一種碳化硅切割機的制作方法
專利名稱:一種碳化硅切割機的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種碳化硅切割機。其包括設置在切割機的工作柱頂端的支撐板，在支撐板的上端設有相連接的氣泵和水箱，在支撐板的下部設有出氣環(huán)，出氣環(huán)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔，出氣孔呈喇叭口狀，水箱在遠離氣泵的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內腔，水箱的內腔底端中部設有霧化器；切割機的工作板的上部固定有進氣環(huán)，進氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍，進氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口，切割機的裝置本體上設有與負壓泵連接的負壓倉，負壓倉的另一側通過管道連接進氣環(huán)的內腔底端，負壓倉內設有粉塵過濾網和水份過濾層。本實用新型提高了切割過程的操作面積，便于操作人員的操作，并且能夠提高操作環(huán)境的質量，有利于操作人員的身體健康。
【專利說明】
一種碳化硅切割機
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種碳化硅切割機，屬于碳化硅加工技術領域。
【背景技術】
[0002]現有技術中對碳化硅切割采用的是多線切割方式，加工時，通過高速往復運動的鋼絲線對碳化硅晶體進行切割。
[0003]在碳化硅切割的過程中極易出現灰塵和崩亂的雜質，傳統(tǒng)的切割裝置為了防止灰塵和雜質，將碳化硅切割的過程放置在封閉空間中進行，或通過增加多個擋板，來進行阻擋，但是這種操作方式會很大程度上影響操作人員在工作時的工作面積，這就使操作人員的操作在一定程度上受到影響，并且傳統(tǒng)的切割裝置對灰塵和雜質的格擋效率低，嚴重影響了工作環(huán)境和操作人員的身體健康，為此，我們提出了一種帶防塵裝置的碳化硅切割機。
【發(fā)明內容】
[0004]針對現有技術中存在的上述缺陷，本實用新型提供了一種多操作面積、方便操作人員操作并在碳化硅切割過程中能夠有效防塵的碳化硅切割機。
[0005]本實用新型是通過如下技術方案來實現的:一種碳化硅切割機，包括裝置本體，所述裝置本體的中部設有工作板，且工作板的上端中部設有工作臺，所述工作板的一端豎直設有工作柱，工作柱的頂端固定設有支撐板，其特征是:所述支撐板的上端設有氣栗和水箱，所述氣栗的輸出端通過管道連接水箱的內腔上端，所述支撐板的下部對應于下方的工作臺固定設有圓環(huán)狀的出氣環(huán)，所述出氣環(huán)內具有環(huán)狀的內腔，所述出氣環(huán)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔，所述出氣孔呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)的內腔，所述水箱在遠離氣栗的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內腔，所述水箱的內腔底端中部設有霧化器;所述工作板的上部固定有進氣環(huán)，所述進氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍，所述進氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口，所述環(huán)形開口通于進氣環(huán)的內腔，所述裝置本體上固定設有負壓倉，負壓倉的上端固定設有負壓栗，所述負壓栗的輸入端通過管道連接負壓倉內腔的一側，所述負壓倉內腔的另一側通過管道貫穿工作板并連接進氣環(huán)的內腔底端，所述負壓倉內依次設有粉塵過濾網和水份過濾層。
[0006]本實用新型使用時，在氣栗的作用下，帶壓氣體先經過水箱，水箱內的霧化器對經過水箱的氣體進行加濕，帶有一定壓力及濕度的氣體進入出氣環(huán)內，并由各出氣孔向下噴出，帶有一定濕度的氣體可使切割過程中產生的灰塵及雜質得到很好的附著和清除；同時，在負壓栗的作用下，進氣環(huán)內呈負壓狀態(tài)，可以將灰塵吸入進氣環(huán)內，并進入負壓倉內進行過濾及除去水份。通過出氣環(huán)和進氣環(huán)的配合作用，可使帶有濕度的氣體能夠包圍在碳化硅切割的位置，實現最大程度上的抑制切割過程中產生的灰塵和雜質，并且能夠使切割過程中產生的熱量得到吸收。本實用新型中出氣環(huán)的出氣孔設置為喇叭口狀可以提高氣體噴出的流速，有利于在工作臺周圍形成有效的氣體包圍氛圍。
[0007]為便于對負壓倉內的過濾部件進行更換，作為優(yōu)選的技術方案，所述粉塵過濾網和水份過濾層均活動連接于負壓倉的內腔壁。
[0008]為保證過濾效果，所述粉塵過濾網為依次設置的2-4個。
[0009]為防止較大的雜質進入進氣環(huán)內，所述環(huán)形開口上設有雜質過濾網。
[0010]作為優(yōu)選的技術方案，所述出氣孔的小口端開口的直徑優(yōu)選為0.5-2mm。
[0011]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過出氣環(huán)和霧化器的配合作用使噴出的氣體能夠帶有一定的濕度，使切割過程中產生的灰塵和雜質得到很好的附著和清除，通過出氣環(huán)和進氣環(huán)的配合作用，使帶有濕度的氣體能夠包圍著碳化硅切割的位置，實現最大程度上的抑制切割過程中產生的灰塵和雜質，并且能夠使切割過程中產生的熱量得到吸收，總的來說，本實用新型通過合理的結構設計，使切割過程中產生的雜質、灰塵以及熱量能夠得到很好的吸收，避免了大量固體擋板的設置，提高了切割過程的操作面積，便于操作人員的操作，并且能夠提高操作環(huán)境的質量，保護了操作人員的身體健康。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構不意圖；
[0013]圖2為本實用新型中的出氣環(huán)部分的俯視圖；
[0014]圖3為本實用新型中的出氣環(huán)的截面圖；
[0015]圖4為本實用新型中的進氣環(huán)部分的剖面圖；
[0016]圖5為本實用新型中的負壓倉的結構示意圖；
[0017]圖6為本實用新型中的水箱的結構示意圖。
[0018]圖中:1、裝置本體，2、工作板，3、進氣環(huán)，31、環(huán)形開口，4、工作柱，5、出氣環(huán)，6、氣栗，7、水箱，71、霧化器，8、支撐板，9、工作臺，10、負壓栗，11、負壓倉，111、粉塵過濾網，112、水份過濾層，12、控制開關，13、出氣孔，14、進氣口，15、出氣環(huán)的內腔，16、流量調節(jié)閥。
【具體實施方式】
[0019]下面通過非限定性的實施例并結合附圖對本實用新型作進一步的說明:
[0020]如附圖所示，一種碳化硅切割機，包括裝置本體I，所述裝置本體I的中部設有工作板2，且工作板2的上端中部設有工作臺9，所述工作板2的一端豎直設有工作柱4，工作柱4的頂端固定設有支撐板8，所述支撐板8的上端設有氣栗6和水箱7，所述氣栗6的輸出端通過管道連接水箱7的內腔上端。所述支撐板8的下部固定有圓環(huán)狀的出氣環(huán)5，出氣環(huán)5與下方的工作臺9相對應。所述出氣環(huán)5內具有環(huán)狀的內腔15，所述出氣環(huán)5的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔13，所述出氣孔13呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)5的內腔，出氣孔13的小口端開口的直徑為0.5-2mm。水箱7在遠離氣栗6的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)5上的進氣口 14，所述水箱7的內腔底端中部設有霧化器71。在水箱7與出氣環(huán)5之間的連通管道上還設有流量調節(jié)閥16。所述工作板2的上部固定有進氣環(huán)3，所述進氣環(huán)3包圍在工作臺9的外圍，所述進氣環(huán)3的上端開有環(huán)形開口31，所述環(huán)形開口31通于進氣環(huán)3的內腔，所述環(huán)形開口 31上設置有雜質過濾網。所述裝置本體I上在工作板2的下方固定設有負壓倉11，負壓倉11的上端固定設有負壓栗10，所述負壓栗10的輸入端通過管道連接負壓倉11內腔的一偵U，所述負壓倉11內腔的另一側通過管道貫穿工作板2并連接進氣環(huán)3的內腔底端。所述負壓倉11內沿氣體的流動方向依次設有粉塵過濾網111和水份過濾層112，其中，所述粉塵過濾網111和水份過濾層112均活動連接于負壓倉11的內腔壁，以便于拆卸及更換。粉塵過濾網111的數量優(yōu)選為依次設置的2-4個。在裝置本體I底端支柱的側壁上設有控制開關12，所述霧化器、氣栗和負壓栗均電性連接控制開關12。
[0021 ]本實施例中的霧化器采用現有技術，在此不再贅述。
[0022]本實用新型工作時，在氣栗6的作用下，氣體先經過水箱7，水箱7內的霧化器71對經過水箱內的氣體進行加濕，帶有一定壓力及濕度的氣體自水箱7的另一端進入出氣環(huán)4內，并由出氣環(huán)5上的各出氣孔13向下噴出，使得帶有一定濕度的氣體包圍在切割機的工作臺9周圍，使得切割過程中產生的灰塵和雜質得到很好的附著和清除。通過調節(jié)流量調節(jié)閥16可對進入出氣環(huán)的氣體流量進行調節(jié)，以滿足不同的氣體流速需求。與此同時，在負壓栗10的作用下，進氣環(huán)3內部呈現負壓狀態(tài)，可以將工作臺周圍的粉塵吸入負壓倉內進行過濾及除去水份，同時配合出氣環(huán)5，使切割的操作位置得到很好的包圍，使工作臺的周圍形成一個較為封閉的操作位置，有效的防止切割的灰塵和雜質的飛出，提高了操作環(huán)境的質量，一定程度上保證了操作人員的身體健康。
[0023]本實用新型通過電控系統(tǒng)可實現自動化作業(yè)。
[0024]本實施例中的其他部分采用已知技術，在此不再贅述。
【主權項】
1.一種碳化硅切割機，包括裝置本體(I)，所述裝置本體(I)的中部設有工作板(2)，且工作板(2)的上端中部設有工作臺(9)，所述工作板(2)的一端豎直設有工作柱，工作柱的頂端固定設有支撐板(8)，其特征是:所述支撐板(8)的上端設有氣栗(6)和水箱(7)，所述氣栗(6)的輸出端通過管道連接水箱(7)的內腔上端，所述支撐板(8)的下部對應于下方的工作臺(9)固定設有圓環(huán)狀的出氣環(huán)(5)，所述出氣環(huán)(5)內具有環(huán)狀的內腔(15)，所述出氣環(huán)(5)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔(13)，所述出氣孔(13)呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)(5)的內腔，所述水箱(7)在遠離氣栗(6)的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)(5)的內腔，所述水箱(7)的內腔底端中部設有霧化器(71);所述工作板(2)的上部固定有進氣環(huán)(3)，所述進氣環(huán)(3)圍繞在工作臺(9)的外圍，所述進氣環(huán)(3)的上端開有環(huán)形開口(31)，所述環(huán)形開口(31)通于進氣環(huán)(3)的內腔，所述裝置本體(I)上固定設有負壓倉(11)，負壓倉(11)的上端固定設有負壓栗(10)，所述負壓栗(10)的輸入端通過管道連接負壓倉(11)內腔的一側，所述負壓倉(11)內腔的另一側通過管道貫穿工作板(2)并連接進氣環(huán)(3)的內腔底端，所述負壓倉(11)內依次設有粉塵過濾網(111)和水份過濾層(112)。2.根據權利要求1所述的碳化硅切割機，其特征是:所述粉塵過濾網(111)和水份過濾層(112)均活動連接于負壓倉(11)的內腔壁。3.根據權利要求2所述的碳化硅切割機，其特征是:所述粉塵過濾網(111)為依次設置的2-4個。4.根據權利要求1或2或3所述的碳化硅切割機，其特征是:所述環(huán)形開口(31)上設有雜質過濾網。5.根據權利要求1或2或3所述的碳化硅切割機，其特征是:所述出氣孔(13)的小口端開口的直徑為0.5-2mm。
【文檔編號】B28D7/02GK205704744SQ201620372937
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月28日
【發(fā)明人】宗艷民
【申請人】山東天岳晶體材料有限公司
【專利摘要】本實用新型涉及一種碳化硅切割機。其包括設置在切割機的工作柱頂端的支撐板，在支撐板的上端設有相連接的氣泵和水箱，在支撐板的下部設有出氣環(huán)，出氣環(huán)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔，出氣孔呈喇叭口狀，水箱在遠離氣泵的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內腔，水箱的內腔底端中部設有霧化器；切割機的工作板的上部固定有進氣環(huán)，進氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍，進氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口，切割機的裝置本體上設有與負壓泵連接的負壓倉，負壓倉的另一側通過管道連接進氣環(huán)的內腔底端，負壓倉內設有粉塵過濾網和水份過濾層。本實用新型提高了切割過程的操作面積，便于操作人員的操作，并且能夠提高操作環(huán)境的質量，有利于操作人員的身體健康。
【專利說明】
一種碳化硅切割機
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種碳化硅切割機，屬于碳化硅加工技術領域。
【背景技術】
[0002]現有技術中對碳化硅切割采用的是多線切割方式，加工時，通過高速往復運動的鋼絲線對碳化硅晶體進行切割。
[0003]在碳化硅切割的過程中極易出現灰塵和崩亂的雜質，傳統(tǒng)的切割裝置為了防止灰塵和雜質，將碳化硅切割的過程放置在封閉空間中進行，或通過增加多個擋板，來進行阻擋，但是這種操作方式會很大程度上影響操作人員在工作時的工作面積，這就使操作人員的操作在一定程度上受到影響，并且傳統(tǒng)的切割裝置對灰塵和雜質的格擋效率低，嚴重影響了工作環(huán)境和操作人員的身體健康，為此，我們提出了一種帶防塵裝置的碳化硅切割機。
【發(fā)明內容】
[0004]針對現有技術中存在的上述缺陷，本實用新型提供了一種多操作面積、方便操作人員操作并在碳化硅切割過程中能夠有效防塵的碳化硅切割機。
[0005]本實用新型是通過如下技術方案來實現的:一種碳化硅切割機，包括裝置本體，所述裝置本體的中部設有工作板，且工作板的上端中部設有工作臺，所述工作板的一端豎直設有工作柱，工作柱的頂端固定設有支撐板，其特征是:所述支撐板的上端設有氣栗和水箱，所述氣栗的輸出端通過管道連接水箱的內腔上端，所述支撐板的下部對應于下方的工作臺固定設有圓環(huán)狀的出氣環(huán)，所述出氣環(huán)內具有環(huán)狀的內腔，所述出氣環(huán)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔，所述出氣孔呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)的內腔，所述水箱在遠離氣栗的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)的內腔，所述水箱的內腔底端中部設有霧化器;所述工作板的上部固定有進氣環(huán)，所述進氣環(huán)圍繞在工作臺的外圍，所述進氣環(huán)的上端開有環(huán)形開口，所述環(huán)形開口通于進氣環(huán)的內腔，所述裝置本體上固定設有負壓倉，負壓倉的上端固定設有負壓栗，所述負壓栗的輸入端通過管道連接負壓倉內腔的一側，所述負壓倉內腔的另一側通過管道貫穿工作板并連接進氣環(huán)的內腔底端，所述負壓倉內依次設有粉塵過濾網和水份過濾層。
[0006]本實用新型使用時，在氣栗的作用下，帶壓氣體先經過水箱，水箱內的霧化器對經過水箱的氣體進行加濕，帶有一定壓力及濕度的氣體進入出氣環(huán)內，并由各出氣孔向下噴出，帶有一定濕度的氣體可使切割過程中產生的灰塵及雜質得到很好的附著和清除；同時，在負壓栗的作用下，進氣環(huán)內呈負壓狀態(tài)，可以將灰塵吸入進氣環(huán)內，并進入負壓倉內進行過濾及除去水份。通過出氣環(huán)和進氣環(huán)的配合作用，可使帶有濕度的氣體能夠包圍在碳化硅切割的位置，實現最大程度上的抑制切割過程中產生的灰塵和雜質，并且能夠使切割過程中產生的熱量得到吸收。本實用新型中出氣環(huán)的出氣孔設置為喇叭口狀可以提高氣體噴出的流速，有利于在工作臺周圍形成有效的氣體包圍氛圍。
[0007]為便于對負壓倉內的過濾部件進行更換，作為優(yōu)選的技術方案，所述粉塵過濾網和水份過濾層均活動連接于負壓倉的內腔壁。
[0008]為保證過濾效果，所述粉塵過濾網為依次設置的2-4個。
[0009]為防止較大的雜質進入進氣環(huán)內，所述環(huán)形開口上設有雜質過濾網。
[0010]作為優(yōu)選的技術方案，所述出氣孔的小口端開口的直徑優(yōu)選為0.5-2mm。
[0011]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過出氣環(huán)和霧化器的配合作用使噴出的氣體能夠帶有一定的濕度，使切割過程中產生的灰塵和雜質得到很好的附著和清除，通過出氣環(huán)和進氣環(huán)的配合作用，使帶有濕度的氣體能夠包圍著碳化硅切割的位置，實現最大程度上的抑制切割過程中產生的灰塵和雜質，并且能夠使切割過程中產生的熱量得到吸收，總的來說，本實用新型通過合理的結構設計，使切割過程中產生的雜質、灰塵以及熱量能夠得到很好的吸收，避免了大量固體擋板的設置，提高了切割過程的操作面積，便于操作人員的操作，并且能夠提高操作環(huán)境的質量，保護了操作人員的身體健康。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型的結構不意圖；
[0013]圖2為本實用新型中的出氣環(huán)部分的俯視圖；
[0014]圖3為本實用新型中的出氣環(huán)的截面圖；
[0015]圖4為本實用新型中的進氣環(huán)部分的剖面圖；
[0016]圖5為本實用新型中的負壓倉的結構示意圖；
[0017]圖6為本實用新型中的水箱的結構示意圖。
[0018]圖中:1、裝置本體，2、工作板，3、進氣環(huán)，31、環(huán)形開口，4、工作柱，5、出氣環(huán)，6、氣栗，7、水箱，71、霧化器，8、支撐板，9、工作臺，10、負壓栗，11、負壓倉，111、粉塵過濾網，112、水份過濾層，12、控制開關，13、出氣孔，14、進氣口，15、出氣環(huán)的內腔，16、流量調節(jié)閥。
【具體實施方式】
[0019]下面通過非限定性的實施例并結合附圖對本實用新型作進一步的說明:
[0020]如附圖所示，一種碳化硅切割機，包括裝置本體I，所述裝置本體I的中部設有工作板2，且工作板2的上端中部設有工作臺9，所述工作板2的一端豎直設有工作柱4，工作柱4的頂端固定設有支撐板8，所述支撐板8的上端設有氣栗6和水箱7，所述氣栗6的輸出端通過管道連接水箱7的內腔上端。所述支撐板8的下部固定有圓環(huán)狀的出氣環(huán)5，出氣環(huán)5與下方的工作臺9相對應。所述出氣環(huán)5內具有環(huán)狀的內腔15，所述出氣環(huán)5的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔13，所述出氣孔13呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)5的內腔，出氣孔13的小口端開口的直徑為0.5-2mm。水箱7在遠離氣栗6的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)5上的進氣口 14，所述水箱7的內腔底端中部設有霧化器71。在水箱7與出氣環(huán)5之間的連通管道上還設有流量調節(jié)閥16。所述工作板2的上部固定有進氣環(huán)3，所述進氣環(huán)3包圍在工作臺9的外圍，所述進氣環(huán)3的上端開有環(huán)形開口31，所述環(huán)形開口31通于進氣環(huán)3的內腔，所述環(huán)形開口 31上設置有雜質過濾網。所述裝置本體I上在工作板2的下方固定設有負壓倉11，負壓倉11的上端固定設有負壓栗10，所述負壓栗10的輸入端通過管道連接負壓倉11內腔的一偵U，所述負壓倉11內腔的另一側通過管道貫穿工作板2并連接進氣環(huán)3的內腔底端。所述負壓倉11內沿氣體的流動方向依次設有粉塵過濾網111和水份過濾層112，其中，所述粉塵過濾網111和水份過濾層112均活動連接于負壓倉11的內腔壁，以便于拆卸及更換。粉塵過濾網111的數量優(yōu)選為依次設置的2-4個。在裝置本體I底端支柱的側壁上設有控制開關12，所述霧化器、氣栗和負壓栗均電性連接控制開關12。
[0021 ]本實施例中的霧化器采用現有技術，在此不再贅述。
[0022]本實用新型工作時，在氣栗6的作用下，氣體先經過水箱7，水箱7內的霧化器71對經過水箱內的氣體進行加濕，帶有一定壓力及濕度的氣體自水箱7的另一端進入出氣環(huán)4內，并由出氣環(huán)5上的各出氣孔13向下噴出，使得帶有一定濕度的氣體包圍在切割機的工作臺9周圍，使得切割過程中產生的灰塵和雜質得到很好的附著和清除。通過調節(jié)流量調節(jié)閥16可對進入出氣環(huán)的氣體流量進行調節(jié)，以滿足不同的氣體流速需求。與此同時，在負壓栗10的作用下，進氣環(huán)3內部呈現負壓狀態(tài)，可以將工作臺周圍的粉塵吸入負壓倉內進行過濾及除去水份，同時配合出氣環(huán)5，使切割的操作位置得到很好的包圍，使工作臺的周圍形成一個較為封閉的操作位置，有效的防止切割的灰塵和雜質的飛出，提高了操作環(huán)境的質量，一定程度上保證了操作人員的身體健康。
[0023]本實用新型通過電控系統(tǒng)可實現自動化作業(yè)。
[0024]本實施例中的其他部分采用已知技術，在此不再贅述。
【主權項】
1.一種碳化硅切割機，包括裝置本體(I)，所述裝置本體(I)的中部設有工作板(2)，且工作板(2)的上端中部設有工作臺(9)，所述工作板(2)的一端豎直設有工作柱，工作柱的頂端固定設有支撐板(8)，其特征是:所述支撐板(8)的上端設有氣栗(6)和水箱(7)，所述氣栗(6)的輸出端通過管道連接水箱(7)的內腔上端，所述支撐板(8)的下部對應于下方的工作臺(9)固定設有圓環(huán)狀的出氣環(huán)(5)，所述出氣環(huán)(5)內具有環(huán)狀的內腔(15)，所述出氣環(huán)(5)的底端設有若干沿同一圓周均勻分布的出氣孔(13)，所述出氣孔(13)呈喇叭口狀，其大口端朝向出氣環(huán)(5)的內腔，所述水箱(7)在遠離氣栗(6)的內腔上端通過管道連接出氣環(huán)(5)的內腔，所述水箱(7)的內腔底端中部設有霧化器(71);所述工作板(2)的上部固定有進氣環(huán)(3)，所述進氣環(huán)(3)圍繞在工作臺(9)的外圍，所述進氣環(huán)(3)的上端開有環(huán)形開口(31)，所述環(huán)形開口(31)通于進氣環(huán)(3)的內腔，所述裝置本體(I)上固定設有負壓倉(11)，負壓倉(11)的上端固定設有負壓栗(10)，所述負壓栗(10)的輸入端通過管道連接負壓倉(11)內腔的一側，所述負壓倉(11)內腔的另一側通過管道貫穿工作板(2)并連接進氣環(huán)(3)的內腔底端，所述負壓倉(11)內依次設有粉塵過濾網(111)和水份過濾層(112)。2.根據權利要求1所述的碳化硅切割機，其特征是:所述粉塵過濾網(111)和水份過濾層(112)均活動連接于負壓倉(11)的內腔壁。3.根據權利要求2所述的碳化硅切割機，其特征是:所述粉塵過濾網(111)為依次設置的2-4個。4.根據權利要求1或2或3所述的碳化硅切割機，其特征是:所述環(huán)形開口(31)上設有雜質過濾網。5.根據權利要求1或2或3所述的碳化硅切割機，其特征是:所述出氣孔(13)的小口端開口的直徑為0.5-2mm。
【文檔編號】B28D7/02GK205704744SQ201620372937
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年4月28日
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