專利名稱：晶圓清洗吹干裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電化學領域，尤其涉及集成電路制造技術，特別是一種晶圓清洗
吹干裝置。
技術背景 晶圓是集成電路的載體。在制造集成電路的過程中，需要在各個步驟之間對晶圓 進行清洗和吹干，比如剛電鍍過的晶圓就需要對其進行去離子水清洗并吹干?，F(xiàn)有技術中， 晶圓的清洗和吹干這兩個步驟是分開進行的，這不但降低了工效率，而且在兩道工序之間 還存在污染已清洗晶圓的可能。
發(fā)明內容 本實用新型的目的在于提供一種晶圓清洗吹干裝置，所述的這種晶圓清洗吹干裝 置要解決現(xiàn)有技術中晶圓清洗步驟和吹干步驟中存在的工作效率低、可能被再次污染的技 術問題。 本實用新型的這種晶圓清洗吹干裝置由一個槽體、至少一個旋轉清洗噴嘴和至少 一個多角度風口吹干管構成，其中，所述槽體的上端開口處設置有一個密封蓋，槽體的上端 開口內、密封蓋的下側設置有懸臂，任意一個所述的旋轉清洗噴嘴均設置在槽體內、所述的 懸臂的下方，任意一個所述的多角度風口吹干管均設置在槽體內、懸臂與旋轉清洗噴嘴之 間，任意一個旋轉清洗噴嘴均連接到一個去離子水管接頭上，所述的去離子水管接頭穿設 在槽體上，任意一個多角度風口吹干管均連接到一個氣管接頭上，所述的氣管接頭穿設在 槽體上。 進一步的，任意一個多角度風口吹干管均通過管路活接與所述的氣管接頭連接。 進一步的，所述的去離子水管接頭垂直穿設在槽體的底板中。 進一步的，所述的氣管接頭垂直穿設在槽體的底板中。 進一步的，所述的懸臂上設置有晶圓夾具。 具體的，本實用新型中的晶圓夾具、旋轉清洗噴嘴、多角度風口吹干管、去離子水 管接頭、氣管接頭和管路活接均采用現(xiàn)有技術中的公知技術，有關上述公知技術方案，本領 域的技術人員均已經(jīng)了解，在此不再贅述。 本實用新型的工作原理是晶圓夾具通過人手或機械手放到槽體中的懸臂上，蓋 上密封蓋，通入有一定壓力的去離子水，旋轉清洗噴嘴開始清洗工作， 一段時間后，通入氣 體，就可以吹干晶圓?？梢酝ㄟ^人手或機械手取出晶圓夾具。 本實用新型和已有技術相比，其效果是積極和明顯的。本實用新型在槽體中設置 旋轉清洗噴嘴和多角度風口吹干管，在槽體的一次密封過程中，先后對晶圓進行噴淋和吹 干，操作方便，效率高，能避免晶圓被再次污染。
圖1是本實用新型的晶圓清洗吹干裝置的結構示意圖。
具體實施方式
實施例1 : 如圖l所示，本實用新型的晶圓清洗吹干裝置，由一個槽體3、至少一個旋轉清洗 噴嘴1和至少一個多角度風口吹干管2構成，其中，所述的槽體3的上端開口處設置有一個 密封蓋4，槽體3的上端開口內、密封蓋4的下側設置有懸臂7，任意一個所述的旋轉清洗噴 嘴1均設置在槽體3內、所述的懸臂7的下方，任意一個所述的多角度風口吹干管2均設置 在槽體3內、懸臂7與旋轉清洗噴嘴1之間，任意一個旋轉清洗噴嘴1均連接到一個去離子 水管接頭6上，所述的去離子水管接頭6穿設在槽體3上，任意一個多角度風口吹干管2均 連接到一個氣管接頭5上，所述的氣管接頭5穿設在槽體3上。 進一步的，任意一個多角度風口吹干管2均通過管路活接8與所述的氣管接頭5 連接。 進一步的，所述的去離子水管接頭6垂直穿設在槽體3的底板中。 進一步的，所述的氣管接頭5垂直穿設在槽體3的底板中。 進一步的，所述的懸臂7上設置有晶圓夾具9。 本實施例的工作過程是晶圓夾具9通過人手或機械手放到槽體3中的懸臂7上， 蓋上密封蓋4，通入一定壓力的去離子水，旋轉清洗噴嘴1開始工作， 一段時間后，通入氣 體，就可以吹干晶圓?？梢酝ㄟ^人手或機械手取出晶圓夾具9。
權利要求一種晶圓清洗吹干裝置，由一個槽體、至少一個旋轉清洗噴嘴和至少一個多角度風口吹干管構成，其特征在于槽體的上端開口處設置有一個密封蓋，槽體的上端開口內、密封蓋的下側設置有懸臂，任意一個所述的旋轉清洗噴嘴均設置在槽體內、所述的懸臂的下方，任意一個所述的多角度風口吹干管均設置在槽體內、懸臂與旋轉清洗噴嘴之間，任意一個旋轉清洗噴嘴均連接到一個去離子水管接頭上，所述的去離子水管接頭穿設在槽體上，任意一個多角度風口吹干管均連接到一個氣管接頭上，所述的氣管接頭穿設在槽體上。
2. 如權利要求1所述的晶圓清洗吹干裝置，其特征在于任意一個多角度風口吹干管 均通過管路活接與所述的氣管接頭連接。
3. 如權利要求1所述的晶圓清洗吹干裝置，其特征在于所述的去離子水管接頭垂直穿設在槽體的底板中。
4. 如權利要求1所述的晶圓清洗吹干裝置，其特征在于所述的氣管接頭垂直穿設在槽體的底板中。
5. 如權利要求1所述的晶圓清洗吹干裝置，其特征在于所述的懸臂上設置有晶圓夾具。
專利摘要一種晶圓清洗吹干裝置，由槽體、旋轉清洗噴嘴和多角度風口吹干管構成，槽體的上端開口處設置有密封蓋，槽體的上端開口內、密封蓋的下側設置有懸臂，旋轉清洗噴嘴設置在槽體內懸臂的下方，多角度風口吹干管設置在槽體內懸臂與旋轉清洗噴嘴之間，旋轉清洗噴嘴連接到一個去離子水管接頭上，去離子水管接頭穿設在槽體上，多角度風口吹干管連接到一個氣管接頭上，氣管接頭穿設在槽體上。晶圓夾具放到懸臂上，蓋上密封蓋，通入去離子水，旋轉清洗噴嘴工作，之后通入氣體吹干晶圓。本實用新型在槽體的一次密封過程中，先后對晶圓進行噴淋和吹干，操作方便，效率高，能避免晶圓被再次污染。
文檔編號B08B5/02GK201466006SQ20092007253
公開日2010年5月12日 申請日期2009年5月19日 優(yōu)先權日2009年5月19日
發(fā)明者孫江燕, 王振榮 申請人:上海新陽半導體材料股份有限公司