專利名稱:用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室的制作方法
【專利摘要】本實用新型實施例公開了一種用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內(nèi)部進(jìn)行光罩品質(zhì)檢驗的封閉空間，由立體框架和固設(shè)于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側(cè)壁開設(shè)一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內(nèi)部設(shè)有供工作人員進(jìn)行檢視的可調(diào)式綠光燈。本實用新型實施例通過采用由立體框架和固設(shè)于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成的暗室，并在暗室內(nèi)設(shè)置可調(diào)式濾光燈，從而達(dá)到了環(huán)境質(zhì)量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的技術(shù)效果。
【專利說明】用于光卓品質(zhì)檢驗的日苜室

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光罩制作領(lǐng)域，尤其涉及一種用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著世界范圍內(nèi)面板產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，對大尺寸高精度的TFT、CF及普通面板的需求量也逐年的上升，與之對應(yīng)的光罩(俗稱Mask)的需求量也在日益增加，同時更大尺寸及更高精度的面板也對Mask的制作工藝提出了更高的要求。尤其是Mask在制程及機器檢查完成后，需要工作人員在強光燈下進(jìn)行目視檢查?，F(xiàn)有目視檢查通常由I名或多名工作人員完成，工作人員佩戴無塵手套后雙手握持Mask，在強光燈下肉眼檢查外觀、臟污、缺陷等項目。
[0003]然而，上述目視檢查存在很多缺陷:(1)該檢驗通常要在ClasslOOO的無塵環(huán)境中進(jìn)行，環(huán)境質(zhì)量的好壞對檢查的效果有著很大的影響；(2)由于強光燈置于車間內(nèi)，車間內(nèi)的白光對強光燈的光強有著很大的影響，對于1ym以下的表面缺陷不易觀察，而微小缺陷的存在對客戶使用Mask有致命影響，同時周圍環(huán)境的過亮以及強光燈本身對Mask表面的反光會嚴(yán)重影響檢驗人員的視覺判斷；(3)強光燈亮度不易調(diào)節(jié)，且長時間在強光燈下工作對人眼有一定的傷害。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型實施例所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種環(huán)境質(zhì)量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型實施例提出了一種用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內(nèi)部進(jìn)行光罩品質(zhì)檢驗的封閉空間，由立體框架和固設(shè)于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側(cè)壁開設(shè)一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內(nèi)部設(shè)有供工作人員進(jìn)行檢視的可調(diào)式綠光燈。
[0006]進(jìn)一步地，所述暗室的頂壁設(shè)有包括兩級過濾網(wǎng)的過濾送風(fēng)裝置。
[0007]進(jìn)一步地，所述暗室內(nèi)部還設(shè)有可供工作人員進(jìn)行檢視操作的操作臺。
[0008]進(jìn)一步地，所述立體框架由空心管材搭建而成，所述暗室的側(cè)壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架上。
[0009]進(jìn)一步地，所述立體框架的底部下方設(shè)有多個輪架和與所述輪架匹配的輪子。
[0010]進(jìn)一步地，所述立體框架的底部下方還設(shè)有多個調(diào)節(jié)支座。
[0011]本實用新型實施例的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室的有益效果是:通過采用由立體框架和固設(shè)于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成的暗室，并在暗室內(nèi)設(shè)置可調(diào)式濾光燈，從而達(dá)到了目視檢查環(huán)境質(zhì)量高，光線不受外界影響，安全、方便且高效的技術(shù)效果。

【附圖說明】

[0012]圖1是本實用新型實施例的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室的透視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是圖1所示暗室的另一角度的透視圖。
[0014]圖3是圖1所示暗室的俯視圖。

【具體實施方式】
[0015]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互結(jié)合，下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0016]請參考圖1至圖3，本實用新型實施例提供了一種用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，所述暗室為可容納工作人員在其內(nèi)部進(jìn)行光罩品質(zhì)檢驗的封閉空間，由立體框架10和固設(shè)于所述立體框架10上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側(cè)壁開設(shè)一門框并在所述門框上鉸接有暗室門20，所述暗室內(nèi)部設(shè)有供工作人員進(jìn)行檢視的可調(diào)式綠光燈30。在暗室內(nèi)使用綠光燈30，該綠光燈30具有操作簡單、易使用、照射面積廣、效果好、對人體無害、對眼睛損傷小的優(yōu)點，可以清晰明確判斷Mask表面各種缺陷，尤其方便確認(rèn)ΙΟμπι以下的傷痕和微粒子等表面缺陷，并且綠光燈30的光源部可以分離、亮度可調(diào)，可以根據(jù)Mask的大小及暗室空間位置等任意擺放。
[0017]所述立體框架10由空心管材搭建而成，所述暗室的側(cè)壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架10上。其中，所示管材優(yōu)選為空心鋼管或鋁管。暗室的室內(nèi)面積可依需設(shè)定，一般設(shè)為5平方米至10平方米，本實施方式中，立體框架10的長寬高分別為3m、3m和3m。
[0018]所述暗室的頂壁設(shè)有包括兩級過濾網(wǎng)的過濾送風(fēng)裝置40。具體地，暗室的頂壁安裝風(fēng)機過濾機，并設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機從頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以預(yù)定的風(fēng)速勻速送出，內(nèi)部空氣通過底部縫隙流出，進(jìn)而既提高了暗室內(nèi)的潔凈度級別，營造了黑暗環(huán)境，方便品質(zhì)檢驗，也無需改變車間布局及對整個車間進(jìn)行環(huán)境等級的升級改造(如由ClasslOOO改造為Class 100等)，大大降低了造價成本。
[0019]所述暗室內(nèi)部還設(shè)有可供工作人員進(jìn)行檢視操作的操作臺(圖未示出)。
[0020]所述立體框架10的底部下方設(shè)有多個輪架50和與所述輪架50匹配的輪子60，所述立體框架10的底部下方還設(shè)有多個調(diào)節(jié)支座70。所述輪子60方便了暗室的移動，所述調(diào)節(jié)支座70設(shè)于暗房的四個底角，底部為平面，保證整個暗房的平穩(wěn)。
[0021]本實用新型實施例的暗室對應(yīng)的目視檢查準(zhǔn)備工作包括:使暗室內(nèi)的風(fēng)機過濾機一直處于開啟狀態(tài)，以保證暗室內(nèi)的環(huán)境質(zhì)量，準(zhǔn)備好丙酮、無塵紙、無塵布以及相對應(yīng)且清潔干凈的出貨箱，將這些輔材放置在暗室的操作臺上，將清洗干凈的Mask拿入暗室，并提前15分鐘打開暗室的綠光燈30，具體的目視檢查過程為:
[0022](I)工作人員首先重新進(jìn)入風(fēng)淋室，吹一次風(fēng)淋以吹掉身上的臟污，以免檢驗時身上及衣袖內(nèi)的臟污或灰塵掉落在Mask上。
[0023](2)佩戴新的無塵手套，新佩戴的無塵手套也可經(jīng)過酒精的擦拭保持其潔凈度。
[0024](3)在綠光燈30下對Mask進(jìn)行目視檢查。
[0025](4)檢驗完畢后，若Mask無任何問題，即打開包裝箱，將Mask放入其中，打包出貨。
[0026]綜上，本實用新型實施例通過在車間內(nèi)狹小空間的范圍內(nèi)搭建檢驗暗室，以控制人工檢查的小范圍內(nèi)環(huán)境質(zhì)量以及環(huán)境的亮暗程度，先將環(huán)境亮度調(diào)整為全黑環(huán)境，并進(jìn)行過濾送風(fēng)，然后配合綠光燈30的使用，從而使得人工檢驗更加安全，減少了臟污來源，既降低成本(及車間整體環(huán)境改造的成本)又提升工作人員檢驗Mask的質(zhì)量和效率。
[0027]以上所述是本實用新型的【具體實施方式】，應(yīng)當(dāng)指出，對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也視為本實用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室為可容納工作人員在其內(nèi)部進(jìn)行光罩品質(zhì)檢驗的封閉空間，由立體框架和固設(shè)于所述立體框架上的黑色塊狀壁面組成，所述暗室的一側(cè)壁開設(shè)一門框并在所述門框上鉸接有暗室門，所述暗室內(nèi)部設(shè)有供工作人員進(jìn)行檢視的可調(diào)式綠光燈。2.如權(quán)利要求1所述的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室的頂壁設(shè)有包括兩級過濾網(wǎng)的過濾送風(fēng)裝置。3.如權(quán)利要求1所述的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述暗室內(nèi)部還設(shè)有可供工作人員進(jìn)行檢視操作的操作臺。4.如權(quán)利要求1所述的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架由空心管材搭建而成，所述暗室的側(cè)壁采用防火阻燃的布料，并采用鋁制薄片和螺絲釘將所述布料固定于立體框架上。5.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架的底部下方設(shè)有多個輪架和與所述輪架匹配的輪子。6.如權(quán)利要求1至4中任一項所述的用于光罩品質(zhì)檢驗的暗室，其特征在于，所述立體框架的底部下方還設(shè)有多個調(diào)節(jié)支座。
【文檔編號】E04H1-12GK204266627SQ201420707913
【發(fā)明者】杜武兵, 林偉 [申請人]深圳市路維光電股份有限公司