專利名稱：模壓成形裝置、其壓頭以及光學(xué)元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及由實(shí)施精密加工的壓制成形模對玻璃等成形坯材進(jìn)行壓制成形，由此在對被成形面不進(jìn)行研削/研磨的情況下制造光學(xué)元件的光學(xué)元件的制造方法，以及為此而使用的模壓(Mold Press)成形裝置。更為詳細(xì)地，涉及用于對模壓成形裝置中的壓制成形模加壓的按壓機(jī)構(gòu)(壓頭(Press Head))的改進(jìn)。
背景技術(shù)：
公知有通過壓制成形來制造高精度非球面鏡頭等光學(xué)元件的方法。由于根據(jù)該制造方法可省略至今一直進(jìn)行的復(fù)雜非球面的研磨工序，因此可大量并便宜地制造該形狀的光學(xué)元件。
近年來，在需要高像素的攝像光學(xué)系統(tǒng)和高NA(Numerical Aperture)的拾光透鏡(pickup lens)的同時(shí)，對光學(xué)元件所要求的第一面和第二面的同軸性也日益嚴(yán)格。因此，為了抑制成形模中上下模的軸的相互傾斜(tilt)，并抑制上下模的水平方向的軸的移位(shift)，只改進(jìn)成形模的結(jié)構(gòu)來進(jìn)行應(yīng)對是很有限的，所以考慮改進(jìn)成形模的按壓方法、按壓機(jī)構(gòu)。另外，具有成形難度大的形狀的光學(xué)元件，例如凹透鏡(concave meniscuslens)或雙凹透鏡(biconcave lens)等，通過使載荷的施加隨時(shí)間而變化的多階段壓制來得到良好的面精度。
例如，專利文獻(xiàn)1(日本專利文獻(xiàn)特開平11-035333號公報(bào))公開了玻璃成形體的制造方法和制造裝置。在該制造方法中，對加熱軟化了的被成形玻璃坯材在成形模中進(jìn)行初始加壓來復(fù)制成形模的成形面形狀，并在開始初始加壓時(shí)或在初始加壓的中途冷卻成形模和被成形的成形玻璃。然后，在該冷卻期間對成形玻璃施加比初始加壓弱的壓力(二次加壓)，并在成形玻璃到達(dá)玻璃轉(zhuǎn)變點(diǎn)以下后從成形模取出成形玻璃。由此可以成形高面精度和高中心厚度精度的玻璃光學(xué)元件。
另外，專利文獻(xiàn)2(日本專利文獻(xiàn)特公平5-31504號公報(bào))公開了玻璃成形體的制造方法和制造裝置。在該制造方法中，由配置了被成形玻璃的上下模和主體模組成的成形模在多個(gè)壓制室中被順次移送。即，在第一壓制室中按壓上模直至加壓沖程(stroke)被主體模(sleeve)限制，從而大體確定被成形玻璃的中心厚度，然后在第二壓制室中通過加壓桿僅按壓上模，由此防止加壓后縮痕(sink mark)的發(fā)生，并能夠得到高形狀精度的玻璃成形體。
另一方面，專利文獻(xiàn)3(日本專利文獻(xiàn)特公平4-42338號公報(bào))公開了通過在上模的按壓面設(shè)置按壓突起來使上模和下模的軸線一致，從而防止偏心的方法。
另外，專利文獻(xiàn)4(日本專利文獻(xiàn)特公平2-28460號公報(bào))公開了下述方法，即，通過壓板從上方對上模加壓，并在加壓時(shí)使壓板接觸引導(dǎo)模(案內(nèi)型)的上表面，由此抑制透鏡兩表面的中心軸的傾斜(tilt)和偏軸(decenter)。
根據(jù)專利文獻(xiàn)1，可通過初始加壓將玻璃坯材成形為最終制品的形狀，并可通過二次加壓維持/提高其面精度。但是，在通過初始加壓使上下?；ハ嗫拷⒊尚尾Ａ鞑暮?，通過二次加壓按壓上模時(shí)，引導(dǎo)(guide)上下模的主體模在水平方向的間隙(clearance)的范圍內(nèi)處于水平方向上的自由(free)狀態(tài)。因此存在破壞上下模的同軸度，從而難以確保成形件的偏心精度的缺點(diǎn)。
另外，根據(jù)專利文獻(xiàn)2的制造方法，由于通過一次加壓按壓上模，同時(shí)將主體模壓向下模，因此在一次加壓階段可確保上下模的同軸度。但在二次加壓階段，由于僅按壓上模，因此主體模處于自由狀態(tài)，從而有偏心精度惡化的可能。
另外，在專利文獻(xiàn)3記載的方法中，由于通過由按壓機(jī)構(gòu)施加載荷的方法來防止產(chǎn)生偏心，因此按壓機(jī)構(gòu)不提高偏心精度。從而在專利文獻(xiàn)3公開的方法中，難以高精度地制造非球面(雙非球面)的光學(xué)元件。
另一方面，在專利文獻(xiàn)4的方法中，可通過壓板的抵接來得到偏心精度。但是，若抵接壓板，則在此之后即使按壓也不會產(chǎn)生載荷。因此，無法用作在多個(gè)階段進(jìn)行壓制時(shí)提高偏心精度的技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的課題提供一種模壓成形裝置、其壓頭以及光學(xué)元件的制造方法，其通過改進(jìn)向壓制成形模施加載荷的按壓機(jī)構(gòu)，從而能夠在不使偏心精度惡化的情況下進(jìn)行壓制成形。
為了解決上述問題，本發(fā)明的模壓成形裝置包括具有成形面的第一模；具有與該第一模相對配置的成形面的第二模；同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模；以及按壓機(jī)構(gòu)，其通過使所述第一和第二模的所述成形面在彼此接近的方向上相對移動來對配置在這些成形面之間的成形坯材進(jìn)行壓制成形。所述按壓機(jī)構(gòu)的特征在于，包括壓接機(jī)構(gòu)，其通過使所述主體模壓接在用于定位的基準(zhǔn)面來進(jìn)行該主體模的定位；和載荷施加機(jī)構(gòu)，其在所述壓接機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引下按壓所述第一模。所謂相對移動既指第一?？梢韵虻诙Ｒ苿樱仓傅诙？梢韵虻谝荒Ｒ苿?。
在這里，所謂基準(zhǔn)面是指在與主體模的一部分表面抵接時(shí)，該主體模的中心軸方向與所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向平行的面。
所述基準(zhǔn)面優(yōu)選形成于所述第二模，此時(shí)，通過所述壓接機(jī)構(gòu)使所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上，以此來進(jìn)行該主體模和第二模的相互定位。
在本發(fā)明的模壓成形裝置中，當(dāng)進(jìn)行壓制成形時(shí)，通過壓接機(jī)構(gòu)至少將主體模相對于基準(zhǔn)面定位，并在保持該定位狀態(tài)下通過載荷施加機(jī)構(gòu)向第一模施加載荷來壓制成形坯材。因此，在壓制成形坯材時(shí)，由于主體模被定位固定，因此，不會發(fā)生主體模相對于上下模的移動方向(即，所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向)傾斜等的問題。由此，可防止成形件的偏心精度的惡化。
在這里，可將所述壓接機(jī)構(gòu)作為筒狀的第一壓頭，將所述荷載施加機(jī)構(gòu)作為插嵌在所述第一壓頭內(nèi)側(cè)的第二壓頭。此時(shí)，可形成具有下述推壓機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)，即隨著所述第二壓頭的按壓動作，將所述第一壓頭推壓向所述第二壓頭的按壓動作方向。作為所述推壓機(jī)構(gòu)，可以使用配置在所述第一和第二壓頭之間的螺旋彈簧等的彈性部件。
另外，所述第一壓頭具有第一按壓面，其可抵接在所述主體模的插入有所述第一模的一側(cè)的軸向端面上，并在該第一按壓面開口有允許所述第二壓頭的軸向移動的孔。
另外，優(yōu)選的是形成所述第二壓頭的結(jié)構(gòu)，使得其包括與所述第一壓頭的所述第一按壓面實(shí)質(zhì)平行的第二按壓面；以及可與所述第一壓頭的內(nèi)周面滑動接觸的大直徑部，并且使所述第二壓頭的所述第二按壓面和所述大直徑部的外周面被形成為相互垂直。
此時(shí)，優(yōu)選所述第二壓頭的所述大直徑部的軸向長度，比從該第二壓頭的所述大直徑部的下端部到所述第二按壓面的軸向長度長，使得可通過所述第一壓頭來正確地?zé)o傾斜地引導(dǎo)所述第二壓頭。
接著，所述第二模一般具有形成在軸向端部的大直徑的凸緣(flange)，在該凸緣可形成有與所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向相垂直的所述基準(zhǔn)面。在該情況下，當(dāng)所述主體模被所述第一壓頭按壓，并與所述基準(zhǔn)面緊密接觸時(shí)，所述主體模的直立方向可與所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向相一致。
另一方面，本發(fā)明的壓頭適用于按壓成形模以對該成形模內(nèi)的成形坯材進(jìn)行壓制成形的模壓成形裝置，其中所述成形模包括具有相互相對的成形面的第一和第二模；和同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模。該壓頭的特征在于，包括壓接機(jī)構(gòu)，通過將所述主體模壓接在用于定位的基準(zhǔn)面上來進(jìn)行該主體模的定位；和載荷施加機(jī)構(gòu)，其在所述壓接機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)下按壓所述第一模。
在這里，所述壓接機(jī)構(gòu)的特征在于，通過將所述主體模壓接在形成于所述第二模的所述基準(zhǔn)面上，來進(jìn)行這些主體模和第二模的相互定位。
另外，所述壓接機(jī)構(gòu)具有筒狀的第一壓頭，所述載荷施加機(jī)構(gòu)具有被插嵌在所述第一壓頭內(nèi)側(cè)的第二壓頭。本發(fā)明的壓頭的特征在于，還包括推壓機(jī)構(gòu)，其隨著所述第二壓頭的按壓動作，將所述第一壓頭推壓向所述第二壓頭的按壓動作方向。作為所述推壓機(jī)構(gòu)，可使用配置在所述第一和第二壓頭之間的螺旋彈簧等的彈性部件。
另一方面，本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法的特征在于，包括荷載施加工序，使得當(dāng)使用上述結(jié)構(gòu)的模壓成形裝置來對加熱軟化了的成形坯材進(jìn)行壓制成形時(shí)，在通過所述壓接機(jī)構(gòu)將所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上的狀態(tài)下，通過所述載荷施加機(jī)構(gòu)向所述第一模施加載荷。
在這里，載荷施加工序優(yōu)選至少在冷卻所述成形坯材的同時(shí)進(jìn)行。
另外，在所述模壓成形裝置具有所述推壓機(jī)構(gòu)的情況下，當(dāng)在所述荷載施加工序中通過所述第二壓頭施加荷載時(shí)，優(yōu)選通過所述推壓機(jī)構(gòu)的推壓力來提高所述第一壓頭向所述主體模的按壓力。
接著，本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法包括供給工序，向成形模的所述成形面之間供給成形坯材，其中所述成形模包括具有成形面的第一模；具有與所述第一模相對配置的成形面的第二模；以及同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模，加熱工序，用于加熱并軟化所述成形坯材，使之形成適合壓制成形的狀態(tài)；以及壓制工序，在該狀態(tài)下按壓所述成形模，從而壓制成形所述成形坯材。所述壓制工序包括第一壓制工序，其在規(guī)定溫度范圍內(nèi)加壓，使所述成形坯材達(dá)到規(guī)定厚度；以及第二壓制工序，其通過具有第一壓頭和第二壓頭的按壓機(jī)構(gòu)，在低于所述第一壓制工序的溫度中對所述成形坯材進(jìn)一步加壓。所述第二壓制工序包括壓接工序，其通過所述第一壓頭將所述主體模壓接在所述第二模的至少一部分上，并以此對該第一壓頭、所述主體模以及所述第二模進(jìn)行相互定位；和載荷施加工序，其在保持上述定位狀態(tài)的狀態(tài)下，使用由所述第一壓頭引導(dǎo)的所述第二壓頭向所述第一模施加載荷。
在這里，所述第二壓制工序優(yōu)選在低于所述第一壓制工序的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。
另外，在所述載荷施加工序中，優(yōu)選隨著所述第二壓頭的移動，提高所述第一壓頭對所述主體模的按壓力。
發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)壓制成形材料時(shí)，首先，定位固定主體模，或者在相互定位的狀態(tài)下固定主體模和第二模，并在保持該狀態(tài)的狀態(tài)下向第一模施加荷載以對成形坯材進(jìn)行壓制成形。因此，由于在成形坯材的壓制成形時(shí)無傾斜地固定主體模，因此可抑制在第一和第二模之間產(chǎn)生的相對傾斜的發(fā)生，并能夠制造具有高形狀精度的光學(xué)元件。
特別地，當(dāng)將主體模壓接在第二模上，并在固定其相對位置的狀態(tài)下對第一模施加荷載來對成形坯材進(jìn)行壓制成形，此時(shí)，若精度良好地形成這些壓接面，并精度良好地形成主體模的壓接面和引導(dǎo)上模的主體模的內(nèi)周面的垂直度，則由于能夠無傾斜地按壓上模，因此能夠提高成形件的偏心精度。
另外，在本發(fā)明的光學(xué)元件的制造方法中，在包括第一和第二壓制工序的兩個(gè)階段進(jìn)行壓制工序，在第二壓制工序中，首先通過壓接工序?qū)⒅黧w模壓接在第二模上以限定其相互位置，并保持該狀態(tài)，然后在荷載施加工序中對第一模施加荷載來壓制成形坯材。從而能夠以高形狀精度制造如凹透鏡和雙凹透鏡等的具有成形難度高的形狀的光學(xué)元件。


圖1是示出適用本發(fā)明的模壓成形裝置的實(shí)施方式的簡略俯視結(jié)構(gòu)圖。
圖2是示出在圖1的模壓成形裝置中使用的壓制成形模的簡略截面圖。
圖3是示出圖1的壓制室結(jié)構(gòu)的簡略結(jié)構(gòu)圖。
圖4A、圖4B是示出圖1的第一壓制室的結(jié)構(gòu)和動作的說明圖。
圖5是示出在圖1的第二壓制室中使用的本發(fā)明的壓頭的說明圖。
圖6A～圖6C是示出圖1的第二壓制室的動作的說明圖。
圖7是示出圖5的壓頭的變形例的說明圖。
圖8是示出本發(fā)明所適用的壓制成形模的另一示例的說明圖。
具體實(shí)施例方式
下面參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
(模壓成形裝置)圖1是示出適用本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)移送式的模壓成形裝置的整體的簡略俯視圖，圖2是示出被移送的壓制成形模的簡略截面圖。圖3是圖1的模壓成形裝置中的壓制室的簡略截面結(jié)構(gòu)圖。
本實(shí)施方式的模壓成形裝置P用于將收納了成形坯材(玻璃預(yù)成形件(glass preform)等)的壓制成形模順次移送至各個(gè)處理室，并進(jìn)行適當(dāng)處理，以此制造預(yù)期的成形體(玻璃光學(xué)元件等)。
如圖1所示，模壓成形裝置P具有圓形的平面形狀。模壓成形裝置P包括取出/插入室P1和排列配置在圓周方向上的多個(gè)處理室P2、P3、P4、P5、P6、P7、P8，通常，形成的結(jié)構(gòu)使得將放入了成形坯材的壓制成形模放在旋轉(zhuǎn)臺上，并使其從惰性氣體的氣體介質(zhì)下的這些處理室中順次通過。
處理室P2和P3是第一和第二加熱室，處理室P4是均熱室。處理室P5是壓制室，處理室P6和P7是第一和第二漸冷室。處理室P8是急冷室。本實(shí)施例的壓制室P5由第一壓制室P5(1)和第二壓制室P5(2)構(gòu)成。這些處理室P2～P8被大體等間隔地配置，且其溫度被控制在適于進(jìn)行各個(gè)處理的溫度。因此，這些處理室P2～P8由閘門(shutter)S1、S2、S3、S4、S5、S6、以及S7劃分。
另外，第一加熱室P2、第二加熱室P3、均熱室P4、第一漸冷室P6、第二漸冷室P7、以及急冷室P8用于調(diào)整收納了成形坯材的壓制成形模、以及收納了成形坯材或所得到的成形體的壓制成形模的溫度。
旋轉(zhuǎn)臺每隔固定時(shí)間作間歇性轉(zhuǎn)動，在取出/插入室P1的插入室中向內(nèi)部供給成形坯材的成形模經(jīng)過各個(gè)處理室P1～P8，并在該取出/插入室P1的取出部中取出收納了成形體的成形模。此時(shí)，間歇性轉(zhuǎn)動的周期為成形周期(cycle time)。若使用這種移送式的模壓成形裝置P，則由于能夠同時(shí)進(jìn)行壓制成形所需的各種處理，因此有利于縮短相當(dāng)于一個(gè)成形體的成形所需的實(shí)際時(shí)間(周期)。另外，移送式的模壓成形裝置還包括直線移動式，而不限于上述的旋轉(zhuǎn)式。
本發(fā)明適用于將壓制成形模移送到各個(gè)處理室，并順次實(shí)施包括加熱、壓制、冷卻的適當(dāng)處理的諸如本實(shí)施例的模壓成形裝置及方法，但不言而喻本發(fā)明并不限定于此。本發(fā)明也可適用于例如不移送壓制成形模，而是在同一位置進(jìn)行包括加熱、壓制、冷卻的處理的成形裝置及方法。
(壓制成形模)如圖2所示，在本實(shí)施方式中使用的壓制成形模1包括具有成形面2a的下模2(第二模)、具有與成形面2a相對配置的成形面3a的上模3(第一模)、以及同軸狀地插嵌下模2和上模3的主體模4。主體模4為圓筒狀，其中空部的上下方向的大致中間部分為小直徑部分41。在該小直徑部分41的上下形成有直徑大于該小直徑部分41的上側(cè)大直徑部分42和下側(cè)大直徑部分43。
下模2包括圓柱狀的下模本體21、和同軸狀地一體形成在其下端的大直徑的圓形凸緣22。在下模本體21的上端面形成有成形面2a。下模本體21具有可嵌入主體模4的下側(cè)大直徑部分43的外直徑尺寸。在圓形凸緣22形成有圓環(huán)狀的承受面23(基準(zhǔn)面)，該承受面23被主體模4的圓環(huán)狀的下端面44壓接，并具有相對應(yīng)的大小。
在這里，所謂基準(zhǔn)面是指，當(dāng)其與主體模4的一部分表面相抵接時(shí)，該主體模4的中心軸方向與后述的按壓機(jī)構(gòu)(壓頭10B)的按壓動作方向相平行的面。即，在圖2中，基準(zhǔn)面23是與主體模4的下端面相抵接，從而可使主體模4形成直立姿勢的面，且是與按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向相垂直的面。
上模3包括圓柱狀的上模本體31、和同軸狀地一體形成在其上端的大直徑的圓形凸緣32。在上模本體31的下端面形成有成形面3a。上模本體31具有可嵌入主體模4的小直徑部分41的外直徑尺寸。凸緣32具有可嵌入上側(cè)大直徑部分42的外直徑尺寸。凸緣32的厚度比上側(cè)大直徑部分42的深度薄。
在這里，主體模4和下模2的徑向間隙在5μm以下，上模3和主體模4的徑向間隙也相同。主體模4的下端面44被如下設(shè)定，即，當(dāng)其與下模2的凸緣22的承受面23相抵接時(shí)，由于玻璃坯材W的厚度，上模3的圓形上端面33會移動至高于主體模4的圓環(huán)狀的上端面45的位置。另外，形成主體模4使得其下端面44和上端面45與其中空部內(nèi)周面的垂直度為高精度。
(壓制室)接著，如圖3所示，模壓成形裝置P的壓制室P5包括設(shè)置在框體51中的加熱部52、和反射來自加熱部52的熱的反射器53。壓制室P5還包括作為移送支持臺54的移送機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)臺55和支持桿56，其中，所述支持臺54以其前端的成形模載置面54a支持壓制成形模1，所述支持桿56用于在壓制動作時(shí)從下側(cè)支持旋轉(zhuǎn)臺55。支持桿56由驅(qū)動馬達(dá)59控制而上下移動。壓制室P5還包括向支持臺54上的壓制成形模1施加規(guī)定的載荷的加壓桿57；控制加壓桿57上下移動的驅(qū)動馬達(dá)58；以及設(shè)在加壓桿57的前端的，并作為用于按壓壓制成形模1的按壓機(jī)構(gòu)的壓頭10。另外，圖3是示出圖1的壓制室P5(2)的截面結(jié)構(gòu)的簡略結(jié)構(gòu)圖。
在這里，在第一壓制室P5(1)安裝有作為壓頭10的后述的圖4所示的壓頭10A。在第二壓制室P5(2)安裝有作為壓頭10的后述的圖5、圖6所示的壓頭10B。壓頭以外的結(jié)構(gòu)基本相同。
(壓頭)圖4A、圖4B是示出第一壓制室P5(1)中的壓制動作的說明圖。由該圖可知，在第一壓制室P5(1)中，作為壓頭10，壓頭10A被連結(jié)在加壓桿57的前端。壓頭10A為具有平坦的圓形按壓面61的圓板狀，該圓形按壓面61與作為壓制方向的加壓桿57的軸線57a的方向(按壓動作方向)相垂直。
圖5是示出設(shè)置在第二壓制室P5(2)中的壓頭的簡略截面圖，圖6A～圖6C是示出第二壓制室P5(2)中的壓制動作的說明圖。參照這些圖說明配置在第二壓制室P5(2)中的第二壓頭10B的結(jié)構(gòu)。
壓頭10B(按壓機(jī)構(gòu))包括將主體模4按壓向下模2的第一壓頭11(壓接機(jī)構(gòu))；以同軸狀態(tài)被插嵌到第一壓頭11的內(nèi)側(cè)，且只按壓上模3的第二壓頭12(載荷施加機(jī)構(gòu))；以及作為推壓機(jī)構(gòu)的螺旋彈簧13，其隨著第二壓頭12的按壓動作，將第一壓頭11推壓向與第二壓頭12的按壓動作方向相同的方向。
第一壓頭11由高耐熱性材質(zhì)(例如，Si3N4或其它陶瓷)構(gòu)成，并大致呈圓筒形狀。在本實(shí)施例中，壓頭10B的按壓動作方向是圖示的上下方向(加壓桿57的軸線57a的方向)，且第一壓頭11的下端的按壓面11a(第一按壓面)被形成為與按壓動作方向(軸線57a的方向)相垂直的平面。
在按壓面11a的中央部設(shè)有允許第二壓頭12上下移動的透孔11b。透孔11b的內(nèi)徑大于第二壓頭12的前端部12b的直徑，但小于上模3的凸緣32的直徑。另外，由于第一壓頭11的按壓面11a為大于主體模4的外徑的圓環(huán)狀端面，因此，在后述的壓制動作過程中，按壓面11a可按壓上模3和主體模4。
在第一壓頭11的中空部的內(nèi)周面，從下側(cè)開始順次形成有朝上的圓環(huán)狀的第一肩面11c、朝上的圓環(huán)狀的第二肩面11d、以及朝上的圓環(huán)狀的第三肩面11e。
第二壓頭12和第一壓頭11一樣，由高耐熱性材質(zhì)構(gòu)成。第二壓頭12以同軸狀態(tài)被插嵌到第一壓頭11的中空部內(nèi)，且其自由端一側(cè)的端面，即下端面，是具有僅按壓上模3的大小的圓形按壓面12c(第二按壓面)。第二壓頭12的另一端側(cè)與加壓桿57相連結(jié)。作為連結(jié)結(jié)構(gòu)可選擇下述的各種連結(jié)結(jié)構(gòu)圖示的加壓桿57和第二壓頭12為一個(gè)整體；通過擰合部件或締結(jié)部件連結(jié)兩者；或者通過萬向接頭(universal joint)等的接頭來連結(jié)等。
在第二壓頭12的中間部形成有直徑大于兩端側(cè)的大直徑部12a。而且，將第二壓頭12的大直徑部12a插嵌到第一壓頭11的第三肩面11e的內(nèi)側(cè)(直到下方)，然后通過在第一壓頭11的上端側(cè)的開口部固定防脫環(huán)11f來使之一體化，從而使得第二壓頭12不能從第一壓頭11中脫落。
在比第二壓頭12的大直徑部12a靠近前端側(cè)(下側(cè))的小直徑部12b上以纏繞該小直徑部的方式安裝有螺旋彈簧13。螺旋彈簧13被安裝在第一壓頭11的第一肩面11c和第二壓頭12的大直徑部12a的下側(cè)肩面12d之間。螺旋彈簧13由耐熱性彈簧材料(ZrO2陶瓷(ceramics)、奧氏體不銹鋼(austenitic stainless steel)、英科耐爾合金(Inconel alloy)、Si3N4陶瓷等)構(gòu)成，并被設(shè)為具有規(guī)定的彈性系數(shù)(例如3kgf/mm左右)。
螺旋彈簧13相對于第二壓頭12向下方整體推壓第一壓頭11，防脫環(huán)11f的下表面被保持在與第二壓頭12的大直徑部12a的上側(cè)端面12e相抵接的狀態(tài)下。在該狀態(tài)下，第一壓頭11的按壓面11a比第二壓頭12的按壓面12c稍向下方突出。突出量例如大約為2mm左右。
另外，當(dāng)?shù)谝粔侯^11和第二壓頭12在軸向相對移動時(shí)，通過第一壓頭11的第二肩面11d(限位部)與第二壓頭12的大直徑部12a的下側(cè)肩面12d相抵接，來限制二者的相對移動。即，兩者的最大移動量為圖中的S。這樣，作為限位部發(fā)揮作用的第二肩面11d防止預(yù)定以外由于第二壓頭12過度下降，從而螺旋彈簧13被過度壓縮而被破壞。但在通常的壓制工序中，第二壓頭12的大直徑部12a的下側(cè)肩面12d不與用于限位的第二肩面11d相抵接。這是由于在第二壓頭12的按壓面12c比第一壓頭11的按壓面11a突出5～20μm時(shí)，控制第二壓頭12的下降停止。
并且，作為優(yōu)選狀態(tài)，第二壓頭12的大直徑部12a和第一壓頭11的中空部內(nèi)周面的滑動部的間隙為5～15μm。另外，優(yōu)選通過盡量加長該滑動長度來抑制第二壓頭12在上述間隙內(nèi)的歪斜(傾斜)。
例如，如圖7所示，通過比較長地形成第二壓頭12的大直徑部12a的軸向長度(L1)，使得比大直徑部12a的下側(cè)的小直徑部分12b的軸向長度(L2)長，從而能夠用第二壓頭12更筆直地按壓上模3。當(dāng)然，這也有利于高精度地保證第二壓頭12的大直徑部12a的滑動部和按壓面12c的垂直度。
(模壓成形裝置的光學(xué)元件的制造工序)下面，對使用上述結(jié)構(gòu)的模壓成形裝置P來成形光學(xué)元件的工序的一個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行說明。
1)玻璃坯材供給工序準(zhǔn)備預(yù)備成形為具有凸曲面形狀(在本實(shí)施例中為雙凸曲面)的成形材料，例如玻璃坯材W，并由帶有吸附墊(pad)的搬送臂(arm)來搬送玻璃坯材W。在上下模3、2分開的狀態(tài)下，相對于下模2的成形面2a，在規(guī)定范圍內(nèi)的位置精度的位置上通過解除玻璃坯材W的吸附，將玻璃坯材W裝配到下模2的成形面2a上。搬送臂立刻退避。該工序在模壓成形裝置P的取出/插入室P1、或圖1的設(shè)在外圓周外側(cè)的分解組裝部(圖中未示出)中進(jìn)行。
2)壓制成形模的組裝工序在該工序中，將下模2組裝到預(yù)先插入了上模3的主體模4內(nèi)。主體模4和下模2的徑向間隙在5μm以下，上模3和主體模4也有相同的間隙。當(dāng)主體模4的下端面44與下模凸緣22的承受面23相抵接時(shí)，由于玻璃坯材W的厚度，上模3的上端面33移動到比主體模4的上端面45高的位置(參照圖4A)。另外，該工序也可在取出/插入室P1或前述的分解組裝部中進(jìn)行。
3)加熱工序?qū)⑹占{了玻璃坯材W的壓制成形模1順次移送到第一加熱室P2、第二加熱室P3以及均熱室P4中并使之升溫，從而使玻璃坯材W和壓制成形模1成為適合壓制成形的溫度。
例如，第一加熱室P2保持在玻璃坯材W的壓制溫度以上的高溫，從而急速加熱壓制成形模1和玻璃坯材W。壓制成形模1和玻璃坯材W在第一加熱室P2中靜止規(guī)定時(shí)間之后，旋轉(zhuǎn)臺55旋轉(zhuǎn)，使壓制成形模1和玻璃坯材W到達(dá)第二加熱室P3。通過在第二加熱室P3中的加熱，壓制成形模1和玻璃坯材W被進(jìn)一步加熱，或被均熱化以接近壓制溫度。然后，在均熱室P4對壓制成形模1和玻璃坯材W進(jìn)行均熱化，從而使玻璃粘度達(dá)到適合壓制成形的相當(dāng)于106～109泊(poises)的粘度，然后移到壓制室P5。溫度最好使玻璃坯材成為106～108泊的粘度。加熱機(jī)構(gòu)可以是利用電阻加熱的加熱器、高頻感應(yīng)線圈等而沒有特別地限制。
4)壓制工序如前所述，壓制室P5由第一壓制室P5(1)和第二壓制室P5(2)構(gòu)成。第一壓制室P5(1)和第二壓制室P5(2)的結(jié)構(gòu)如下由閘門S4區(qū)分，從而在各室具有按壓機(jī)構(gòu)的同時(shí)，還可分別控制各自的室溫。
如圖4A所示，在加熱工序中，玻璃坯材W被加熱到相當(dāng)于粘度為106～109泊的溫度，在將收納了該玻璃坯材W的壓制成形模1送入第一壓制室P5(1)的狀態(tài)下，上模3比主體模4的上端面45稍微突出。然后如圖4B所示，在第一壓制室P5(1)中，前端的按壓面61利用直徑大于主體模4的壓頭10A來按壓上模3(載荷例如為30～200kgf)，使主體模4的上端面45和上模3的上端面33位于同一平面上。此時(shí)，玻璃坯材W隨上模3的下降而變形，以圖4B的狀態(tài)在施加載荷的狀態(tài)下維持規(guī)定時(shí)間(例如數(shù)十秒)的加壓。通過在該第一壓制室P5(1)中的壓制，可將玻璃坯材W的厚度成形在相對所要得到的壓制件的厚度的規(guī)定范圍內(nèi)。
接著，將壓制成形模1移送到第二壓制室P5(2)，如圖6A～圖6C所示，使用另一壓頭10B來成形。而且，將第二壓制室P5(2)控制在比第一壓制室P5(1)低的溫度(例如，成為相當(dāng)于成形模內(nèi)的玻璃坯材的粘度為109～1014泊的溫度的溫度)。
圖6A表示用壓頭10B按壓壓制成形模1之前的狀態(tài)。壓頭10B連結(jié)在上方的加壓桿(驅(qū)動軸)57的下端，并隨加壓桿57的下降壓頭10B也持續(xù)下降，不久如圖6B所示，第一壓頭11的按壓面11a抵接在主體模4的上端面45上。此時(shí)，實(shí)際上第一壓頭11被主體模4限制繼續(xù)下降。并且，第一壓頭11的按壓面11a也能夠與上模3的上端面33相抵接。
如圖6C所示，加壓桿57通過進(jìn)一步持續(xù)下降，在第一壓頭11停止的狀態(tài)下僅下降第二壓頭12，并按壓上模3。此時(shí)，由于隨著第二壓頭12的下降(按壓動作)逐漸壓縮螺旋彈簧13，因此，以弱載荷抵接在主體模4的上端面45上的第一壓頭11通過彈簧力按壓主體模4，且按壓力對應(yīng)于第二壓頭12的下降量而增加。
在本實(shí)施方式中，由于第二壓頭12的按壓面12c被設(shè)定在位于第一壓頭11的按壓面11a的上方約2mm的位置，因此，在第二壓頭12的按壓面12c與上模3接觸時(shí)，螺旋彈簧13壓縮2mm。在這里，若彈性系數(shù)為3kgf/mm，則當(dāng)螺旋彈簧13壓縮2mm時(shí)，第一壓頭11以6kgf按壓主體模4。
在下模2中，在凸緣22形成有與壓頭10B的按壓動作方向相垂直的承受面23(基準(zhǔn)面)，如果用第一壓頭11按壓主體模4，則主體模4的下端面44與下模2的承受面23緊密接觸。此時(shí)，通過高精度地形成主體模4的下端面44、上端面45和主體模4的內(nèi)周面的垂直度，能夠無傾斜地按壓上模3。從而可以預(yù)先抑制發(fā)生成形件Wa(圖6C)的傾斜。
控制第二壓頭12的下降，使得當(dāng)其按壓面比第一壓頭11的按壓面11a突出5～20μm時(shí)，停止第二壓頭12的下降。在第二壓制室P5(2)中維持圖6C的狀態(tài)規(guī)定時(shí)間(例如數(shù)十秒)，同時(shí)將玻璃坯材W冷卻至相當(dāng)于粘度超過1013泊的狀態(tài)的溫度。
雖然該冷卻會引起玻璃坯材W的熱收縮，但由于利用第一壓頭11使主體模4緊密接觸在下模2的承受面23上，并利用第二壓頭12通過上模3施加規(guī)定的載荷(大于上模3的自重的載荷)，因此可高精度地維持成形件Wa的面形狀。特別地，由于具有凹面的彎月形透鏡或雙凹透鏡隨著冷卻會有大的熱收縮量，因此在冷卻過程中，由第二壓頭12施加載荷是有效的。
在壓制成形模1和成形件Wa被冷卻至規(guī)定溫度以下時(shí)，提升壓頭10B，解除對壓制成形模1的按壓力。
5)冷卻工序結(jié)束了壓制工序的壓制成形模1接著被順次移送到第一漸冷室P6、第二漸冷室P7，并將成形體Wa冷卻至充分低于轉(zhuǎn)變溫度Tg的溫度(例如，Tg-50℃左右)。此時(shí)，上模3由于其自重而跟隨玻璃的收縮，因此，可保持成形體Wa和成形面3a的接觸，并可得到良好的形狀精度。之后，壓制成形模1被移送至急冷部P8，并通過冷卻用的氣體來進(jìn)行急冷。
6)模的分解工序壓制成形模1返回取出/插入室P1，并從這里搬送至分解組裝部(圖中未示出)，進(jìn)行壓制成形模1的分解、成形體Wa的取出、以及供給新的玻璃坯材W。即，收納了成形體Wa的壓制成形模1被機(jī)器人放置在分解組裝臺(圖中未示出)上，并通過把持其外周來進(jìn)行定位。垂直下降分解組裝臺，然后分開上下模3、2。另外，在本實(shí)施方式中，由于處理室P2～P7為惰性氣體的氣體介質(zhì)，取出/插入室P1在取出/插入時(shí)向大氣開放，因此考慮防止壓制成形模1的氧化，從而取出/插入室P1的大氣開放優(yōu)選在250℃以下進(jìn)行。
7)成形體的取出工序?qū)崴捅鄄迦肷舷履Ｖg，通過前端的吸附墊吸引取出成形體Wa。之后重復(fù)上述各工序。
(本實(shí)施方式的效果)如以上說明，根據(jù)本實(shí)施方式的模壓成形裝置P，在以第二壓頭10B按壓上模3時(shí)，第一壓頭11按壓主體模4，使之相對于下模2的承受面23直立。由此，可通過預(yù)先確保主體模4的上下兩端面44、45、下模凸緣22的承受面23的平行度，來可靠地抑制主體模4和下模2之間的相對傾斜。
另外，第二壓頭12的按壓面12c被形成為與第一壓頭11的按壓面11a實(shí)質(zhì)平行，且第二壓頭12的按壓面12c被形成為與第二壓頭12的大直徑部12a的外周面垂直。因此，隨著第二壓頭12的下降，可在第一壓頭11筆直地(平行于第二壓頭12的下降方向)按壓主體模4的同時(shí)，第二壓頭12可以筆直地按壓上模2。另外，按壓面12c與大直徑部12a的外周面相垂直是指在直接向下方延長大直徑部12a的外周面時(shí)與按壓面12c相垂直。
如上所述，由于可抑制主體模4和上模2之間的相對傾斜，因此能夠可靠地抑制在成形件(光學(xué)透鏡)的上下面之間產(chǎn)生的傾斜。
換而言之，在本實(shí)施方式中，在第一壓制工序中將充分軟化了的玻璃坯材W偏心精度良好地按壓至規(guī)定厚度。進(jìn)而將其冷卻至規(guī)定溫度范圍，并對由于冷卻的熱收縮而受到影響的玻璃坯材W的被成形面形狀施加適度荷載，從而維持面精度。該溫度范圍為轉(zhuǎn)變溫度(Tg)～應(yīng)變點(diǎn)(Ts)的范圍，另外，按壓產(chǎn)生的厚度變化量為5～20μm。
另外，在第二壓制工序中，首先進(jìn)行壓接工序，使下模2壓接在主體模4上來固定其相對位置，其結(jié)果是，壓接主體模4的第一壓頭11也被固定位置。由此，由第一壓頭11引導(dǎo)的第二壓頭12也被間接定位。從而可獲得上下成形面的軸的一致性。
因此，本實(shí)施方式不僅適用于雙凸透鏡(biconvex lens)和凸透鏡(convex meniscus lens)的成形，也適用于凹透鏡和雙凹透鏡的成形，從而在任何情況下都能夠成形面形狀良好且精度高的透鏡。
(其它實(shí)施方式)上述模壓成形裝置P是通過旋轉(zhuǎn)移送將壓制成形模1順次移送至各個(gè)處理室的裝置，但本發(fā)明的壓頭也可適用于直線移送方式的壓制裝置，或者不移送成形模，而是在一個(gè)處理室中進(jìn)行壓制成形的單壓制裝置。
另外，上述模壓成形裝置的各個(gè)處理室等的配置結(jié)構(gòu)可進(jìn)行適當(dāng)?shù)母淖儯苑铣尚闻鞑牡慕M成和成形體的形狀，并設(shè)置必要的加熱工序、冷卻工序。
例如，在上述實(shí)施方式中將壓制室設(shè)為兩個(gè)室，并分別使用各自的壓頭進(jìn)行壓制，也可將壓制室設(shè)為一個(gè)，并僅使用本發(fā)明的壓頭壓制成形模。此時(shí)，希望適當(dāng)進(jìn)行壓制室內(nèi)的溫度控制。另外，還可進(jìn)行將包括均熱室的加熱室設(shè)為四個(gè)，或者將冷卻室設(shè)為三個(gè)等的改變。
另外，為了進(jìn)一步提高上述工序的生產(chǎn)效率，也可以分別設(shè)置相同數(shù)目的上述的加熱室、壓制室、冷卻室，并同時(shí)進(jìn)行需要不同溫度條件、不同加壓條件的多種類型的成形。
另外，當(dāng)在各個(gè)處理室中進(jìn)行加熱、加壓、冷卻等處理時(shí)，可配置兩個(gè)以上的成形模，從而也可在這些成形模中同時(shí)進(jìn)行相同的處理。此時(shí)，優(yōu)選在壓制室中對應(yīng)成形模的數(shù)目設(shè)置兩個(gè)以上的按壓機(jī)構(gòu)。
另外，本發(fā)明還適用于使用圖8所示結(jié)構(gòu)的壓制成形模1A的情況。該圖所示的壓制成形模1A的基本結(jié)構(gòu)和前述的壓制成形模1相同，具有下模2A、上模3A以及主體模4A。與前述的壓制成形模1的不同點(diǎn)在于，下模凸緣22被嵌入主體模4A中，使得主體模4A的下端面44直接放置在支持臺56的載置面56a上。
此時(shí)，用于在壓制時(shí)將主體模4A固定在定位狀態(tài)的基準(zhǔn)面為載置面56a。該載置面56a是與壓頭10B的按壓動作方向垂直的面。在進(jìn)行壓制時(shí)，通過壓頭10B的第一壓頭11按壓主體模4A，使其下端面44形成被載置面56a壓接的狀態(tài)。從而，若精度良好地設(shè)定主體模4A的下端面44和其中空部內(nèi)周面的垂直度，則可防止主體模4A的傾斜，并可在該狀態(tài)下壓制成形坯材W。
另外，在上述實(shí)施方式中，雖然用于定位的基準(zhǔn)面23、56a以及與該基準(zhǔn)面抵接的主體模4、4A的下端面44都是平坦面，但適用于本發(fā)明的基準(zhǔn)面并不限于平坦面。也可以是如下的面例如，將主體模的下端面設(shè)為具有傾斜面的凸?fàn)蠲妫瑢⒒鶞?zhǔn)面設(shè)為同樣傾斜的凹狀面，通過抵接兩者使主體模的中心軸方向和按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向平行。
權(quán)利要求
1.一種模壓成形裝置，其特征在于，包括具有成形面的第一模；具有與該第一模相對配置的成形面的第二模；同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模；以及按壓機(jī)構(gòu)，其通過使所述第一和第二模的所述成形面在彼此接近的方向上相對移動，來對配置在這些成形面之間的成形坯材進(jìn)行壓制成形，所述按壓機(jī)構(gòu)包括壓接機(jī)構(gòu)，其通過使所述主體模壓接在用于定位的基準(zhǔn)面來進(jìn)行該主體模的定位；和載荷施加機(jī)構(gòu)，其在所述壓接機(jī)構(gòu)的導(dǎo)引下按壓所述第一模。
2.如權(quán)利要求1所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述基準(zhǔn)面形成于所述第二模，通過所述壓接機(jī)構(gòu)使所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上，以此來進(jìn)行該主體模和第二模的相互定位。
3.如權(quán)利要求2所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述壓接機(jī)構(gòu)具有筒狀的第一壓頭，所述載荷施加機(jī)構(gòu)具有被插嵌在所述第一壓頭內(nèi)側(cè)的第二壓頭，所述按壓機(jī)構(gòu)還包括推壓機(jī)構(gòu)，其隨著所述第二壓頭的按壓動作，將所述第一壓頭推壓向所述第二壓頭的按壓動作方向。
4.如權(quán)利要求3所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述第一壓頭具有第一按壓面，其可抵接在所述主體模的插入有所述第一模的一側(cè)的軸向端面上，在所述第一按壓面開口有允許所述第二壓頭的軸向移動的孔。
5.如權(quán)利要求1所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述壓接機(jī)構(gòu)具有第一按壓面，其可抵接在所述主體模的插入有所述第一模的一側(cè)的軸向端面上，所述載荷施加機(jī)構(gòu)包括與所述壓接機(jī)構(gòu)的所述第一按壓面實(shí)質(zhì)平行的第二按壓面；以及可與所述壓接機(jī)構(gòu)的內(nèi)周表面滑動接觸的大直徑部，所述載荷施加機(jī)構(gòu)的所述第一按壓面和所述大直徑部的外周表面被形成為相互垂直。
6.如權(quán)利要求5所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述載荷施加機(jī)構(gòu)的所述大直徑部的軸向長度，比從該載荷施加機(jī)構(gòu)的該大直徑部的下端部到所述第二按壓面的軸向長度長。
7.如權(quán)利要求1所述的模壓成形裝置，其特征在于，所述第二模具有形成在軸向端部的大直徑的凸緣，在所述凸緣形成有與所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向相垂直的所述基準(zhǔn)面，當(dāng)所述主體模被所述壓接機(jī)構(gòu)按壓，并與所述基準(zhǔn)面緊密接觸時(shí)，所述主體模的直立方向與所述按壓機(jī)構(gòu)的按壓動作方向相一致。
8.一種模壓成形裝置用壓頭，其按壓成形模以對該成形模內(nèi)的成形坯材進(jìn)行壓制成形，其中所述成形模包括具有相互相對的成形面的第一和第二模；和同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模，其特征在于，包括壓接機(jī)構(gòu)，通過將所述主體模壓接在用于定位的基準(zhǔn)面上來進(jìn)行該主體模的定位；和載荷施加機(jī)構(gòu)，其在所述壓接機(jī)構(gòu)的引導(dǎo)下按壓所述第一模。
9.如權(quán)利要求8所述的模壓成形裝置用壓頭，其特征在于，所述壓接機(jī)構(gòu)具有筒狀的第一壓頭，所述載荷施加機(jī)構(gòu)具有被插嵌在所述第一壓頭內(nèi)側(cè)的第二壓頭，該模壓成形裝置用壓頭還包括推壓機(jī)構(gòu)，其隨著所述第二壓頭的按壓動作，將所述第一壓頭推壓向所述第二壓頭的按壓動作方向。
10.一種光學(xué)元件的制造方法，其使用權(quán)利要求1所述的模壓成形裝置來對加熱軟化了的成形坯材進(jìn)行壓制成形以獲得光學(xué)元件，其中，包括壓接工序，其通過所述壓接機(jī)構(gòu)將所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上，以定位所述主體模；和載荷施加工序，其在將所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上的狀態(tài)下，通過所述載荷施加機(jī)構(gòu)向所述第一模施加載荷。
11.如權(quán)利要求10所述的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述載荷施加工序至少在冷卻所述成形坯材的同時(shí)進(jìn)行。
12.一種光學(xué)元件的制造方法，其使用權(quán)利要求3所述的模壓成形裝置來對加熱軟化了的成形坯材進(jìn)行壓制成形以獲得光學(xué)元件，其特征在于，包括載荷施加工序，其在通過所述壓接機(jī)構(gòu)將所述主體模壓接在所述基準(zhǔn)面上的狀態(tài)下，由所述載荷施加機(jī)構(gòu)向所述第一模施加載荷，在所述載荷施加工序中，當(dāng)通過所述第二壓頭施加載荷時(shí)，通過所述推壓機(jī)構(gòu)的推壓力來提高所述第一壓頭向所述主體模的按壓力。
13.一種光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，包括供給工序，向成形模的所述成形面之間供給成形坯材，其中所述成形模包括具有成形面的第一模；具有與所述第一模相對配置的成形面的第二模；以及同軸狀地插嵌這些第一和第二模的主體模；加熱工序，用于加熱并軟化所述成形坯材，使之形成適合壓制成形的狀態(tài)；以及壓制工序，在將所述成形坯材加熱并軟化的狀態(tài)下按壓所述成形模，從而壓制成形所述成形坯材，所述壓制工序包括第一壓制工序，其在規(guī)定溫度范圍內(nèi)加壓，使所述成形坯材達(dá)到規(guī)定厚度；以及第二壓制工序，其通過具有第一壓頭和第二壓頭的按壓機(jī)構(gòu)對所述成形坯材進(jìn)一步加壓，所述第二壓制工序包括壓接工序，其通過所述第一壓頭將所述主體模壓接在所述第二模的至少一部分上，并以此來對該第一壓頭、所述主體模以及所述第二模進(jìn)行相互定位；和載荷施加工序，其在保持上述定位狀態(tài)的狀態(tài)下，使用由所述第一壓頭引導(dǎo)的所述第二壓頭向所述第一模施加載荷。
14.如權(quán)利要求13所述的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述第二壓制工序在低于所述第一壓制工序的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行。
15.如權(quán)利要求14所述的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，在所述載荷施加工序中，隨著所述第二壓頭的移動，提高所述第一壓頭向所述主體模的按壓力。
全文摘要
一種模壓成形裝置、其壓頭以及光學(xué)元件的制造方法。在壓制成形模(1)的壓制時(shí)，首先通過第一壓頭(11)將主體模(4)壓接在下模(2)的凸緣(22)的承受面(23)(基準(zhǔn)面)上，來進(jìn)行主體模(4)和下模(2)的相互定位。在保持該定位狀態(tài)的狀態(tài)下，由第二壓頭(12)向上模(3)施加載荷來對成形坯材(W)進(jìn)行壓制成形。在成形坯材(W)的壓制成形時(shí)，無傾斜地固定主體模(4)、下模(2)，且使其壓接的第一壓頭(11)也被固定，從而通過由第一壓頭(11)引導(dǎo)的第二壓頭(12)無傾斜地按壓上模(3)。由此，能夠可靠地抑制上下模(3、2)的相對傾斜的發(fā)生，能夠制造具有高形狀精度的光學(xué)元件。
文檔編號C03B11/06GK1834046SQ20061006788
公開日2006年9月20日 申請日期2006年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月14日
發(fā)明者山中賢治, 廣田慎一郎 申請人:Hoya株式會社