽14,在連接桿6上每隔4厘米設(shè)置插條4。插條4的厚 度為1. 5毫米，圓孔槽3直徑2. 5毫米且為不銹鋼材質(zhì)的插條，凹槽14的寬度為2毫米， 開(kāi)口直徑為2毫米。
權(quán)利要求1、一種多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，它主要包括硅片固定夾具(13)，硅片固定夾具(13)底部設(shè)有連接板(12)，連接板(12)與鋼板(8)配合連接，硅片固定夾具(13)兩側(cè)是端板(7)，端板(7)與底部的連接板(12)固定連接，其特征是在硅片固定夾具(13)兩側(cè)，兩端板(7)之間設(shè)有連接桿(6)，在連接桿(6)上通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)連接有插條(4)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 可拆卸結(jié)構(gòu)是由均布在連接桿(6)上的凹槽(15)和與之配合的設(shè)置在 插條(4)上的開(kāi)口槽組成的，其所述的插條(4)的一端的開(kāi)口槽為U 型開(kāi)口槽(1),另一端的開(kāi)口槽為折角型向下開(kāi)口槽(2)，在折角型向下 開(kāi)口槽(2)上設(shè)有圓孔槽(3)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 凹槽(15)的直徑比插條(4)上的圓孔槽(3)的直徑小0.5~1毫米，凹 槽(15)寬度比插條厚度大0.5 1毫米，凹槽(15)之間的間距為5毫米。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征 是所述的連接桿(6)上至少均布有兩條插條(4)厚度為1 1.5mm。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征 是所述的插條(4)以間距為4厘米均布在連接桿(6)上。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 插條(4)以間距為4厘米均布在連接桿(6)上。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征 是所述的插條(4)是厚度為1 1.5毫米的不銹鋼插條。
8、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 插條(4)是厚度為1 1.5毫米的不銹鋼插條。
9、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 插條(4)是厚度為1 1.5毫米的不銹鋼插條。
10、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，其特征是所述的 插條(4)是厚度為1 1.5毫米的不銹鋼插條。
專利摘要本實(shí)用新型所公開(kāi)的多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置，它主要包括硅片固定夾具，硅片固定夾具底部設(shè)有連接板，連接板與鋼板配合連接，硅片固定夾具兩側(cè)是端板，端板與底部的連接板固定連接，在硅片固定夾具兩側(cè)，兩端板之間設(shè)有連接桿，在連接桿上通過(guò)可拆卸結(jié)構(gòu)連接有插條。使得插條對(duì)硅片起到支撐和保護(hù)的作用以防止硅片傾倒導(dǎo)致破裂。本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，為方便多線鋸切割后硅片脫膠的取出起到了很大的作用，且脫膠過(guò)程粘膠軟化后硅片能靠住不銹鋼插條，有效的防止了硅片因傾倒而導(dǎo)致的硅片破裂的成本損耗，且插條和連接桿之間的連接安全可靠，操作方便。
文檔編號(hào)B28D7/04GK201350670SQ20082020884
公開(kāi)日2009年11月25日 申請(qǐng)日期2008年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月31日
發(fā)明者童立峰 申請(qǐng)人:嘉興嘉晶電子有限公司