專利名稱：使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法，特別是一種用于清潔面板的方法。
背景技術(shù)：
在面板制作的過程中，常常會有些瑕疵，例如污漬、刮傷以及氣泡。這些瑕疵會影響光阻涂布的均勻性，導致所制造出來的線路圖案缺陷，因此通常會利用自動光學檢測儀器來檢測出這些瑕疵。而為了避免在制作過程中產(chǎn)生的殘膠或油脂擾亂檢測的結(jié)果，通常會在檢測前進行清除步驟。公知的清除步驟，經(jīng)常利用清潔劑對面板制造過程中產(chǎn)生的殘膠或油污加以清除，如臺灣專利公開案第200800423號公開了一種面板清洗機器及其方法，方法是使用連續(xù)皮帶的表面平板來輸送一面板，并由一清洗噴嘴噴灑清洗液，且使用一清洗噴嘴清洗位于面板表面的異物。清洗噴嘴及排放路徑設(shè)置于輸送面板位置的后端部分，用以清洗并移除由面板表面移除后而累積在皮帶內(nèi)表面上的異物。因此，累積在用于輸送面板的皮帶內(nèi)表面上的異物會被清洗并移除，且排放到清洗機器的外部。在公知的方法中公開的面板清洗機器方法，此種方法僅使用一道清洗程序。為了能在自動光學檢測前更有效且穩(wěn)定地清除面板上的殘膠及油污，并減少因為清除過程而造成的面板損傷，這是一個重要的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法，其包括下列步驟提供一待清潔基板；進行殘膠清除；以及進行油污清除。本發(fā)明主要是要達到快速有效地清除基板上在制造過程中所產(chǎn)生的殘膠及油污。本發(fā)明提供了一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法，其包括下列步驟提供一待清潔基板；進行殘膠清除，其將待清潔基板浸泡在裝有溶劑的一溶劑超聲波槽中，使用超聲波震蕩溶劑，以使溶劑清除待清潔基板上的殘膠；以及進行油污清除，其將待清潔基板浸泡在裝有界面活性劑的一界面活性劑超聲波槽中，使用超聲波震蕩界面活性劑，以使界面活性劑清除待清潔基板上的油污。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，至少可達到下列有益效果一、達到較佳且快速的殘膠去除效果。二、達到較佳且快速的油污去除效果。三、可以大幅避免基板的損傷。為了使本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并予以實施，且根據(jù)本說明書所公開的內(nèi)容、權(quán)利要求及說明書附圖，任何本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點，因此將在實施方式中詳細敘述本發(fā)明的詳細特征以及優(yōu)點。說明書附圖


圖1為本發(fā)明實施例的一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法流程圖。圖2為本發(fā)明實施例的一種進行殘膠清除的示意圖。圖3為本發(fā)明實施例的一種進行油污去除的示意圖。圖4為本發(fā)明實施例的一種洗凈步驟的示意圖。圖5為本發(fā)明實施例的一種烘干步驟的示意圖。附圖標記說明10:待清潔基板；20 溶劑超聲波槽；30 界面活性劑超聲波槽；40 水超聲波槽；50 熱烘干槽；51 風刀機。
具體實施例方式圖1為本發(fā)明實施例的一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法流程圖。圖2 為本發(fā)明實施例的一種進行殘膠清除的示意圖。圖3為本發(fā)明實施例的一種進行油污去除的示意圖。圖4為本發(fā)明實施例的一種洗凈步驟的示意圖。圖5為本發(fā)明實施例的一種烘干步驟的示意圖。如圖1所示，本實施例為一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法S100，其包括下列步驟提供一待清潔基板(步驟S10)；進行殘膠清除(步驟S20)；以及進行油污清除(步驟S30)。如第2圖所示，提供一待清潔基板(步驟S10)，待清潔基板10可以為一待清潔面板，也可以為一待清潔PCB基板等。進行殘膠清除(步驟S20)，其將待清潔基板10垂直浸泡在裝有溶劑的一溶劑超聲波槽20中。本實施例所使用的溶劑可以為例如醇類烷基碳氫化合物，清除作業(yè)進行時，溶劑本身與待清潔基板10表面的化學作用即具有清除殘膠的功能，而又憑借超聲波震蕩溶劑產(chǎn)生的物理作用，更可加速清除待清潔基板10上的殘膠。如圖3所示，進行油污清除(步驟S30)，其將經(jīng)過殘膠清除(步驟S20)后的待清潔基板10接著垂直浸泡在裝有界面活性劑的一界面活性劑超聲波槽30中，使用超聲波震蕩界面活性劑，以使界面活性劑清除待清潔基板10上的油污。而在界面活性劑超聲波槽30 內(nèi)裝填的界面活性劑可以為中性活性劑與水混合的溶液，其中中性活性劑與水的比例可以為 20 80。如圖4所示，本實施例的使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法S100，可以接著進一步包含至少一洗凈步驟(步驟S40)，由此可將已經(jīng)進行殘膠清除(步驟S20)及進行油污清除(步驟S30)后的待清潔基板10上的殘余溶劑及界面活性劑進行洗凈。洗凈步驟 (步驟S40)是將待清潔基板10垂直浸泡在裝填有純水的一水超聲波槽40中，使用超聲波震蕩純水，用以清潔待清潔基板10。如圖5所示，本實施例的使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法S100，又可以進一步包括至少一個烘干步驟(步驟S50)，由此可將完成洗凈步驟(步驟S40)的待清潔基
4板10烘干，有利于其它后續(xù)例如自動光學檢測的處理程序能夠順利的繼續(xù)進行。烘干步驟 (步驟S50)是將待清潔基板10放置在一熱烘干槽50中，又使用一風刀機51產(chǎn)生熱空氣去除水珠以烘干待清潔基板10。 上述各實施例是用以說明本發(fā)明的特點，其目的在于使本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員能了解本發(fā)明的內(nèi)容并予以實施，而非限定本發(fā)明的專利范圍，因此凡其它未脫離本發(fā)明所公開的內(nèi)容而完成的等效修飾或修改，仍應(yīng)包含在以下所述的專利保護范圍中。
權(quán)利要求
1.一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法，其包括下列步驟提供一待清潔基板；進行殘膠清除，其是將所述待清潔基板浸泡在裝填有溶劑的一溶劑超聲波槽中，使用超聲波震蕩所述溶劑，以使所述溶劑清除所述待清潔基板上的殘膠；以及進行油污清除，其是將所述待清潔基板浸泡在裝填有界面活性劑的一界面活性劑超聲波槽中，使用超聲波震蕩所述界面活性劑，以使所述界面活性劑清除所述待清潔基板上的油污。
2.如權(quán)利要求1所述的超聲波清潔方法，其還包括至少一洗凈步驟，其是將所述待清潔基板浸泡在裝填有純水的一水超聲波槽中，使用超聲波震蕩純水，以清潔所述待清潔基板。
3.如權(quán)利要求2所述的超聲波清潔方法，其還包括至少一個烘干步驟，其是將所述待清潔基板放置于一熱烘干槽中，又以一風刀機產(chǎn)生熱空氣以烘干所述待清潔基板。
4.如權(quán)利要求1至3其中的一項所述的超聲波清潔方法，其中所述待清潔基板為一待清潔面板。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種使用超聲波震蕩液體以清潔基板的方法，其包括下列步驟提供一待清潔基板；進行殘膠清除；以及進行油污清除。使用超聲波震蕩液體將待清潔基板上的殘膠清除，再以界面活性劑將待清潔基板上的油污清除。采用本發(fā)明的技術(shù)方案，可以達到將基板上在制造過程中所產(chǎn)生的殘膠與油污去除的目的。
文檔編號B08B3/12GK102489469SQ20111037917
公開日2012年6月13日 申請日期2011年11月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月23日
發(fā)明者蔡鴻儒 申請人:由田信息技術(shù)(上海)有限公司