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潔凈系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1528429

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本發(fā)明涉及利用靜電力除去附著在被潔凈材料的表面的異物(塵埃等)的潔凈系統(tǒng)。特別適用于被潔凈材料是,例如玻璃基板、印刷基板(PCB、PCBA等)、膜、薄板、塑料板等的表面平滑性比較高的薄的材料的情形。背景技術(shù)以往,作為除去附著在平板顯示器(FPD)的玻璃基板、貼合膜、印刷基板等的薄的被潔凈材料的表面上的異物的潔凈系統(tǒng),已知有使用粘著性的潔凈滾輪,利用它的粘著力來(lái)除去所述異物的系統(tǒng)(例如,參照專利文獻(xiàn)I)。 所述粘著性的潔凈滾輪,不能除去微小的異物(例如,平均...
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