專利名稱:潔凈系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及利用靜電力除去附著在被潔凈材料的表面的異物(塵埃等)的潔凈系統(tǒng)。特別適用于被潔凈材料是,例如玻璃基板、印刷基板(PCB、PCBA等)、膜、薄板、塑料板等的表面平滑性比較高的薄的材料的情形。
背景技術(shù):
以往,作為除去附著在平板顯示器(FPD)的玻璃基板、貼合膜、印刷基板等的薄的被潔凈材料的表面上的異物的潔凈系統(tǒng),已知有使用粘著性的潔凈滾輪,利用它的粘著力來(lái)除去所述異物的系統(tǒng)(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。
所述粘著性的潔凈滾輪,不能除去微小的異物(例如,平均粒徑在I μ m以下的異物),此外,完全地除去一度附著在粘著性的潔凈滾輪的表面(粘著層)的異物是困難的,為了維持潔凈性能,有必要頻繁地進(jìn)行所述粘著性的潔凈滾輪的粘著層的交換,使得維護(hù)性低下。此外,由于是施加一定程度的壓力將所述粘著性的潔凈滾輪壓在被潔凈材料上,以除去異物的,所以在被潔凈材料,例如是膜時(shí),不僅是除去所述異物,也有膜貼到所述粘著性的潔凈滾輪表面的可能。于是,本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)在從被潔凈材料除去異物時(shí),如果能夠通過(guò)施加電壓使?jié)崈魸L輪的表面上帶有能夠通過(guò)靜電力吸附所述異物的電荷,就能夠通過(guò)所述潔凈滾輪利用靜電力除去所述異物,另外進(jìn)行了發(fā)明專利申請(qǐng)(參照特願(yuàn)2008-271797)。但是,在上述的裝置中,由潔凈滾輪,利用通過(guò)靜電力的吸附力從被潔凈材料的表面除去的異物,會(huì)依次蓄積在所述潔凈滾輪的滾輪表面(外周表面),所以有必要在比較短的期間內(nèi)進(jìn)行為了從該滾輪表面除去異物的維護(hù)作業(yè)。有時(shí),在利用了所述粘著性的潔凈滾輪的粘著力的潔凈系統(tǒng)中,使用通過(guò)接觸具有比所述粘著性的潔凈滾輪強(qiáng)的粘著力的轉(zhuǎn)印滾輪(粘著滾輪),使異物從所述粘著性的潔凈滾輪轉(zhuǎn)移至所述轉(zhuǎn)印滾輪一側(cè)的機(jī)構(gòu)。于是,考慮在所述申請(qǐng)了專利的潔凈系統(tǒng)上,利用具有所述強(qiáng)粘著力的轉(zhuǎn)印滾輪。但是,如果使用具有所述強(qiáng)粘著力的轉(zhuǎn)印滾輪,則不能夠在所述潔凈滾輪的表面上穩(wěn)定地帶有通過(guò)靜電力能夠吸附異物的電荷。因此,無(wú)需對(duì)所述潔凈滾輪實(shí)施維護(hù)作業(yè),而長(zhǎng)期持續(xù)通過(guò)潔凈滾輪的異物吸附動(dòng)作是困難的。此外,用靜電力(庫(kù)侖力)吸附異物的情形下,在所述潔凈滾輪的滾輪表面保持的電荷多的一方吸附力變強(qiáng),但是如果潔凈滾輪的滾輪表面帶的電壓變得過(guò)大的話,在所述潔凈滾輪與作為對(duì)方材料的被潔凈材料之間,發(fā)生火花放電,所述潔凈滾輪的滾輪表面和被潔凈材料的帶電狀態(tài)產(chǎn)生斑點(diǎn),異物被該斑點(diǎn)吸引,從而有不能發(fā)揮穩(wěn)定的潔凈性能的可能。此外,由于火花放電,有可能損壞對(duì)方材料。進(jìn)而,在被潔凈材料是對(duì)靜電力弱的半導(dǎo)體等的電子部件的情形下,電荷的蓄積即使是沒(méi)有達(dá)到火花放電,所發(fā)生的靜電力破壞有可能成為問(wèn)題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2008-168188號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述課題,目的在于提供一種無(wú)需對(duì)潔凈滾輪實(shí)施維護(hù)作業(yè),能夠長(zhǎng)期持續(xù)通過(guò)潔凈滾輪的吸附異物動(dòng)作的潔凈系統(tǒng)。此外,本發(fā)明除所述目的外,目的還在于提供一種用以通過(guò)靜電力吸附異物,使在潔凈滾輪的滾輪表面發(fā)生的帶電壓高出必要以上的情況得以抑制,能夠使所述帶電壓穩(wěn)定的潔凈系統(tǒng)。本發(fā)明涉及的潔凈系統(tǒng)(1),是具備與被潔凈材料的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng)的潔凈滾輪,通過(guò)所述潔凈滾輪利用靜電力除去附著在所述被潔凈材料的表面上的塵埃等的異物的潔凈系統(tǒng),其特征在于,相對(duì)于所述潔凈滾輪,設(shè)有一邊與所述潔凈滾 輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)印滾輪,所述潔凈滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述被潔凈材料的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪,所述轉(zhuǎn)印滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪,所述潔凈滾輪,通過(guò)電壓穩(wěn)定化電路接地,在所述轉(zhuǎn)印滾輪上,直接或間接地連接外部電源,所述電壓穩(wěn)定化電路是能夠變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的所述潔凈滾輪的帶電電壓的電路。這樣,由于所述潔凈滾輪能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料表面上的異物的電荷在表面帶電,所以被潔凈材料表面上的異物被所述潔凈滾輪吸附。此外,由于所述轉(zhuǎn)印滾輪能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪表面上的異物的電荷在表面帶電,所以所述潔凈滾輪上吸附的異物被所述轉(zhuǎn)印滾輪吸附。從而,就不需要或者定期地實(shí)施除去(清掃)附著在所述潔凈滾輪上的異物,或者定期地交換所述潔凈滾輪那樣的維護(hù)作業(yè)。另外,通過(guò)變更在所述潔凈滾輪上連接的所述電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,能夠使用以通過(guò)靜電力吸附異物的所述潔凈滾輪的滾輪表面發(fā)生的帶電壓高于必要以上的情況得以抑制,從而能夠使所述帶電壓穩(wěn)定。此外,也能夠防止對(duì)于對(duì)靜電弱的半導(dǎo)體等的電子部件的靜電破壞。這種情形下,在所述電壓穩(wěn)定化電路中,能夠使用固定電阻器、可變電阻器、或者具有多數(shù)個(gè)固定電阻器,切換使用的固定電阻器來(lái)變更電阻值的切換式電阻器。這樣的話,通過(guò)變更所述固定電阻器、所述可變電阻器或者所述切換式電阻器的電阻值,能夠簡(jiǎn)單地構(gòu)成可以變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的所述潔凈滾輪的帶電壓的所述電壓穩(wěn)定化電路。而且,在使用所述固定電阻器的情形下也能夠通過(guò)交換該固定電阻器來(lái)變更電阻值。S卩,由于通過(guò)變更所述電阻值,能夠變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的所述潔凈滾輪的帶電壓,所以即使從所述外部電源對(duì)所述轉(zhuǎn)印滾輪施加電壓,也能夠不變更它的施加電壓,而就所述潔凈滾輪,使該潔凈滾輪上吸附的異物的吸附力變化。例如,如果將所述潔凈滾輪上連接的電阻器的電阻值無(wú)限制地縮小,則用以通過(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷減少,從而能夠使所述潔凈滾輪失去吸附在所述潔凈滾輪上的異物的吸附力。其結(jié)果,吸附在所述潔凈滾輪上的異物被所述轉(zhuǎn)印滾輪吸附。從而,上述那樣的維護(hù)作業(yè)變得容易。因此,不再需要實(shí)施諸如利用粘著性的潔凈滾輪的粘著力的以往的潔凈系統(tǒng)那樣的,或者定期地除去(清掃)附著在所述潔凈滾輪的滾輪表面的異物,或者定期地交換附著了所述異物的潔凈滾輪那樣的維護(hù)作業(yè),能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性優(yōu)異的潔凈系統(tǒng)。此外,由于不勤勉地調(diào)節(jié)在所述轉(zhuǎn)印滾輪上施加的電壓也是可以的,所以能夠使用以給所述轉(zhuǎn)印滾輪施加電壓的外部電源的設(shè)計(jì)小型化。此外,理想的是,所述轉(zhuǎn)印滾輪是通過(guò)一邊與所述潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn),在與所述潔凈滾輪之間,根據(jù)所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈滾輪的表面特性的差異(例如帶電順序)產(chǎn)生電位差的滾輪。這樣的話,通過(guò)由所述潔凈滾輪與所述轉(zhuǎn)印滾輪的旋轉(zhuǎn)引起的接觸剝離,在所述轉(zhuǎn)印滾輪上,產(chǎn)生根據(jù)與所述潔凈滾輪的表面特性(例如,帶電順序)的差異的電位差,用以通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料的表面上的異物的電荷被帶電。
此外,相向于所述轉(zhuǎn)印滾輪設(shè)有在帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向旋轉(zhuǎn)的潔凈刷,相向于該潔凈刷設(shè)置有在帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向上使之可以旋轉(zhuǎn)的金屬滾輪,所述外部電源連接在所述金屬滾輪上,在所述轉(zhuǎn)印滾輪、所述潔凈刷以及所述金屬滾輪之間產(chǎn)生電位差的構(gòu)成是理想的。這樣的話,通過(guò)所述潔凈刷從所述轉(zhuǎn)印滾輪上除去異物,該異物通過(guò)靜電力轉(zhuǎn)移至所述金屬滾輪,從而異物被更加有效地從所述轉(zhuǎn)印滾輪除去。特別是,變更由所述金屬滾輪上連接的外部電源產(chǎn)生的,與所述轉(zhuǎn)印滾輪之間的電位差是可能的,從而能夠有效地將異物搬送至所述金屬滾輪。這種情形下,可以是在所述金屬滾輪的表面附近,配置有在前端刮掉部刮掉附著在所述金屬滾輪的表面上的異物的潔凈刀的構(gòu)成。這樣的話,通過(guò)靜電力吸附在所述金屬滾輪表面的異物,被所述潔凈刀的前端刮掉部刮掉,所以異物能夠被效率好地從所述金屬滾輪除去。進(jìn)而,在所述潔凈刀的附近,配置有通過(guò)真空壓能夠吸引異物的空氣真空手段的吸入口,或者用來(lái)回收蓄積由潔凈刀刮掉的異物的異物收集箱的構(gòu)成是理想的。這樣的話,通過(guò)靜電力附著在所述金屬滾輪的表面的異物,被所述潔凈刀的前端刮掉部刮掉,所述異物通過(guò)所述空氣真空手段的吸入口被負(fù)壓吸引,或者所述異物被回收至收集箱,所以不存在所述異物污染所述金屬滾輪周邊的情況。特別地,在配置有所述異物收集箱的情況下,無(wú)需新增動(dòng)力,就能夠?qū)愇锘厥罩了霎愇锸占?。此外,夾著所述被潔凈材料,在與所述潔凈滾輪相反的一側(cè)配置引導(dǎo)滾輪,該引導(dǎo)滾輪可以是作為提高用以通過(guò)靜電力使附著在所述被潔凈材料表面上的異物吸附到所述潔凈滾輪的電場(chǎng)強(qiáng)度的滾輪。這樣的話,所述潔凈滾輪和所述引導(dǎo)滾輪夾著所述被潔凈材料相向配置,該被潔凈材料在所述潔凈滾輪及所述引導(dǎo)滾輪接觸的位置,被從上下支撐,在穩(wěn)定性良好地被支撐的狀態(tài)下,進(jìn)行所述被潔凈材料的表面上的異物的除去。此外,所述潔凈滾輪,通過(guò)所述引導(dǎo)滾輪,用以通過(guò)靜電力吸附附著在被所述被潔凈材料表面上的異物的電場(chǎng)強(qiáng)度被提高,根據(jù)被施與的電場(chǎng),所述被潔凈材料上的帶電異物被所述潔凈滾輪吸附,能夠效率好地除去。
此外,本發(fā)明涉及的潔凈系統(tǒng)(2),是具備與被潔凈材料的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng)的潔凈滾輪,通過(guò)所述潔凈滾輪利用靜電力除去附著在所述被結(jié)晶材料表面上的塵埃等的異物的潔凈系統(tǒng),其特征在于,對(duì)于所述潔凈滾輪,設(shè)有一邊與所述潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)印滾輪,所述潔凈滾輪是將用于通過(guò)靜電力吸附附著在所述被潔凈材料的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪,所述轉(zhuǎn)印滾輪是將用于通過(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪,外部電源的電壓直接地或者間接地施加給所述轉(zhuǎn)印滾輪而構(gòu)成,所述潔凈滾輪通過(guò)將該潔凈滾輪的帶電壓控制在設(shè)定電壓以下的第I的電壓穩(wěn)定化電路接地,另一方面,在所述潔凈滾輪與所述轉(zhuǎn)寫滾輪之間,設(shè)有使他們之間產(chǎn)生電位差的第2的電壓穩(wěn)定化電路 。這樣的話,與所述潔凈系統(tǒng)(I)同樣,由于所述潔凈滾輪是將用來(lái)通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料的表面上的電荷在表面上帶電,所以被潔凈材料的表面上的異物被所述潔凈滾輪吸附。此外,由于所述轉(zhuǎn)印滾輪是將用來(lái)通過(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷在表面帶電,所以被所述潔凈滾輪吸附的異物被所述轉(zhuǎn)印滾輪吸附。因此,相當(dāng)于所述潔凈滾輪,不必要實(shí)施或者定期地除去(清掃)或者定期地交換這樣的維護(hù)作業(yè)。從而,不再有必要實(shí)施如利用粘著性的潔凈滾輪的粘著力的以往的潔凈系統(tǒng)那樣的,或者實(shí)施定期地除去(清掃)附著在所述潔凈滾輪的滾輪表面的異物,或者定期地交換附著了所述異物的潔凈滾輪那樣的維護(hù)作業(yè),能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性優(yōu)異的潔凈系統(tǒng)。特別地,通過(guò)變更連接在所述潔凈滾輪上的所述電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,能夠使用于通過(guò)靜電力吸附異物的所述潔凈滾輪的滾輪表面發(fā)生的帶電壓高出必要以上的情形得以抑制,從而能夠使所述帶電壓穩(wěn)定。此外,能夠防止對(duì)于對(duì)靜電力弱的半導(dǎo)體等的電子部件的靜電破壞。此外,通過(guò)變更所述第I的電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,能夠減弱關(guān)于所述潔凈滾輪,吸附在該潔凈滾輪上的異物的吸附力。比如,如果將所述第I的電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值變?yōu)檎?fù)相反極性,則用于通過(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷反轉(zhuǎn),從而能夠使得所述潔凈滾輪失去對(duì)所述潔凈滾輪上吸附的異物的吸附力。其結(jié)果,被所述潔凈滾輪吸附的異物被所述轉(zhuǎn)印滾輪吸附。從而,如前所述那樣的維護(hù)作業(yè)變得容易。這種情形下,所述轉(zhuǎn)印滾輪,作為通過(guò)一邊與所述潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn),在與所述潔凈滾輪之間,根據(jù)所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈滾輪的表面特性的差異(例如帶電順序)產(chǎn)生電位差的滾輪是理想的。這樣的話,通過(guò)由于所述潔凈滾輪與所述轉(zhuǎn)印滾輪的旋轉(zhuǎn)引起的接觸剝離,在所述轉(zhuǎn)印滾輪上產(chǎn)生根據(jù)與所述潔凈滾輪的表面特性(例如帶電順序)的差異的電位差,用以通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料的表面上的異物的電荷被帶電。此外,理想的是相向于所述轉(zhuǎn)印滾輪設(shè)有能夠向帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向旋轉(zhuǎn)的潔凈刷,相向于該潔凈刷設(shè)有能夠向帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反的方向旋轉(zhuǎn)的金屬滾輪,在該金屬滾輪上連接所述外部電源,在所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈刷之間,設(shè)有使所述轉(zhuǎn)寫滾輪與所述潔凈刷之間產(chǎn)生電位差的第3的電壓穩(wěn)定化電路,在所述潔凈刷與所述金屬滾輪之間設(shè)有使所述潔凈刷和所述金屬滾輪之間產(chǎn)生電位差的第4的電壓穩(wěn)定化電路。這樣的話,通過(guò)所述潔凈刷從所述轉(zhuǎn)印滾輪除去異物,該異物通過(guò)靜電力轉(zhuǎn)移至所述金屬滾輪。于是,如果通過(guò)所述第4的電壓穩(wěn)定化電路使所述金屬滾輪的帶電壓變更,使對(duì)于吸附在所述金屬滾輪上的異物的所述金屬滾輪的吸附力失去,就能夠從所述金屬滾輪更加效率高地除去異物。特別是,能夠變更由連接在所述金屬滾輪上的所述外部電源產(chǎn)生的,與所述轉(zhuǎn)印滾輪之間的電位差,所以能夠有效果地將異物搬送到所述金屬滾輪。此外,所述第I 第4的電壓穩(wěn)定化電路,是各自具有第I 第4的電阻器的電路,可以是通過(guò)所述第I 第4的電阻器,在互相接觸的所述滾輪或者所述刷之間施加的電壓被分壓的構(gòu)成。這里,所述電阻器,可以是固定電阻器,也可以是可變電阻器。這樣的話,由于所述第I 第4的電壓穩(wěn)定化電路構(gòu)成被所述第I 第4的電阻器分壓的電路,所以能夠在所述滾輪或者所述刷之間得到各自所需的第I 第4的電壓。此外,理想的是所述第I 第4的電阻器的電阻值設(shè)定為比接觸的所述滾輪或者所述刷之間的接觸電阻小的值。 這樣的話,由于使用比接觸的所述滾輪或者所述刷之間的接觸電阻小的電阻值的電阻器分壓,所以能夠獲得相對(duì)于接觸的所述滾輪或者所述潔凈刷之間的接觸電阻的誤差、變化穩(wěn)定的電壓。此外,所述第I 第3的電壓穩(wěn)定化電路是具有穩(wěn)壓二極管或者壓敏電阻(非直線性電阻要素)的電路,理想的是所述第4的電壓穩(wěn)定化電路是具有固定電阻器或者可變電阻器的電路。這樣的話,由于所述第I 第3的電壓穩(wěn)定化電路具有所述穩(wěn)壓二極管或者所述壓敏電阻,所述第4的電壓穩(wěn)定化電路具有所述固定電阻器或者所述可變電阻器,所以通過(guò)由分壓能夠得到穩(wěn)定的電壓。此外,理想的是所述第I 3的電壓穩(wěn)定化電路的所述穩(wěn)壓二極管,是將它們串聯(lián)面對(duì),或者背對(duì)連接的。這樣的話,由于具有齊納效果的所述穩(wěn)壓二極管是串聯(lián)面對(duì),或者背對(duì)連接的,所以與極性沒(méi)有關(guān)系,能夠保持一定的電位差。這種情況下,具備切換由所述外部電源施加給所述滾輪或者所述刷的電壓的正負(fù)極性的手段是理想的。這樣的話,自由地使所述外部電源的正負(fù)極性反轉(zhuǎn)成為可能。此外,可以是在所述金屬滾輪的表面附近,配置有在頂端刮掉部刮掉附著在所述金屬滾輪的表面上的異物的潔凈刀片的構(gòu)成。這樣的話,由于通過(guò)靜電力吸附在所述金屬滾輪的表面的異物由所述潔凈刀片的頂端刮掉部刮掉,所以能夠效率好地從所述金屬滾輪上除去異物。在那種情況下,在所述潔凈刀的附近,配置有通過(guò)真空壓能夠吸附異物的空氣真空手段的吸入口,或者用來(lái)回收蓄積被潔凈刀刮掉的異物的異物收集箱的構(gòu)成是理想的。這樣的話,由于通過(guò)靜電力吸附在所述金屬滾輪的表面的異物,被所述潔凈刀的頂端刮掉部刮掉,所述異物通過(guò)所述空氣真空手段的吸入口被負(fù)壓吸引,或者被回收到所述異物收集箱,所以不存在所述異物污染所述金屬滾輪周邊的可能。特別地,在配置有所述異物收集箱的情形下,不需新增動(dòng)力,就能夠?qū)愇锘厥盏剿霎愇锸占洹4送?,夾著所述被潔凈材料,在與所述潔凈滾輪的相反一側(cè)配置引導(dǎo)滾輪,所述引導(dǎo)滾輪可以是作為提高用以通過(guò)靜電力將附著在所述被潔凈材料的表面上的異物吸附到所述潔凈滾輪上的電場(chǎng)強(qiáng)度的滾輪。這樣的話,所述2根滾輪夾著所述被潔凈材料相向配置,該被潔凈材料在所述潔凈滾輪及所述引導(dǎo)滾輪接觸的位置上被從上下支撐,在穩(wěn)定性良好地被支撐的狀態(tài)下,進(jìn)行所述被潔凈材料的表面上的異物的除去。此外,所述潔凈滾輪,通過(guò)所述引導(dǎo)滾輪,用以通過(guò)靜電力吸附附著在被所述被潔凈材料表面上的異物的電場(chǎng)強(qiáng)度被提高,根據(jù)被施與的電場(chǎng),所述被潔凈材料上的帶電異物被所述潔凈滾輪吸附,能夠效率好地除去。根據(jù)本發(fā)明涉及的潔凈系統(tǒng)(I)、(2),由于變更關(guān)于吸附在所述潔凈滾輪的表面上的異物的吸附力是可能的,能夠使異物穩(wěn)定地轉(zhuǎn)印到所述轉(zhuǎn)印滾輪一側(cè),所以不再必要實(shí)施如利用粘著性的潔凈滾輪的粘著力的以往的潔凈系統(tǒng)那樣地,或者定期地除去(清掃)附著在所述潔凈滾輪的滾輪表面的異物、或者定期地交換附著了所述異物的所述潔凈滾輪 這樣的維護(hù)作業(yè),能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性優(yōu)異的潔凈系統(tǒng)。特別地,本發(fā)明涉及的潔凈系統(tǒng)(1),對(duì)于所述潔凈滾輪通過(guò)變更連接的所述電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,能夠關(guān)于所述潔凈滾輪,減弱吸附在該潔凈滾輪上的異物的吸附力,從而能夠使吸附在所述潔凈滾輪上的異物吸附到所述轉(zhuǎn)印滾輪上。而且,通過(guò)變更在所述潔凈滾輪上連接的所述電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,能夠使用以通過(guò)靜電力吸附異物的所述潔凈滾輪表面發(fā)生的帶電壓高出必要以上的情形得以抑制,能夠使所述帶電壓安定。此外,也能夠防止對(duì)于對(duì)靜電力弱的半導(dǎo)體等的電子部件的靜電力破壞。此外,本發(fā)明涉及的潔凈系統(tǒng)(2),由于能夠變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的所述潔凈滾輪的帶電壓,所以不需變更由連接在所述轉(zhuǎn)印滾輪上的外部電源施加的電壓,關(guān)于所述潔凈滾輪,能夠減弱吸附在該潔凈滾輪的異物的吸附力。其結(jié)果,吸附在所述潔凈滾輪上的異物被所述轉(zhuǎn)印滾輪吸附。從而,上述那樣的維護(hù)作業(yè)變得容易。在這種情況下,也能通過(guò)變更連接在所述潔凈滾輪上的所述電壓穩(wěn)定化電路的設(shè)定電壓值,使用以通過(guò)靜電力吸附異物的所述潔凈滾輪表面發(fā)生的帶電壓高出必要以上的情形得以抑制,能夠使所述帶電壓安定。此外,也能夠防止對(duì)于對(duì)靜電力弱的半導(dǎo)體等的電子部件的靜電力破壞。
圖I (a) (b)是用以說(shuō)明本發(fā)明的第I的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的動(dòng)作原理的概略側(cè)面截面圖。圖2是顯示第I的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)例的概略截面圖。圖3是顯示圖2顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第I的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖4是顯示圖2顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第2的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖5是顯示圖2顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第3的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖6是顯示圖2顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第4的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖7 (a) (b) (c) (d)是用以說(shuō)明本發(fā)明的第2的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的動(dòng)作原理的概略側(cè)面截面圖。圖8 (a) (b)是顯示第2的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖9是顯示圖8顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第I的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖10是顯示圖8顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第2的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖11是顯示圖8顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第3的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。 圖12 (a) (b)是顯示圖8顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第4的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖13是顯示圖8顯示的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的第5的變形實(shí)例的概略側(cè)面截面圖。圖14是顯示配置了 2套潔凈單元的實(shí)施方式的概略側(cè)面斷面圖。
具體實(shí)施例方式以下,參照
本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)。(第I的實(shí)施方式)圖I (a) (b)是用以說(shuō)明本發(fā)明的第I的實(shí)施方式涉及的潔凈系統(tǒng)的動(dòng)作原理的概略側(cè)面截面圖。如圖I (a)所示,潔凈系統(tǒng),具備潔凈滾輪11和,相對(duì)于這個(gè)潔凈滾輪11 一邊與潔凈滾輪11的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)印滾輪21。潔凈滾輪11是,與被潔凈材料S的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng)的滾輪,是能夠利用靜電力除去附著在被潔凈材料S的表面上的塵埃等的異物的滾輪。這個(gè)潔凈滾輪11,是能夠在外周表面帶有通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料S的表面上的異物的滾輪,從而能夠利用這個(gè)潔凈滾輪11的滾輪表面(外周表面)的帶電性吸附異物。轉(zhuǎn)印滾輪21,通過(guò)一邊與潔凈滾輪11的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn),使得能夠在與潔凈滾輪11之間,根據(jù)轉(zhuǎn)印滾輪21與潔凈滾輪11的表面特性的差異(例如帶電順序)產(chǎn)生電位差。通過(guò)由于潔凈滾輪11與轉(zhuǎn)印滾輪21的旋轉(zhuǎn)引起的接觸剝離,在轉(zhuǎn)印滾輪21上,產(chǎn)生根據(jù)與潔凈滾輪11的表面特性(例如,帶電順序)的差異的電位差,從而帶有用以通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料S的表面上的異物的電荷。這樣,由于在潔凈滾輪11的,與被潔凈材料S的相反一側(cè)上,設(shè)有使之與潔凈滾輪11接觸的轉(zhuǎn)印滾輪21,所以能夠使通過(guò)靜電力附著在潔凈滾輪11上的異物,轉(zhuǎn)印(移動(dòng))到轉(zhuǎn)印滾輪21 —側(cè)。由此,成為在附著在潔凈滾輪11的外周面的異物,被轉(zhuǎn)印到轉(zhuǎn)印滾輪21的狀態(tài)下,潔凈滾輪11與被潔凈材料S接觸。從而,附著在潔凈滾輪11的外周表面上的異物不斷地被轉(zhuǎn)印到轉(zhuǎn)印滾輪21 —側(cè),潔凈滾輪11為總是能夠發(fā)揮潔凈效果的狀態(tài),所以潔凈滾輪11能夠比較長(zhǎng)時(shí)間的持續(xù)地進(jìn)行吸附異物的動(dòng)作。其結(jié)果,或者定期地除去潔凈滾輪11的外周表面的異物,或者交換潔凈滾輪11的維護(hù)作業(yè)就沒(méi)有必要,能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性的提聞。通過(guò)外部電源31對(duì)轉(zhuǎn)印滾輪21的芯金屬21a,施加一定的電壓。潔凈滾輪21,通過(guò)第I的電壓穩(wěn)定化電路12接地,能夠在滾輪表面穩(wěn)定地帶有用以通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料S的表面上的異物的電荷。第I的穩(wěn)定化電路12,由可變電阻器12a構(gòu)成(參照?qǐng)DI (a))。第I的穩(wěn)定化電路12,如圖I (b)所示,也可以由固定電阻 器12b構(gòu)成(以下同樣)。這樣,由于潔凈滾輪11能夠在表面帶有用以通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料S的表面上的異物的電荷,所以被潔凈材料S的表面上的異物被潔凈滾輪11的表面吸附。此夕卜,由于轉(zhuǎn)印滾輪,能夠在滾輪表面帶有用以通過(guò)靜電力吸附附著在潔凈滾輪11的表面上的異物的電荷,所以被潔凈滾輪11的表面吸附的異物被吸附到轉(zhuǎn)印滾輪21的表面,成為從潔凈滾輪11移動(dòng)到轉(zhuǎn)印滾輪21。從而,就沒(méi)有必要實(shí)施或者定期地(清掃)附著在潔凈滾輪11的異物,或者定期地交換潔凈滾輪11這樣的維護(hù)作業(yè),能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性優(yōu)異的潔凈系統(tǒng)。此外,由于具備連接在潔凈滾輪11上的第I的電壓穩(wěn)定化電路12,所以通過(guò)變更第I的電壓穩(wěn)定化電路12 (可變電阻器12a)的電阻值,可能變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的潔凈滾輪11的帶電壓,所以關(guān)于潔凈滾輪11,能夠改變關(guān)于吸附在潔凈滾輪11上的異物的吸附力。從而,即使通過(guò)外部電源31對(duì)轉(zhuǎn)印滾輪施加電壓,也無(wú)需變更它的施加電壓,關(guān)于潔凈滾輪11,能夠改變關(guān)于吸附在潔凈滾輪11上的異物的吸附力。例如,如果將連接在潔凈滾輪11的可變電阻器12a的電阻值無(wú)限制的縮小,則用以通過(guò)靜電力吸附附著在潔凈材料11的表面上的異物的電荷減少,從而能夠使?jié)崈魸L輪11失去關(guān)于吸附在潔凈滾輪11的異物的吸附力。其結(jié)果,吸附在潔凈滾輪11的異物被轉(zhuǎn)印滾輪21吸附。從而,所述的那樣的維護(hù)作業(yè)變得容易。從而,沒(méi)有必要實(shí)施諸如利用粘著性的潔凈滾輪的粘著力的以往的潔凈系統(tǒng)那樣,或者定期地除去(清掃)附著在潔凈滾輪的滾輪表面的異物,或者定期地交換附著了所述異物的潔凈滾輪這樣的維護(hù)作業(yè),能夠?qū)崿F(xiàn)維護(hù)性優(yōu)異的潔凈系統(tǒng)。此外,由于不必勤勉地調(diào)節(jié)通過(guò)連接在轉(zhuǎn)印滾輪21的外部電源的施加電壓也可以,所以能夠使外部電源31的設(shè)計(jì)小型化。以下,說(shuō)明潔凈滾輪11以及轉(zhuǎn)寫滾論21的更詳細(xì)的構(gòu)造。潔凈滾輪11,是具備作為導(dǎo)電性軸部件的芯金屬(芯棒)Ila和,設(shè)在這個(gè)芯金屬Ila的外周部的具有導(dǎo)電性的內(nèi)層部Ilb和,設(shè)在其內(nèi)層部Ilb的外側(cè),由比內(nèi)層部Ilb還高的電阻材料形成的薄圓筒狀的外層部Ilc的二層構(gòu)造。形成這樣的潔凈滾輪11的外層部Ilc的材料,選擇能夠帶電有通過(guò)靜電力吸附附著在被潔凈材料S的表面上的塵埃等的異物的電荷的材料。潔凈材料11的外層部Ilc的厚度,優(yōu)選2 500 μ m (更優(yōu)選,5 50 μ m)。這是由于外層部Ilc的厚度不滿2μπι,有在滾輪表面(外層部表面)電荷難以帶電的傾向,另一方面,將厚度超過(guò)500 μ m工業(yè)上沒(méi)有效率。而且,也可以取代芯金屬11a,使用由具有導(dǎo)電性的碳材料、合成樹脂復(fù)合材料等構(gòu)成的芯棒。關(guān)于芯金屬(芯棒)11a,芯金屬中腹部和芯金屬端部之間的電阻值為105Ω以下的是理想的。
對(duì)于內(nèi)層部11b,使用包含具有導(dǎo)電性彈性材料(例如,碳(導(dǎo)電材料)的聚酯類氨基甲酸酯等),使用比外層部Ilc還低硬度或者大略同樣硬度的材料。此外,內(nèi)層部11b,只要是電阻比外層部Ilc還低,就沒(méi)有特殊限制,優(yōu)選體積電阻率為IO4 IO12 Qcm的程度。外層部Ilc所使用的材料,具有50°以上(理想的是50°以上不滿100°,更理想的是55°以上不滿100°,進(jìn)一步理想的是65°以上不滿100° )的硬度(JIS-A)的材料是 理想的。此外,外層部Ilc比內(nèi)層部Ilb的體積電阻率還高。外層部11c,優(yōu)選具有理想的IO8Qcm以上的體積電阻率,更理想的101° Qcm以上的體積電阻率。作為形成潔凈滾輪11的外層部Ilc的材料的優(yōu)選的例子,可以例舉氨基甲酸酯樹脂,進(jìn)而還可以例舉丙烯酸混合氨基甲酸酯或者氟混合氨基甲酸酯。這里,“丙烯酸混合氨基甲酸酯”的意思是指,以聚酯聚氨基甲酸酯或者聚醚聚氨基甲酸酯為主成分,(i)熱可塑性氨基甲酸酯和硅·丙烯酸共聚樹脂的混合物、(ii)由丙烯酸樹脂(例如,由甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物構(gòu)成的在主鏈上氨基乙基被嫁接形成的嫁接化合物)和熱可塑性氨基甲酸酯樹脂構(gòu)成的混合物、(iii)由丙烯酸樹脂·氨基甲酸酯樹脂·氟系表面涂層劑構(gòu)成的混合物,“氟混合氨基甲酸酯”的意思是指以聚氨基甲酸酯為主成分,在熱可塑性氨基甲酸酯樹脂中混合氨基甲酸酯·氟共聚物的物質(zhì)。轉(zhuǎn)印滾輪21,與潔凈滾輪11同樣,具備具有導(dǎo)電性的芯金屬21a和,設(shè)在這個(gè)芯金屬21a的外側(cè)的圓筒狀的內(nèi)層部21b和,設(shè)在這個(gè)內(nèi)層部21b的外側(cè)的外層部21c(彈性層部),外層部21c可以是作為比內(nèi)層部21b的體積電阻率高的層部。但是,轉(zhuǎn)印滾輪21也可以是在芯金屬21a上直接具備圓筒狀的外層部(彈性層部)的構(gòu)造。此外,轉(zhuǎn)印滾輪21的外層部21c,選擇比芯金屬21a的體積電阻率高,在外周表面上能夠帶電有通過(guò)靜電力吸附附著在潔凈滾輪11的外周表面的異物的電荷的材料。轉(zhuǎn)印滾輪21與潔凈滾輪11帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),通過(guò)接觸剝離帶電,在轉(zhuǎn)印滾輪21的外周表面和,潔凈滾輪11的外周表面之間,能夠產(chǎn)生通過(guò)靜電力使附著在潔凈滾輪11的外周表面的異物能夠轉(zhuǎn)印(移動(dòng))到轉(zhuǎn)印滾輪21的外周表面的程度的電位差。即,轉(zhuǎn)印滾輪21,通過(guò)滾輪表面特性(例如帶點(diǎn)順序)的差異,對(duì)于潔凈滾輪11,與潔凈滾輪11所帶電的電荷(正電荷或者負(fù)電荷)同一符號(hào),而且?guī)щ妷旱慕^對(duì)值比潔凈滾輪11大,使得具有能夠吸附異物的電位差。由此,形成轉(zhuǎn)印滾輪21的外層部21c的素材,選擇對(duì)于潔凈滾輪11同一極性,在不損壞穩(wěn)定的吸附性的范圍內(nèi),產(chǎn)生的電位差盡可能大的材料是理想的。由于停止轉(zhuǎn)印滾輪21的旋轉(zhuǎn),能夠使轉(zhuǎn)印滾輪21自身失去通過(guò)靜電力的吸附力,所以能夠比較容易地從轉(zhuǎn)印滾輪21除去由潔凈滾輪11和轉(zhuǎn)印滾輪21的接觸剝離產(chǎn)生的電位差而被轉(zhuǎn)印到轉(zhuǎn)印滾輪21 —側(cè)的異物。如上所述之外,如圖2所示那樣,還可以設(shè)有與轉(zhuǎn)印滾輪21相向,向帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn)的潔凈刷41,在與這個(gè)潔凈刷41相向,使向帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)方向可以旋轉(zhuǎn)的設(shè)置金屬滾輪42。這種情況下,外部電源31連接在金屬滾輪42上。此外,如圖3所示,也可以取代可變電阻器12a,作為使用了具有多數(shù)個(gè)固定電阻器43a,通過(guò)切換開關(guān)43b切換使用的固定電阻43a以變更電阻值的切換式電阻器43的第I的電壓穩(wěn)定化電路12A。此外,如圖4所示,還可以是在金屬滾輪42的上側(cè)的表面附近,配置在頂端刮掉部刮掉附著在金屬滾輪42的表面上的異物的潔凈刀44,在該潔凈刀44附近,在金屬滾輪42的上方配置通過(guò)負(fù)壓可以吸引異物的空氣真空手段(非圖示)的吸入口 45的構(gòu)成。由此,通過(guò)潔凈刀44的頂端刮掉部刮掉的異物,通過(guò)空氣真空手段的吸入口 45被負(fù)壓吸引,所以就不存在所述異物污染金屬滾輪42周邊的可能。如圖5所示,能夠設(shè)置回收·蓄積被設(shè)置于金屬滾輪42的表面上的潔凈刀44刮掉的異物的異物收集箱46,此外,還可以設(shè)有回收·蓄積由刷的旋轉(zhuǎn)而撒散的異物的異物收集箱。如圖6所示,夾著被潔凈材料S,在與潔凈滾輪11相反一側(cè)配置引導(dǎo)滾輪51,引導(dǎo)滾輪51,可以作為提高用以通過(guò)靜電力使附著在被潔凈材料S的表面上的異物吸附在潔凈滾輪11的電場(chǎng)強(qiáng)度的滾輪。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例I在圖2所示的潔凈系統(tǒng)中,使被具有絕緣性的部件(非圖示)保持的潔凈滾輪11及轉(zhuǎn)印滾輪21接觸,使以5m/min的圓周速度帶動(dòng)旋轉(zhuǎn),在潔凈滾輪11的芯金屬Ila上通過(guò)可變電阻器12a設(shè)置了接地線。此外,對(duì)于轉(zhuǎn)印滾論21,在通過(guò)潔凈刷41而設(shè)置的金屬滾輪42上連接了外部電源31。潔凈刷41設(shè)為使之與轉(zhuǎn)印滾輪21相向,向與帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)方向相反的方向旋轉(zhuǎn),金屬滾輪42,被設(shè)置為使之與潔凈刷41相向,向帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向旋轉(zhuǎn)。在上述狀態(tài)下,使用表面電位計(jì)(trek公司制Model 341B)測(cè)定了相對(duì)于可變電阻器12a的電阻值的變化的各個(gè)部件的表面電位。表I
權(quán)利要求
1.一種潔凈系統(tǒng),是具備與被潔凈材料的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng)的潔凈滾輪,通過(guò)所述潔凈滾輪利用靜電力除去附著在所述被潔凈材料的表面上的塵埃等的異物的潔凈系統(tǒng),其特征在于, 相對(duì)于所述潔凈滾輪,設(shè)有一邊與該潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)印滾輪; 所述潔凈滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述被潔凈材料的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪; 所述轉(zhuǎn)印滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪; 所述潔凈滾輪,通過(guò)電壓穩(wěn)定化電路接地,在所述轉(zhuǎn)印滾輪上,直接或間接地連接外部電源; 所述電壓穩(wěn)定化電路是能夠變更用以通過(guò)靜電力吸附所述異物的所述潔凈滾輪的帶電壓的電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述電壓穩(wěn)定化電路由固定電阻器、可變電阻器、或者具有多數(shù)個(gè)的固定電阻器,切換使用的固定電阻器來(lái)變更電阻值的切換式電阻器構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述轉(zhuǎn)印滾輪是通過(guò)一邊與所述潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn),在與所述潔凈滾輪之間,根據(jù)所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈滾輪的表面的帶電特性的差異,產(chǎn)生電位差的滾輪。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,相向于所述轉(zhuǎn)印滾輪設(shè)有向帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向旋轉(zhuǎn)的潔凈刷,相向于該潔凈刷設(shè)置使其能夠在帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向旋轉(zhuǎn)的金屬滾輪; 所述外部電源,連接在所述金屬滾輪上,使能夠在所述轉(zhuǎn)印滾輪、所述潔凈刷以及所述金屬滾輪之間產(chǎn)生電位差而構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,在所述金屬滾輪的表面附近,配置有在頂端刮掉部刮掉附著在所述金屬滾輪表面上的異物的潔凈刀。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,在所述潔凈刀附近,配置有通過(guò)真空壓能夠吸引異物的空氣真空手段的吸入口,或者用以回收蓄積被潔凈刀刮掉了的異物的異物收集箱。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,夾著所述被潔凈材料,在與所述潔凈滾輪相反一側(cè)配置引導(dǎo)滾輪,該引導(dǎo)滾輪是提高用以通過(guò)靜電力使附著在所述被潔凈材料的表面上的異物被吸附到所述潔凈滾輪的電場(chǎng)強(qiáng)度的滾輪。
8.—種潔凈系統(tǒng),是具備與被潔凈材料的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng)的潔凈滾輪,通過(guò)所述潔凈滾輪利用靜電力除去附著在所述被潔凈材料的表面上的塵埃等的異物的潔凈系統(tǒng),其特征在于, 相對(duì)于所述潔凈滾輪,設(shè)有一邊與所述潔凈滾輪接觸一邊旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)印滾輪; 所述潔凈滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述被潔凈材料的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪; 所述轉(zhuǎn)印滾輪是能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在所述潔凈滾輪的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪;外部電源的電壓能夠直接或者間接地施加給所述轉(zhuǎn)印滾輪而構(gòu)成; 所述潔凈滾輪,通過(guò)將該潔凈滾輪的帶電壓控制在設(shè)定電壓以下的第I的電壓穩(wěn)定化電路接地,另一方面,在所述潔凈滾輪與所述轉(zhuǎn)印滾輪之間,設(shè)有使它們之間產(chǎn)生電位差的第2的電壓穩(wěn)定化電路。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述轉(zhuǎn)印滾輪是,通過(guò)一邊與所述潔凈滾輪的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn),在與所述潔凈滾輪之間,根據(jù)所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈滾輪的表面的帶電特性的差異產(chǎn)生電位差的滾輪。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,相向于所述轉(zhuǎn)印滾輪,設(shè)有在帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)方向或者相反方向能夠旋轉(zhuǎn)的潔凈刷; 相向于該潔凈刷設(shè)有在帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)方向或者相反方向能夠旋轉(zhuǎn)的金屬滾輪; 在該金屬滾輪上連接外部電源; 在所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈刷之間,設(shè)有使所述轉(zhuǎn)印滾輪與所述潔凈滾輪之間,產(chǎn)生電位差的第3的電壓穩(wěn)定化電路; 在所述潔凈刷與所述金屬滾輪之間,設(shè)有使所述潔凈刷與所述金屬滾輪之間,產(chǎn)生電位差的第4的電壓穩(wěn)定化電路。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述第I 第4的電壓穩(wěn)定化電路,各自具有第I 第4的電阻器; 通過(guò)所述第I 第4的電阻器,在互相接觸的所述滾輪或者所述刷之間施加的電壓被分壓。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述第I 第4的電阻器的電阻值設(shè)定為比接觸的所述滾輪或者所述刷之間的接觸電阻小的值。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述第I 第3的電壓穩(wěn)定化電路是具有穩(wěn)壓二極管或者壓敏電阻的電路; 所述第4的電壓穩(wěn)定化電路,是具有固定電阻器或者可變電阻器的電路。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,所述第f第3的電壓穩(wěn)定化電路的所述穩(wěn)壓二極管,是串聯(lián)面對(duì)或者背對(duì)連接的。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,具備切換通過(guò)所述外部電源施加給所述滾輪或者所述刷的電壓的正負(fù)極性的手段。
16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,在所述金屬滾輪的表面附近,配置有在頂端刮掉部刮掉附著在所述金屬滾輪的表面上的異物的潔凈刀。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,在所述潔凈刀附近,配置有通過(guò)真空壓能夠吸引異物的空氣真空手段的吸入口,或者回收蓄積由潔凈刀刮掉的異物的異物收集箱。
18.根據(jù)權(quán)利要求8所述的潔凈系統(tǒng),其特征在于,夾著被潔凈材料,在與所述潔凈滾輪相反一側(cè)配置引導(dǎo)滾輪,該引導(dǎo)滾輪是提高用以通過(guò)靜電力使附著在所述被潔凈材料的表面上的異物吸附到所述潔凈滾輪的電場(chǎng)強(qiáng)度的滾輪。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種不必對(duì)潔凈滾輪實(shí)施維護(hù)作業(yè),而可以長(zhǎng)期持續(xù)通過(guò)潔凈滾輪的吸附異物的動(dòng)作的潔凈系統(tǒng)。潔凈滾輪11是,與被潔凈材料S的表面接觸的同時(shí)一邊旋轉(zhuǎn)一邊相對(duì)移動(dòng),利用靜電力除去附著在被潔凈材料S的表面上的塵埃等的異物的滾輪。轉(zhuǎn)印滾輪21一邊與潔凈滾輪11的表面接觸一邊旋轉(zhuǎn)。潔凈滾輪11,通過(guò)電壓穩(wěn)定化電路12接地,能夠?qū)⒂靡酝ㄟ^(guò)靜電力吸附的電荷穩(wěn)定地帶點(diǎn)在滾輪表面。轉(zhuǎn)印滾輪21是能夠?qū)⒂糜谕ㄟ^(guò)靜電力吸附附著在潔凈滾輪11的表面上的異物的電荷在表面帶電的滾輪,連接外部電源31,使用以通過(guò)靜電力吸附異物的帶電壓保持一定。
文檔編號(hào)B08B6/00GK102933323SQ20118002558
公開日2013年2月13日 申請(qǐng)日期2011年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月17日
發(fā)明者太田雅史, 堤幹夫, 村川由佳 申請(qǐng)人:阪東化學(xué)株式會(huì)社