可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)，包括：若干個(gè)固定銷(xiāo)，用于固定晶圓，所述固定銷(xiāo)可開(kāi)合的安裝于晶圓邊緣；若干個(gè)彈性裝置，所述各彈性裝置與各固定銷(xiāo)對(duì)應(yīng)連接，用于控制各固定銷(xiāo)的移動(dòng)；電機(jī)，所述電機(jī)輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置的移動(dòng)；還包括若干套力矩控制系統(tǒng)，所述各力矩控制系統(tǒng)的一端與各彈性裝置連接，另一端與所述電機(jī)連接，通過(guò)力矩控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)調(diào)控所述電機(jī)輸出的電流或電壓，使所述彈性裝置產(chǎn)生正向或反向的位移，從而改變所述固定銷(xiāo)的位置。本發(fā)明解決了現(xiàn)有晶圓固定裝置因固定銷(xiāo)以固定力矩固定晶圓，導(dǎo)致晶圓局部因力矩過(guò)大或過(guò)小而產(chǎn)生對(duì)晶圓損傷等問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路設(shè)備領(lǐng)域，具體是涉及一種可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路制造工藝中，包含了多道晶圓的濕法處理工藝步驟。所謂濕法工藝，就是利用酸堿有機(jī)物等液體化學(xué)品對(duì)晶圓進(jìn)行浸泡或沖洗，從而達(dá)到清洗表面顆粒、去除反應(yīng)聚合物、刻蝕表面膜層等目的。隨著對(duì)于工藝有效性要求的不斷提高，濕法設(shè)備的類(lèi)型由早期的批量式處理晶圓逐漸轉(zhuǎn)為單片式處理晶圓。
[0003]通常單片式處理晶圓的工藝方法為:將硅片放置在卡盤(pán)上，卡盤(pán)平臺(tái)高速旋轉(zhuǎn)，卡盤(pán)上方的噴頭噴射化學(xué)藥品到晶圓表面，在離心力的作用下迅速擴(kuò)散至整片晶圓，待化學(xué)品在晶圓表面反應(yīng)一段時(shí)間后，用去尚子水噴射至晶圓表面，沖洗晶圓從而去除晶圓表面殘留的化學(xué)品，最后用氮?dú)鈬婎^吹掃晶圓，利用離心力將晶圓表面的液體甩出，從而達(dá)到干燥晶圓的目的。
[0004]通常晶圓在卡盤(pán)平臺(tái)上的旋轉(zhuǎn)速度可達(dá)數(shù)千轉(zhuǎn)每分鐘，因此需要由固定裝置將晶圓固定在平臺(tái)上，保證晶圓在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中不被甩出平臺(tái)。如圖1至圖3所示，圖1至圖3為現(xiàn)有的晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，現(xiàn)有的晶圓固定裝置是在晶圓I周?chē)鶆虿加腥舾晒潭ㄤN(xiāo)2，固定銷(xiāo)2為可開(kāi)合活動(dòng)結(jié)構(gòu)，固定銷(xiāo)2設(shè)有開(kāi)、合位置，固定銷(xiāo)2連接彈性裝置3，彈性裝置3為彈簧機(jī)構(gòu)或者氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)彈簧的拉伸回縮或者氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使固定銷(xiāo)2移動(dòng)，晶圓固定裝置還包括電機(jī)4，電機(jī)4輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置3的移動(dòng)。如圖1所示，在開(kāi)位置，用以拉伸固定銷(xiāo)I的彈簧處于完全松弛狀態(tài)，固定銷(xiāo)2移動(dòng)至遠(yuǎn)離平臺(tái)中心的位置，此時(shí)晶圓I在平臺(tái)上不受固定銷(xiāo)2的約束，可實(shí)現(xiàn)在平臺(tái)上的取放動(dòng)作。如圖2所示，在合位置，彈簧處于緊拉狀態(tài)，固定銷(xiāo)2向靠近平臺(tái)中心的方向移動(dòng)，此時(shí)固定銷(xiāo)2將緊緊和晶圓I邊緣接觸，從而實(shí)現(xiàn)固定晶圓I的功能。如圖1至圖3所示，彈性裝置3與電機(jī)4之間設(shè)有聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)5，聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)5可以同時(shí)控制所有彈簧的開(kāi)合，即所有固定銷(xiāo)2都是同時(shí)動(dòng)作的。
[0005]如上所述，現(xiàn)有的各固定銷(xiāo)以固定的力矩接觸晶圓，而在對(duì)晶圓實(shí)際處理的過(guò)程中，由于晶圓擺放位置的微小差異或者晶圓本身的尺寸質(zhì)量差異，如以固定力矩對(duì)晶圓各接觸點(diǎn)作用，晶圓的實(shí)際作用力并不相同，并且在晶圓清洗工藝中，卡盤(pán)會(huì)高速旋轉(zhuǎn)，因此晶圓各接觸點(diǎn)的作用力可能隨時(shí)會(huì)發(fā)生變化，這就造成了某些接觸點(diǎn)作用晶圓實(shí)際作用力偏大，容易引起晶圓該作用點(diǎn)處裂片或損傷。此外，有些特殊工藝會(huì)用到非常薄的晶圓，需要用很小的作用力來(lái)固定晶圓，如仍采用針對(duì)普通厚度晶圓的力矩，極易發(fā)生晶圓破片的情況。
[0006]因此，需對(duì)現(xiàn)有的晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)進(jìn)行改進(jìn)，使晶圓固定裝置可有效感知晶圓各固定銷(xiāo)的作用力并調(diào)節(jié)各固定銷(xiāo)對(duì)晶圓的作用力。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置、方法及晶圓清洗平臺(tái)，從而有效感知晶圓各固定銷(xiāo)的作用力并調(diào)節(jié)各固定銷(xiāo)對(duì)晶圓的作用力。
[0008]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題而采用的技術(shù)方案是提供一種可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，包括:若干個(gè)固定銷(xiāo)，用于固定晶圓，所述固定銷(xiāo)可開(kāi)合的安裝于晶圓邊緣；若干個(gè)彈性裝置，所述各彈性裝置與各固定銷(xiāo)對(duì)應(yīng)連接，用于控制各固定銷(xiāo)的移動(dòng)；電機(jī)，所述電機(jī)輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置的移動(dòng)；
[0009]還包括若干套力矩控制系統(tǒng)，所述各力矩控制系統(tǒng)的一端與各彈性裝置連接，另一端與所述電機(jī)連接，通過(guò)力矩控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)調(diào)控電機(jī)輸出的電流或電壓，使彈性裝置產(chǎn)生正向或反向的位移，從而改變固定銷(xiāo)的位置。
[0010]優(yōu)選的，所述力矩控制系統(tǒng)包括依次連接的力矩傳感器、聯(lián)軸器、中央處理模塊以及電機(jī)控制器，其中:
[0011]所述力矩傳感器為若干個(gè)，用于偵測(cè)與晶圓接觸點(diǎn)的力矩；
[0012]所述聯(lián)軸器用于連接力矩傳感器和中央處理模塊；
[0013]所述中央處理模塊用于接收力矩傳感器測(cè)量的力矩值信號(hào)，并發(fā)送調(diào)整指令給電機(jī)控制器；
[0014]所述電機(jī)控制器用于調(diào)節(jié)電機(jī)的輸入電壓或電流設(shè)定值，改變電機(jī)的輸出扭矩。
[0015]優(yōu)選的，中央處理模塊為單片機(jī)或可編程控制器。
[0016]優(yōu)選的，所述彈性裝置為彈簧機(jī)構(gòu)或氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)彈簧的拉伸回縮或者氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)使固定銷(xiāo)移動(dòng)。
[0017]優(yōu)選的，所述電機(jī)上設(shè)有電流或電壓控制器。
[0018]優(yōu)選的，所述晶圓水平圓周方向上均勻設(shè)有若干個(gè)固定銷(xiāo)。
[0019]優(yōu)選的，所述力矩控制系統(tǒng)的數(shù)量與固定銷(xiāo)數(shù)量相匹配，為6到12組。
[0020]優(yōu)選的，所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。
[0021]本發(fā)明還提供一種晶圓清洗平臺(tái)，包括:可旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)，所述卡盤(pán)用于承載晶圓，所述晶圓的上方設(shè)有噴頭，所述晶圓邊緣設(shè)有上述所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置。
[0022]本發(fā)明還提供一種調(diào)節(jié)晶圓固定的方法，包括以下步驟:
[0023]步驟一 S1:將晶圓片通過(guò)設(shè)備機(jī)械臂放置在靜止的卡盤(pán)平臺(tái)上；
[0024]步驟二 S2:啟動(dòng)電機(jī)，使得固定銷(xiāo)逐漸靠近并接觸晶圓邊緣；
[0025]步驟三S3:固定銷(xiāo)與晶圓接觸后，由力矩傳感器偵測(cè)到實(shí)際力矩值，轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)到中央控制模塊；
[0026]步驟四S4:中央控制模塊根據(jù)各接觸點(diǎn)的實(shí)際力矩值，發(fā)送調(diào)節(jié)指令給電機(jī)控制器，電機(jī)控制器根據(jù)調(diào)節(jié)指令使電機(jī)增大或減小電流或電壓；
[0027]步驟五S5:電機(jī)通過(guò)改變輸出的電壓或電流，使電機(jī)產(chǎn)生正向或者反向位移，從而使固定銷(xiāo)的位置發(fā)生改變。
[0028]本發(fā)明通過(guò)增設(shè)力矩控制系統(tǒng)使得力矩控制系統(tǒng)內(nèi)的力矩傳感器偵測(cè)實(shí)際力矩，且傳遞信號(hào)至中央處理模塊和電機(jī)控制器，進(jìn)而調(diào)整電機(jī)輸入電流或電壓，改變電機(jī)運(yùn)動(dòng)位移，從而調(diào)節(jié)晶圓的固定銷(xiāo)位置；本發(fā)明解決了現(xiàn)有晶圓固定裝置因固定銷(xiāo)以固定力矩固定晶圓，導(dǎo)致晶圓局部力矩過(guò)大或過(guò)小而產(chǎn)生對(duì)晶圓損傷等問(wèn)題?！緦?zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0029]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0030]圖1為現(xiàn)有晶圓固定裝置打開(kāi)時(shí)結(jié)構(gòu)不意圖；
[0031]圖2為現(xiàn)有晶圓固定裝置閉合時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖3為現(xiàn)有晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)俯視圖；
[0033]圖4為本發(fā)明可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖5為本發(fā)明可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)俯視圖。
[0035]附圖中各標(biāo)號(hào)所代表的部件列表如下:
[0036]1、晶圓；2、固定銷(xiāo)；3、彈性裝置；4、電機(jī)；5、聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)；6、連接軸；7、卡盤(pán)；8、力矩傳感器；9、中央控制模塊；10、電機(jī)控制器；11、聯(lián)軸器。
【具體實(shí)施方式】
[0037]本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的一些典型實(shí)施例將在后段的說(shuō)明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的示例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說(shuō)明及圖示在本質(zhì)上當(dāng)作說(shuō)明之用，而非用以限制本發(fā)明。
[0038]如圖1至圖3所示，圖1至圖3為現(xiàn)有晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，現(xiàn)有的晶圓固定裝置是在晶圓I周?chē)鶆虿加腥舾晒潭ㄤN(xiāo)2，固定銷(xiāo)2為可開(kāi)合活動(dòng)結(jié)構(gòu)，固定銷(xiāo)2設(shè)有開(kāi)、合位置，固定銷(xiāo)2連接彈性裝置3，所述彈性裝置3設(shè)在晶圓I下方，彈性裝置3為彈簧機(jī)構(gòu)或者氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)彈簧的拉伸回縮或者氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使固定銷(xiāo)2移動(dòng)，從而固定晶圓。晶圓固定裝置還包括電機(jī)4，電機(jī)4輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置3的移動(dòng)。
[0039]如圖1所示，當(dāng)固定銷(xiāo)2在開(kāi)位置，用以拉伸固定銷(xiāo)I的彈簧處于完全松弛狀態(tài)，固定銷(xiāo)2移動(dòng)至遠(yuǎn)離卡盤(pán)7中心的位置，此時(shí)晶圓I在卡盤(pán)7上不受固定銷(xiāo)2的約束，可實(shí)現(xiàn)在卡盤(pán)7上的取放動(dòng)作。如圖2所示，在合位置，彈簧處于緊拉狀態(tài)，固定銷(xiāo)2向靠近卡盤(pán)7中心的方向移動(dòng)，此時(shí)固定銷(xiāo)2將緊緊和晶圓I邊緣接觸，從而實(shí)現(xiàn)固定晶圓I的功能。如圖1至圖3所示，彈性裝置3與電機(jī)4之間設(shè)有聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)5，聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)5通過(guò)連接軸6與電機(jī)4連接，聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)5可以同時(shí)控制所有彈簧的開(kāi)合，即所有固定銷(xiāo)2都是同時(shí)動(dòng)作的。
[0040]如圖4所示，圖4為本發(fā)明可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，本發(fā)明提供的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置包括:若干個(gè)固定銷(xiāo)2，用于固定晶圓1，所述固定銷(xiāo)2可開(kāi)合的安裝于晶圓I邊緣；若干個(gè)彈性裝置3，所述各彈性裝置3與各固定銷(xiāo)2對(duì)應(yīng)連接，用于控制各固定銷(xiāo)2的移動(dòng)；電機(jī)4，所述電機(jī)4輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置3的移動(dòng)；可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置還包括若干套力矩控制系統(tǒng)，所述各力矩控制系統(tǒng)的一端與各彈性裝置3連接，另一端與所述電機(jī)4連接，通過(guò)力矩控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)調(diào)控電機(jī)4輸出的電流或電壓，使彈性裝置3產(chǎn)生正向或反向的位移，從而改變固定銷(xiāo)2的位置。
[0041]其中，力矩控制系統(tǒng)的數(shù)量與固定銷(xiāo)2及彈性裝置3的數(shù)量相等，力矩控制系統(tǒng)的數(shù)量為6到12組，根據(jù)需要預(yù)設(shè)數(shù)量，固定銷(xiāo)2可在晶圓I水平圓周方向上均勻設(shè)置或不均勻設(shè)置。
[0042]上述所述力矩控制系統(tǒng)包括依次連接的力矩傳感器8、聯(lián)軸器11、中央處理模塊9以及電機(jī)控制器10，其中:所述力矩傳感器8為若干個(gè)，用于偵測(cè)與晶圓I接觸點(diǎn)的力矩；所述聯(lián)軸器11用于連接力矩傳感器8和中央處理模塊9 ;所述中央處理模塊9用于接收力矩傳感器8測(cè)量的力矩值信號(hào)，并發(fā)送調(diào)整指令給電機(jī)控制器10 ;所述電機(jī)控制器10用于調(diào)節(jié)電機(jī)4的輸入電壓或電流設(shè)定值，改變電機(jī)4的輸出扭矩。
[0043]其中，力矩傳感器8是一種測(cè)量各種扭矩、轉(zhuǎn)速及機(jī)械功率的精密測(cè)量?jī)x器，采用應(yīng)變片電測(cè)技術(shù)，在彈性軸上組成應(yīng)變橋，隨著扭矩的改變，當(dāng)彈性軸受扭矩產(chǎn)生微小變形后引起電橋電阻值變化，將電阻的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)的變化從而實(shí)現(xiàn)扭矩測(cè)量。
[0044]所述彈性裝置3為彈簧機(jī)構(gòu)或氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)彈簧的拉伸回縮或者氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)使固定銷(xiāo)移動(dòng)；中央處理模塊9則采用單片機(jī)或可編程控制器；所述電機(jī)4上設(shè)有電流或電壓控制器，優(yōu)選為步進(jìn)電機(jī)。
[0045]由于晶圓I邊緣的各固定銷(xiāo)2單獨(dú)配備一套力矩控制系統(tǒng)，使得每一個(gè)固定銷(xiāo)2都可以受到各力矩控制系統(tǒng)單獨(dú)控制，所述的中央處理模塊9可為所有固定銷(xiāo)2共用一套，也可為每個(gè)固定銷(xiāo)2單獨(dú)設(shè)置。每一個(gè)固定銷(xiāo)2的位置可根據(jù)力矩傳感器8的檢測(cè)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整，力矩傳感器8將實(shí)際偵測(cè)到的力矩反饋給中央處理模塊9，中央控制模塊9根據(jù)各接觸點(diǎn)的實(shí)際力矩值，發(fā)送調(diào)節(jié)指令給電機(jī)控制器10，電機(jī)控制器10根據(jù)調(diào)節(jié)指令使電機(jī)4增大或減小電流或電壓，使得電機(jī)4正向或反向步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，并持續(xù)反饋實(shí)時(shí)力矩，最終符合設(shè)定力矩。
[0046]如圖5所示，圖5為本發(fā)明可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置的結(jié)構(gòu)俯視圖，本發(fā)明還提供一種晶圓清洗平臺(tái)，包括:可旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)7，所述卡盤(pán)7用于承載晶圓1，所述晶圓I的上方設(shè)有噴頭(圖上未標(biāo)出)，所述晶圓I邊緣設(shè)有上述所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置。其中，所述噴頭為可移動(dòng)嗔頭，方便取放晶圓。
[0047]本發(fā)明還提供一種調(diào)節(jié)晶圓固定的方法，包括以下步驟:
[0048]步驟一 S1:將晶圓片通過(guò)設(shè)備機(jī)械臂放置在靜止的卡盤(pán)平臺(tái)上；
[0049]步驟二 S2:啟動(dòng)電機(jī)，使得固定銷(xiāo)逐漸靠近并接觸晶圓邊緣；
[0050]步驟三S3:固定銷(xiāo)與晶圓接觸后，由力矩傳感器偵測(cè)到實(shí)際力矩值，轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)到中央控制模塊；
[0051]步驟四S4:中央控制模塊根據(jù)各接觸點(diǎn)的實(shí)際力矩值，發(fā)送調(diào)節(jié)指令給電機(jī)控制器，電機(jī)控制器根據(jù)調(diào)節(jié)指令使電機(jī)增大或減小電流或電壓；
[0052]步驟五S5:電機(jī)通過(guò)改變輸出的電壓或電流，使電機(jī)產(chǎn)生正向或者反向位移，從而使固定銷(xiāo)的位置發(fā)生改變。
[0053]本發(fā)明通過(guò)增設(shè)力矩控制系統(tǒng)使得力矩控制系統(tǒng)內(nèi)的力矩傳感器偵測(cè)實(shí)際力矩傳遞信號(hào)至中央處理模塊和電機(jī)控制器，進(jìn)而調(diào)整電機(jī)輸出電流或電壓，改變電機(jī)運(yùn)動(dòng)位移，從而調(diào)節(jié)晶圓的固定銷(xiāo)位置；本發(fā)明解決了現(xiàn)有晶圓裝置因晶圓局部力矩過(guò)大或過(guò)小而產(chǎn)生對(duì)晶圓損傷等問(wèn)題。
[0054]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，包括: 若干個(gè)固定銷(xiāo)，用于固定晶圓，所述固定銷(xiāo)可開(kāi)合的安裝于晶圓邊緣； 若干個(gè)彈性裝置，所述各彈性裝置與各固定銷(xiāo)對(duì)應(yīng)連接，用于控制各固定銷(xiāo)的移動(dòng)； 電機(jī)，所述電機(jī)輸出電流或電壓，用于控制彈性裝置的移動(dòng)； 其特征在于，還包括若干套力矩控制系統(tǒng)，所述各力矩控制系統(tǒng)的一端與各彈性裝置連接，另一端與所述電機(jī)連接，通過(guò)力矩控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)調(diào)控所述電機(jī)輸出的電流或電壓，使所述彈性裝置產(chǎn)生正向或反向的位移，從而改變所述固定銷(xiāo)的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述力矩控制系統(tǒng)包括依次連接的力矩傳感器、聯(lián)軸器、中央處理模塊以及電機(jī)控制器，其中: 所述力矩傳感器為若干個(gè)，用于偵測(cè)與晶圓接觸點(diǎn)的力矩； 所述聯(lián)軸器用于連接力矩傳感器和中央處理模塊； 所述中央處理模塊用于接收力矩傳感器測(cè)量的力矩值信號(hào)，并發(fā)送調(diào)整指令給電機(jī)控制器； 所述電機(jī)控制器用于調(diào)節(jié)電機(jī)的輸入電壓或電流設(shè)定值，改變電機(jī)的輸出扭矩。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述中央處理模塊為單片機(jī)或可編程控制器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述彈性裝置為彈簧機(jī)構(gòu)或氣缸傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)彈簧的拉伸回縮或者氣缸的往復(fù)運(yùn)動(dòng)使固定銷(xiāo)移動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述電機(jī)上設(shè)有電流或電壓控制器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述晶圓水平圓周方向上均勻設(shè)有若干個(gè)固定銷(xiāo)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述力矩控制系統(tǒng)的數(shù)量與固定銷(xiāo)數(shù)量相匹配，為6到12組。
8.根據(jù)權(quán)利要求1?4任一所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置，其特征在于，所述電機(jī)為步進(jìn)電機(jī)。
9.一種晶圓清洗平臺(tái)，包括:可旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)，所述卡盤(pán)用于承載晶圓，所述晶圓的上方設(shè)有噴頭，其特征在于:所述晶圓邊緣設(shè)有如權(quán)利要求1?8任一所述的可調(diào)節(jié)式晶圓固定裝置。
10.一種調(diào)節(jié)晶圓固定的方法，其特征在于，包括以下步驟: 步驟一 S1:將晶圓片通過(guò)設(shè)備機(jī)械臂放置在靜止的卡盤(pán)平臺(tái)上； 步驟二 S2:啟動(dòng)電機(jī)，使得固定銷(xiāo)逐漸靠近并接觸晶圓邊緣； 步驟三S3:固定銷(xiāo)與晶圓接觸后，由力矩傳感器偵測(cè)到實(shí)際力矩值，轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)到中央控制I吳塊； 步驟四S4:中央控制模塊根據(jù)各接觸點(diǎn)的實(shí)際力矩值，發(fā)送調(diào)節(jié)指令給電機(jī)控制器，電機(jī)控制器根據(jù)調(diào)節(jié)指令使電機(jī)增大或減小電流或電壓； 步驟五S5:電機(jī)通過(guò)改變輸出的電壓或電流，使電機(jī)產(chǎn)生正向或者反向位移，從而使固定銷(xiāo)的位置發(fā)生改變。
【文檔編號(hào)】B08B13/00GK103715128SQ201310746900
【公開(kāi)日】2014年4月9日 申請(qǐng)日期:2013年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月30日
【發(fā)明者】厲心宇 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司