彩色濾色用玻璃片的制造方法、彩色濾色面板的制造方法以及顯示器用玻璃基板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供彩色濾色用玻璃片的制造方法、彩色濾色面板的制造方法以及顯示器用玻璃基板。本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法可提高樹脂對(duì)玻璃片的表面的粘合性。本發(fā)明的在表面上形成黑色基質(zhì)樹脂的彩色濾色用玻璃片的制造方法具備清洗玻璃片表面來去除附著在表面的異物的玻璃片清洗工序。玻璃片清洗工序具有第1清洗工序和第2清洗工序。在第1清洗工序中，采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗表面。在第2清洗工序中，采用四甲基氫氧化銨來清洗表面。
【專利說明】彩色濾色用玻璃片的制造方法、彩色濾色面板的制造方法以及顯示器用玻璃基板
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及彩色濾色用玻璃片的制造方法、彩色濾色面板的制造方法以及顯示器用玻璃基板。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在玻璃片的制造工序中，在通過下拉法等利用玻璃原料使玻璃片成形的工序之后，進(jìn)行清洗玻璃片表面的工序。在玻璃片的清洗工序中，如專利文獻(xiàn)1(日本特開2001-276759號(hào)公報(bào))所公開的那樣，為了去除附著在玻璃片表面上的玻璃的微小片、灰塵以及污垢等異物，而進(jìn)行利用酸性或堿性藥液或超聲波等來清洗玻璃片表面的處理。
[0003]另外，關(guān)于在液晶顯示器以及等離子顯示器等平板顯示器的制造中采用的玻璃片，在其表面上配置有黑色基質(zhì)以及使紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)光透過的波長(zhǎng)選擇元件即RGB像素，形成了彩色濾色器。黑色基質(zhì)斷開RGB像素區(qū)域以外的背光源的光漏，并防止相互鄰接的RGB像素的混色，由此來提高顯示對(duì)比度。即，由黑色基質(zhì)的形狀以及配置來決定彩色濾色器中的光的通過區(qū)域。
[0004]近年來，伴隨著顯示器的高清晰度，在玻璃片表面上配置的黑色基質(zhì)的線寬以及間距變小。具體地說，為了達(dá)成顯示器的高對(duì)比度化，需要利用黑色基質(zhì)的高清晰度(具體地說為小于20 μ m的的線寬)提高開口率，并且利用黑色基質(zhì)的高尺寸精度提高遮光性。另外，為了達(dá)成顯示器的更高清晰度，還需要黑色基質(zhì)的高清晰度。
[0005]目前，在平板顯示器的制造工序中，可通過變更黑色基質(zhì)樹脂的加熱條件以及曝光條件來配置黑色基質(zhì)，而與玻璃片的表面狀態(tài)無關(guān)。但是，伴隨著黑色基質(zhì)的高清晰度以及高尺寸精度的必要性，需·要以更高的精度來實(shí)現(xiàn)黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的高粘合性。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]【專利文獻(xiàn)I】日本特開2001-276759號(hào)公報(bào)
[0009]【專利文獻(xiàn)2】日本特開2001-181686號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明所要解決的問題
[0011]但是，平板顯示器的制造中采用的玻璃片的表面需要高清潔度。因此，為了去除在玻璃片表面上附著的異物，如專利文獻(xiàn)2 (日本特開2001-181686號(hào)公報(bào))所公開的那樣，可應(yīng)用采用無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗玻璃片表面的方法。但是，在這樣的清洗方法中，由于在清洗后還殘留于玻璃片表面上的有機(jī)物，而有可能導(dǎo)致無法充分達(dá)成黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的高粘合性。
[0012]本發(fā)明提供一種提高樹脂對(duì)表面的粘合性的彩色濾色用玻璃片的制造方法、彩色濾色面板的制造方法以及顯示器用玻璃基板。
[0013]用于解決問題的手段
[0014]本發(fā)明的在表面形成有黑色基質(zhì)樹脂的彩色濾色用玻璃片的制造方法具備玻璃片制造工序和玻璃片清洗工序。在玻璃片制造工序中，由熔融玻璃成形玻璃帶，切斷玻璃帶來形成玻璃片。在玻璃片清洗工序中，清洗玻璃片的表面，去除附著在表面的異物。玻璃片清洗工序具有第I清洗工序和第2清洗工序。在第I清洗工序中，采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗表面。在第2清洗工序中，采用具有0.1%?2.38%濃度的四甲基氫氧化銨(TMAH)來清洗表面。在玻璃片清洗工序中，清洗玻璃片，使存在于表面的有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2表面中為8ng以下。另外，在從第I清洗工序結(jié)束到第2清洗工序開始之前的期間，玻璃片的表面保持為濕的狀態(tài)。由此，可控制第2清洗工序后的玻璃基板表面上的有機(jī)物的附著量。
[0015]在本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法中，利用下拉法或浮法制造的玻璃片首先進(jìn)行采用無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗表面的第I清洗工序，接著，進(jìn)行采用四甲基氫氧化銨(TMAH)清洗表面的第2清洗工序。TMAH具有從玻璃片的表面上去除成為降低黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的原因的有機(jī)物的效果。另外，通過在進(jìn)行第I清洗工序之后進(jìn)行第2清洗工序，即使在第I清洗工序中由無機(jī)堿系列的清洗劑所包含的界面活化劑帶來的有機(jī)物附著在玻璃片表面上，在之后的第2清洗工序中，也能夠從玻璃片的表面上去除該有機(jī)物。即，在該彩色濾色用玻璃片的制造方法中，通過第2清洗工序，可從玻璃片的表面上有效地去除成為降低黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的原因的有機(jī)物。因此，本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法能夠提高玻璃片樹脂對(duì)表面的粘合性。
[0016]另外，優(yōu)選界面活化劑是離子系列界面活化劑，在第2清洗工序中，去除附著在玻璃片表面的離子系列界面活化劑。在此情況下，在第I清洗工序中，在玻璃片的表面上附著離子系列界面活化劑。并且，第2清洗工序后的玻璃片的表面與第I清洗工序后的玻璃片的表面相比，離子系列界面活化劑的附著量少。換言之，在第2清洗工序中，控制第2清洗工序后的玻璃片表面上的離子系列界面活化劑的附著量。
[0017]另外，在玻璃片清洗工序中優(yōu)選，清洗玻璃片，使疏水性有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2表面中為0.0lng?0.25ng。疏水性有機(jī)物是存在于玻璃片表面的有機(jī)物中的GC/MS中的保持時(shí)間為18分鐘以上的有機(jī)物。另外，疏水性有機(jī)物是芳香族化合物。在附著于玻璃片表面的有機(jī)物即GC/MS中的保持時(shí)間為18分鐘以上的疏水性有機(jī)物中包含作為具有苯環(huán)的有機(jī)物的芳香族化合物。芳香族化合物是成為降低黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的原因的有機(jī)物。
[0018]另外，在玻璃片清洗工序中優(yōu)選，清洗玻璃片，使存在于表面的疏水性有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2表面中為0.0lng?0.15ng。疏水性有機(jī)物是與玻璃片相比疏水性高的有機(jī)物。換言之，疏水性有機(jī)物是與玻璃片相比對(duì)水的親和性低的有機(jī)物。
[0019]另外，優(yōu)選玻璃片的表面具有小于0.7nm的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra是表示玻璃片表面的粗糙度的參數(shù)的一種即“中心線平均粗糙度”。在玻璃片的表面粗糙度Ra小于0.7nm的情況下，沒有給黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性帶來影響。
[0020]本發(fā)明的在玻璃基板表面上形成樹脂膜的彩色濾色面板的制造方法具備第I清洗工序、第2清洗工序和樹脂膜形成工序。在第I清洗工序中，采用包含界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗形成有樹脂膜的表面。在第2清洗工序中，采用具有0.1%?2.38%濃度的四甲基氫氧化銨來清洗形成有樹脂膜的表面。在樹脂膜形成工序中，在表面的有機(jī)物的附著量是每Icm2中8ng以下而且GC/MS的保持時(shí)間為18分鐘以上的疏水性有機(jī)物的表面中的附著量是每Icm2中0.25ng以下的表面上形成樹脂膜。另外，在從第I清洗工序結(jié)束到第2清洗工序開始之前的期間，玻璃基板的表面保持為濕的狀態(tài)。由此，可控制第2清洗工序后的玻璃基板表面上的有機(jī)物的附著量。另外，在樹脂膜形成工序中優(yōu)選，樹脂膜是黑色基質(zhì)，將黑色基質(zhì)利用3 μ m?15 μ m的線寬進(jìn)行構(gòu)圖。
[0021]在本發(fā)明的彩色濾色面板的制造方法中，根據(jù)上述理由，可從玻璃片的表面上有效地去除成為降低黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的原因的有機(jī)物。因此，本發(fā)明的彩色濾色面板的制造方法可降低樹脂對(duì)彩色濾色面板表面的粘合性。
[0022]在本發(fā)明的顯示器用玻璃基板中，表面上的有機(jī)物的附著量是在每Icm2中Sng以下，而且表面上的芳香族化合物的附著量是每Icm2中0.25ng以下。
[0023]本發(fā)明的顯示器用玻璃基板因?yàn)槌蔀榻档秃谏|(zhì)樹脂對(duì)表面的粘合性的原因的芳香族化合物的表面上的附著量小，所以玻璃基板樹脂對(duì)表面的粘合性高。
[0024]發(fā)明效果
[0025]本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法可提高樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性。
[0026]另外，本發(fā)明的彩色濾色面板的制造方法可提高樹脂對(duì)彩色濾色面板表面的粘合性。
[0027]另外，本發(fā)明的顯示器用玻璃基板可提高樹脂對(duì)玻璃基板表面的粘合性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是本實(shí)施方式的玻璃片的制造方法的流程圖。
[0029]圖2是板料清洗裝置的概括圖。
[0030]圖3是第I清洗單元的俯視圖。
[0031]圖4是第I清洗單元的側(cè)視圖。
[0032]圖5是批量清洗裝置的概括圖。
[0033]符號(hào)說明
[0034]I 板料清洗裝置
[0035]10第I清洗單元
[0036]12 電刷單元
[0037]14海綿單元
[0038]16沖洗單元
[0039]18清洗劑箱
[0040]19純凈水箱
[0041]20第2清洗單元
[0042]101批量清洗裝置
[0043]120 盒
[0044]130 液槽
[0045]G 玻璃片【具體實(shí)施方式】
[0046](I)玻璃片的組成
[0047]根據(jù)實(shí)施方式來說明本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法。在本實(shí)施方式中制造的彩色濾色用玻璃片是在液晶顯示器等平板顯示器(FPD)的制造中采用的玻璃片。該玻璃片通過在表面上配置黑色基質(zhì)以及作為使紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)光透過的波長(zhǎng)選擇元件的RGB像素，來形成彩色濾色器。黑色基質(zhì)斷開RGB像素區(qū)域以外的背光源的光漏，并防止相互鄰接的RGB像素的混色，由此來提高顯示對(duì)比度。即，通過黑色基質(zhì)的形狀以及配置來決定彩色濾色器中的光的通過區(qū)域。玻璃片的厚度例如是0.1mm?0.7_。玻璃片的尺寸例如是 680mm X 880mm (G4 尺寸)、2200mm X 2500mm (G8 尺寸)。
[0048]在FPD的制造中采用的玻璃片優(yōu)選無堿玻璃或微堿玻璃。在玻璃片是無堿玻璃的情況下，玻璃的組成例如是SiO2:質(zhì)量50%?質(zhì)量70%、A1203:質(zhì)量0%?質(zhì)量25%、B2O3:質(zhì)量1%?質(zhì)量15%、MgO:質(zhì)量0%?質(zhì)量10%、CaO:質(zhì)量0%?質(zhì)量20%、SrO:質(zhì)量0%?質(zhì)量20%，BaO:質(zhì)量0%?質(zhì)量10%。這里，MgO, CaO, SrO以及BaO總和的含有量是質(zhì)量5%?質(zhì)量 30%ο
[0049]在玻璃片是包含微量堿金屬的微堿玻璃時(shí)，玻璃的組成還包含質(zhì)量0.1%?質(zhì)量0.5%的R’ 20，最好包含質(zhì)量0.2%?質(zhì)量0.5%的R’ 20。這里，R’是從L1、Na以及K中選擇的至少I種。此外，R’ 20的含有量總和可小于質(zhì)量0.1%。
[0050]另外，玻璃片除了上述成分之外還可以含有SnO2:質(zhì)量0.01%?質(zhì)量1% (最好是質(zhì)量0.01%?質(zhì)量0.5%)、Fe2O3:質(zhì)量0%?質(zhì)量0.2%(最好是質(zhì)量0.01%?質(zhì)量0.08%)，考慮到環(huán)境負(fù)荷，實(shí)質(zhì)上可不含有As203、Sb2O3以及PbO。
[0051](2)玻璃片的制造方法的流程
[0052]圖1是示出玻璃片的制造方法的流程的流程圖。以下，說明流程圖的各個(gè)步驟SI ?S10。
[0053]最初，在步驟SI中，通過為了制造具有上述組成的玻璃片而調(diào)整的玻璃原料的加熱來生成熔融玻璃，并通過下拉法、深拉法或浮法等，利用熔融玻璃或預(yù)成形玻璃來連續(xù)地成形具有預(yù)定厚度的玻璃帶。在步驟S2中，切斷在步驟SI中生成的玻璃帶，獲得具有預(yù)定尺寸的毛坯玻璃。在步驟S3中，在用于輸送以及保管毛坯玻璃的托盤上載置了在步驟S2中獲得的毛坯玻璃，作為隔著用于保護(hù)毛坯玻璃表面的紙張層疊的層疊體。
[0054]接著，在步驟S4中，從毛坯玻璃的層疊體中取出毛坯玻璃，將毛坯玻璃切斷為作為產(chǎn)品的玻璃片的尺寸。在步驟S5中，對(duì)在步驟S4中獲得的玻璃片進(jìn)行端面的研削以及研磨、端面的刻蝕等端面加工處理。
[0055]接著，在步驟S6中進(jìn)行玻璃片的清洗。在玻璃片的清洗工序中，去除作為附著在玻璃片表面上的玻璃微片的碎玻璃、灰塵、污垢、有粘著性的異物等。另外，在玻璃片的清洗工序中，為了在已清洗的玻璃片表面上不再次附著這些異物，而使用含有界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑。
[0056]接著，在步驟S7中，進(jìn)行在步驟S6中已清洗的玻璃片的光學(xué)檢查。具體地說，進(jìn)行在玻璃片的表面上有沒有形成具有光學(xué)缺陷的傷痕以及在玻璃片的表面上有沒有附著灰塵或污垢等檢查。在步驟S8中，將步驟S7的檢查已合格的玻璃片作為與用于保護(hù)玻璃片表面的紙張交替層疊的層疊體載置于托盤上進(jìn)行包裝。在步驟S9中，使已包裝的玻璃片的層疊體出廠至FPD的制造業(yè)人員等納入目的地。從防止在玻璃片表面上附著由紙張帶來的異物的觀點(diǎn)出發(fā)，出廠的玻璃片層疊體所夾持的紙張可采用不包含再生紙的木漿紙。
[0057]另外，在步驟SlO中，可以在數(shù)周或數(shù)月的長(zhǎng)期間內(nèi)保管在步驟S3中載置于托盤上的毛坯玻璃的層疊體。在此情況下，從成本以及環(huán)境保護(hù)的觀點(diǎn)出發(fā)，被所保管的毛坯玻璃的層疊體所夾持的紙張可使用再生紙。長(zhǎng)期間保管的毛坯玻璃的層疊體如上所述經(jīng)過從步驟S4的切斷工序到步驟S8的包裝工序，在步驟S9中出廠。此外，在步驟SlO中，可以在數(shù)周或數(shù)月的長(zhǎng)期間內(nèi)保管在步驟S8中載置于托盤上并已進(jìn)行包裝的玻璃片的層疊體。在此情況下，可采用再生紙作為被玻璃片的層疊體所夾持的紙張。
[0058](3)玻璃片的清洗工序的流程
[0059]接著，詳細(xì)說明在圖1的步驟S6中進(jìn)行的玻璃片的清洗工序。玻璃片的清洗工序由第I清洗工序以及第2清洗工序組成。在第I清洗工序中，采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑進(jìn)行玻璃片表面的清洗。在第2清洗工序中，使用四甲基氫氧化銨(TMAH)進(jìn)行玻璃片表面的清洗。
[0060]通過在用水稀釋市場(chǎng)上銷售的玻璃片用清洗液獲得的稀釋液中添加堿成分來生成在第I清洗工序使用的無機(jī)堿系列的清洗劑。作為玻璃片用清洗液例如采用花王股份有限公司制造的PK-LCG系列或者橫浜油脂工業(yè)股份有限公司制造的半清潔系列等。玻璃片用清洗液例如用水稀釋為wtl%?wt5%的濃度。稀釋液的堿成分的濃度換算為氫氧化鉀(KOH)的濃度，例如是wt0.02%?wt0.15%。
[0061]從保持玻璃片表面清潔的點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選用于稀釋清洗劑的水是實(shí)施過離子交換處理、EDI (Electro de ionization:電離)處理、逆浸透膜(R0膜)的過濾處理以及通過脫碳酸氣體裝置的脫碳酸氣體處理的純凈水或超純凈水。另外，為了去除溶解性的有機(jī)物，優(yōu)選進(jìn)行使水通過活性碳的處理。具體地說，優(yōu)選采用過濾器從水中去除微粒子等異物，接著使水通過活性碳來去除有機(jī)物，然后實(shí)施離子交換處理、EDI處理、逆浸透膜的過濾處理以及通過脫碳酸氣體裝置的脫碳酸氣體處理。
[0062]在離子交換處理中，采用離子交換樹脂膜從水中去除水所包含的離子性物質(zhì)例如氯離子或鈉離子等。在EDI處理中，采用離子交換樹脂膜且利用對(duì)電極給予電位而形成的電位坡度，以較高的精度從水中去除離子性物質(zhì)。在逆浸透膜的過濾處理中，從水中去除離子性物質(zhì)、鹽類以及有機(jī)物。在脫碳酸氣體處理中，采用脫碳酸氣體裝置從水中去除碳酸氣體。
[0063]在本實(shí)施方式中，對(duì)玻璃片用清洗液的稀釋液添加從由KOH、NaOH, ETDA_4Na、ETDA-4K、Na4P207以及K4P207構(gòu)成的組中選擇的I種以上的堿成分，來生成在第I清洗工序中使用的清洗劑。該清洗劑的堿成分的濃度換算為氫氧化鉀(KOH)的濃度是wtl%以上。上述的堿成分與其它堿成分相比，對(duì)玻璃的刻蝕性高且溶解性良好。尤其，從防止刻蝕性、溶解性以及對(duì)在玻璃片上形成的薄膜晶體管的惡劣影響的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選單獨(dú)使用KOH作為堿成分。另外，KOH以及NaOH與其它堿成分相比，在排水處理的方面是有利的。
[0064]此外，關(guān)于在第I清洗工序中使用的清洗劑，堿成分的濃度越高，從玻璃片上去除異物的清洗力越強(qiáng)。但是，當(dāng)堿成分的濃度過高時(shí)，產(chǎn)生腐蝕玻璃片清洗裝置在清洗劑中生成結(jié)晶等問題。因此，優(yōu)選清洗劑的堿成分的濃度不超過wtl0%。另外，為了容易地進(jìn)行清洗劑的處理，最好清洗劑的堿成分的濃度不超過wt5%。
[0065]在本實(shí)施方式中，玻璃片的清洗方法具有板料清洗以及批量清洗這2種清洗方法。首先，說明基于板料清洗的玻璃片的清洗方法。圖2是進(jìn)行板料清洗的玻璃片G的板料清洗裝置I的概括圖。板料清洗裝置I由進(jìn)行第I清洗工序的第I清洗單元10和進(jìn)行第2清洗工序的第2清洗單元20構(gòu)成。玻璃片G首先在第I清洗單元10中利用已經(jīng)添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑進(jìn)行清洗，接著在第2清洗單元20中利用TMAH進(jìn)行清洗。
[0066]圖3是第I清洗單元10的俯視圖，圖4是第I清洗單元10的側(cè)視圖。在圖3以及圖4中，省略輸送玻璃片G的輸送裝置。此外，第2清洗單元20的結(jié)構(gòu)與第I清洗單元10的結(jié)構(gòu)實(shí)質(zhì)上相同，因此以下僅說明第I清洗單元10的結(jié)構(gòu)。后面敘述第I清洗單元10與第2清洗單元20的不同點(diǎn)。
[0067]第I清洗單元10如圖3所示具備電刷單元12、海綿單元14和沖洗單元16。從玻璃片G的輸送方向的上游側(cè)向下游側(cè)依次配置這些單元。第I清洗單元10如圖4所示還具備清洗劑箱18、純凈水箱19和噴嘴18a、18b、18c、18d、19a、19b。
[0068]電刷單元12具有清洗電刷輥12a、12b。沿著玻璃片G的輸送方向配置了清洗電刷輥12a、12b。在玻璃片G的上下配置一對(duì)清洗電刷輥12a、12b，以使能夠分別清洗所輸送的玻璃片G的兩個(gè)表面。清洗電刷輥12a、12b分別以橫切玻璃片G的輸送方向的方式進(jìn)行配置。在清洗電刷輥12a、12b的外周面安裝有多個(gè)清洗電刷。通過清洗電刷輥12a、12b的軸旋轉(zhuǎn)，使清洗電刷接觸所輸送的玻璃片G的表面，對(duì)玻璃片G的表面進(jìn)行清洗。在圖3中，清洗電刷輥12a、12b雖然沿著玻璃片G的輸送方向配置有2列，但也可以僅配置I列，也可以配置3列以上。
[0069]海綿單元14具有清洗海綿輥14a、14b。沿著玻璃片G的輸送方向配置清洗海綿輥14a、14b。在玻璃片G的上下配置一對(duì)清洗海綿輥14a、14b，以使能夠分別清洗所輸送的玻璃片G的兩個(gè)表面。清洗海綿輥14a、14b分別以橫切玻璃片G的輸送方向的方式進(jìn)行配置。在清洗海綿輥14a、14b的外周面安裝有清洗海綿。通過清洗海綿輥14a、14b的軸旋轉(zhuǎn)，使清洗海綿接觸所輸送的玻璃片G的表面，對(duì)玻璃片G的表面進(jìn)行清洗。在圖3中，清洗海綿輥14a、14b沿著玻璃片G的輸送方向配置有2列，但也可以僅配置I列，也可以配置3列以上。
[0070]第I清洗單元10的清洗劑箱18對(duì)在第I清洗工序中使用的已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑進(jìn)行貯存。清洗劑箱18例如具有在50°C?80°C的溫度范圍內(nèi)加熱清洗劑進(jìn)行保溫的功能。噴嘴18a、18b向輸送到電刷單元12內(nèi)的玻璃片G的兩個(gè)表面噴射從清洗劑箱18供給的清洗劑。噴嘴18c、18d向輸送到海綿單元14內(nèi)的玻璃片G的兩個(gè)表面噴射從清洗劑箱18供給的清洗劑。
[0071]純凈水箱19貯存上述的純凈水或超純凈水。噴嘴19a、19b向輸送到?jīng)_洗單元16內(nèi)的玻璃片G的兩個(gè)表面噴射從純凈水箱19供給的純凈水或超純凈水。
[0072]第2清洗單元20具有與第I清洗單元10相同的結(jié)構(gòu)。但是，第2清洗單元20的清洗劑箱18對(duì)在第2清洗工序中使用的TMAH進(jìn)行貯存。TMAH的濃度雖然是0.1%?2.38%，但優(yōu)選是0.25%?1.5%,最好是0.35%?1.0%。
[0073]此外，在本實(shí)施方式中，如圖4所示，電刷單元12以及海綿單元14使用共用的清洗劑箱18，但也可以采用各自的清洗劑箱18。在此情況下，電刷單元12以及海綿單元14可采用不同濃度的清洗劑來清洗玻璃片G。
[0074]接著，說明板料清洗裝置I中的玻璃片G的清洗流程。首先，在第I清洗單元10的電刷單元12中進(jìn)行玻璃片G的電刷清洗。具體地說，從噴嘴18a、18b噴射的無機(jī)堿系列的清洗劑附著在玻璃片G的兩個(gè)表面，通過清洗電刷輥12a、12b的軸旋轉(zhuǎn)來清洗玻璃片G的兩個(gè)表面。
[0075]接著，在第I清洗單元10的海綿單元14中進(jìn)行玻璃片G的海綿清洗。具體地說，從噴嘴18c、18d噴射的無機(jī)堿系列的清洗劑附著在玻璃片G的兩個(gè)表面上，通過清洗海綿輥14a、14b的軸旋轉(zhuǎn)來清洗玻璃片G的兩個(gè)表面。
[0076]接著，在第I清洗單元10的沖洗單元16中，去除已附著在玻璃片G的表面上的無機(jī)堿系列的清洗劑。具體地說，從噴嘴19a、19b噴射出的純凈水或超純凈水附著在玻璃片G的兩個(gè)表面上，由此利用純凈水或超純凈水來洗涮玻璃片G的表面，以沖洗附著在表面上的無機(jī)堿系列的清洗劑。此外，通過了沖洗單元16的玻璃片G的表面上附著有純凈水或超純凈水，成為濕的狀態(tài)。通過了第I清洗單元10的玻璃片G在保持表面為濕的狀態(tài)下輸送至第2清洗單元20的內(nèi)部。由此，可控制通過了第2清洗單元20的玻璃片G的表面異物的附著量。
[0077]接著，在第2清洗單元20的電刷單元12中進(jìn)行玻璃片G的電刷清洗。具體地說，從噴嘴18a、18b噴射的TMAH附著在玻璃片G的兩個(gè)表面上，通過清洗電刷輥12a、12b的軸旋轉(zhuǎn)來清洗玻璃片G的兩個(gè)表面。
[0078]接著，在第2清洗單元20的海綿單元14中進(jìn)行玻璃片G的海綿清洗。具體地說，從噴嘴18c、18d噴射的TMAH附著在玻璃片G的兩個(gè)表面上，通過清洗海綿輥14a、14b的軸旋轉(zhuǎn)來清洗玻璃片G的兩個(gè)表面。
[0079]接著，在第2清洗單元20的沖洗單元16中去除附著在玻璃片G的表面上的TMAH。具體地說，從噴嘴19a、19b噴射的純凈水或超純凈水附著在玻璃片G的兩個(gè)表面上，由此利用純凈水或超純凈水來洗涮玻璃片G的表面，以沖洗在表面上附著的TMAH。
[0080]以上，說明了基于板料清洗的玻璃片的清洗方法。接著，說明基于批量清洗的玻璃片的清洗方法。圖5是進(jìn)行批量清洗的玻璃片的批量清洗裝置101的概括圖。批量清洗裝置101具備輸送可收容多個(gè)玻璃片G的盒120的輸送機(jī)構(gòu)(未圖不)和多個(gè)液槽130。各個(gè)液槽130具備超聲波清洗機(jī)構(gòu)以及溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，該超聲波清洗機(jī)構(gòu)根據(jù)需要，在使玻璃片G浸潰于液體L內(nèi)的狀態(tài)下利用超聲波來清洗玻璃片G ；該溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)液體L的溫度。批量清洗裝置101還具備向各個(gè)液槽130供給液體L的箱(未圖示)。
[0081]利用輸送機(jī)構(gòu)來輸送收容有多個(gè)玻璃片G的盒120，并依次浸潰在貯存于液槽130內(nèi)的多種液體L中進(jìn)行清洗。在批量清洗裝置101中，適當(dāng)?shù)貨Q定浸潰玻璃片G的液體L的種類以及順序。作為批量清洗工序的一例具有第I步采用氟酸、第2步采用純凈水、第3步米用無機(jī)堿系列的清洗劑、第4步米用純凈水、第5步米用TMAH、第6步米用純凈水、第7步采用超純凈水來清洗玻璃片G的工序。在第2、4、6步工序中使用的純凈水以及在第7步工序中使用的超純凈水分別與在上述板料清洗裝置I中使用的純凈水以及超純凈水相同。在第3步工序中使用的無機(jī)堿系列的清洗劑與在上述板料清洗裝置I中使用的清洗劑相同。玻璃片G在各個(gè)液槽130中浸潰于液體L內(nèi)的時(shí)間根據(jù)液體L是45秒?180秒。此外,可不進(jìn)行作為第I步工序的基于氟酸的玻璃片G的表面處理。
[0082](4)特征
[0083](4-1)
[0084]目前，為了去除附著在玻璃片表面上的有機(jī)物，而使用采用無機(jī)堿系列的清洗劑清洗玻璃片表面的方法。在FPD的制造中采用的玻璃片表面上形成TFT等半導(dǎo)體元件。這樣的玻璃片為了抑制由于剝離帶電或短路等而導(dǎo)致的半導(dǎo)體元件的破壞，而需要表面具有極高的清潔度。因此，使用通過采用無機(jī)堿系列的清洗劑清洗玻璃片表面來制造具有極高清潔度的玻璃片的方法。
[0085]但是可知，以高清潔度作為目的，采用KOH或NaOH系列的無機(jī)堿系列的清洗劑進(jìn)行清洗的玻璃片具有黑色基質(zhì)樹脂對(duì)表面的粘合性低、黑色基質(zhì)從玻璃片的表面剝離這樣的問題。尤其近年來，伴隨著顯示器的高清晰度，在玻璃片表面上配置的黑色基質(zhì)的線寬以及間距變小，所以黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低是重要的問題。因此，上述玻璃片的清洗方法無法與黑色基質(zhì)的高清晰度相對(duì)應(yīng)。
[0086]另外，在玻璃片表面上附著的特定有機(jī)物有可能是黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低的原因。具體地說，當(dāng)采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗玻璃片的表面時(shí)，黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低。因此，由界面活化劑帶來的有機(jī)物有可能是黑色基質(zhì)樹脂的粘合性降低的原因。另外，在由黑色基質(zhì)樹脂的粘合性降低引起的有機(jī)物中例如還有可能包含由玻璃片的層疊體所包含的紙張帶來的有機(jī)物以及在玻璃片層疊體的保管以及輸送環(huán)境下的氣氛中的有機(jī)物。
[0087]在本實(shí)施方式中，在采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗玻璃片表面的第I清洗工序之后，進(jìn)行采用TMAH來清洗玻璃片表面的第2清洗工序，由此能夠制造既具有極高的清潔度又不降低黑色基質(zhì)樹脂的粘合性的玻璃片。在第2清洗工序中，通過采用TMAH清洗玻璃片表面，來去除是由在第I清洗工序中使用的清洗劑所包含的界面活化劑帶來的有機(jī)物、且經(jīng)過第I清洗工序附著在玻璃片的表面上的有機(jī)物。該有機(jī)物是成為黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低的原因的有機(jī)物。該有機(jī)物是GC/MS中的保持時(shí)間為18分鐘以上的疏水性有機(jī)物，例如是芳香族化合物。即，通過第2清洗工序，從玻璃片的表面上有效地去除成為黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低的原因的疏水性有機(jī)物。因此，本實(shí)施方式的玻璃片的制造方法能夠提高黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性。此外，采用GL Sciences股份有限公司制造的無極性色譜柱TC-1作為在GC/MS中使用的毛細(xì)管色譜柱。
[0088]在本實(shí)施方式中，在玻璃片的清洗工序之后的玻璃片表面上附著的疏水性有機(jī)物的質(zhì)量?jī)?yōu)選在玻璃片表面上每Icm2是0.05ng?0.50ng,最好是0.05ng?0.25ng。
[0089]另外，本實(shí)施方式的玻璃片的制造方法在黑色基質(zhì)的線寬以及間距小的彩色濾色面板的制造中特別有效。彩色濾色面板是在表面上配置黑色基質(zhì)以及RGB像素來形成彩色濾色器的玻璃片。利用本實(shí)施方式的玻璃片的制造方法制造出的玻璃片是即使在表面上配置具有小于IOym的線寬的黑色基質(zhì)也能夠充分抑制黑色基質(zhì)剝離的玻璃片。因此，該玻璃片可在表面上配置具有3 μ m?5 μ m線寬的高精細(xì)的黑色基質(zhì)。
[0090](4-2)
[0091]在本實(shí)施方式內(nèi)，在第I清洗單元10的電刷單元12以及海綿單元14中利用無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗玻璃片G的表面之后，在第I清洗單元10的沖洗單元16中，利用純凈水或超純凈水來沖洗并去除在玻璃片G的表面上附著的無機(jī)堿系列的清洗劑。由此，可利用在第I清洗工序中附著在玻璃片G的表面上的清洗劑，來抑制在之后的第2清洗工序中的基于TMAH的玻璃片G的清洗效果降低。
[0092]在第I清洗工序中使用的無機(jī)堿系列的清洗劑包含界面活化劑。界面活化劑如上所述是成為黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性降低的原因的有機(jī)物。因此，在第I清洗工序的最后，利用純凈水或超純凈水來洗涮玻璃片G的表面，以沖洗在玻璃片G的表面上附著的清洗劑，由此能夠提高第2清洗工序中的去除在玻璃片G的表面上附著的有機(jī)物的效果。第2清洗工序具有去除在玻璃片G的表面上附著的異物的效果和利用第I清洗工序去除由在玻璃片G的表面上附著的清洗劑帶來的有機(jī)物的效果。
[0093]另外，即使在第2清洗工序的最后，也通過第2清洗單元20的沖洗單元16，利用純凈水或超純凈水來沖洗并去除附著在玻璃片G的表面上的TMAH。因此，由板料清洗裝置I或批量清洗裝置101清洗的玻璃片G具有極高的清潔度。
[0094](4-3)
[0095]在本實(shí)施方式中，對(duì)用水稀釋了市場(chǎng)上銷售的玻璃基板用清洗液獲得的稀釋液添加KOH等堿成分來生成在第I清洗工序中使用的清洗劑。具體地說，對(duì)玻璃基板用清洗液的稀釋液添加KOH等堿成分，生成具有wtl%以上濃度的清洗劑。通過添加堿成分，不用制造以及處理堿成分的濃度非常高的清洗液，就能夠容易地生成堿成分的濃度高的清洗劑。堿成分的濃度高的清洗劑能夠提高玻璃片的刻蝕性，而且從玻璃片的表面上剝離并有效地去除碎玻璃或灰塵等異物以及在受到負(fù)荷的狀態(tài)下在玻璃片表面上附著的粘著性的異物等。
[0096]另外，通過對(duì)玻璃基板用清洗液的稀釋液添加堿成分而生成的清洗劑的表面張力低于稀釋液。即，通過對(duì)包含界面活化劑的玻璃基板用清洗液的稀釋液添加KOH等堿成分，可獲得在單獨(dú)對(duì)純凈水添加堿成分時(shí)幾乎未獲得的降低清洗劑的表面張力的效果。由此，清洗劑容易浸透在粘著異物與玻璃板之間。此外，還利用與經(jīng)由清洗劑提高玻璃片的刻蝕性的疊加效果，來更有效地去除附著在玻璃片上的異物。
[0097]另外，通過提高對(duì)玻璃基板用清洗液的稀釋液添加的堿成分的濃度，可提高去除在數(shù)周或數(shù)月以上的長(zhǎng)期保管的玻璃片表面上附著的粘著性異物的效果。
[0098](5)實(shí)施例
[0099]說明本發(fā)明的彩色濾色用玻璃片的制造方法的實(shí)施例。在本實(shí)施例中，在玻璃片的清洗之后，對(duì)玻璃片表面涂敷黑色基質(zhì)樹脂，來確認(rèn)黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性。以下，說明具體的順序。
[0100]首先，根據(jù)上述圖1所示的步驟S3，準(zhǔn)備在托盤上交替地層疊毛坯玻璃和紙張的層疊體。接著，根據(jù)步驟S4，從毛坯玻璃的層疊體取出毛坯玻璃，將毛坯玻璃切斷為預(yù)定的尺寸，獲得玻璃片。接著，根據(jù)步驟S5進(jìn)行玻璃片的端面加工。接著，根據(jù)步驟S6，采用在本實(shí)施方式中已說明的板料清洗裝置I進(jìn)行玻璃片的板料清洗。在玻璃片的第I清洗工序中，利用純凈水來稀釋作為橫浜油脂工業(yè)股份有限公司制造的無機(jī)堿性清洗劑的KG，作為堿成分使用添加KOH而生成的清洗劑。在玻璃片的第2清洗工序中使用具有0.1%?2.38%濃度的TMAH。
[0101]接著，在玻璃片的表面上涂敷黑色基質(zhì)樹脂。具體地說，在玻璃片的表面上涂敷黑色基質(zhì)樹脂，使膜厚成為I μ m。接著，米用描述I μ m、3 μ m、5 μ m、10 μ m、15 μ m、20 μ m以及
30 μ m的圖案的光掩模，對(duì)已涂敷黑色基質(zhì)樹脂的玻璃片進(jìn)行曝光以及顯影，來判定黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性。具體地說，確認(rèn)在玻璃片表面上有無黑色基質(zhì)的剝離以及殘?jiān)?br> [0102]在本實(shí)施例中，在玻璃片的表面上涂敷的黑色基質(zhì)樹脂在5 μ m?30 μ m的線寬中未確認(rèn)剝離以及殘?jiān)４送?，所清洗的玻璃片表面中的TMAH的殘留量是基于離子色譜法的檢測(cè)下限0.01ng/cm2以下。
[0103]另外，在玻璃片的第I清洗工序中，即使利用純凈水稀釋橫浜油脂工業(yè)股份有限公司制造的無機(jī)堿性清洗劑即L.G.L且作為堿成分使用添加KOH生成的清洗劑，黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的判定結(jié)果也不會(huì)改變。另外，玻璃片的表面粗糙度Ra是
0.15nm ?0.67nm。
[0104]此外，作為比較例，在玻璃片的第I清洗工序中，取代采用包含界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑，而是采用TMAH進(jìn)行玻璃片的清洗。S卩，在第I清洗工序以及第2清洗工序這雙方中，進(jìn)行采用TMAH的玻璃片的清洗。結(jié)果，在玻璃片表面上附著的異物量比上述實(shí)施例多。其原因被認(rèn)為是TMAH與KG等無機(jī)堿系列的清洗劑相比清洗力弱，從而無法完全去除在毛坯玻璃上附著的污垢。在采用該清洗方法的情況下，關(guān)于黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性的判定，已確認(rèn)將附著異物認(rèn)為是主要原因的黑色基質(zhì)的剝離以及殘?jiān)?br> [0105]另外，在上述圖1的步驟S6內(nèi)的玻璃片的清洗工序中，說明進(jìn)行玻璃片的批量清洗而不是玻璃片的板料清洗的實(shí)施例。在此情況下，在玻璃片表面上涂敷的具有3 μ m?30 μ m的線寬的黑色基質(zhì)樹脂無論在哪個(gè)線寬中都未確認(rèn)剝離以及殘?jiān)?br> [0106]另外，對(duì)具有窄線寬的黑色基質(zhì)樹脂的圖案進(jìn)行黑色基質(zhì)的剝離以及殘?jiān)拇_認(rèn)。首先，在玻璃片的第2清洗工序中，采用濃度0.5%的TMAH清洗了玻璃片。接著，在所清洗的玻璃片的表面上涂敷黑色基質(zhì)樹脂來形成圖案，使膜厚成為Iym且線寬成為Ιμπι?15 μ m，判定黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性。結(jié)果，在3μπι?15μπι的線寬中，未確認(rèn)玻璃片表面上的黑色基質(zhì)的剝離以及殘?jiān)?。另外，在I μ m的線寬中已確認(rèn)黑色基質(zhì)的部分剝離。但是，能夠降低Iym線寬中的黑色基質(zhì)的剝離或殘?jiān)陌l(fā)生概率。因此，與未控制特定表面異物的現(xiàn)有方法相比，能夠提高具有特別窄線寬的黑色基質(zhì)樹脂的圖案中的合格率。
[0107]此外，作為比較例，在玻璃片的第2清洗工序中，取代在TMAH內(nèi)浸潰玻璃片進(jìn)行清洗，而是在氨水內(nèi)浸潰玻璃片進(jìn)行超聲波清洗。結(jié)果，關(guān)于在玻璃片的表面上涂敷的線寬比20 μ m窄的黑色基質(zhì)樹脂，即使變更黑色基質(zhì)的成膜條件以及顯影條件，也能夠確認(rèn)發(fā)生剝離以及殘?jiān)?br> [0108](6)變形例
[0109](6-1)變形例 A
[0110]本實(shí)施方式的清洗方法與對(duì)玻璃帶進(jìn)行板料送進(jìn)的玻璃片的清洗工序相關(guān)，但也能夠應(yīng)用于以輥狀保管的玻璃膜的清洗工序。利用下拉法或深拉法隔著紙張或樹脂膜來卷繞采用熔融玻璃或由熔融玻璃形成的預(yù)成形玻璃來成形的具有0.1mm以下厚度的玻璃帶，由此獲得棍狀的毛還玻璃。
[0111]在本變形例中，既能夠從該輥狀的毛坯玻璃中去除紙張或樹脂膜，又能夠緩緩引出玻璃膜。然后，在對(duì)玻璃膜的端面進(jìn)行刻蝕處理之后，清洗玻璃膜的表面。在玻璃膜的清洗工序中，與本實(shí)施方式同樣采用已添加界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗表面，在利用純凈水或超純凈水洗涮表面之后，采用TMAH清洗表面，并再次利用純凈水或超純凈水洗涮表面。然后，以卷對(duì)卷的方式在彩色濾色器的制造工序中輸送已清洗的玻璃膜?；蛘?，隔著產(chǎn)品用的紙張或樹脂膜再次卷繞已清洗的玻璃膜，來形成作為產(chǎn)品的玻璃膜輥。
[0112](6_2)變形例 B
[0113]在本實(shí)施方式中，在板料清洗裝置I的第2清洗工序中，采用TMAH對(duì)玻璃片G進(jìn)行電刷清洗以及海綿清洗，然后，采用純凈水或超純凈水對(duì)玻璃片G進(jìn)行沖洗清洗，以去除在玻璃片G的表面上殘留的有機(jī)物。但是，在第2清洗工序中，可不進(jìn)行海綿清洗。具體地說，根據(jù)第I清洗工序中的異物去除能力，只要適當(dāng)?shù)卦诘?清洗工序中進(jìn)行電刷清洗以及海綿清洗中的至少一方既可。
[0114](6_3)變形例 C
[0115]在本實(shí)施方式中，在板料清洗裝置I的第2清洗工序中，將進(jìn)行板料清洗的玻璃片G送至圖1所示的步驟S7的檢查工序。但是，已進(jìn)行板料清洗的玻璃片G還可以進(jìn)行批量清洗。在批量清洗中，如圖5所示，在盒120內(nèi)收容有多個(gè)玻璃片G，將玻璃片G在多個(gè)液槽130內(nèi)依次進(jìn)行浸潰及清洗。
[0116](6-4)變形例 D
[0117]在本實(shí)施方式中，玻璃片的表面優(yōu)選具有小于0.7nm的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra是表示作為玻璃片表面的粗糙度的參數(shù)的一種的“中心線平均粗糙度”。在玻璃片的表面粗糙度Ra小于0.7nm的情況下，沒有給黑色基質(zhì)樹脂對(duì)玻璃片表面的粘合性帶來影響，所以能夠更容易地控制玻璃片表面上的黑色基質(zhì)樹脂的粘合性。
【權(quán)利要求】
1.一種彩色濾色用玻璃片的制造方法，該彩色濾色用玻璃片的表面上形成有黑色基質(zhì)樹脂，所述制造方法具備以下的工序: 玻璃片制造工序，由熔融玻璃成形玻璃帶，切斷上述玻璃帶來形成玻璃片；以及 玻璃片清洗工序，清洗上述玻璃片的表面，去除附著在上述表面的異物， 上述玻璃片清洗工序具有: 第I清洗工序，采用添加了界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗上述表面；以及 第2清洗工序，采用四甲基氫氧化銨來清洗上述表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 上述界面活化劑是離子系列界面活化劑， 在上述第2清洗工序中，去除附著在上述玻璃片的表面的上述離子系列界面活化劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 在上述玻璃片清洗工序中，清洗上述玻璃片，使存在于上述表面的有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2上述表面中為8ng以下，而且使存在于上述表面的有機(jī)物中的GC/MS的保持時(shí)間是18分鐘以上的疏水性有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2上述表面中為0.0lng?0.25ng。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 上述疏水性有機(jī)物是芳香族化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 在上述玻璃片清洗工序中，清洗上述玻璃片，使存在于上述表面的上述疏水性有機(jī)物的質(zhì)量在每Icm2上述表面中為0.0lng?0.15ng。
6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任意一項(xiàng)所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 在從上述第I清洗工序結(jié)束到上述第2清洗工序開始之間，上述玻璃片的上述表面保持為濕的狀態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1?6中任意一項(xiàng)所述的彩色濾色用玻璃片的制造方法，其中， 上述玻璃片的上述表面具有小于0.1xm的表面粗糙度Ra。
8.一種彩色濾色面板的制造方法，在玻璃基板的表面上形成有樹脂膜，所述制造方法具有以下的工序: 第I清洗工序，采用包含界面活化劑的無機(jī)堿系列的清洗劑來清洗形成有上述樹脂膜的上述表面； 第2清洗工序，采用四甲基氫氧化銨來清洗形成有上述樹脂膜的上述表面；以及樹脂膜形成工序，在上述表面的有機(jī)物的附著量是每Icm2中Sng以下而且GC/MS中的保持時(shí)間是18分鐘以上的疏水性有機(jī)物的上述表面的附著量是每Icm2中0.25ng以下的上述表面上形成上述樹脂膜。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彩色濾色面板的制造方法，其中， 在上述樹脂膜形成工序中，上述樹脂膜是黑色基質(zhì)，將上述黑色基質(zhì)利用3 μ m?15 μ m的線寬來進(jìn)行構(gòu)圖。
10.一種顯不器用玻璃基板，其中， 表面中的有機(jī)物的附著量是每Icm2中8ng以下，而且上述表面中的芳香族化合物的附著量是每Icm2中0.25ng以下。
【文檔編號(hào)】B08B11/04GK103567202SQ201310331548
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月6日
【發(fā)明者】伊崎靖浩, 三石剛大, 松葉康 申請(qǐng)人:安瀚視特韓國(guó)有限公司, 安瀚視特控股株式會(huì)社