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單晶爐真空管道清潔器的制作方法

文檔序號(hào):1411331閱讀:438來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:?jiǎn)尉t真空管道清潔器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及一種在單晶硅生產(chǎn)中使用的單晶爐真空管道清潔器。
背景技術(shù)
制備單晶硅的時(shí)候,要用真空泵將單晶爐內(nèi)抽成真空,達(dá)到生產(chǎn)所需的狀態(tài)。當(dāng)前 光伏產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,單晶硅大規(guī)模量產(chǎn),生產(chǎn)規(guī)模日益壯大,單晶爐的數(shù)量也隨之增大???慮到單晶爐的布局與美觀,往往形成很大的陣列。這樣真空泵和單晶爐之間就產(chǎn)生了很大 的距離,一般會(huì)用很長(zhǎng)的管道將兩者連接。連接的真空管道使用一段時(shí)間后,管道內(nèi)部就容 易積聚揮發(fā)物,附著在管道內(nèi)壁上,久而久之容易引出管道堵塞,影響生產(chǎn)。由于真空管道 很長(zhǎng),因此不便于清理,真空管道的清理疏通成為棘手的問題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是要提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,能夠快速清 潔真空管道內(nèi)壁附著的揮發(fā)物和燃燒產(chǎn)物,可提高生產(chǎn)效率的單晶爐真空管道清潔器。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的它有一個(gè)手柄,在手柄下端固接有不銹鋼堵板,不銹鋼 堵板的橫截面為弧形且與單晶爐爐體內(nèi)壁的曲率半徑相等。上述的單晶爐真空管道清潔器,所述的手柄為T字形,以便于使用。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,利用空氣壓力能夠快速清潔真空管道 內(nèi)壁附著的揮發(fā)物和燃燒產(chǎn)物,可提高生產(chǎn)效率。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是圖1的A-A剖視圖。
具體實(shí)施方式
如圖所示,該單晶爐真空管道清潔器有一個(gè)手柄1,在手柄1下端固接有不銹鋼堵 板2,不銹鋼堵板2的橫截面為弧形且與單晶爐爐體內(nèi)壁的曲率半徑相等。所述的手柄1為 T字形,以便于使用。使用時(shí),操作者手持手柄1將不銹鋼堵板2置于單晶爐內(nèi)壁的抽氣口位置,開啟連 接單晶爐的真空泵,真空泵開啟后會(huì)在真空管道這個(gè)密閉空間內(nèi)制造真空。當(dāng)達(dá)到一定壓 力差后,迅速提拉手柄1,使不銹鋼堵板2脫離抽氣口,瞬時(shí)壓力差產(chǎn)生強(qiáng)氣流,將真空管道 內(nèi)的揮發(fā)物帶走。
權(quán)利要求1.一種單晶爐真空管道清潔器,其特征是它有一個(gè)手柄,在手柄下端固接有不銹鋼 堵板,不銹鋼堵板的橫截面為弧形且與單晶爐爐體內(nèi)壁的曲率半徑相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐真空管道清潔器,其特征是所述的手柄為T字形。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種單晶爐真空管道清潔器,其特殊之處是它有一個(gè)手柄,在手柄下端固接有不銹鋼堵板,不銹鋼堵板的橫截面為弧形且與單晶爐爐體內(nèi)壁的曲率半徑相等,所述的手柄為T字形。優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,利用空氣壓力能夠快速清潔真空管道內(nèi)壁附著的揮發(fā)物和燃燒產(chǎn)物,可提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)B08B9/035GK201895005SQ20102066363
公開日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月16日
發(fā)明者劉玉穎, 楊廣宇, 王存, 秦朗 申請(qǐng)人:錦州陽(yáng)光能源有限公司
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