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用ito固體材料制作ito玻璃的工藝方法

文檔序號:1949661閱讀:528來源:國知局
專利名稱:用ito固體材料制作ito玻璃的工藝方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法。
背景技術(shù)
國內(nèi)外采用直流磁控濺射沉積ITO薄膜制造ITO玻璃,設(shè)備造價高,對環(huán)境要求高,(性能好)材料設(shè)備均需要進口,成本特別高,制作的導(dǎo)電玻璃粘結(jié)不牢固、耐磨性差,且不能制作大尺寸高透明的導(dǎo)電玻璃。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用ITO固體材料制作電阻較低、透明度高、粘結(jié)牢固的透明導(dǎo)電玻璃的工藝方法。
為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的工藝方法步驟是第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的40∽50納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、低分子酸,調(diào)節(jié)PH值至4.8∽5.5后球磨成含ITO粉末為5∽16%、ITO平均粒徑為110∽140納米的溶液;第二步,用醇溶液、低分子酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.0∽2.5%;第三步,將玻璃加熱到40∽50℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,保持玻璃溫度在40∽50℃,用質(zhì)量含量為1.2∽1.4%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至75∽90度后,質(zhì)量含量為0.9∽0.98%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,18∽22分鐘內(nèi)將玻璃升溫至170∽190度,保溫18∽22分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
所述的分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。
所述的低分子酸為硝酸或鹽酸。
第一步中所述的分散劑、醇溶液、低分子酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為6∽17∶66∽80∶0.05∽0.2∶5∽16。
采用上述技術(shù)方案的生產(chǎn)工藝,能制作大尺寸透明導(dǎo)電玻璃,該大尺寸透明導(dǎo)電玻璃具有電阻較低、透明度高(80∽85%透明度),粘結(jié)牢固,導(dǎo)電性好,附著力強,均勻度高。因銦、錫相鄰元素,產(chǎn)生電子空隙,當有外加電壓時,電子通過空隙實現(xiàn)補位而產(chǎn)生電流。由于在氧化銦、氧化錫膜外涂覆了二層SiO2膜,使其組織結(jié)構(gòu)致密,與玻璃形成牢固的結(jié)合層,而致附著力強。由于氧化銦成膜后具備透明和導(dǎo)電的性能,其透明度高。由于采用極低異物混入,粒度達到120納米左右的分散研磨方法,使ITO溶液的均勻度高,涂覆后,其均勻度也高。
采用四針電阻測量儀對ITO玻璃進行導(dǎo)電性檢測,方塊電阻100∽150Ω/cm2,直流磁控濺射噴涂工藝50-100Ω/cm2。
耐磨性采用采用削尖的7H鉛筆,以1kg力呈45角刻劃ITO玻璃表面,無劃痕,而直流磁控濺射噴涂工藝只能用4H鉛筆刻劃,無劃痕。
透明度用半球體形狀的分光光度法測量透明度,測得85%。
綜上所述,用本發(fā)明的工藝方法生產(chǎn)的透明導(dǎo)電玻璃的具有電阻比較低、透明度高(80∽85%透明度),粘結(jié)牢固,導(dǎo)電性好,附著力強,均勻度高的特點,且能制作大尺寸透明導(dǎo)電玻璃。
具體實施例方式
下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步詳細說明。
實施例1第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的40納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、硝酸,分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。分散劑、醇溶液、硝酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為17∶69.95∶0.05∶16,調(diào)節(jié)PH值至4.8后球磨成含ITO粉末為10%、ITO平均粒徑為140納米的溶液;第二步,用醇溶液、硝酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.0%;第三步,將玻璃加熱到50℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,用溫度為50℃、質(zhì)量含量為1.2%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至75度后,用溫度為40℃、質(zhì)量含量為0.9%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,18分鐘內(nèi)將玻璃升溫至190度,保溫22分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
所述的分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。
在此工藝條件下生產(chǎn)的ITO玻璃方塊電阻為140Ω/cm2,透明度為84%。
實施例2第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的50納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、鹽酸,分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。分散劑、醇溶液、鹽酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為1180∶0.1∶10,調(diào)節(jié)PH值至5.5后球磨成含ITO粉末為10%、ITO平均粒徑為110納米的溶液;第二步,用醇溶液、鹽酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.5%;第三步,將玻璃加熱到40℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,用溫度為40℃、質(zhì)量含量為1.4%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至75度后,用溫度為50℃、質(zhì)量含量為0.98%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,22分鐘內(nèi)將玻璃升溫至170度,保溫18分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
在此工藝條件下生產(chǎn)的ITO玻璃方塊電阻為130Ω/cm2,透明度為83%。
實施例3第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的50納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、硝酸,分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。分散劑、醇溶液、硝酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為1080∶0.2∶8,調(diào)節(jié)PH值至5.0后球磨成含ITO粉末為8%、ITO平均粒徑為130納米的溶液;第二步,用醇溶液、硝酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.2%;第三步,將I玻璃加熱到50℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,用溫度為40℃、質(zhì)量含量為1.3%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至75度后,用溫度為50℃、質(zhì)量含量為0.9%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,20分鐘內(nèi)將玻璃升溫至190度,保溫20分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
在此工藝條件下生產(chǎn)的ITO玻璃方塊電阻為135Ω/cm2,透明度為83%。
實施例4第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的40納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、鹽酸,分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。分散劑、醇溶液、鹽酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為669.9∶0.1∶5,調(diào)節(jié)PH值至5.5后球磨成含ITO粉末為5%、ITO平均粒徑為110納米的溶液;第二步,用醇溶液、鹽酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.5%;第三步,將玻璃加熱到45℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為220轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,用溫度為50℃、質(zhì)量含量為1.4%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為220轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至80度后,用溫度為45℃、質(zhì)量含量為0.95%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為220轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,20分鐘內(nèi)將玻璃升溫至180度,保20分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
在此工藝條件下生產(chǎn)的ITO玻璃方塊電阻為120Ω/cm2,透明度為82%。
實施例5第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的45納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、硝酸,分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。分散劑、醇溶液、硝酸與ITO粉末的質(zhì)量比例關(guān)系是為8∶69.9∶0.1∶7,調(diào)節(jié)PH值至4.8后球磨成含ITO粉末為7%、ITO平均粒徑為110納米的溶液;第二步,用醇溶液、硝酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.5%;第三步,將玻璃加熱到50℃后用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,用溫度為45℃、質(zhì)量含量為1.2%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至90度后,用溫度為45℃、質(zhì)量含量為0.9%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,20分鐘內(nèi)將玻璃升溫至170度,保溫20分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
在此工藝條件下生產(chǎn)的ITO玻璃方塊電阻為125Ω/cm2,透明度為82%。
權(quán)利要求
1.一種用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法,其工藝步驟如下第一步,在氧化銦∶氧化錫比例為95∶5的40∽50納米ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、低分子酸,調(diào)節(jié)PH值至4.8∽5.5后球磨成含ITO粉末為5∽16%、ITO平均粒徑為110∽140納米的溶液;第二步,用醇溶液、低分子酸作稀釋劑稀釋使ITO質(zhì)量含量達2.0∽2.5%;第三步,將玻璃加熱到40∽50℃后,用該ITO溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第一次旋涂;第四步,待第一次旋涂液干后,將玻璃保持在40∽50℃后,用質(zhì)量含量為1.2∽1.4%的納米級SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行第二次旋涂;第五步,玻璃加熱至75∽90度后,用質(zhì)量含量為0.9∽0.98%的SiO2溶液對轉(zhuǎn)速為200∽250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行噴涂;第六步,18∽22分鐘內(nèi)將玻璃升溫至170∽190度,保溫18∽22分鐘,再自然冷卻至室溫即可。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法,其特征是所述的分散劑為帶有大量粒子基團的高聚物,具有高的抗絮凝能力,而表面張力降低效應(yīng)、起泡傾向和潤濕作用則很小。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法,其特征是所述的低分子酸為硝酸或鹽酸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法,其特征是所述的第一步中所述的分散劑、醇溶液、低分子酸與ITO粉末的質(zhì)量比為6∽17∶68.9∽80∶0.05∽0.2∶5∽16。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用ITO固體材料制作ITO玻璃的工藝方法,在ITO粉末中加入分散劑、醇溶液、低分子酸,調(diào)節(jié)pH值4.8~5.5后磨成含ITO粉末為5~16%、粒徑為110~140納米的溶液;稀釋到2.0~2.5%;將玻璃加熱到40~50℃后,對轉(zhuǎn)速為200~250轉(zhuǎn)/分的玻璃的表面進行旋涂;將玻璃保持在40~50℃后,用含量為1.2~1.4%的納米SiO
文檔編號C03C17/23GK1872757SQ20061003184
公開日2006年12月6日 申請日期2006年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月16日
發(fā)明者何建湘 申請人:湖南和牌新材料有限公司
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