帶清洗槍的豎式清洗的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種帶清洗槍的豎式清洗機，包括：清洗支架，包括頂支架、側(cè)支架和底支架；設(shè)置于頂支架上的頂部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的封閉端外壁；設(shè)置于側(cè)支架上的側(cè)部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的外側(cè)壁；設(shè)置于底支架上的底部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)壁；設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍，用于插入常壓爐管工藝腔的排氣端內(nèi)對排氣端的內(nèi)壁進行清洗。本發(fā)明不僅能夠清洗清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)外壁，而且能夠同時清洗排氣端內(nèi)壁，提高排氣端的清洗質(zhì)量。
【專利說明】帶清洗槍的豎式清洗機
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種帶清洗槍的豎式清洗機。
【背景技術(shù)】
[0002]如圖1所示現(xiàn)有的爐管清洗機在進行對常壓爐管工藝腔(AP process tube)進行清洗時，主要是對常壓爐管工藝腔I的內(nèi)壁進行清洗，但是無法針對常壓爐管工藝腔I的排氣端11進行有效清洗，使得排氣端11的清洗質(zhì)量較差。以上示意圖顯示傳統(tǒng)清洗方法由于清洗常壓爐管工藝腔I的內(nèi)壁時只用爐管清洗機進行如圖1中的黑色箭頭所示的由下而上的清洗，由于排氣端11的位置與清洗方向不一致，導(dǎo)致排氣端11無法有效清洗，右圖實物照片表明排氣端11由于得不到爐管清洗機有效清洗而導(dǎo)致清洗效果較差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種帶清洗槍的豎式清洗機，不僅能夠清洗清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)外壁，而且能夠同時清洗排氣端內(nèi)壁，提高排氣端的清洗質(zhì)量。
[0004]為解決上述問題，本發(fā)明提供一種帶清洗槍的豎式清洗機，包括:
[0005]清洗支架，包括頂支架、側(cè)支架和底支架；
[0006]設(shè)置于頂支架上的頂部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的封閉端外壁；
[0007]設(shè)置于側(cè)支架上的側(cè)部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的外側(cè)壁；
[0008]設(shè)置于底支架上的底部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)壁；
[0009]設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍，用于插入常壓爐管工藝腔的排氣端內(nèi)對排氣端的內(nèi)壁進行清洗。
[0010]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍對應(yīng)于常壓爐管工藝腔的排氣端的位置相應(yīng)設(shè)置于所述側(cè)支架上。
[0011]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍的長度是所述排氣端的長度的2至4倍，所述清洗槍的直徑小于所述排氣端的內(nèi)徑。
[0012]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍的側(cè)壁上均勻分布有多個噴嘴。
[0013]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍為圓柱形，沿所述清洗槍的徑向和/或圓周截面均勻分布有多個噴嘴。
[0014]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，沿所述清洗槍的圓周截面每隔90度分布一個噴嘴。
[0015]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍的數(shù)量與所述排氣端的
數(shù)量對應(yīng)。
[0016]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，還包括一設(shè)置于排氣端的卡箍，用于固定插入所述排氣端內(nèi)的清洗槍。
[0017]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述頂部噴頭、側(cè)部噴頭和底部噴頭的數(shù)量分別為多個。
[0018]進一步的，在上述帶清洗槍的豎式清洗機中，所述清洗槍采用聚丙烯材質(zhì)。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明包括清洗支架，包括頂支架、側(cè)支架和底支架；設(shè)置于頂支架上的頂部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的封閉端外壁；設(shè)置于側(cè)支架上的側(cè)部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的外側(cè)壁；設(shè)置于底支架上的底部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)壁；設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍，用于插入常壓爐管工藝腔的排氣端內(nèi)對排氣端的內(nèi)壁進行清洗，不僅能夠清洗清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)外壁，而且能夠同時清洗排氣端內(nèi)壁，提高排氣端的清洗質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是現(xiàn)有的爐管清洗機的清洗示意圖；
[0021]圖2是本發(fā)明一實施例的帶清洗槍的豎式清洗機的結(jié)構(gòu)圖；
[0022]圖3是本發(fā)明一實施例的插入排氣端的清洗槍的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實施方式】
[0023]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細的說明。
[0024]如圖2和3所示，本發(fā)明提供一種帶清洗槍的豎式清洗機，包括:
[0025]清洗支架，包括頂支架21、側(cè)支架22和底支架23 ；
[0026]設(shè)置于頂支架21上的頂部噴頭3，用于清洗常壓爐管工藝腔(AP processtube) I的封閉端外壁；
[0027]設(shè)置于側(cè)支架22上的側(cè)部噴頭4，用于清洗常壓爐管工藝腔I的外側(cè)壁；
[0028]設(shè)置于底支架23上的底部噴頭5，用于清洗常壓爐管工藝腔I的內(nèi)壁；
[0029]設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍(clean gun)6，用于插入常壓爐管工藝腔I的排氣端11內(nèi)對排氣端(exhaust)ll的內(nèi)壁進行清洗,去除排氣端(exhaust)ll的內(nèi)壁吸附的副產(chǎn)物，以提高排氣端的清洗質(zhì)量。
[0030]優(yōu)選的，所述清洗槍6對應(yīng)于常壓爐管工藝腔I的排氣端11的位置相應(yīng)設(shè)置于所述側(cè)支架22上。
[0031]優(yōu)選的，所述清洗槍6的長度是所述排氣端11的長度的2至4倍，所述清洗槍6的直徑小于所述排氣端11的內(nèi)徑。
[0032]優(yōu)選的，所述清洗槍6的側(cè)壁上均勻分布有多個噴嘴61。
[0033]優(yōu)選的，所述清洗槍6為圓柱形，沿所述清洗槍6的徑向和/或圓周截面均勻分布有多個噴嘴61，以實現(xiàn)對排氣端11的內(nèi)壁進行全方位的清洗。
[0034]優(yōu)選的，沿所述清洗槍6的圓周截面每隔90度分布一個噴嘴61。
[0035]優(yōu)選的，所述清洗槍6的數(shù)量與所述排氣端11的數(shù)量對應(yīng)。
[0036]優(yōu)選的，還包括一設(shè)置于排氣端11的卡箍7，用于固定插入所述排氣端11內(nèi)的清洗槍6，即將所述清洗槍6固定于排氣端11內(nèi)。
[0037]優(yōu)選的，所述頂部噴頭3、側(cè)部噴頭4和底部噴頭5的數(shù)量分別為多個。
[0038]優(yōu)選的，所述清洗槍可采用各種防酸材質(zhì)，如聚丙烯(NPP)材質(zhì)。[0039]綜上所述，本發(fā)明包括清洗支架，包括頂支架、側(cè)支架和底支架；設(shè)置于頂支架上的頂部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的封閉端外壁；設(shè)置于側(cè)支架上的側(cè)部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的外側(cè)壁；設(shè)置于底支架上的底部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)壁；設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍，用于插入常壓爐管工藝腔的排氣端內(nèi)對排氣端的內(nèi)壁進行清洗，不僅能夠清洗清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)外壁，而且能夠同時清洗排氣端內(nèi)壁，提高排氣端的清洗質(zhì)量。
[0040]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的系統(tǒng)而言，由于與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。
[0041]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，包括: 清洗支架，包括頂支架、側(cè)支架和底支架； 設(shè)置于頂支架上的頂部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的封閉端外壁； 設(shè)置于側(cè)支架上的側(cè)部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的外側(cè)壁； 設(shè)置于底支架上的底部噴頭，用于清洗常壓爐管工藝腔的內(nèi)壁； 設(shè)置于所述清洗支架上的清洗槍，用于插入常壓爐管工藝腔的排氣端內(nèi)對排氣端的內(nèi)壁進行清洗。
2.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍對應(yīng)于常壓爐管工藝腔的排氣端的位置相應(yīng)設(shè)置于所述側(cè)支架上。
3.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍的長度是所述排氣端的長度的2至4倍，所述清洗槍的直徑小于所述排氣端的內(nèi)徑。
4.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍的側(cè)壁上均勻分布有多個噴嘴。
5.如權(quán)利要求4所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍為圓柱形，沿所述清洗槍的徑向和/或圓周截面均勻分布有多個噴嘴。
6.如權(quán)利要求5所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，沿所述清洗槍的圓周截面每隔90度分布一個噴嘴。
7.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍的數(shù)量與所述排氣端的數(shù)量對應(yīng)。
8.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，還包括一設(shè)置于排氣端的卡箍，用于固定插入所述排氣端內(nèi)的清洗槍。
9.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述頂部噴頭、側(cè)部噴頭和底部噴頭的數(shù)量分別為多個。
10.如權(quán)利要求1所述的帶清洗槍的豎式清洗機，其特征在于，所述清洗槍采用聚丙烯材質(zhì)。
【文檔編號】B08B9/032GK103894380SQ201410110735
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2014年3月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月24日
【發(fā)明者】張瑜, 俞瑋, 秦貴明 申請人:上海華力微電子有限公司