專利名稱：一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光電領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置。
背景技術(shù)：
光電領(lǐng)域中，硅是非常重要和常用的半導(dǎo)體原料，是太陽(yáng)能電池最理想的原材料。硅原料一般要經(jīng)過(guò)清洗、鑄錠、切塊、粘膠、切片、脫膠、清洗等工序后，才能用于太陽(yáng)能電池。生產(chǎn)操作中，多晶硅塊切成片后，必須要經(jīng)過(guò)脫膠和清洗后才能使用。目前操作過(guò)程中，多晶硅片脫膠時(shí)，常常因?yàn)闆_淋裝置僅能夠進(jìn)行單向沖淋，所以無(wú)法將多晶硅片表面殘留的砂漿以及脫膠時(shí)產(chǎn)生的膠進(jìn)行有效沖淋，造成沖淋后還需要進(jìn)行后續(xù)清洗，增加了生產(chǎn)成本，延長(zhǎng)了生產(chǎn)時(shí)間，降低了生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能夠進(jìn)行擺動(dòng)的多晶硅片沖淋裝置，多晶硅片進(jìn)行脫膠沖淋后不會(huì)產(chǎn)生砂漿或膠的殘留，可直接進(jìn)行下一道工序，節(jié)省了生產(chǎn)時(shí)間、降低了生產(chǎn)成本。本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，包括水槽，所述水槽頂部設(shè)有蓋板，水槽底部設(shè)有排水孔，水槽的左右側(cè)壁上部分別對(duì)稱設(shè)有沖淋管。本實(shí)用新型進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述沖淋管與固定裝置轉(zhuǎn)動(dòng)連接。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述沖淋管設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)噴淋的傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括電機(jī)和支座，所述支座上設(shè)有傳動(dòng)輪，傳動(dòng)輪上設(shè)有偏心軸M,所述偏心軸M通過(guò)連桿與沖淋管的一端端面上設(shè)有的偏心軸N連接傳動(dòng)。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述傳動(dòng)裝置設(shè)置于水槽外部，傳動(dòng)裝置中的連桿從水槽所設(shè)的通孔伸進(jìn)水槽中連接于偏心軸N。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述沖淋管一側(cè)均勻分布有沖淋嘴。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述排水孔與水槽連接處設(shè)有濾網(wǎng)。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述水槽內(nèi)部底面設(shè)有支架。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述蓋板與水槽接觸部位設(shè)有與水槽配合的密封裝置。本實(shí)用新型更進(jìn)一步改進(jìn)方案是，所述蓋板頂部設(shè)有提拉裝置。本實(shí)用新型的有益效果在于用本實(shí)用新型進(jìn)行脫膠沖淋時(shí)，將多晶硅片通過(guò)脫膠工裝放入水槽，開(kāi)啟電源后，電機(jī)啟動(dòng)，帶動(dòng)傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)連桿作用帶動(dòng)沖淋管進(jìn)行來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)，使得沖淋管一側(cè)的沖淋嘴進(jìn)行上下擺動(dòng)沖淋。從上述工作過(guò)程可知，用本實(shí)用新型進(jìn)行多晶硅片的沖淋，既節(jié)省時(shí)間、降低生產(chǎn)成本，，又能保證多晶硅片的沖淋效果，提高了生產(chǎn)效率。


[0017]圖1為本實(shí)用新型主視剖視示意圖。圖2為本實(shí)用新型俯視示意圖。圖3為圖1中A部位最低沖淋位置的放大剖視示意圖。圖4為圖1中A部位最高沖淋位置的放大剖視示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖1、圖2和圖3所示，本實(shí)用新型包括水槽I，所述水槽I頂部設(shè)有蓋板6，水槽I底部設(shè)有排水孔7,水槽I的左右側(cè)壁2上部分別對(duì)稱設(shè)有沖淋管3 ;所述沖淋管3與固定裝置14轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述沖淋管3設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)噴淋的傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括電機(jī)10和支座11，所述支座11上設(shè)有傳動(dòng)輪12，傳動(dòng)輪12上設(shè)有偏心軸Ml7，所述偏心軸Ml7通過(guò)連桿19與沖淋管3的一端端面上設(shè)有的偏心軸N18連接傳動(dòng)；所述傳動(dòng)裝置設(shè)置于水槽I外部，傳動(dòng)裝置中的連桿19從水槽I所設(shè)的通孔16伸進(jìn)水槽I中連接于偏心軸N18 ;所述沖淋管3 —側(cè)均勻分布有沖淋嘴15 ;所述排水孔7與水槽I連接處設(shè)有濾網(wǎng)4 ;所述水槽I內(nèi)部底面設(shè)有支架5 ;所述蓋板6與水槽I接觸部位設(shè)有與水槽I配合的密封裝置8 ;所述蓋板6頂部設(shè)有提拉裝置9。結(jié)合圖3和圖4所示，用本實(shí)用新型進(jìn)行脫膠沖淋時(shí)，將多晶硅片通過(guò)脫膠工裝放入水槽I中，開(kāi)啟電源后，電機(jī)10啟動(dòng)，帶動(dòng)傳動(dòng)輪12轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)連桿19作用帶動(dòng)沖淋管3進(jìn)行來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)，使得沖淋管3 —側(cè)的沖淋嘴15進(jìn)行上下擺動(dòng)沖淋。
權(quán)利要求1.一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，包括水槽(1)，所述水槽(I)頂部設(shè)有蓋板(6)，水槽(I)底部設(shè)有排水孔(7)，其特征在于水槽(I)的左右側(cè)壁(2)上部分別對(duì)稱設(shè)有沖淋管(3)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述沖淋管(3)與固定裝置(14)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
3.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述沖淋管(3)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)噴淋的傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置包括電機(jī)(10)和支座(11)，所述支座(11)上設(shè)有傳動(dòng)輪(12)，傳動(dòng)輪(12)上設(shè)有偏心軸M (17)，所述偏心軸M (17)通過(guò)連桿(19)與沖淋管(3)的一端端面上設(shè)有的偏心軸N (18)連接傳動(dòng)。
4.如權(quán)利要求3所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述傳動(dòng)裝置設(shè)置于水槽(I)外部，傳動(dòng)裝置中的連桿(19 )從水槽(I)所設(shè)的通孔(16 )伸進(jìn)水槽(I)中連接于偏心軸N (18)。
5.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述沖淋管(3) —側(cè)均勻分布有沖淋嘴(15)。
6.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述排水孔(7)與水槽(I)連接處設(shè)有濾網(wǎng)(4)。
7.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述水槽(O內(nèi)部底面設(shè)有支架(5)。
8.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述蓋板(6 )與水槽(I)接觸部位設(shè)有與水槽(I)配合的密封裝置(8 )。
9.如權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，其特征在于所述蓋板(6)頂部設(shè)有提拉裝置(9)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅片的擺動(dòng)式脫膠沖淋裝置，包括水槽，所述水槽頂部設(shè)有蓋板，水槽底部設(shè)有排水孔，水槽的左右側(cè)壁上部分別對(duì)稱設(shè)有沖淋管。用本實(shí)用新型進(jìn)行脫膠沖淋時(shí)，將多晶硅片通過(guò)脫膠工裝放入水槽，開(kāi)啟電源后，電機(jī)啟動(dòng)，帶動(dòng)傳動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)連桿作用帶動(dòng)沖淋管進(jìn)行來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)，使得沖淋管一側(cè)的沖淋嘴進(jìn)行上下擺動(dòng)沖淋。從上述工作過(guò)程可知，用本實(shí)用新型進(jìn)行多晶硅片的沖淋，既節(jié)省時(shí)間、降低生產(chǎn)成本，又能保證多晶硅片的沖淋效果，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B08B3/02GK202845366SQ201220542339
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年10月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月23日
發(fā)明者張凌松 申請(qǐng)人:宿遷宇龍光電科技有限公司