專利名稱：孔洞清潔器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種孔洞清潔器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造業(yè)中，儀器設(shè)備需要定期維護(hù)，在維護(hù)過(guò)程中常常要清潔一些孔洞， 由于沒有專門用于清潔孔洞的清潔器，這些孔洞清潔起來(lái)非常費(fèi)時(shí)費(fèi)力，特別是細(xì)小的孔洞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種孔洞清潔器，清潔效果好，又省時(shí)省力。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型提供一種孔洞清潔器，包括氣囊、密封蓋、刷子以及刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；所述密封蓋與所述氣囊密封連接；所述密封蓋設(shè)有進(jìn)氣通道；所述刷子的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子為中空刷子，外部氣體通過(guò)所述進(jìn)氣通道進(jìn)入所述氣囊，再由所述刷子排出；所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置與所述刷子連接，驅(qū)動(dòng)所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)。上述孔洞清潔器，其中，所述刷子包括中空刷管和刷毛，所述刷毛設(shè)置在所述中空刷管一端的外表面上；所述中空刷管未設(shè)所述刷毛的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)。上述孔洞清潔器，其中，所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置包括固定板、帶齒滑板、齒輪、擋板和彈簧；所述固定板、帶齒滑板、齒輪、擋板和彈簧設(shè)置在所述氣囊內(nèi)；所述固定板固定在所述密封蓋上；所述擋板與所述固定板固定連接；所述帶齒滑板與所述固定板滑動(dòng)連接； 所述彈簧的一端與所述擋板連接，其另一端與所述帶齒滑板連接，限定所述帶齒滑板的滑行位移；所述齒輪固定套在所述刷子上，且與所述帶齒滑板嚙合連接。上述孔洞清潔器，其中，所述帶齒滑板的一側(cè)壁上設(shè)有齒痕，該齒痕與所述齒輪相匹配，所述齒輪與所述帶齒滑板設(shè)有齒痕的側(cè)表面嚙合連接。上述孔洞清潔器，其中，所述帶齒滑板的另一側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述固定板上設(shè)有與所述滑槽相匹配的突起，所述突起卡在所述滑槽內(nèi)，所述滑槽沿所述突起滑動(dòng)。本實(shí)用新型的孔洞清潔器在利用刷子的轉(zhuǎn)動(dòng)清刷孔洞的同時(shí)，排出氣體吹走孔洞中的微粒，清潔效果好，效率高，而且使用起來(lái)非常方便、省力。

本實(shí)用新型的孔洞清潔器由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1是本實(shí)用新型孔洞清潔器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型中帶齒滑板與固定板連接的示意圖。
具體實(shí)施方式
[0013]以下將結(jié)合圖1 圖2對(duì)本實(shí)用新型的孔洞清潔器作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。本實(shí)用新型的孔洞清潔器包括氣囊、密封蓋、刷子以及刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；所述密封蓋與所述氣囊密封連接；所述密封蓋設(shè)有進(jìn)氣通道；所述刷子的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子為中空刷子，外部氣體通過(guò)所述進(jìn)氣通道進(jìn)入所述氣囊，再由所述刷子排出；所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置與所述刷子連接，驅(qū)動(dòng)所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型孔洞清潔器的刷子在轉(zhuǎn)動(dòng)清刷孔洞的同時(shí)，排出氣體吹走孔洞中的微粒，清潔效果好，且省時(shí)省力?，F(xiàn)以一具體實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的孔洞清潔器參見圖1，本實(shí)施例的孔洞清潔器包括氣囊101、密封蓋102、固定板103、帶齒滑板 104、齒輪105、刷子106、擋板107和彈簧108 ；所述密封蓋102設(shè)置在所述氣囊101的底端，與所述氣囊101密封連接；所述固定板103設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)，固定在所述密封蓋102上；所述擋板107設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)，其底端固定在所述密封蓋102上，該擋板 107與所述固定板103固定連接；所述帶齒滑板104設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)，與所述固定板103滑動(dòng)連接，該帶齒滑板104可在所述固定板103上滑動(dòng)；所述彈簧108設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)，其一端與所述擋板107連接，其另一端與所述帶齒滑板104連接；所述彈簧108用于限定所述帶齒滑板104的滑行位移，使所述帶齒滑板104在一定范圍內(nèi)滑動(dòng)；所述刷子106包括中空刷管1061和刷毛1062，所述刷毛1062設(shè)置在所述中空刷管1061 —端的外表面上；所述中空刷管1061未設(shè)所述刷毛1062的一端穿過(guò)所述密封蓋102設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)；所述齒輪105設(shè)置在所述氣囊101內(nèi)，該齒輪105套在所述中空刷管1061上，與所述中空刷管1061固定連接；所述帶齒滑板104的一側(cè)表面上設(shè)有齒痕1041，該齒痕1041與所述齒輪105匹配，所述齒輪105與所述帶齒滑板104設(shè)有齒痕1041的側(cè)表面嚙合連接，所述帶齒滑板104 的滑動(dòng)帶動(dòng)所述齒輪105轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述刷子106轉(zhuǎn)動(dòng)；所述刷子106的大小可根據(jù)需要設(shè)計(jì)，因此，本實(shí)施例的孔洞清潔器適用于不同大小的孔洞；所述密封蓋102內(nèi)設(shè)有進(jìn)氣通道1021，通過(guò)該進(jìn)氣通道1021可向所述氣囊101輸氣。參見圖2，所述帶齒滑板104的另一側(cè)表面上設(shè)有滑槽1042，所述固定板103的側(cè)表面上設(shè)有與所述滑槽1042相匹配的突起1031，所述突起1031卡在所述滑槽1042內(nèi)，所述滑槽1042可沿所述突起1031滑動(dòng)，所述帶齒滑板104借助所述滑槽1042固定在所述固定板103上，并借助所述滑槽1042沿所述固定板103滑動(dòng)。本實(shí)施例孔洞清潔器的工作原理是所述進(jìn)氣通道1021與外部氣源連接，由外部氣源向所述氣囊101供氣，外部氣源提供的氣體通過(guò)所述進(jìn)氣通道1021進(jìn)入所述氣囊101， 所述氣囊101內(nèi)的氣體又通過(guò)所述中空刷管1061從所述中空刷管1061的底端排出所述氣囊101外；對(duì)所述帶齒滑板104施加水平力F(如圖1中的箭頭所示)，推動(dòng)所述帶齒滑板 104滑動(dòng)，所述帶齒滑板104的滑動(dòng)帶動(dòng)所述齒輪105轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述刷子106轉(zhuǎn)動(dòng)；使用時(shí)，將所述刷子106設(shè)有刷毛1062的一端插入孔洞200，所述進(jìn)氣通道1021與外部氣源連接，對(duì)所述帶齒滑板104施加水平力，所述刷子106在孔洞200里轉(zhuǎn)動(dòng)，清刷孔洞200內(nèi)壁里的微粒，從所述刷子106底端排出的氣體吹起這些微粒，將這些微粒吹出孔洞200夕卜， 達(dá)到清潔孔洞的目的。本實(shí)施例的孔洞清潔器在利用刷子的轉(zhuǎn)動(dòng)清刷孔洞的同時(shí)，排出氣體吹走孔洞中的微粒，清潔效果好，效率高，而且使用起來(lái)非常方便、省力。
權(quán)利要求1.一種孔洞清潔器，其特征在于，包括氣囊、密封蓋、刷子以及刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；所述密封蓋與所述氣囊密封連接；所述密封蓋設(shè)有進(jìn)氣通道；所述刷子的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子為中空刷子，外部氣體通過(guò)所述進(jìn)氣通道進(jìn)入所述氣囊，再由所述刷子排出；所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置與所述刷子連接，驅(qū)動(dòng)所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的孔洞清潔器，其特征在于，所述刷子包括中空刷管和刷毛，所述刷毛設(shè)置在所述中空刷管一端的外表面上；所述中空刷管未設(shè)所述刷毛的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的孔洞清潔器，其特征在于，所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置包括固定板、帶齒滑板、齒輪、擋板和彈簧；所述固定板、帶齒滑板、齒輪、擋板和彈簧設(shè)置在所述氣囊內(nèi)；所述固定板固定在所述密封蓋上；所述擋板與所述固定板固定連接；所述帶齒滑板與所述固定板滑動(dòng)連接；所述彈簧的一端與所述擋板連接，其另一端與所述帶齒滑板連接，限定所述帶齒滑板的滑行位移；所述齒輪固定套在所述刷子上，且與所述帶齒滑板嚙合連接。
4.如權(quán)利要求3所述的孔洞清潔器，其特征在于，所述帶齒滑板的一側(cè)壁上設(shè)有齒痕， 該齒痕與所述齒輪相匹配，所述齒輪與所述帶齒滑板設(shè)有齒痕的側(cè)表面嚙合連接。
5.如權(quán)利要求4所述的孔洞清潔器，其特征在于，所述帶齒滑板的另一側(cè)壁上設(shè)有滑槽，所述固定板上設(shè)有與所述滑槽相匹配的突起，所述突起卡在所述滑槽內(nèi)，所述滑槽沿所述突起滑動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型的孔洞清潔器包括氣囊、密封蓋、刷子以及刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置；所述密封蓋與所述氣囊密封連接；所述密封蓋設(shè)有進(jìn)氣通道；所述刷子的一端穿過(guò)所述密封蓋設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子為中空刷子，外部氣體通過(guò)所述進(jìn)氣通道進(jìn)入所述氣囊，再由所述刷子排出；所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置在所述氣囊內(nèi)，該刷子轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置與所述刷子連接，驅(qū)動(dòng)所述刷子轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型的孔洞清潔器清潔效果好，又省時(shí)省力。
文檔編號(hào)B08B7/04GK201997524SQ20102069439
公開日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2010年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月30日
發(fā)明者葉蕤, 汪少軍 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司, 武漢新芯集成電路制造有限公司