專利名稱:用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),屬于多線切割機(jī) 附件技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
多線切割機(jī)是半導(dǎo)體專用切割設(shè)備,它工作時,需保證其收放線輪旋轉(zhuǎn)與 橫移架臺移動的一致性,對于斷線率的要求非常高,為保證其使用中不出現(xiàn)斷 線現(xiàn)象,必須從各個方面進(jìn)行預(yù)防,橫移架臺排線的好壞會直接導(dǎo)致張力的變 化,如果張力發(fā)生突然變化必然會導(dǎo)致斷線。 發(fā)明內(nèi)容
本實用新型的目的在于提供一種用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),該系 統(tǒng)可避免多線切割機(jī)因其橫移架臺移動與收放線輪旋轉(zhuǎn)的不一致而引起的斷 線,可明顯提高其工作的可靠性。
本實用新型采用如下技術(shù)方案
本實用新型包括兩套并排間隔布置的檢測輪裝置,每套檢測輪裝置又包括 一個旋轉(zhuǎn)編碼器和一個檢測輪,且旋轉(zhuǎn)編碼器與檢測輪共傳動軸,傳動軸上裝 有供安裝用的軸承。
上述用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),所說檢測輪裝于輪軸上,輪軸裝 于傳動軸上,旋轉(zhuǎn)編碼軸與傳動軸間設(shè)有聯(lián)軸器,傳動軸上裝有兩個角接觸球 軸承,兩個軸承間設(shè)有內(nèi)隔套和外隔套,檢測輪的輪軸與軸承間的傳動軸上設(shè) 有防軸承竄動鎖母。
上述用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),所說旋轉(zhuǎn)編碼器為歐姆龍E6B2— CWZ6C100P型編碼器。
本實用新型采用兩套檢測裝置分置于多線切割機(jī)絲線的兩側(cè),在多線切割 機(jī)正常工作時不旋轉(zhuǎn),當(dāng)橫移架臺的移動與收(放)線輪的旋轉(zhuǎn)不一致時,絲 線碰到檢測輪,使其發(fā)生旋轉(zhuǎn),編碼器進(jìn)行反饋,然后電控系統(tǒng)再將反饋信號 進(jìn)行處理,調(diào)節(jié)橫移架臺的移動速度,絲線與檢測輪脫離,使橫移架臺與收(放)
3線輪達(dá)到同步。使用本檢測系統(tǒng),可使多線切割機(jī)提高排線質(zhì)量,減少斷線率。
圖1是本實用新型一種實施例的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。
在附圖中l(wèi)旋轉(zhuǎn)編碼器、2聯(lián)軸器、3角接觸球軸承、4外隔套、5鎖母、 6傳動軸、7輪軸、8檢測輪、9內(nèi)隔套、IO多線切割機(jī)橫移架臺。
具體實施方式
下面將結(jié)合實施例附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳述
參見附圖,本實用新型所提供的用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),主要 由旋轉(zhuǎn)編碼器l、聯(lián)軸器2、軸承3、內(nèi)外隔套9、 4、鎖母5、傳動軸6、輪軸 7、檢測輪8等組成,采用兩套檢測輪裝置分別安裝在多線切割機(jī)橫移架臺10 前端絲線的兩側(cè)。
正常工作過程中,絲線處于兩檢測輪8中間,編碼器沒有轉(zhuǎn)動信號。當(dāng)收(放) 線輪的速度根據(jù)張力變化要求發(fā)生變化時,橫移架臺也需要進(jìn)行相應(yīng)的速度變 化,而該變化主要靠雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng)進(jìn)行檢測以便進(jìn)行調(diào)整,消除因收(放) 線速度與橫移架臺移動不同步而發(fā)生斷線現(xiàn)象。
本系統(tǒng)中所用編碼器1為歐姆龍E6BZ—CWZ6C100P型編碼器,該編碼器 靈敏性高,能及時反饋信號。檢測輪8應(yīng)具有較高的耐磨性,在使用過程中需 定期更換。本系統(tǒng)兩檢測輪的間距在5咖左右。
權(quán)利要求1、一種用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),其特征是它包括兩套并排間隔布置的檢測輪裝置,每套檢測輪裝置又包括一個旋轉(zhuǎn)編碼器(1)和一個檢測輪(8),且旋轉(zhuǎn)編碼器(1)與檢測輪(8)共傳動軸(6),傳動軸(6)上裝有供安裝用的軸承(3)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),其特征是所說檢測輪(8)裝于輪軸(7)上,輪軸(7)裝于傳動軸(6)上,旋轉(zhuǎn)編碼軸與傳動軸(6)間設(shè)有聯(lián)軸器(2),傳動軸(6)上裝有兩個角接觸球軸承(6),兩個軸承(6)間設(shè)有內(nèi)隔套(9)和外隔套(4),檢測輪(8)的輪軸(7)與軸承(6)間的傳動軸(6)上設(shè)有防軸承竄動鎖母(5)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),其特征是所說旋轉(zhuǎn)編碼器(1)為歐姆龍E6B2—CWZ6C100P型編碼器。
專利摘要本實用新型涉及一種用于多線切割機(jī)的雙導(dǎo)輪檢測系統(tǒng),其包括兩套并排間隔布置的檢測輪裝置,每套檢測輪裝置又包括一個旋轉(zhuǎn)編碼器和一個檢測輪,且旋轉(zhuǎn)編碼器與檢測輪共傳動軸,傳動軸上裝有供安裝用的軸承。本實用新型采用兩套檢測裝置分置于多線切割機(jī)絲線的兩側(cè),在多線切割機(jī)正常工作時不旋轉(zhuǎn),當(dāng)橫移架臺的移動與收(放)線輪的旋轉(zhuǎn)不一致時,絲線碰到檢測輪,使其發(fā)生旋轉(zhuǎn),編碼器進(jìn)行反饋,然后電控系統(tǒng)再將反饋信號進(jìn)行處理,調(diào)節(jié)橫移架臺的移動速度,絲線與檢測輪脫離,使橫移架臺與收(放)線輪達(dá)到同步。使用本檢測系統(tǒng),可使多線切割機(jī)提高排線質(zhì)量,減少斷線率。
文檔編號B28D5/00GK201287401SQ20082007824
公開日2009年8月12日 申請日期2008年8月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月12日
發(fā)明者徐旭光 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所