專利名稱:陶瓷管殼焊接方法
技術(shù)領域:
本發(fā)明涉及一種陶瓷管殼焊接方法,尤其是超大功率高真空陶瓷管殼焊接方法。
二、技術(shù)背景目前超大功率高真空陶瓷管殼的焊接方法為一次焊接法即將陶瓷環(huán)、密封圈、法蘭圈、門極引線管和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,在陶瓷環(huán)與密封圈、陶瓷環(huán)與法蘭圈、陶瓷環(huán)與門極引線管及密封圈與下壓銅塊的焊接處加入銀銅焊料,再將焊接模具放入焊接爐中在850℃左右的溫度中焊接。由于陶瓷環(huán)與密封圈和下壓銅塊的熱膨脹系數(shù)相差懸殊,使得焊接冷卻后下壓銅塊難以釋放其內(nèi)應力,使下壓銅塊的平面度和平行度發(fā)生變化,造成下壓銅塊平面度和平行度超差。而陶瓷管殼是半導體器件的一個重要組成部分,它不僅保護著半導體的芯片免受外部有害環(huán)境的污染,而且對器件的電、熱性能和可靠性均起到了極為重要的作用。因此管殼無氧銅塊表面的平面度和平行度直接影響著管殼與半導體器件中管芯的接觸效果及銅塊表面的壓降與熱阻值。
三、技術(shù)內(nèi)容針對上述缺點,本發(fā)明的目的在于改變一種陶瓷管殼焊接方法,確保焊接后下壓銅塊的平面度和平行度不發(fā)生變化。
本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容為,一種陶瓷管殼焊接方法,其焊接步驟如下(1)先將密封圈和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,并在密封圈與下壓銅的焊接處加入銀銅焊料;(2)將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接;(3)將焊接好的密封圈和下壓銅塊與陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管裝入焊接模具中,并在密封圈、法蘭圈、門極引線管與陶瓷環(huán)的焊接處加入銀銅焊料;(4)將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具放入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比所具有的優(yōu)點是1、由于采用了二次焊接的方法,陶瓷管殼焊接后,下壓銅塊的平面度和平行度不發(fā)生變化。
2、由于采用了二次焊接的方法,陶瓷管殼焊接后,大幅降度低陶瓷—金屬的封接應力,使大規(guī)格管殼漏率≤1×10-9Pa·m3/s。
3、確保了內(nèi)高等工藝尺寸一次到位,避免由于整形糾正尺寸而帶來的銅塊平面度和平行度超差現(xiàn)象。
四具體實施例例13英寸陶瓷管殼在焊接時1、先將密封圈和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,并在密封圈與下壓銅的焊接處加入銀銅焊料;2、將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接;3、將焊接好的密封圈和下壓銅塊與陶瓷環(huán)法蘭圈、門極引線管裝入焊接模具中,并在密封圈、法蘭圈、門極引線管與陶瓷環(huán)的焊接處加入銀銅焊料;4、將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接。
例25英寸陶瓷管殼在焊接時1、先將密封圈和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,并在密封圈與下壓銅的焊接處加入銀銅焊料;2、將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接;3、將焊接好的密封圈和下壓銅塊與陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管裝入焊接模具中,并在密封圈、法蘭圈、門極引線管與陶瓷環(huán)的焊接處加入銀銅焊料;4、將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接。
權(quán)利要求
1.一種陶瓷管殼焊接方法,其焊接步驟如下(1)先將密封圈和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,并在密封圈與下壓銅的焊接處加入銀銅焊料;(2)將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接;(3)將焊接好的密封圈和下壓銅塊與陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管裝入焊接模具中,并在密封圈、法蘭圈、門極引線管與陶瓷環(huán)的焊接處加入銀銅焊料;(4)將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具放入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷管殼焊接方法,其特征為將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接;將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具放入焊接爐中在845~855℃的溫度中焊接。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種陶瓷管殼焊接方法,其焊接步驟如下(1)先將密封圈和下壓銅塊一起裝入焊接模具中,并在密封圈與下壓銅的焊接處加入銀銅焊料;(2)將放有密封圈和下壓銅塊的焊接模具裝入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接;(3)將焊接好的密封圈和下壓銅塊與陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管裝入焊接模具中,并在密封圈、法蘭圈、門極引線管與陶瓷環(huán)的焊接處加入銀銅焊料;(4)將放有陶瓷環(huán)、法蘭圈、門極引線管、密封圈和下壓銅塊的焊接模具放入焊接爐中在800~900℃的溫度中焊接。本發(fā)明所具有的優(yōu)點是能確保焊接后下壓銅塊的平面度和平行度不發(fā)生變化。
文檔編號C04B37/02GK1827557SQ200510037879
公開日2006年9月6日 申請日期2005年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月28日
發(fā)明者陸建民, 徐國民 申請人:江陰九華集團有限公司