專利名稱：清潔組成物及使用該組成物清潔面板的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種清潔組成物及一種使用該組成物的清潔方法。本申請(qǐng)主張2009年7月29日提出的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2009-0069505號(hào)與第10-2009-0069506號(hào)、及2009年8月11日提出的韓國(guó)專利申請(qǐng)第10-2009-0073683號(hào)(其全文在此借引用方式并入本申請(qǐng))的權(quán)益。
背景技術(shù)：
平板顯示器(以下稱為‘FPD’)，典型實(shí)施例為液晶顯示器(IXD)，如同半導(dǎo)體裝置一樣，是借膜形成、曝光、蝕刻等程序制造。然而在實(shí)行這些程序時(shí)，各種大小為I微米或更小的有機(jī)或無(wú)機(jī)粒子(Particle)可黏附在基板表面。因此，在粒子黏附下實(shí)行后續(xù)程序時(shí)，在膜中形成針孔或坑(pit)并且切割或橋接(Bridge)配線，因而降低產(chǎn)物良率。因此在各程序間實(shí)行清潔以去除粒子?，F(xiàn)已提出各種用以去除粒子的清潔溶液。例如日本未審查專利申請(qǐng)第2005-154558號(hào)公開了一種包括Η3Ρ04、HF、氨及/或胺的清潔溶液。然而這種清潔溶液無(wú)法用于清潔FH)用基板，因?yàn)槠浒▏?yán)重蝕刻(Etching)玻璃基板(典型的FPD用基板)及鋁(Al)(典型的配線用原料)的HF。此外，日本未審查專利申請(qǐng)第2000-232063號(hào)公開了一種其中使用磷酸或磷酸銨作為抗腐蝕劑的清潔溶液。然而這種清潔溶液用以去除殘留光阻，且具有酸范圍的pH。因此在清潔階段初期，此清潔溶液難以去除大小為I微米或更小的有機(jī)或無(wú)機(jī)粒子(Particle)且同時(shí)防止鋁配線被腐蝕。此外韓國(guó)注冊(cè)專利第10-0574607號(hào)公開了一種在酸性pH范圍中，包括去離子水、有機(jī)化合物及銨化合物的清潔溶液。然而這種清潔溶液也難以在清潔階段初期去除大小為I微米或更小的有機(jī)或無(wú)機(jī)粒子(Particle)，因?yàn)槠錇樗嵝匀芤?。此外韓國(guó)注冊(cè)專利第10-0599849號(hào)公開了一種包括尿素及/或亞乙基脲、堿成分(如氫氧化四級(jí)銨、氨等)、有機(jī)酸(如檸檬酸(CITRIC ACID)、蘋果酸(MALICACID)、酒石酸(TARTARIC ACID)等及/或其鹽)，其余為去離子水的清潔溶液。然而此清潔溶液在長(zhǎng)時(shí)間使用下，因尿素或亞乙基脲沉積而成問題。

發(fā)明內(nèi)容
因而本發(fā)明已構(gòu)想解決上述問題，而且本發(fā)明的一個(gè)目的為提供一種適用于去除殘留在用于平板顯示器的基板上的有機(jī)或無(wú)機(jī)粒子的清潔組成物。本發(fā)明的另一個(gè)目的為提供一種不腐蝕用于平板顯示器的含銅配線或含鋁配線的清潔組成物。
本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種清潔組成物，其按組成物的總量計(jì)，包含(a) O. 05-5重量％的由下式I至5任一表示的胺化合物；(b) O. 01-10重量％的添加劑，包括選自由唑系化合物、烷醇胺鹽與還原劑所構(gòu)成群組中的一種或更多種 '及(C)其余為水〈式1>ΓΛ ,、
Y-R1-N1^^ ^^X-(R2)nI
(R3)n2〈式2>
HO-FU-NvjXHRsfeOH
(^6 )π4〈式3>
權(quán)利要求
1.一種用于平板顯示器的清潔組成物，其按組成物的總量計(jì)，包括 (a)O. 05-5重量％的由下式I至5任一表示的胺化合物； (b)0.01-10重量％的添加劑，其包括選自由唑系化合物、烷醇胺鹽與還原劑所構(gòu)成群組中的一種或更多種；及 (C)其余為水
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，由式I表示的所述胺化合物選自由N-(2-羥乙基)哌嗪、N-(2-羥丙基)哌嗪、N-(2-羥丁基)哌嗪、I-(2-羥乙基)-4_甲基哌嗪、I-(2-羥丙基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羥丁基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羥乙基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羥乙基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羥乙基)-4- 丁基哌嗪、I-(2-羥丙基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羥丙基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羥丙基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羥丙基)-4- 丁基哌嗪、I-(2-羥丁基)-4-甲基哌嗪、I-(2-羥丁基)-4-乙基哌嗪、I-(2-羥丁基)-4-丙基哌嗪、I-(2-羥丁基)-4-丁基哌嗪、N-(2-羥乙基)嗎啉、N-(2-羥丙基)嗎啉、N-胺基丙基嗎啉、羥乙基哌嗪、羥丙基哌嗪、與1-(N-甲基哌嗪)乙醇所構(gòu)成群組。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，由式2表示的所述胺化合物選自由1，4_哌嗪二乙醇與1，4_哌嗪二甲醇所構(gòu)成群組。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，由式3表示的所述胺化合物選自由N-(2-羥乙基)亞乙基脲、N-(3-羥丙基)-2_吡咯酮、羥甲基吡咯酮、與1-(2_羥乙基)-2_吡咯酮所構(gòu)成群組。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，由式4表示的所述胺化合物選自由N-(2-羥乙基)哌啶、N-(2-羥丙基)哌啶、與N-(2-羥丁基)哌啶所構(gòu)成群組。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，由式5表示的所述胺化合物選自由胺基乙氧基乙醇、胺基丙氧基乙醇、胺基丁氧基乙醇、二甲胺基乙氧基硫醇、二乙胺基乙氧基硫醇、二丙胺基乙氧基硫醇、二丁胺基乙氧基硫醇、二甲胺基乙氧基乙醇、二乙胺基乙氧基乙醇、二丙胺基乙氧基乙醇、二丁胺基乙氧基乙醇、二甲胺基乙氧基乙硫醇、二乙胺基乙氧基丙硫醇、二丙胺基乙氧基丁硫醇、二丁胺基乙氧基乙醇、N-(甲氧基甲基)嗎啉、N-(乙氧基甲基)嗎啉、N-(2-甲氧基乙醇)嗎啉、N-(2-乙氧基乙醇)嗎啉、與N-(2-丁氧基乙醇)嗎啉所構(gòu)成群組。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述唑系化合物選自由甲苯基三唑、1，2，3-苯并三唑、1，2，3-三唑、1，2，4-三唑、3-胺基-1，2，4-三唑、4-胺基-4H-1，2，4-三唑、I-羥基苯并三唑、I-甲基苯并三唑、2-甲基苯并三唑、5-甲基苯并三唑、苯并三唑-5-碳酸酯、硝基苯并三唑、2- (2H-苯并三唑-2-基)-4，6- 二叔丁基酚、與2，2’ -[[[乙基-IH-苯并三唑-I基]甲基]亞胺基]二乙醇所構(gòu)成群組。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述烷醇胺鹽選自由單乙醇胺鹽、二乙醇胺鹽、三乙醇胺鹽、單異丙醇胺鹽、二異丙醇胺鹽、與三異丙醇胺鹽所構(gòu)成群組。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述還原劑包括選自由異抗壞血酸、維生素C與α -生育酚所構(gòu)成群組中的一種或更多種。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其進(jìn)一步包含選自由鏈形烷醇胺、多羧酸共聚物、計(jì)量亞烷基二醇單烷醚化合物、及表面活性劑所構(gòu)成群組中的至少一種。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述鏈形烷醇胺選自由單乙醇胺、單丙醇胺、單異丙醇胺、丁醇胺、2-丙氧基乙胺、N- 丁基乙醇胺、N-甲基乙醇胺、與N-乙基乙醇胺所構(gòu)成群組。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述多羧酸共聚物包括由下式6表示的單元結(jié)構(gòu) 〈式6>
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述計(jì)量亞烷基二醇單烷醚化合物選自由乙二醇單丁醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二丙二醇單甲醚、二丙二醇單乙醚、三乙二醇單丁醚、三乙二醇單乙醚、與丙二醇單甲醚所構(gòu)成群組。
14.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于平板顯示器的清潔組成物，其中，所述清潔組成物具有7至13的pH。
15.一種清潔平板顯示器的方法，其使用根據(jù)權(quán)利要求I所述的清潔組成物。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的清潔平板顯示器的方法，其中，所述方法使用選自由噴灑、旋轉(zhuǎn)、浸泡、與超音波浸泡所構(gòu)成群組的一種或更多種而實(shí)行。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的清潔平板顯示器的方法，其中，所述方法在20至80°C的溫度實(shí)行。
18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的清潔平板顯示器的方法，其中，所述方法實(shí)行30秒至10分鐘。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于平板顯示器的清潔組成物，其按組成物的總量計(jì)，包括(a)0.05-5重量％的胺化合物；(b)0.01-10重量％的添加劑，該添加劑包括選自由唑系化合物、烷醇胺鹽與還原劑所構(gòu)成群組中的一種或更多種；及(c)其余為水。
文檔編號(hào)C11D7/32GK102639686SQ201080038438
公開日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2010年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月29日
發(fā)明者尹嚆重, 樸勉奎, 洪亨杓, 洪憲杓, 金泰熙, 金炳默 申請(qǐng)人:東友Fine-Chem股份有限公司