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制絨機(jī)機(jī)械臂及清洗系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):1541493閱讀:410來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:制絨機(jī)機(jī)械臂及清洗系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)電池制造領(lǐng)域,具體涉及太陽(yáng)電池制造過(guò)程中的硅片清洗系統(tǒng)。
背景技術(shù)
在硅基板太陽(yáng)電池制造過(guò)程中,為了增加硅表面對(duì)太陽(yáng)光的吸收,提高電池的轉(zhuǎn) 換效率, 一般需要在硅表面通過(guò)濕化學(xué)處理形成絨面。在濕化學(xué)處理工藝完成后,需要對(duì)殘 留在硅表面的化學(xué)溶液進(jìn)行清洗,然后再進(jìn)行后續(xù)的工藝?;瘜W(xué)處理需要在一定的溫度要 求下進(jìn)行,當(dāng)硅片的表面化學(xué)腐蝕絨面完成后,在取出化學(xué)腐蝕槽的瞬間,由于化學(xué)液溫度 較高,硅片在被機(jī)械臂提出化學(xué)液面數(shù)秒后,硅片表面殘留的化學(xué)溶液會(huì)很快干涸,化學(xué)成 分會(huì)流在硅片表面,在隨后的加工過(guò)程中也無(wú)法去除干凈,如此會(huì)嚴(yán)重影響硅片電池的質(zhì)

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種對(duì)硅片制絨完成后, 在其離開(kāi)制絨液面后幾秒鐘內(nèi)立刻進(jìn)行清洗,保證硅片表面的化學(xué)殘留物不會(huì)因高溫而干 涸而無(wú)法清洗完全的清洗系統(tǒng)。 按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案,本實(shí)用新型提供了一種機(jī)械臂,包括機(jī)械臂末 端工具,用以抓取硅片,其特征在于,還包括多個(gè)噴水噴嘴,所述噴水噴嘴與水管相連,水管 固定設(shè)置在所述機(jī)械臂上,用以對(duì)硅片進(jìn)行清洗。 所述機(jī)械臂末端工具有四個(gè),相鄰兩個(gè)機(jī)械臂末端工具的上部利用橫桿相互連 接,在橫桿上安裝水管,在水管上安裝若干個(gè)所述噴水噴嘴,所述噴水噴嘴的噴口指向下方。 按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案,本實(shí)用新型還提供了一種制絨機(jī),其包括用以 抓取硅片的末端工具的機(jī)械臂,其特征在于,還包括多個(gè)噴水噴嘴,固定設(shè)置在機(jī)械臂上, 所述噴水噴嘴與水管相連,用以對(duì)硅片進(jìn)行清洗。 按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案,本實(shí)用新型還提供了一種制絨機(jī)硅片清洗系 統(tǒng),包括高壓水泵、固定設(shè)置在制絨機(jī)機(jī)械臂上的多個(gè)噴水噴嘴以及用于控制噴水噴嘴的 控制裝置。其中,高壓水泵通過(guò)輸水管道與機(jī)械臂上的噴水噴嘴相連;控制裝置控制該噴水 系統(tǒng)在生產(chǎn)線的工作位置以及噴嘴噴水的開(kāi)始時(shí)間和結(jié)束時(shí)間。 本實(shí)用新型可以方便地控制對(duì)剛離開(kāi)制絨液面的硅片立刻進(jìn)行純水噴灑清洗,保 證硅片表面化學(xué)殘留物不會(huì)因高溫而干涸,提高硅片電池的質(zhì)量與成品率。

圖1是本實(shí)用新型的機(jī)械臂結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是圖1中所示的機(jī)械臂的側(cè)視圖;[0011] 圖3是本實(shí)用新型的清洗系統(tǒng)的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。 如圖l及圖2所示,其為本實(shí)用新型的機(jī)械臂的結(jié)構(gòu)示意圖及其側(cè)視圖。所述機(jī) 械臂10包括機(jī)械臂末端工具16,用以抓取硅片,其特征在于,還包括多個(gè)噴水噴嘴12,所述 噴水噴嘴12與水管(未圖示)相連,,水管固定設(shè)置在所述機(jī)械臂上用以對(duì)硅片承載盒20 中的硅片進(jìn)行清洗。 所述機(jī)械臂末端工具16有四個(gè),相鄰兩個(gè)機(jī)械臂末端工具16的上部利用橫桿15 相互連接,在橫桿15上安裝水管14,在水管14上安裝若干個(gè)所述噴水噴嘴12,所述噴水噴 嘴12的噴口指向下方。 在本實(shí)用新型的另一實(shí)施例中,提供了一種太陽(yáng)電池硅片制絨機(jī),其包括機(jī)械臂 IO,所述機(jī)械臂IO包括機(jī)械臂末端工具16,用以抓取硅片,其特征在于,還包括多個(gè)噴水噴 嘴12,固定設(shè)置在機(jī)械臂10上,所述噴水噴嘴12與水管(未圖示)相連,用以對(duì)機(jī)械臂抓 取的硅片承載盒20中的硅片進(jìn)行清洗。 如圖3所示,在本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中,提供了一種太陽(yáng)電池制絨工藝硅片 清洗系統(tǒng)。所述清洗系統(tǒng)包括高壓水泵1、輸水管道(未圖示)、清洗水管道(未圖示)以 及固定設(shè)置在制絨機(jī)機(jī)械臂上的多個(gè)噴水噴嘴12 ;所述高壓水泵1的出水口通過(guò)輸水管道 與噴水噴嘴12相連,高壓水泵1的進(jìn)水口與清洗水管道相連,用以將清洗水管道的清洗用 純水引入噴水噴嘴12對(duì)硅片進(jìn)行清洗。在實(shí)際生產(chǎn)中,為了提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,需要同 時(shí)在多個(gè)工作位置(即多個(gè)制絨化學(xué)處理槽)進(jìn)行制絨工藝,此時(shí),在所述的硅片清洗系統(tǒng) 中,優(yōu)選的,還包括控制裝置3,用于控制不同工作位置的噴水噴嘴12的噴水清洗的開(kāi)始時(shí) 間和結(jié)束時(shí)間。 如上所述,本實(shí)用新型的制絨機(jī)機(jī)械臂和清洗系統(tǒng),可以在硅片的表面化學(xué)腐蝕 絨面完成后,由控制裝置3控制噴水噴嘴12對(duì)剛離開(kāi)制絨液面的硅片在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行清洗 用純水噴灑清洗,以避免現(xiàn)有技術(shù)中硅片在提出液面后到清洗槽期間因高溫干涸造成化學(xué) 殘留成分留在硅片表面難以去除而造成電池質(zhì)量的降低,與現(xiàn)有技術(shù)相比,利用本實(shí)用新 型的技術(shù)方案生產(chǎn)的產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)率提高了 20%左右。 以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例,并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍,而是 用于說(shuō)明本實(shí)用新型。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改 進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求一種機(jī)械臂,包括用以抓取硅片的機(jī)械臂末端工具(16),其特征在于,還包括多個(gè)噴水噴嘴(12),所述噴水噴嘴(12)與水管(14)相連,水管(14)固定設(shè)置在所述機(jī)械臂上。
2. 如權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂,其特征是所述機(jī)械臂末端工具(16)有四個(gè),相鄰 兩個(gè)機(jī)械臂末端工具(16)的上部利用橫桿(15)相互連接,在橫桿(15)上安裝所述水管 (14),在水管(14)上安裝若干個(gè)所述噴水噴嘴(12),所述噴水噴嘴(12)的噴口指向下方。
3. —種太陽(yáng)電池制絨機(jī),其特征在于,包括如權(quán)利要求1所述的機(jī)械臂。
4. 一種太陽(yáng)電池制絨工藝硅片清洗系統(tǒng),其特征在于,包括高壓水泵、輸水管道、清洗 水管道以及固定設(shè)置在太陽(yáng)電池制絨機(jī)機(jī)械臂上的多個(gè)噴水噴嘴,所述高壓水泵的出水口 通過(guò)輸水管道與噴水噴嘴相連,高壓水泵的進(jìn)水口與清洗水管道相連。
5. 如權(quán)利要求4所述的硅片清洗系統(tǒng),其特征在于,還包括控制噴水噴嘴的噴水位置 和噴水時(shí)間的控制裝置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種制絨機(jī)機(jī)械臂及硅片清洗系統(tǒng),具體為硅片制絨完成后對(duì)硅片表面進(jìn)行迅速清洗處理的制絨機(jī)機(jī)械臂及清洗系統(tǒng)。包括高壓水泵、固定設(shè)置在機(jī)械臂上的多個(gè)噴水噴嘴、用于控制噴水噴嘴的噴水位置和噴水時(shí)間的控制裝置,高壓水泵通過(guò)輸水管道與噴水噴嘴相連。本實(shí)用新型可以方便地控制對(duì)剛離開(kāi)制絨液面的硅片立刻進(jìn)行純水噴灑清洗,保證硅片表面殘物不會(huì)因高溫而干涸留在硅片表面,提高硅片電池的質(zhì)量與成品率。
文檔編號(hào)B08B3/02GK201529632SQ20092023239
公開(kāi)日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
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