專利名稱：半導體清洗設備中的機械手夾持機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構。
背景技術：
目前，半導體清洗設備中的機械手不能識別兩種不同規(guī)格的晶圓花籃，只能夾取單一批次的一種規(guī)格晶圓花籃，將這一批次的相同規(guī)格的產品做完，才能做另外一種規(guī)格；而且機械手也不能判斷是否夾取了晶圓花籃，常常有夾空現象發(fā)生，需要人為的干預來解決問題，降低了生產效率。

發(fā)明內容本實用新型的目的是克服現有技術的缺陷，提供一種結構簡單，能夠自動識別并抓取不同規(guī)格的晶圓花籃以及能夠辨別是否夾空的半導體清洗設備中的機械手夾持機構。實現本實用新型目的的技術方案是一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉的電機，所述的檢測開關固定連接在機械臂上，位置傳感器和檢測開關分別通過信號線與控制單元相連接。進一步，所述的機械臂的拾取器上套有PFA管。采用了上述技術方案后，位置傳感器可以設置為三個，分別為第一位置傳感器、第二位置傳感器和空位位置傳感器，將晶圓花籃放到指定位置后，機械手當要抓取晶圓花籃時，啟動電機使機械臂向內旋轉，當第一位置傳感器檢測到達指定角度后，如果晶圓花籃是兩種規(guī)格中較大規(guī)格的，此時檢測開關與晶圓花籃接觸，檢測開關檢測到晶圓花籃已經處在被夾持狀態(tài)，第一位置傳感器給控制單元反饋信息，停止電機轉動，即控制單元根據第一位置傳感器發(fā)出的信號來確認所抓取的晶圓花籃是第一種規(guī)格；如果機械手做夾持動作時運行到第一位置傳感器時，檢測開關并沒有檢測到晶圓花籃，則會反饋信號給控制單元，繼續(xù)做夾持動作，當到達第二位置傳感器時且檢測開關檢測到晶圓花籃，此時控制單元收到信號，說明機械手已夾住晶圓花籃并且根據第二位置傳感器來確認了所抓取的晶圓花籃是另一種規(guī)格的；當要放下晶圓花籃時，電機反轉，機械臂向外旋轉，空位位置傳感器檢測到達指定角度后，反饋信號給控制單元，停止電機轉動，而此時檢測開關與晶圓花籃很遠，沒有接觸，檢測開關會把信號反饋給控制單元，完成放開花籃動作。本實用新型可以滿足在設備特定范圍內抓取不同規(guī)格的晶圓花籃，自動識別晶圓花籃大小，無需人工更換夾具，可以自動切換清洗不同型號的晶圓花籃，且還具有防呆夾空功能，最大的減少了人工干預，自動化程度極高，提高了生產效率；PFA管，具有很強的抗腐蝕和耐高溫性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蝕，提高了機械手夾持機構的壽命。

[0007]圖I為本實用新型的半導體清洗設備中的機械手夾持機構的結構立體圖；圖2為本實用新型的松開狀態(tài)的結構示意圖；圖3為本實用新型的抓緊狀態(tài)的結構示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明如圖f 3所示，一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置6分別驅動的兩根旋轉軸1，旋轉軸I上各固定有機械臂2，機械臂2上具有拾取器2-1，還包括檢測旋轉軸I旋轉角度的位置傳感器3、與晶圓花籃4接觸的檢測開關5以及控制動力裝置6的控制單元，動力裝置6為可正反轉的電機，所述的檢測開關5固定連接在機械臂2上，位·置傳感器3和檢測開關5通過信號線與控制單元相連接。機械臂2的拾取器2-1上套有PFA管。PFA指的是可溶性聚四氟乙烯。本實用新型的工作原理如下位置傳感器3可以設置為三個，分別為第一位置傳感器、第二位置傳感器和空位位置傳感器，將晶圓花籃4放到指定位置后，機械手當要抓取晶圓花籃4時，啟動電機使機械臂向2內旋轉，當第一位置傳感器3檢測到達指定角度后，如果晶圓花籃4是兩種規(guī)格中較大規(guī)格的，此時檢測開關5與晶圓花籃4接觸，檢測開關5檢測到晶圓花籃4已經處在被夾持狀態(tài)，第一位置傳感器給控制單元反饋信息，停止電機轉動，即控制單元根據第一位置傳感器發(fā)出的信號來確認所抓取的晶圓花籃4是第一種規(guī)格；如果機械手做夾持動作時運行到第一位置傳感器3時，檢測開關5并沒有檢測到晶圓花籃4，則會反饋信號給控制單元，繼續(xù)做夾持動作，當到達第二位置傳感器3時且檢測開關5檢測到晶圓花籃4，此時控制單元收到信號，說明機械手已夾住晶圓花籃4并且根據第二位置傳感器3來確認了所抓取的晶圓花籃4是另一種規(guī)格的；當要放下晶圓花籃4時，電機反轉，機械臂向外旋轉，空位位置傳感器3檢測到達指定角度后，反饋信號給控制單元，停止電機轉動，而此時檢測開關5與晶圓花籃4很遠，沒有接觸，檢測開關5會把信號反饋給控制單元，完成放開晶圓花籃4的動作。本實用新型可以滿足在設備特定范圍內抓取不同規(guī)格的晶圓花籃，自動識別晶圓花籃大小，無需人工更換夾具，可以自動切換清洗另一種晶圓花籃，且還具有防呆夾空功能，最大的減少了人工干預，自動化程度極高，提高了生產效率；PFA管，具有很強的抗腐蝕和耐高溫性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蝕，提高了機械手夾持機構的壽命。以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置(6)分別驅動的兩根旋轉軸(I )，旋轉軸(I)上各固定有機械臂(2)，機械臂(2)上具有拾取器(2-1 )，其特征在于還包括檢測旋轉軸(I)旋轉角度的位置傳感器(3)、與晶圓花籃(4)接觸的檢測開關(5)以及控制動力裝置(6)的控制單元，所述的動力裝置(6)為可正反轉的電機，所述的檢測開關(5 )固定連接在機械臂(2 )上，位置傳感器(3 )和檢測開關(5 )分別通過信號線與控制單元相連接。
2.根據權利要求I所述的半導體清洗設備中的機械手夾持機構，其特征在于所述的機械臂(2 )的拾取器(2-1)上套裝有PFA管。
專利摘要本實用新型公開了一種半導體清洗設備中的機械手夾持機構，包括由動力裝置分別驅動的兩根旋轉軸，旋轉軸上各固定有機械臂，機械臂上具有拾取器，還包括檢測旋轉軸旋轉角度的位置傳感器、與晶圓花籃接觸的檢測開關以及控制動力裝置的控制單元，所述的動力裝置為可正反轉的電機，所述的檢測開關固定連接在機械臂上，位置傳感器和檢測開關通過信號線與控制單元相連接。本實用新型結構簡單，能夠夾取不同規(guī)格的晶圓花籃并且能夠辨別是否夾空。
文檔編號B08B13/00GK202638832SQ20122021970
公開日2013年1月2日 申請日期2012年5月16日 優(yōu)先權日2012年5月16日
發(fā)明者卡爾·羅伯特·休斯特, 祝宇云 申請人:硅密(常州)電子設備有限公司