清洗液的回收和供給設備及方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種清洗液的回收和供給設備及方法。所述設備包括：第一清洗液供給單元，具有存儲清洗液的箱體；第二清洗液供給單元，由管道構成且與所述第一清洗液供給單元相互交替作業(yè)；回收管道，將所述清洗液回收至所述箱體；主排放管道，將所述清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)；第一開關控制裝置，切換所述第一清洗液供給單元和所述第二清洗液供給單元的作業(yè)；第二開關控制裝置，切換所述回收管道和所述主排放管道的作業(yè)。其中，所述第一清洗液供給單元作業(yè)時，所述第二清洗液供給單元停止，且實施所述回收管道的作業(yè)，所述主排放管道停止；所述第二清洗液供給單元作業(yè)時，所述第一清洗液供給單元停止，且所述主排放管道運行，所述回收管道停止。
【專利說明】清洗液的回收和供給設備及方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種清洗單元的管路設計，尤其涉及一種清洗液的回收和供給設備及 方法。

【背景技術】
[0002] 在顯示行業(yè)的制造中，當基板進入黃光工藝（也稱"光刻工藝"、"微影工藝"等） 的生產線后，首先需要經過洗凈單元來對基板（例如玻璃基板）進行清洗，其次對洗凈的基 板施行減壓干燥后輸送至涂膠單元中涂布光刻膠，然后施行減壓干燥后進入前烘單元、后 續(xù)的其它單元進行處理。
[0003] 在此，基板的潔凈度會直接影響光刻膠涂布的效果，因此需要提高清洗單元的洗 凈能力。如圖2所示，通常在黃光工藝的生產線入口端的清洗單元內，除了 UV清洗步驟S1、 二流體清洗步驟S3、風刀步驟S4之外，在UV清洗步驟S1和二流體清洗步驟S3之間增加一 個藥液清洗步驟S2。一般所使用的藥液是0. 4%的氫氧化四甲銨（TMAH)或者專用的清洗 劑等。當使用這些藥液進行清洗時，一般采用單箱體直排法（單箱體直排設備）或全部回 收法（全部回收和供給設備）來進行。
[0004] 所謂單箱體直排法是指：只使用一次清洗用的藥液并將使用后的藥液直接排放至 廢液系統(tǒng)。如圖3所示，在單箱體直排設備11 (單箱體直排法）中，將藥液從藥液供給源F 通過第一管道A111輸送到箱體T11里。通過啟動泵P，將箱體T11中的清洗液經由第二管 道A112和噴頭N對腔室C內的清洗對象（例如，玻璃基板）進行噴淋清洗。使用過的藥液 通過第三管道A113直接排放于廢液系統(tǒng)E中。采用這種方法，清洗液消耗量和廢液處理量 都非常大，會造成清洗液使用成本和廢液處理成本的大大增加。
[0005] 所謂全部回收法是指：將清洗完的藥液重新回收至設備中的一個以上的藥液箱體 內重復使用，待處理一定數量的基板之后，再將箱體內的藥液排放到廢液系統(tǒng)中。其中，該 全部回收法主要可舉出單箱體全部回收法和雙箱體全部回收法。
[0006] 圖4表示單箱體全部回收法所使用的單箱體全部回收和供給設備21的示意圖。
[0007] 單箱體全部回收和供給設備21的運行方式如下。將藥液從藥液供給源F通過第 一管道A211輸送到箱體T21里。通過啟動泵P，將箱體中的清洗液經由第二管道A212和噴 頭N對腔室C內的基板進行噴淋清洗。使用過的藥液通過第三管道A213回收到箱體T21 中。當箱體T21里的清洗液的液位過高時，多余的藥液外溢到第五管道A215，并經由第四管 道A214直接排放進入廢液系統(tǒng)E中。
[0008] 當箱體T21內的回收液在清洗系統(tǒng)循環(huán)多次以后，清洗液濁度升高、洗凈能力降 低。此時需要對整個箱體T21的清洗液進行置換，即排空箱體T21里濁度較高的藥液而補 充新液。通過打開閥門V21，將箱體T21中的藥液經由第四管道（廢液排放主管道）A214排 放到廢液系統(tǒng)E。等待箱體T21內藥液清空后關閉閥門V21，再次將新的藥液從藥液供給源 F通過第一管道A211輸送到箱體T21里。在排放高濁度廢液、補充新液的過程中，系統(tǒng)停止 運行，即整個黃光工藝的生產線處于暫停狀態(tài)。
[0009] 由此可見，在采用單箱體全部回收法的情況下，當對單箱體內的藥液作為廢液進 行排放以及補充新液時，需要使設備停止作業(yè)，這樣會影響清洗作業(yè)的連續(xù)性和光刻設備 在整體上的作業(yè)時間。
[0010] 圖5表示雙箱體全部回收法所使用的雙箱體全部回收和供給設備22的示意圖，其 中藥液的流動和回收方式與單箱體全部回收和供給設備21比較相似，除了第一箱體T221、 第一管道A221?第五管道A225以及第七閥門V227外，例如需要進一步增加第二箱體 T222、第六管道A226和第一閥門V222?第六閥門V226、第八閥門V228等構件。由于配備 了第一箱體T221、第二箱體T222這兩個箱體，當其中一個箱體排放高濁度藥液和補充新液 時，清洗系統(tǒng)將藥液供給箱體切換成另一個箱體來繼續(xù)作業(yè)，從而實現清洗系統(tǒng)運行不停 止。采用這種雙箱體設備，存在以下問題。首先設備成本上升，且潔凈室（黃光無塵室）空 間擴大帶來了設施成本的上升；其次，由于新舊藥液的置換過程一般比較短，通常約為2. 5 分鐘?5分鐘，而兩次藥液的置換之間的間隔時間卻比較長，根據工藝的不同，所設定的兩 次藥液的置換間隔一般為1小時?2小時。其結果，導致總是有一個箱體在大部分時間內 處于閑置狀態(tài)而得不到充分利用。
[0011] 由此可見，在采用雙箱體全部回收法的情況下，則會增加設備和管道的復雜程度， 使設備成本升高，潔凈室的空間擴大使設施成本升高。特別是很多工廠在建廠初期需要控 制光刻設備的總長度，此時每增加一個箱體就有可能導致設備總長度的增加。


【發(fā)明內容】

[0012] 鑒于上述以往的清洗設備和方法所存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種清洗 液的回收和供給設備及方法，既解決直排設備和方法中藥液使用量和廢液量大的問題，也 解決單箱體全部回收設備和方法中的清洗作業(yè)不能連續(xù)運轉的問題，同時還解決了雙箱體 全部回收設備和方法中的設備成本和潔凈室空間擴大帶來的設施成本升高的問題。
[0013] 本發(fā)明的實施方式提供了一種清洗液的回收和供給設備，其特征在于，包括：
[0014] 第一清洗液供給單元，具有存儲清洗液的箱體；
[0015] 第二清洗液供給單元，由管道構成且與所述第一清洗液供給單元相互交替作業(yè)；
[0016] 回收管道，所述回收管道將所述清洗液回收至所述箱體；
[0017] 主排放管道，所述主排放管道將所述清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)；
[0018] 第一開關控制裝置，所述第一開關控制裝置切換所述第一清洗液供給單元和所述 第二清洗液供給單元的作業(yè)；
[0019] 第二開關控制裝置，所述第二開關控制裝置切換所述回收管道和所述主排放管道 的作業(yè)，
[0020] 其中，通過所述第一開關控制裝置的控制，所述第一清洗液供給單元作業(yè)時，所述 第二清洗液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關控制裝置的控制，實施所述回收管道 的作業(yè)，所述主排放管道停止作業(yè)；
[0021] 通過所述第一開關控制裝置的控制，所述第二清洗液供給單元作業(yè)時，所述第一 清洗液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關控制裝置的控制，所述主排放管道運行，所 述回收管道停止作業(yè)。
[0022] 另外，本發(fā)明的實施方式還提供一種清洗液的回收和供給方法，其特征在于，包 括：
[0023] 第一清洗液供給步驟，通過第一清洗液供給單元將清洗液經由箱體供給至清洗液 噴淋單元；
[0024] 第二清洗液供給步驟，通過第二清洗液供給單元將清洗液從清洗液供給源直接供 給至所述清洗液噴淋單元；
[0025] 清洗液回收步驟，通過清洗液回收單元回收腔室中的所述清洗液至所述箱體；
[0026] 直接排放步驟，將所述腔室中的清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)；
[0027] 清洗液供給途徑切換步驟，通過開關控制裝置，使所述第一清洗液供給步驟和所 述第二清洗液供給步驟相互交替實施；
[0028] 清洗液排放途徑切換步驟，通過開關控制裝置，使所述清洗液回收步驟和所述直 接排放步驟相互交替實施，當實施所述第一清洗液供給步驟時，實施所述清洗液回收步驟， 當實施所述第二清洗液供給步驟時，實施所述直接排放步驟。
[0029] 基于如上所述的實施方式，既能夠解決傳統(tǒng)直排設備和方法中的藥液用量和廢液 量大的問題，也能夠解決單箱體全部回收和供給設備及方法中的清洗作業(yè)不能連續(xù)的問 題，同時還解決了雙箱體全部回收和供給設備及方法中帶來的設備成本和潔凈室空間擴大 帶來的設施成本的問題。從而，實現了大部分藥液的回收并同時又不增加設備和潔凈室空 間設施的費用，極具有益效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030] 圖1是表示本發(fā)明一種實施方式中的單箱體部分回收供給設備的結構示意圖。
[0031] 圖2是表示清洗單元的流程圖。
[0032] 圖3是表示以往的單箱體直排設備的示意圖。
[0033] 圖4是表示以往的單箱體全部回收和供給設備的結構示意圖。
[0034] 圖5是表示以往的雙箱體全部回收和供給設備的結構示意圖。
[0035] 附圖標記的說明
[0036] 1 :清洗液的回收和供給設備
[0037] 2 :第一清洗液供給單元
[0038] 3 :第二清洗液供給單元
[0039] 11 :單箱體直排設備
[0040] 21 :單箱體全部回收和供給設備
[0041] 22 :雙箱體全部回收和供給設備
[0042] A10 :第一清洗液供給管道
[0043] All :第一清洗液輸送管道
[0044] A12 :第二清洗液供給管道
[0045] A13 :清洗液噴淋用管道
[0046] A14 :主排放管道
[0047] A15:回收管道
[0048] A16 :溢出管道
[0049] A17 :置換用排放管道
[0050] A111?A113 :第一管道?第三管道
[0051] A211?A215 :第一管道?第五管道
[0052] A221?A226 :第一管道?第六管道
[0053] C:腔室
[0054] D :基板輸送方向
[0055] E :廢液系統(tǒng)
[0056] F :藥液供給源
[0057] N :噴頭
[0058] P :泵
[0059] SI :UV清洗步驟
[0060] S2 :藥液清洗步驟
[0061] S3 :二流體清洗步驟
[0062] S4 :風刀步驟
[0063] T1、T21:箱體
[0064] T221?T222 :第一箱體?第二箱體
[0065] VII?V15:第一閥門?第五閥門
[0066] V21:閥門
[0067] V221?V228 :第一閥門?第八閥門

【具體實施方式】
[0068] 本發(fā)明的實施方式之一涉及黃光工藝中開始部分的洗凈單元內的藥液清洗步驟， 通過使清洗設備除了將清洗液經過單箱體進行清洗、回收和供給的途徑（第一清洗途徑： 單箱體清洗途徑）以外還增加了一條將藥液不經過任何箱體而通過管道進行直供清洗的 途徑（第二清洗途徑：管道直供清洗途徑）。當需要置換單箱體中的藥液時，在置換箱體中 的藥液的短時間（例如2. 5分鐘?5分鐘）內，啟用第二清洗途徑；當向箱體內補充新藥液 完畢后，將設備再切換成第一清洗途徑。由此，在置換箱體中的藥液時，清洗系統(tǒng)不停止運 行。
[0069] 下面，結合圖1詳細說明本發(fā)明的實施方式。
[0070] (1)清洗液的回收和供給設備
[0071] 圖1是表示本發(fā)明的一種實施方式的清洗液的回收和供給設備1的結構示意圖。 所述清洗液的回收和供給設備1包括：第一清洗液供給單元2,第二清洗液供給單元3,清洗 液噴淋用管道A13,腔室C，主排放管道A14,回收管道A15,溢出管道A16,以及置換用排放管 道 A17。
[0072] 在此，前面所述的第一清洗途徑包括第一清洗液供給單元2、清洗液噴淋用管道 A13、腔室C、主排放管道A14、回收管道A15、溢出管道A16。前面所述的第二清洗途徑包括 第二清洗液供給單元3、清洗液噴淋用管道A13、腔室C，主排放管道A14。其中，在本實施例 中，所第一清洗途徑和所述第二清洗途徑共用了清洗液噴淋用管道A13 (包括泵）、腔室C、 主排放管道A14等。
[0073] 通常情況下，采用第一清洗途徑進行清洗，當需要置換第一清洗途徑中的箱體內 的清洗液時，即當對箱體內的清洗液進行置換時，采用一條清洗液置換途徑。所述清洗液置 換途徑采用置換用排放管道A17、主排放管道A14,將箱體內的清洗液排放到廢液系統(tǒng)。待 箱體內的清洗液排放結束后，再關閉置換用排放管道A17而通過第一清洗液供給管道A10 向箱體T1補充新的清洗液。當箱體T1里的清洗液的液位過高時，多余的清洗液通過溢出 管道A16外溢并經由主排放管道A14直接排放至廢液系統(tǒng)E。
[0074] 如圖1所示，所述第一清洗液供給單元2包括：與清洗液供給源F連接的第一清洗 液供給管道A10,與所述第一清洗液供給管道A10連接的箱體T1，以及與所述箱體T1連接 的第一清洗液輸送管道All。所述第一清洗液輸送管道All與所述清洗液噴淋用管道A13 連接，且在所述第一清洗液輸送管道All上設置有用于控制清洗液的輸送的第一閥門VII。
[0075] 所述第二清洗液供給單元3包括：與清洗液供給源F連接的第二清洗液供給管道 A12。所述第二清洗液供給管道A12與所述清洗液噴淋用管道A13連接，且在所述第二清洗 液供給管道A12上設置有用于控制清洗液的供給的第二閥門V12。
[0076] 如圖1所示，所述清洗液噴淋用管道A13的第一端與所述第二藥液供給管道A12 以及第一清洗液輸送管道All連接。所述清洗液噴淋用管道A13的第二端與噴頭N連接， 所述噴頭N的下方設有腔室C。用于清洗的基板，從基板搬入方向D通過傳輸裝置搬入到所 述腔室C上，從所述噴頭N向所述基板噴灑清洗液，以進行基板的清洗。在所述清洗液噴淋 用管道A13上連接有泵P。
[0077] 在所述腔室C的下方連接有主排放管道A14,所述主排放管道A14與廢液系統(tǒng)E 連接。在所述主排放管道A14上，設置有用于控制所述主排放管道A14的開關的第四閥門 V14。
[0078] 如圖1所示，所述回收管道A15的第一端與所述主排放管道A14的第一端附近連 接，所述回收管道A15的第二端與箱體T1連接。而且，在所述回收管道A15上設置有控制 所述回流管到A15的開關的第三閥門V13。所述回收管道A15的第一端連接于所述主排放 管道A14的所述第四閥門V14的上游側。
[0079] 所述溢出管道A16的第一端與所述箱體T1連接，所述溢出管道A16的第二端與所 述主排放管道A14的所述第四閥門V14的下游側連接。
[0080] 所述置換用排放管道A17的第一端與所述箱體T1的底端連接，所述置換用排放管 道A17的第二端與所述溢出管道A16下游側的所述主排放管道A14連接。在所述置換用排 放管道A17上設置有用于控制所述置換用排放管道A17的開關的第五閥門V15。
[0081] 即，如上所述的一種清洗液的回收和供給設備，包括：第一清洗液供給單元，所述 第一清洗液供給單元具有存儲清洗液的箱體；第二清洗液供給單元，所述第二清洗液供給 單元由管道構成且與所述第一清洗液供給單元相互交替作業(yè)；回收管道，所述回收管道將 所述清洗液回收至所述箱體；主排放管道，所述主排放管道將所述清洗液直接排放至廢液 系統(tǒng)；第一開關控制裝置，所述第一開關控制裝置切換所述第一清洗液供給單元和所述第 二清洗液供給單元的作業(yè)；第二開關控制裝置，所述第二開關控制裝置切換所述回收管道 和所述主排放管道的作業(yè)。其中，通過所述第一開關控制裝置的控制，所述第一清洗液供給 單元作業(yè)時，所述第二清洗液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關控制裝置的控制，實 施所述回收管道的作業(yè)，所述主排放管道停止作業(yè)；通過所述第一開關控制裝置的控制，所 述第二清洗液供給單元作業(yè)時，所述第一清洗液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關 控制裝置的控制，所述主排放管道運行，所述回收管道停止作業(yè)。
[0082] 所述第一清洗液供給單元進一步包括：第一清洗液供給管道，與清洗液供給源連 接；以及第一清洗液輸送管道，與所述箱體連接；其中，所述第一清洗液供給管道與所述箱 體連接。
[0083] 所述第二清洗液供給單元由與清洗液供給源連接的管道構成。
[0084] 所述清洗液的回收和供給設備進一步包括置換用排放管道，用于置換所述箱體中 的清洗液；其中，當所述第一清洗液供給單元作業(yè)時，所述置換用排放管道停止作業(yè)；當所 述第二清洗液供給單元作業(yè)時，實施所述主排放管道的作業(yè)的同時，實施所述置換用排放 管道的作業(yè)。
[0085] 所述清洗液的回收和供給設備進一步包括清洗液噴淋用管道；所述清洗液噴淋用 管道的第一端與所述第一清洗液供給單元以及所述第二清洗液供給單元連接；所述清洗液 噴淋用管道的第二端與噴頭連接；所述噴頭的下方設有腔室；所述腔室的下方與所述主排 放管道連接。
[0086] 所述清洗液的回收和供給設備中，所述第一開關控制裝置和所述第二開關控制裝 置分別由多個閥門構成。
[0087] 所述清洗液的回收和供給設備中，當所述第二清洗液供給單元作業(yè)時，所述主排 放管道的排放端與所述第二清洗液供給單元連接，由所述主排放管道排放的清洗液經由所 述第二清洗液供給單元重復循環(huán)使用。
[0088][變形實施方式]
[0089] 本發(fā)明所述清洗液的回收和供給設備1的結構并不僅限于上述實施方式。例如， 所述第一清洗液供給管道A10與所述第二藥液供給管道A12可以分別與獨立的清洗液供 給源F連接，也可以與同一個清洗液供給源F連接。再例如，所述第一清洗液供給管道A10 在連接到箱體前設置有閥門進行控制的情況下可以與所述第二清洗液供給管道A12進行 部分重疊。即，只要能夠在閥門的控制下，第一清洗液供給管道A10和第二清洗液供給管道 A12互相不影響運行既可。
[0090] 另外，在所述清洗液噴淋用管道A13設置了一個泵P，但并不僅局限于此，也可以 在所述第二清洗液供給管道A12和所述第一清洗液輸送管道All上分別設置一個泵P。但 從節(jié)約設施成本和降低成本的角度出發(fā)，優(yōu)選共用一個泵。其中，所述泵的安裝位置，并不 僅局限于圖1中所示位置，在實際操作中可根據需要對泵的設置位置和臺數進行設定。
[0091] 另外，所述清洗液的回收和供給設備1并不僅局限于采用所述噴頭，可以根據需 要采用直接對清洗對象進行清洗的任何裝置。
[0092] 所述閥門，只要是能夠實現有效開關控制、不影響整體清洗系統(tǒng)的運行的閥門既 可，可以是獨立的二通閥門也可以是組合的三通閥門，既可以是手動切換式閥門也可以是 自動切換式閥門，也可以通過控制程序對所有閥門進行自動化同步控制。
[0093] 所述第一開關控制裝置在本實施例中是指包括第一閥門VII和第二閥門V12在內 的開關控制裝置，但并不限定于此，也可以是其它能夠實現所述兩處閥門的同樣功能的開 關控制裝置，只要能夠有效切換所述第一清洗液供給單元和所述第二清洗液供給單元的作 業(yè)的開關控制裝置即可。
[0094] 所述第二開關控制裝置在本實施例中是指包括第三閥門V13和第四閥門V14在內 的開關控制裝置，但并不限定于此，也可以是其它能夠實現所述兩處閥門的同樣功能的開 關控制裝置，只要能夠有效切換所述回收管道和所述主排放管道的作業(yè)的開關控制裝置即 可。
[0095] 所述管道的連接位置也不局限于圖示的位置，例如第一清洗液輸送管道All可以 連接于箱體T1的底面或側面下部、主排放管道A14可以連接于腔室的底面或側面下部、回 收管道A15可以連接于箱體T1的上面或側面上部、置換用排放管道A17可以連接于箱體T1 的底面或側面下部等。
[0096] 除上述之外，只要在不脫離發(fā)明宗旨的范圍內可以進行各種適當的改變和替換。
[0097] (2)清洗液的回收和供給方法
[0098] 以下結合附圖詳細說明對本發(fā)明實施方式所述清洗液的回收和供給方法。
[0099] 本實施方式的清洗液的回收和供給方法包括以下步驟：
[0100] S10:第一清洗液供給步驟，通過第一清洗液供給單元將清洗液先注入箱體中后再 供給至清洗液噴淋單元；
[0101] S20:第二清洗液供給步驟，通過第二清洗液供給單元將清洗液從清洗液供給源直 接供給至所述清洗液噴淋單元；
[0102] S30:清洗液噴淋步驟，所述清洗液噴淋單元噴淋所述清洗液，對腔室內的清洗對 象進行清洗；
[0103] S40:清洗液回收步驟，通過清洗液回收單元回收所述清洗液噴淋步驟后的清洗液 至箱體；
[0104] S50 :清洗液排放步驟，通過清洗液排放單元排放清洗液。
[0105] S60:清洗液置換步驟，將箱體中的達到規(guī)定使用次數的清洗液排放并更換為新的 清洗液。
[0106] 所述第一清洗液供給步驟為單箱體供給步驟，具體而言，單箱體供給步驟是將清 洗液先注入單箱體中然后進行供給的步驟。所述第二清洗液供給步驟為管道直供步驟，管 道直供步驟是將清洗液直接通過管道進行供給的步驟。
[0107] 所述清洗液排放步驟S50進一步包括以下步驟：
[0108] S51 :直接排放步驟，將腔室中的清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)。
[0109] S52 :溢出排放步驟，當箱體中的清洗液溢出時通過溢出管道排放至廢液系統(tǒng)。
[0110] S53:置換用排放步驟，將箱體中的達到規(guī)定使用次數的清洗液排放至廢液系統(tǒng)。
[0111] 當實施所述第一清洗液供給步驟時，通過開關控制裝置，如閥門等停止所述第二 清洗液供給步驟，當實施所述第二清洗液供給步驟時，通過開關控制裝置，如閥門等停止所 述第一清洗液供給步驟。即，所述第一清洗液供給步驟和第二清洗液供給步驟相互交替實 施。
[0112] 當實施所述第一清洗液供給步驟時，通過溢出排放步驟排放清洗液。當實施所述 第二清洗液供給步驟時，通過直接排放步驟排放清洗液，與此同時實施置換用排放步驟，排 放箱體中的清洗液。通過開關控制裝置，如閥門來控制所述排放步驟。
[0113] 具體運行清洗操作時，通過開關控制裝置（如閥門）的控制，依次實施第一清洗液 供給步驟、清洗液噴淋步驟、清洗液回收步驟。當箱體內回收后的清洗液的使用達到規(guī)定次 數后，即達到置換要求后，排放箱體內的清洗液后置換新的清洗液。此時，通過開關控制裝 置（如閥門）的控制，停止第一清洗液供給步驟而施行第二清洗液供給步驟，與此同時停止 清洗液回收步驟并施行置換用排放步驟和直接排放步驟。當箱體中的清洗液排放結束后， 通過開關控制裝置（如閥門）的控制，停止置換用排放步驟，實施第一清洗液供給步驟，以 填充新的清洗液。即，在置換箱體內的清洗液的過程中，實施第二清洗液供給步驟、清洗液 噴淋步驟、直接排放步驟。由此使清洗液噴淋步驟一直持續(xù)不斷地施行。
[0114] 接下來，進一步從清洗液的回收和供給方法的具體操作步驟的角度進行說明。
[0115] 如上所述，本發(fā)明實施方式所述清洗液的回收和供給方法采用了兩條清洗途徑和 一條清洗液置換途徑，即采用了單箱體的清洗途徑的同時，增加了一條將清洗液從藥液供 給源直供到腔室的清洗途徑。
[0116] 詳細而言，第一清洗途徑：將清洗液從藥液供給源F通過第一管道A10輸送到箱體 T1里；通過啟動泵P并同時開啟第一閥門VII并關閉第二閥門V12,使箱體T1里的清洗液 經由輸送管道All、噴淋用管道A13和噴頭N對腔室C內的清洗對象（例如，玻璃基板）進 行噴淋清洗；使用過（清洗后）的藥液，在開啟第三閥門V13并關閉第四閥門V14的情況下 經主排放管道A14、回收管道A15回收到箱體T1里。另外，當箱體T1里的清洗液的液位過 高時，多余的清洗液通過溢出管道A16外溢并經由主排放管道A14直接排放至廢液系統(tǒng)E。
[0117] 當箱體里的回收液再輸入清洗系統(tǒng)中循環(huán)一定次數以后，清洗液濁度升高，洗凈 能力降低，此時需要對整個箱體的清洗液進行置換，即排空箱體里濁度較高的藥液、補充新 液。
[0118] 在此采用了一條清洗液置換途徑：通過打開第五閥門V15,將箱體中的藥液經由 置換用廢液排放管道A17、主排放管道A14排放進入廢液系統(tǒng)E，當清空箱體內藥液后，關閉 第五閥門V15,再次將新的清洗液從藥液供給源F通過第一管道A10輸送到箱體T1中。
[0119] 第二清洗途徑：在采用清洗液置換途徑排放高濁度廢液、補充新的清洗液的過程 中，關閉第一閥門VII和第三閥門V13,打開第二閥門V12和第四閥門V14,將清洗液從藥液 供給源F經由第二清洗液供給管道A12、噴淋用管道A13、噴頭N直供給腔室C從而對基板 進行清洗，使用后的藥液經由第四閥門V14和主排放管道A14直接排放到廢液系統(tǒng)E。對于 只使用一次的清洗液而言，從再利用該清洗液的角度考慮，在需要的情況下可以對其回收 而充分應用于第二清洗途徑。即可以增設一個管道連接于主排放管道A14和第二清洗液供 給管道A12之間，在進行第二清洗途徑的期間，可以重復循環(huán)利用清洗液。在此不再詳細說 明。
[0120] 如上所述，本實施例所述一種清洗液的回收和供給方法，包括：第一清洗液供給 步驟，通過第一清洗液供給單元將清洗液經由箱體供給至清洗液噴淋單元；第二清洗液供 給步驟，通過第二清洗液供給單元將清洗液從清洗液供給源直接供給至所述清洗液噴淋單 元；清洗液回收步驟，通過清洗液回收單元回收腔室中的所述清洗液至所述箱體；直接排 放步驟，將所述腔室中的清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)；清洗液供給途徑切換步驟，通過開關 控制裝置，使所述第一清洗液供給步驟和所述第二清洗液供給步驟相互交替實施；清洗液 排放途徑切換步驟，通過開關控制裝置，使所述清洗液回收步驟和所述直接排放步驟相互 交替實施，當實施所述第一清洗液供給步驟時，實施所述清洗液回收步驟，當實施所述第二 清洗液供給步驟時，實施所述直接排放步驟。
[0121] 所述清洗液的回收和供給方法，進一步包括清洗液置換步驟，所述清洗液置換步 驟將所述箱體中的達到規(guī)定使用次數的清洗液排放并更換為新的清洗液；在所述清洗液排 放途徑切換步驟中，當實施所述第二清洗液供給步驟時，實施所述直接排放步驟的同時，實 施所述清洗液置換步驟。
[0122] 所述清洗液的回收和供給方法，進一步包括清洗液噴淋步驟，對所述腔室內的清 洗對象噴淋清洗液來進行清洗。
[0123] 所述清洗液的回收和供給方法，進一步包括溢出排放步驟，當所述箱體中的清洗 液溢出時，通過溢出管道排放至所述廢液系統(tǒng)。
[0124] 所述清洗液供給途徑切換步驟和所述清洗液排放途徑切換步驟中，通過閥門進行 切換。
[0125] 所述清洗液的回收和供給方法中，所述清洗液置換的時間為2. 5分鐘?5分鐘，兩 次清洗液置換的間隔為1小時?2小時。
[0126] 另外，在圖1中所示出的管道只是用于示意性說明本實施方式所涉及到的部分管 道，本實施方式并限定于此。
[0127] 如此一來，在對箱體T1進行藥液置換的2. 5分鐘?5分鐘內，采用第二清洗途徑 直接進行清洗操作，因此清洗系統(tǒng)不需要停止運行。當新的清洗液補充到箱體T1后，設備 再切換到第一清洗途徑而經過箱體T1供液清洗并進行回收使用。
[0128] 因此，既解決直排設備和方法中的藥液使用量和廢液量大的問題也解決了單箱體 全部回收設備和方法中的清洗作業(yè)不能連續(xù)的問題，同時還解決了雙箱體全部回收設備和 方法中需要增加設備成本和潔凈室空間擴大帶來的設施成本的問題。
[0129] 另外，本說明書中"清洗液"的意思是指"用于清洗的化學藥液"。"直供""直接供 給"的意思是指以不經過箱體的方式供給清洗液。"直排""直接排放"的意思均是指以不 經過箱體的方式直接排放清洗液。"單箱體"的意思是指清洗設備中只配備一個儲存清洗液 (洗液）用的箱體。"雙箱體"的意思是指清洗設備中配備兩個以上儲存清洗液（洗液）用 的箱體。"清洗對象"的意思是指需要清洗的基板等物件，一般通過輸送機構、例如裝載于運 送輥上進行定向輸送（附圖中設定為方向D)，在輸送的同時經過噴頭進行清洗操作。
【權利要求】
1. 一種清洗液的回收和供給設備，其特征在于，包括： 第一清洗液供給單元，具有存儲清洗液的箱體； 第二清洗液供給單元，由管道構成且與所述第一清洗液供給單元相互交替作業(yè)； 回收管道，所述回收管道將所述清洗液回收至所述箱體； 主排放管道，所述主排放管道將所述清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)； 第一開關控制裝置，所述第一開關控制裝置切換所述第一清洗液供給單元和所述第二 清洗液供給單元的作業(yè)； 第二開關控制裝置，所述第二開關控制裝置切換所述回收管道和所述主排放管道的作 業(yè)， 其中，通過所述第一開關控制裝置的控制，所述第一清洗液供給單元作業(yè)時，所述第二 清洗液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關控制裝置的控制，實施所述回收管道的作 業(yè)，所述主排放管道停止作業(yè)； 通過所述第一開關控制裝置的控制，所述第二清洗液供給單元作業(yè)時，所述第一清洗 液供給單元停止作業(yè)，且通過所述第二開關控制裝置的控制，所述主排放管道運行，所述回 收管道停止作業(yè)。
2. 如權利要求1所述的清洗液的回收和供給設備，其特征在于，所述第一清洗液供給 單元進一步包括： 第一清洗液供給管道，與清洗液供給源連接；以及 第一清洗液輸送管道，與所述箱體連接， 其中，所述第一清洗液供給管道與所述箱體連接。
3. 如權利要求1所述的清洗液的回收和供給設備，其特征在于， 進一步包括置換用排放管道，用于置換所述箱體中的清洗液；其中， 當所述第一清洗液供給單元作業(yè)時，所述置換用排放管道停止作業(yè)； 當所述第二清洗液供給單元作業(yè)時，實施所述主排放管道的作業(yè)的同時，實施所述置 換用排放管道的作業(yè)。
4. 如權利要求1所述的清洗液的回收和供給設備，其特征在于，進一步包括清洗液噴 淋用管道； 所述清洗液噴淋用管道的第一端與所述第一清洗液供給單元以及所述第二清洗液供 給單元連接； 所述清洗液噴淋用管道的第二端與噴頭連接； 所述噴頭的下方設有腔室； 所述腔室的下方與所述主排放管道連接。
5. -種清洗液的回收和供給方法，其特征在于，包括： 第一清洗液供給步驟，通過第一清洗液供給單元將清洗液經由箱體供給至清洗液噴淋 單元； 第二清洗液供給步驟，通過第二清洗液供給單元將清洗液從清洗液供給源直接供給至 所述清洗液噴淋單元； 清洗液回收步驟，通過清洗液回收單元回收腔室中的所述清洗液至所述箱體； 直接排放步驟，將所述腔室中的清洗液直接排放至廢液系統(tǒng)； 清洗液供給途徑切換步驟，通過開關控制裝置，使所述第一清洗液供給步驟和所述第 二清洗液供給步驟相互交替實施； 清洗液排放途徑切換步驟，通過開關控制裝置，使所述清洗液回收步驟和所述直接排 放步驟相互交替實施，當實施所述第一清洗液供給步驟時，實施所述清洗液回收步驟，當實 施所述第二清洗液供給步驟時，實施所述直接排放步驟。
6. 如權利要求5所述的清洗液的回收和供給方法，其特征在于， 進一步包括清洗液置換步驟，所述清洗液置換步驟將所述箱體中的達到規(guī)定使用次數 的清洗液排放并更換為新的清洗液； 在所述清洗液排放途徑切換步驟中，當實施所述第二清洗液供給步驟時，實施所述直 接排放步驟的同時，實施所述清洗液置換步驟。
7. 如權利要求5所述的清洗液的回收和供給方法，其特征在于，進一步包括清洗液噴 淋步驟，對所述腔室內的清洗對象噴淋清洗液來進行清洗。
8. 如權利要求5?7中任一項所述的清洗液的回收和供給方法，其特征在于，進一步包 括溢出排放步驟，當所述箱體中的清洗液溢出時，通過溢出管道排放至所述廢液系統(tǒng)。
9. 如權利要求5?7中任一項所述的清洗液的回收和供給方法，其特征在于，所述清洗 液供給途徑切換步驟和所述清洗液排放途徑切換步驟中，通過閥門進行切換。
10. 如權利要求6所述的清洗液的回收和供給方法，其特征在于，所述清洗液置換的時 間為2. 5分鐘?5分鐘，兩次清洗液置換的間隔為1小時?2小時。
【文檔編號】B08B13/00GK104056798SQ201410217829
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年5月21日 優(yōu)先權日:2014年5月21日
【發(fā)明者】朱棋鋒, 張為騰, 徐勇 申請人:上海和輝光電有限公司