專利名稱：除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種除塵裝置，該除塵裝置對(duì)除塵對(duì)象噴射空氣或稀有氣 體等單一的清潔氣體，包含以超聲波頻率振動(dòng)的超聲波氣體，包含正、負(fù) 離子的氣體，或者同時(shí)包含超聲波和離子的氣體(以下將它們統(tǒng)稱為清潔 氣體)來(lái)進(jìn)行除塵。
背景技術(shù)：
對(duì)于用于TFT(薄膜晶體管)液晶面板、PDP(等離子顯示面板)、LCD (液晶顯示器)等的玻璃基板、太陽(yáng)能電池面板、或者長(zhǎng)條紙，薄膜等薄 片等的除塵對(duì)象(以下只稱作除塵對(duì)象)，通過(guò)除塵裝置進(jìn)行除塵。
作為涉及這樣的除塵裝置的現(xiàn)有技術(shù)例，例如，公知有專利文獻(xiàn)(JP 特開(kāi)2004-41851號(hào)公報(bào)、發(fā)明名稱"除塵頭")中記述的發(fā)明。
專利文獻(xiàn)1中記述的現(xiàn)有技術(shù)中，涉及具有中夾噴射室和該噴射室的 兩側(cè)的吸入室的除塵頭。
專利文獻(xiàn)l:(日本)特開(kāi)2004-41851號(hào)公報(bào)(段落號(hào)0003，圖5)
通常的除塵裝置中除塵頭大多上下配置。這種除塵裝置中，在對(duì)傳送 帶上輸送的多張基板連續(xù)除塵的情況下，即使以清潔氣體來(lái)噴射鄰接的玻 璃基板等除塵對(duì)象之間的空隙，清潔氣體噴射到上下除塵頭，清潔氣體吹 到除塵頭以外的位置巻起塵埃等的可能性也很小。
但是，如專利文獻(xiàn)1的圖5 (b)所示，存在下側(cè)沒(méi)有除塵頭的情況。 這種除塵裝置向鄰接的玻璃基板等除塵對(duì)象之間的空隙噴射清潔氣體時(shí)， 清潔氣體到達(dá)至下方(極端的情況下直至裝置載置面)。除塵裝置設(shè)置于清 潔室，存在巻起若干塵埃，除塵環(huán)境惡化的問(wèn)題。
另外，也考慮鄰接的玻璃基板等除塵對(duì)象的間隙和噴射孔相對(duì)之間停 止清潔氣體的噴射，但是此時(shí)，需要在清潔氣體的流路上設(shè)置切換閥。切 換切換閥時(shí)，從密封用的塾圈脫離的細(xì)小異物等混入清潔氣體中，可能會(huì) 降低除塵能力。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而開(kāi)發(fā)的，其目的在于，提供一種除塵裝置， 該除塵裝置僅在除塵對(duì)象的一側(cè)除塵，其通過(guò)增加與除塵頭相對(duì)的、結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單的接受部，改變通過(guò)鄰接的除塵對(duì)象間的間隙的來(lái)自噴射室的清潔氣 體的流動(dòng)方向后由吸入室吸入來(lái)減低不必要的塵埃飛散。
本發(fā)明第一方面所涉及的除塵裝置，其特征在于，具有分別至少具 備各一個(gè)具有吸入口的吸入室和具有噴射口的噴射室的除塵頭，向除塵頭 內(nèi)依次搬運(yùn)多個(gè)除塵對(duì)象的搬運(yùn)部，與除塵頭相對(duì)配置、接受從噴射室的 噴射口噴射的清潔氣體并改變方向的接受部；從噴射室的噴射口向除塵對(duì) 象噴射清潔氣體時(shí)的吸入室，從其吸入口吸入從除塵對(duì)象折返的清潔氣體， 另外，從噴射室的噴射口朝向鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象間的間隙噴射清潔氣體 時(shí)的吸入室，從其吸入口吸入在接受部轉(zhuǎn)換方向的清潔氣體。
另外，本發(fā)明第二方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一方面的基礎(chǔ) 之上，其特征在于，所述接受部包括清潔氣體通過(guò)的通過(guò)孔和接受空間， 該才妄受空間為由平面和曲面隔開(kāi)、且與通過(guò)孔連通的剖面弓形空間，曲面 與吸入口或噴射口相對(duì)并且平面位于與除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向大致平行的位 置；在接受空間的曲面接受從噴射室的噴射口噴射并通過(guò)通過(guò)孔的清潔氣 體后，使該清潔氣體在接受空間的平面轉(zhuǎn)換方向，從吸入室的吸入口吸入。
另外，本發(fā)明第三方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一方面的基礎(chǔ) 之上，其特征在于，具有具有與除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向大致平行的表面的 相對(duì)板；形成于相對(duì)板、與噴射口和吸入口面對(duì)的通過(guò)孔；固定于相對(duì)板 的半圓柱體；由相對(duì)板的平面和半圓柱體的曲面隔開(kāi)，半圓柱體的曲面與 吸入口或噴射口相對(duì)，并且相對(duì)板的平面位于與除塵對(duì)象的拍i運(yùn)方向大致 平行的位置的剖面弓形空間、即與通過(guò)孔連通的接受空間；在接受空間接 受從噴射室的噴射口噴射并通過(guò)通過(guò)孔的清潔氣體后，使該清潔氣體在接 受空間的平面轉(zhuǎn)換方向，從吸入室的吸入口吸入。
另外，本發(fā)明第四方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一方面的基礎(chǔ) 之上，其特征在于，所述接受部具備具有與噴射口和吸入口面對(duì)的曲面形 的接受面的圓弧體，從吸入室的吸入口吸入在圓弧體的接受面轉(zhuǎn)換了方向 的清潔氣體。
另外，本發(fā)明第五方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一方面的基礎(chǔ)
5之上，其特征在于，所述接受部具備具有與噴射口和吸入口面對(duì)的平面形 的接受面的箱體，從吸入室的吸入口吸入在箱體的接受面轉(zhuǎn)換方向的清潔
氣體o
另外，本發(fā)明第六方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一 五中任一 方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配 置噴射室和夾著該噴射室的上游、下游吸入室。
另外，本發(fā)明第七方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一-五中任一 方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配 置吸入室和夾著該吸入室的上游、下游噴射室。
另外，本發(fā)明第八方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一 五中任一 方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配 置上游噴射室和下游吸入室。
另外，本發(fā)明第九方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一-五中任一 方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配 置上游吸入室和下游噴射室。
,另外，本發(fā)明第十方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一-九中任一 方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，具有配置在噴射室內(nèi)、在施加了高電壓的 發(fā)射極附近生成離子的離子發(fā)生器，從噴射室的噴射口噴射包含離子的清
潔氣體。
另外，本發(fā)明第十一方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一-十中任 一方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，具有使所述接受部相對(duì)于除塵頭離開(kāi)、
接近的移動(dòng)部。
另外，本發(fā)明第十二方面所涉及的除塵裝置，在本發(fā)明第一-十一中 任一方面的基礎(chǔ)之上，其特征在于，將所述接受部及所述移動(dòng)部作為一組， 設(shè)置與多個(gè)噴射部數(shù)量相等的組數(shù)的所述接受部和所述移動(dòng)部。


圖1是用于實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)的除塵裝置的側(cè)面圖2是用于實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)的除塵裝置的剖面圖3是用于實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)的除塵裝置的立體外觀圖4是表示除塵頭的內(nèi)外結(jié)構(gòu)的圖、圖4(a)是A向視圖；圖4(b)是B-B線剖面圖，圖4 (c)是C-C線剖面圖； 圖5是C-C線剖面的立體圖6是表示除塵頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖，圖6 (a)是D-D線剖面圖，圖6 (b)是E-E線剖面圖7(a) ~ (d)是接受部的結(jié)構(gòu)圖； 圖8是用于實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)的除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖； 圖9是用于實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的 動(dòng)作說(shuō)明圖IO是其他形態(tài)的除塵裝置的側(cè)面圖11是其他形態(tài)的除塵裝置的剖面圖12是說(shuō)明圓弧體的制造的說(shuō)明圖13是其他形態(tài)的除塵裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖14是其他形態(tài)的除塵裝置的側(cè)面圖15是其他形態(tài)的除塵裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖16是其他形態(tài)的除塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖17是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖18是其他形態(tài)的除塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖19是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖20是其他形態(tài)的除塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖21是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖22是其他形態(tài)的除塵裝置的說(shuō)明圖23是其他形態(tài)的除塵裝置的說(shuō)明圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
1、 2、 3、 4、 5、 6、 7、 8:除塵裝置 10:除塵對(duì)象 100:除塵頭 110: 除塵頭主體 111:噴射室 llla:噴射口 lllb:流入口 lllc:噴射室底 部 112:上游側(cè)吸入室 112a:吸入口 112b:排氣口 112c:吸入室底部 113:下游側(cè)吸入室113a:吸入口 113b:排氣口 113c:吸入室底部114: 頂板 115a、115b:側(cè)壁 116a、116b:內(nèi)壁 116c:隔壁 116d:溝部116e: 通過(guò)孔 120:離子發(fā)生器 121:突出部 122:發(fā)射極(工^:y夕) 123:缺口部124:通過(guò)孔 130:側(cè)壁部 140:除塵頭 141:吸入室 141a:吸入口142:上游側(cè)噴射室142a:噴射口 143:下游側(cè)噴射室
7143a:噴射口 150:除塵頭151:上游側(cè)噴射室 151a:噴射口 152:下 游側(cè)吸入室152a:吸入口 160:除塵頭，161:上游側(cè)吸入室161a:吸入 口 162:下游側(cè)噴射室 162a:噴射口 200:接受部 210:半圓柱體 220:相對(duì)板 230:接受空間 240:通過(guò)孔250:支承部 260:側(cè)壁 300:搬運(yùn)部400:移動(dòng)部 410:第一移動(dòng)部 420:第二移動(dòng)部 500: 接受部 510:圓弧體520:支承部 530:第一支承部 540:第一圓弧 體 550:第二支承部 560: 第二圓弧體 600:接受部 610:箱體 620:支岸義部
具體實(shí)施例方式
下面，根據(jù)

實(shí)施本發(fā)明的最佳形態(tài)。圖1是本形態(tài)的除塵裝 置的側(cè)面圖，圖2是本形態(tài)的除塵裝置的剖面圖，圖3是本形態(tài)的除塵裝 置的立體外觀圖。另外，圖3中除去了側(cè)壁部進(jìn)行圖示。除塵裝置1具有 除塵頭100、接受部200、搬運(yùn)部300、移動(dòng)部400。除塵裝置1對(duì)除塵對(duì) 象IO進(jìn)行除塵。
詳細(xì)地說(shuō)，除塵頭100是在圖2、圖3所示的除塵頭主體110的內(nèi)部配 置離子發(fā)生器120,進(jìn)一步，在除塵頭主體110的兩側(cè)面固定如圖1中所示 的側(cè)壁部130的結(jié)構(gòu)。
參照附圖進(jìn)一步對(duì)除塵頭100進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示除塵頭的內(nèi)外結(jié) 構(gòu)的圖、圖4(a)是A向視圖，圖4 (b)是B-B線剖面圖，圖4(c)是 C-C線剖面圖。圖5是C-C線剖面的立體圖。圖6是表示除塵頭的內(nèi)部結(jié) 構(gòu)的圖，圖6 (a)是D-D線剖面圖，圖6 (b)是E-E線剖面圖。圖7是接 受部的結(jié)構(gòu)圖。
除塵頭主體IIO如圖4 (a)所示，具有噴射室lll、上側(cè)吸入室112、 下側(cè)吸入室113、頂板114、側(cè)壁115a、 115b、內(nèi)壁116a、 116b、噴射室底 部lllc、 p及入室底部112c、 113c。
如圖2-6所示，噴射室111是由頂板114、內(nèi)壁116a、 116b、噴射室 底部lllc分隔的空間，在內(nèi)壁116a、 116b上搭架隔壁116c機(jī)械性加強(qiáng)。 該噴射室111如圖4(c)所示，通過(guò)流入口 lllb、通過(guò)孔116e、噴射口 llla 而空間內(nèi)外連通。另外，離子發(fā)生器120的突出部121和溝部116d之間形 成有圖6 (a)中所示的通過(guò)孔124，組裝離子發(fā)生器120時(shí)，也可以通過(guò)該通過(guò)孔124連通空間。
從圖5中也4艮明顯地看出，噴射口 llla是長(zhǎng)條的狹縫。由于除塵對(duì)象 IO從相對(duì)于圖5所示的噴射口 llla的長(zhǎng)度方向大致垂直方向進(jìn)入，故可以 向除塵對(duì)象10的整個(gè)區(qū)域噴射清潔氣體。 .
隔壁1116c如圖4 (c)所示，i殳置在噴射口 llla和流入口 lllb之間， 優(yōu)選接近噴射口 llla側(cè)配置。其原因在于，隨著隔壁116c接近噴射口 llla 側(cè)配置，隨著清潔氣體通過(guò)噴射口 llla而噴射口 llla的擴(kuò)大將難以發(fā)生。
通過(guò)孔116e如圖4 (c),圖6(b)所示，在隔壁116c上設(shè)置有多個(gè)， 將從流入口 lllb流入的清潔氣體導(dǎo)通至噴射口 llla。
溝部116d如圖4 (a)的a部擴(kuò)大圖所示，設(shè)置于噴射室lll,使離子 發(fā)生器120的突出部121滑動(dòng)并插入該溝部116d中，從而安裝于噴射室111 內(nèi)。
通過(guò)孔124與離子發(fā)生器120的配置同時(shí)形成。如圖6(a)所示，離 子發(fā)生器120的突出部121上設(shè)置有缺口部23,如圖4 (a)的a部擴(kuò)大圖 所示，突出部121在溝部116d上滑動(dòng)并且插入離子發(fā)生器120而安裝于噴 射室111內(nèi)的情況下，如圖6 (a)所示，缺口部123#皮溝部116cU隻蓋成為 通過(guò)孔124。
流入口 lllb如圖3、圖4 (c)、圖5所示，設(shè)置在除塵頭100的上表面 的頂板114上。
離子發(fā)生器120如圖4(b)、(c)所示，配置在噴射室111內(nèi)的隔壁116c 的上游側(cè)，具有向清潔氣體排出正離子、負(fù)離子的功能。
該離子發(fā)生器120上安裝有發(fā)射極122，發(fā)射極122上施加有直流電流 或交流電流，將正離子、負(fù)離子通過(guò)電暈放電而放出。
上游側(cè)吸入室112如圖3~圖6所示，是由頂^反114、側(cè)壁115a、內(nèi)壁 116a、吸入室底部112c分隔的空間。該上游側(cè)吸入室112如圖4(c)所示， 通過(guò)排氣口 112b、吸入口 112a，從而空間被連通。
如圖5、 6所示，吸入口 112a是長(zhǎng)條的狹縫，通過(guò)從噴射口 llla噴射 的清潔氣體吸入飛散的塵埃和周邊空氣。
如圖3、圖4(c)、圖(5)所示，排氣口 112b是用于將從吸入口 112a 9又入的氣體才非氣的開(kāi)口 。
下游側(cè)吸入室113如圖3 ~圖6所示，是由頂板114、側(cè)壁115b、內(nèi)壁116b、 p及入室底部113c分隔的空間，該下游側(cè)吸入室113如圖4(c)所示， 通過(guò)排氣口 113b、吸入口 113a^v而空間^皮連通。
如圖5、 6所示，吸入口 113a是長(zhǎng)條的狹縫，通過(guò)從噴射口 llla噴射 的清潔氣體吸入飛散的塵埃和周邊空氣。
如圖3、圖4(c)、圖(5)所示，排氣口 113b是用于將從吸入口 113a 吸入的氣體排氣的開(kāi)口。
除塵頭100的結(jié)構(gòu)是這樣的。
在此，說(shuō)明除塵頭主體110的制造方法。
該除塵頭主體110通過(guò)壓出成型制造。例如，將鋁等金屬材料壓入模 具內(nèi)，形成噴射室111、上游側(cè)吸入室112、下游側(cè)吸入室113、側(cè)壁115a、 115b、內(nèi)壁116a、 116b、隔壁116c、噴射室底部lllc、吸入室底部112c、 113c、頂板114成為一體的除塵頭主體110，進(jìn)行端部等的末端處理而完成。 另夕卜，壓出成型剛結(jié)束后，還沒(méi)有形成流入口 lllb、排氣口 112b、 113b(參 照?qǐng)D3、圖4(c)、圖5)、隔壁116c的通過(guò)孔116e(參照?qǐng)D4(c)、圖6(b))、 噴射口 llla和吸入口 112a、 113a。
對(duì)于這樣壓出成型的除塵頭100從箭頭F方向(參照?qǐng)D3)使鉆頭進(jìn)入， 一次進(jìn)行流入口 lllb、通過(guò)孔116e的孔的開(kāi)設(shè)。流入口 lllb、通過(guò)孔116e 直徑相同。在其他的位置進(jìn)行多次這樣的開(kāi)孔，如圖3、圖6 (b)所示， 形成多個(gè)流入口 lllb、通過(guò)孔116e。
同樣對(duì)于除塵頭100從箭頭F方向使鉆頭進(jìn)入，進(jìn)行排氣口 112b, 113 b的開(kāi)孔。在其他的位置進(jìn)行多次這樣的開(kāi)孔，如圖3所示，形成多個(gè)排氣 口 112b、 113b。
之后，以銑床等切削加工長(zhǎng)條形的狹縫即噴射口 llla、吸入口 112a、 113a而完成圖3 -圖6所示的除塵頭主體110，進(jìn)而，從噴射室111的側(cè)部 開(kāi)口插入離子發(fā)生器120,以側(cè)壁部130阻塞兩側(cè)完成除塵頭100。在該除 塵頭100中，噴射室111、上游側(cè)吸入室112、下游側(cè)吸入室113作為一體 的結(jié)構(gòu)形成。
如圖8所示，這樣的除塵頭100構(gòu)成為向著除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向(在 本實(shí)施例中為例示的/人附圖右向左的箭頭方向)，以上游側(cè)吸入室112(Vl )、 噴射室(P)、下游側(cè)吸入室113 (V2)的方式而排列，配置于搬運(yùn)部300 的上側(cè)。噴射室111 (P)成為與未圖示的吹風(fēng)泵連接的結(jié)構(gòu)，另外，上游側(cè)吸入室112 (Vl)，下游側(cè)吸入室113 (V2)成為與p及氣泵連4妄的結(jié)構(gòu)。 從噴射室111的噴射口 llla噴射的清潔氣體或吹起的塵埃與周圍的空氣一 起通過(guò)吸入口 112a, 113a吸入到上游側(cè)吸入室112、下游側(cè)吸入室113。包 含該塵埃的空氣經(jīng)由除塵頭100的排氣口 112b、 113b(參照?qǐng)D3)、排氣流 路及排氣配管向外部排氣。除塵頭100是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，如圖2、圖7所示，接受部200具有半圓柱體210、相對(duì)板220、 接受空間230、通過(guò)孔240、支承部250、側(cè)壁260。接受部200如圖1 ~ 3 所示地配置。
半圓柱體210如圖7所示，是將兩側(cè)被側(cè)壁260阻塞的圓柱體在軸向中 間切斷的形狀。內(nèi)側(cè)具有半圓形的曲面。
相對(duì)板220是普通的板體，在其中央形成通過(guò)孔240。該相對(duì)板220具 有與除塵對(duì)象10的搬運(yùn)方向大致平行的平面形的表面、背面。
接受空間230由相對(duì)板220的背面和半圓柱體210的曲面隔開(kāi)，半圓柱 體210的曲面經(jīng)由通過(guò)孔240與噴射口 llla及吸入口 112a、 113a相對(duì)，并 且是相對(duì)板220的背面、表面都位于與除塵對(duì)象10的搬運(yùn)方向大致平行的 位置的斷面弓形空間。該接受空間230與通過(guò)孔240連通。
通過(guò)孔240設(shè)置于相對(duì)板220的中央，至少比除塵頭IOO的噴射口 llla 和吸入口 112a、 113a的縱橫長(zhǎng)度大。這樣，從噴射口 llla噴射的全部清潔 氣體不吹向相對(duì)4反220而通過(guò)通過(guò)孔240。
支4義部250固定于半圓柱體210的下側(cè)。
側(cè)壁260固定于半圓柱體210的兩側(cè)面。
接受部200是這樣的結(jié)構(gòu)。
搬運(yùn)部300例如是支承、搬運(yùn)除塵對(duì)象10的長(zhǎng)桿輥。搬運(yùn)部300構(gòu)成 為傳送搬運(yùn)除塵對(duì)象10的驅(qū)動(dòng)力的結(jié)構(gòu)，或者轉(zhuǎn)動(dòng)自如地從動(dòng)于由其他的 驅(qū)動(dòng)源搬運(yùn)的除塵對(duì)象10的結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，移動(dòng)部400是使支承部250相對(duì)于箭頭a方向(上下方向)、 即相對(duì)于除塵頭100以靠近或離開(kāi)接受部200的方式移動(dòng)的裝置，例如， 是升降臺(tái)這樣的裝置。事先通過(guò)移動(dòng)部400調(diào)整上下位置使接受部200移 動(dòng)，清潔氣體被可靠地設(shè)定并固定于緩沖位置。
這樣的除塵裝置1的除塵對(duì)象10,例如是用于TFT (薄膜晶體管)液 晶面板、PDP (等離子顯示面板)、LCD (液晶顯示器)等的玻璃基板、太陽(yáng)能電池面板，或者長(zhǎng)條紙、薄膜等薄片。除塵裝置l是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，參照

除塵裝置1的除塵動(dòng)作。圖8是本形態(tài)的除塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明書(shū)，圖9是本形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖。
若清潔氣體從流入口 lllb流入，則通過(guò)離子發(fā)生器120的通過(guò)孔124。該清潔氣體中混入了從離子發(fā)生器120排出的正離子、負(fù)離子。進(jìn)而，這樣的清潔氣體通過(guò)隔壁H6c的通過(guò)孔116e，直至到達(dá)噴射口 llla，清潔氣體從噴射口 llla噴射。此時(shí)，噴射口 llla內(nèi)變?yōu)楦邏海鐖D4(c)所示，由于隔壁116c在噴射室111內(nèi)一體搭架加強(qiáng)，所以抑制噴射口 llla的擴(kuò)開(kāi)的發(fā)生。進(jìn)而，由于隔壁116c配置在與噴射口 llla側(cè)接近的位置，故進(jìn)一步抑制噴射口 llla的擴(kuò)開(kāi)的發(fā)生。
多個(gè)除塵對(duì)象10隔著規(guī)定的間隔被依次在搬運(yùn)部300之上搬運(yùn)，依次進(jìn)行除塵。此時(shí)，除塵頭100作為通常進(jìn)行清潔氣體的噴射及上游側(cè)吸入室112、下游側(cè)吸入室113塵埃的吸入的結(jié)構(gòu)。
首先如圖8所示，被除塵的除塵對(duì)象IO在除塵頭100的正下方，向搬運(yùn)方向搬運(yùn)。此時(shí)，除塵對(duì)象10的上表面成為除塵對(duì)象面。除塵頭100中，清潔氣體從噴射室111 (P)向除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象面噴射，通過(guò)在上游側(cè)吸入室112 (VI )、下游側(cè)吸入室113 (V2)中吸入飛散的塵埃，進(jìn)行除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象面的除塵。
然后，繼續(xù)這樣搬運(yùn)，如圖9所示，相鄰的兩個(gè)除塵對(duì)象IO之間的間隙到達(dá)除塵頭IOO的正下方時(shí)，來(lái)自除塵頭IOO的噴射室111 (P)的清潔氣體通過(guò)通過(guò)孔240,在接受部200的接受空間230的曲面(半圓柱體210的內(nèi)側(cè)的半圓形的曲面)接受。這樣的清潔氣體沿著曲面移動(dòng)到達(dá)相對(duì)板220的背面而轉(zhuǎn)換方向，向著通過(guò)孔240移動(dòng)。由于沿著該相對(duì)板220的背面移動(dòng)的清潔氣體與搬運(yùn)方向平行，所以是在接受空間230內(nèi)移動(dòng)的，難以越過(guò)通過(guò)孔240到達(dá)上側(cè)。這樣，上游側(cè)吸入室112 (VI )、下游側(cè)吸入室113 (V2)中清潔氣體被吸入到上側(cè)。通過(guò)使吸入量多于噴射量，可以減少向除塵對(duì)象方向的漏吹的可能性。這樣，通過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙的清潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，可保持良好的除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在噴出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以實(shí)現(xiàn)i殳備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異物混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置1是這樣的結(jié)構(gòu)。
12接著，根據(jù)

本發(fā)明的其他形態(tài)。圖IO是其他形態(tài)的除塵裝置的側(cè)面圖、圖11是其他形態(tài)的除塵裝置的剖面圖、圖12是說(shuō)明圓弧體的
制造的說(shuō)明圖、圖13是其他形態(tài)的除塵裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。另外，圖10是去掉側(cè)壁部后的圖。除塵裝置2具有除塵頭100、接受部500、搬運(yùn)部300、移動(dòng)部400。除塵裝置2對(duì)除塵對(duì)象IO繼續(xù)除塵。與之前用圖1 圖9所說(shuō)明的除塵裝置1比較，本形態(tài)的除塵裝置2除了僅接受部500的結(jié)構(gòu)不同外其他的結(jié)構(gòu)相同，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)使用相同的符號(hào)并且省略說(shuō)明，僅對(duì)接受部500進(jìn)行說(shuō)明。
接受部500如圖10-11所示，具有圓弧體510、支承部520。
圓弧體510是圓弧形的部件，具有曲面形的接受面。另夕卜，雖然未圖示，也可以在兩側(cè)面(圖10中正面的面和內(nèi)側(cè)的面)安裝側(cè)壁部4吏清潔氣體在兩側(cè)部不流動(dòng)。圓弧體510在圖的垂直方向較長(zhǎng)形成，特別是考慮到使其比噴射口 llla、吸入口 112a、 113a長(zhǎng)，可可靠地接受清潔氣體。圓弧體510如圖12所示是將圓柱體三等分而形成的。
支承部520如圖10所示固定于圓弧體510的下側(cè)，通過(guò)移動(dòng)部400，圓弧體510向箭頭a方向(接近或者遠(yuǎn)離除塵頭主體110)使圓弧體510移動(dòng)。接受部500是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，對(duì)于除塵裝置2的除塵動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
從離子發(fā)生器120排出的包含正離子、負(fù)離子的清潔氣體從除塵裝置主體110向除塵對(duì)象10噴射。除塵裝置10的除塵是與用圖8說(shuō)明的相同的處理，省略重復(fù)的說(shuō)明。
并且，如圖13所示，鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙到達(dá)除塵頭100的正下方時(shí)，在接受部500的圓弧體510的接受面(圓弧體510的內(nèi)側(cè)的弧形的曲面)接受來(lái)自除塵頭IOO的噴射室111 (P)的清潔氣體。這樣的清潔氣體沿曲面形的接受面移動(dòng)，清潔氣體被上游側(cè)吸入室112 ( VI )、下游側(cè)吸入室113 (V2)向上側(cè)吸入。通過(guò)4吏吸入量多于噴射量，可以降低向除塵對(duì)象方向吹漏的可能性。由此，通過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙的清潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，良好地保持除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在噴出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異物混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置2是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的其他形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖14是其他形態(tài)的除塵裝置的側(cè)面圖、圖15是其他形態(tài)的除塵裝置的動(dòng)作說(shuō)明圖。除塵裝置3具有除塵頭100、接受部600、搬運(yùn)部300、移動(dòng)部400。除塵裝置3對(duì)除塵對(duì)象10進(jìn)行除塵。與之前用圖1~圖9所說(shuō)明的除塵裝置1比較，本形態(tài)的除塵裝置3除了僅接受部600的結(jié)構(gòu)不同外，其他的結(jié)構(gòu)相同，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)使用相同的符號(hào)并且省略重復(fù)說(shuō)明，僅對(duì)接受部600進(jìn)行說(shuō)明。
接受部600如圖14、圖15所示，具有箱體610、支承部620。
箱體610是箱形的部件，具有平面形的接受面。箱體610設(shè)置有側(cè)壁部使清潔氣體不從橫側(cè)流出。箱體610在圖的垂直方向較長(zhǎng)地形成，特別是考慮到使其比噴射口 llla、吸入口 112a、 113a長(zhǎng)，可可靠地接受清潔氣體。
支承部620固定于箱體610的下側(cè)，通過(guò)移動(dòng)部400，使箱體610向箭頭a方向(接近或者遠(yuǎn)離除塵頭主體IIO)移動(dòng)。接受部600是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，對(duì)于除塵裝置3的除塵動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
從離子發(fā)生器120排出的包含正離子、負(fù)離子的清潔氣體從除塵裝置主體110向除塵對(duì)象10噴射。除塵裝置10的除塵是與用圖8說(shuō)明的相同的處理，省略重復(fù)說(shuō)明。
并且，如圖15所示，鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙到達(dá)除塵頭100的正下方時(shí)，在接受部600的箱體610的接受面接受來(lái)自除塵頭100的噴射室111 (P)的清潔氣體。這樣的清潔氣體沿接受面移動(dòng)，最后沿側(cè)壁向上側(cè)移動(dòng)，清潔氣體凈皮上游側(cè)吸入室112 (Vl)、下游側(cè)吸入室113 (V2)向上側(cè)吸入。通過(guò)使吸入量多于噴射量，可以降低向除塵對(duì)象方向吹漏的可能性。由此，通過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的伺隙的清潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，保持良好的除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在噴出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異物混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置3是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的其他形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖16是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖、圖17是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖。另外，圖16、圖17中以剖面圖進(jìn)行圖示，省略側(cè)壁部的圖示。除塵裝置4具有除塵頭140、接受部200、 4般運(yùn)部300、移動(dòng)部400。除塵裝置4對(duì)除塵對(duì)象IO進(jìn)行除塵。與之前用圖1-圖9所說(shuō)明的除塵裝置1比較，本形態(tài)的除塵裝置4除了僅除塵頭140的結(jié)構(gòu)不同外，其他的結(jié)構(gòu)相同，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)使用相同的符號(hào)并且省略說(shuō)明，僅對(duì)除塵
14頭140進(jìn)行it明。
如圖16所示，這樣的除塵頭主體140構(gòu)成為向著除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向(在本實(shí)施例中為例示的從附圖右向左的箭頭方向)，以上游側(cè)噴射室142(Pl)、吸入室141 (V)、下游側(cè)噴射室143 (P2)的方式排列的結(jié)構(gòu)，配置于搬運(yùn)部300的上側(cè)。吸入室141 (V)成為與未圖示的吸氣泵連接的結(jié)構(gòu)，另外，上游側(cè)噴射室142 (Pl)，下游側(cè)噴射室143 (P2)成為與未圖示的吹風(fēng)泵連接的結(jié)構(gòu)。從上游側(cè)噴射室142及下游側(cè)噴射室143的噴射口 142a、 143a噴射的清潔氣體或吹起的塵埃與周圍的空氣一起通過(guò)吸入口141a吸入到吸入室141。包含該塵埃的空氣經(jīng)由除塵頭140的排氣口、排氣流路及排氣配管向外部排氣。除塵頭140是這樣的結(jié)構(gòu)。接著，對(duì)于除塵裝置4的除塵動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
在上游側(cè)噴射室142清潔氣體從流入口流入，清潔氣體和從離子發(fā)生器120排出的正離子、負(fù)離子從噴射口 142噴射。同樣，在下游側(cè)噴射室143清潔氣體從流入口流入，清潔氣體和從離子發(fā)生器120排出的正離子、負(fù)離子從噴射口 143a噴射。
多個(gè)除塵對(duì)象10隔著規(guī)定的間隔被依次在搬運(yùn)部300之上搬運(yùn)，依次進(jìn)行除塵。此時(shí)，除塵頭140作為通常進(jìn)行上游側(cè)噴射室142 (Pl )及下游側(cè)噴射室143 (P2)的清潔氣體的噴射及吸入室141 (V)的吸入塵埃的結(jié)構(gòu)。
首先如圖16所示，被除塵的除塵對(duì)象IO從除塵頭140的正下方，向搬運(yùn)方向搬運(yùn)。此時(shí)，除塵對(duì)象10的上表面成為除塵對(duì)象面。除塵頭140中，清潔氣體從上游側(cè)噴射室142 (Pl)及下游側(cè)噴射室143 (P2)向除塵對(duì)象IO的除塵對(duì)象面噴射，通過(guò)由吸入室141 (V)吸入飛散的塵埃進(jìn)行對(duì)除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象面的除塵。
然后，繼續(xù)這樣搬運(yùn)，如圖17所示，相鄰的兩個(gè)除塵對(duì)象IO之間的間隙到達(dá)除塵頭140的正下方時(shí)，來(lái)自除塵頭140的上游側(cè)噴射室142 (Pl)及下游側(cè)噴射室143 (P2)的清潔氣體通過(guò)通過(guò)孔240，在接受部200的接受空間230的曲面(半圓柱體210的內(nèi)側(cè)的半圓形的曲面)接受。這樣的清潔氣體沿著曲面移動(dòng)，或者到達(dá)相對(duì)板220的背面轉(zhuǎn)換方向向著通過(guò)孔240移動(dòng)。但是，由于來(lái)自上游側(cè)噴射室i42 ( Pl )及下游側(cè)噴射室143 ( P2 )的噴射流，流路一旦下降后取從中央上升的通路，清潔氣體被吸入室141(V)向上側(cè)吸入。由于使吸入量多于噴射量，可以減少向除塵對(duì)象方向的 漏吹。另外，兩側(cè)的噴射流也能夠降低向除塵對(duì)象方向的漏吹。這樣，通
過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙的清潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，保
持良好的除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在噴出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以
實(shí)現(xiàn)設(shè)備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異物混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置4 是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的其他形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖18是其他形態(tài)的除 塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖、圖19是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴 射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖。另外，圖18、圖19中以剖面圖進(jìn)行圖示，省略側(cè)壁部 的圖示。除塵裝置5具有除塵頭150、接受部200、搬運(yùn)部300、移動(dòng)部400。 除塵裝置5對(duì)除塵對(duì)象10進(jìn)行除塵。與之前用圖1 圖9所說(shuō)明的除塵裝 置1比較，本形態(tài)的除塵裝置5除了僅除塵頭150的結(jié)構(gòu)不同外其他的結(jié) 構(gòu)相同，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)使用相同的符號(hào)并且省略說(shuō)明，僅對(duì)除塵頭150 進(jìn)行說(shuō)明。
如圖18所示，這樣的除塵頭150構(gòu)成為向著除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向(在 本實(shí)施例中為例示的從附圖右向左的箭頭方向)，排列有上游側(cè)噴射室151 (P)、下游側(cè)吸入室152 (V)的結(jié)構(gòu)，該除塵頭150配置于搬運(yùn)部300的 上側(cè)。上游側(cè)噴射室151 (P)成為與未圖示的吹風(fēng)泵連接的結(jié)構(gòu)，另外， 下游側(cè)吸入室152 (V)成為與吸氣泵連接的結(jié)構(gòu)。從噴射口 151a噴射的清 潔氣體或吹起的塵埃與周圍的空氣一起，通過(guò)吸入口 152吸入到下游側(cè)吸 入室152。包含該塵埃的空氣經(jīng)由除塵頭150的排氣口、排氣流路及排氣配 管向外部排氣。除塵頭150是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，對(duì)于除塵裝置5的除塵動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
在上游側(cè)噴射室151中清潔氣體從流入口流入，清潔氣體和從離子發(fā)生 器120排出的正離子、負(fù)離子從噴射口 151a噴射。
多個(gè)除塵對(duì)象10隔著規(guī)定的間隔依次被纟般運(yùn)到在纟般運(yùn)部300之上，依 次進(jìn)行除塵。此時(shí)，除塵頭150作為通常進(jìn)行上游側(cè)噴射室151 (P)的清 潔氣體的噴射、及下游側(cè)吸入室152 (V)的吸入塵埃的結(jié)構(gòu)。
首先如圖18所示，被除塵的除塵對(duì)象10從除塵頭150的正下方，向搬 運(yùn)方向3般運(yùn)。此時(shí)，除塵對(duì)象10的上表面成為除塵對(duì)象面。除塵頭150中， 清潔氣體從上游側(cè)噴射室151 (P)向除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象面噴射，通過(guò)在下游側(cè)吸入室152 (V)中吸入飛散的塵埃進(jìn)行除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象 面的除塵。
然后，繼續(xù)這樣搬運(yùn)，如圖19所示，相鄰的兩個(gè)除塵對(duì)象IO之間的間 隙到達(dá)除塵頭150的正下方時(shí)，來(lái)自除塵頭150的上游側(cè)噴射室151 (P) 的清潔氣體通過(guò)通過(guò)孔240，在接受部200的接受空間230的曲面(半圓柱 體210的內(nèi)側(cè)的半圓形的曲面)接受。這樣的清潔氣體沿著曲面移動(dòng)，或 者到達(dá)相對(duì)板220的背面而轉(zhuǎn)換方向，向著通過(guò)孔240移動(dòng)，清潔氣體被 下游側(cè)吸入室152 (V)向上側(cè)吸入。通過(guò)^f吏吸入量多于噴射量，可以減少 向除塵對(duì)象方向的漏吹。這樣，通過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙的清 潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，可保持良好的除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在噴 出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異物 混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置5是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的其他形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。圖20是其他形態(tài)的除 塵裝置除塵時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖、圖21是其他形態(tài)的除塵裝置的除塵對(duì)象間噴 射時(shí)的動(dòng)作說(shuō)明圖。另外，圖20、圖21中以剖面圖進(jìn)行圖示，省略側(cè)壁部 的圖示。除塵裝置6具有除塵頭160、接受部200、搬運(yùn)部300、移動(dòng)部400。 除塵裝置6對(duì)除塵對(duì)象IO進(jìn)行除塵。與之前用圖1~圖9所說(shuō)明的除塵裝 置1比較，本形態(tài)的除塵裝置6除了僅除塵頭160的結(jié)構(gòu)不同外，其他的 結(jié)構(gòu)相同，對(duì)于相同的結(jié)構(gòu)使用相同的符號(hào)并且省略說(shuō)明，僅對(duì)除塵頭160 進(jìn)行說(shuō)明。
如圖20所示，這樣的除塵頭160構(gòu)成為向著除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向(在 本實(shí)施例中為例示的^Mv附圖右向左的箭頭方向)，排列有上游側(cè)吸入室161 (V)、下游側(cè)吸入室噴射室162 (P)的結(jié)構(gòu)，該除塵頭160配置于搬運(yùn)部 300的上側(cè)。上游側(cè)吸入室161 (V)成為與未圖示的吸氣泵連接的結(jié)構(gòu)， 另外，下游側(cè)噴射室162 (P)成為與吹風(fēng)泵連接的結(jié)構(gòu)。從噴射口 162a噴 射的清潔氣體或吹起的塵埃與周圍的空氣一起通過(guò)吸入口 161 a吸入到上游 側(cè)吸入室161。包含該塵埃的空氣經(jīng)由除塵頭160的排氣口、排氣流路及排 氣配管向外部排氣。除塵頭160是這樣的結(jié)構(gòu)。
接著，對(duì)于除塵裝置6的除塵動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
在下游側(cè)噴射室162中清潔氣體從流入口流入，清潔氣體和從離子發(fā)生 器120排出的正離子、負(fù)離子從噴射口 162a噴射。多個(gè)除塵對(duì)象10隔著規(guī)定的間隔依次在搬運(yùn)部300之上搬運(yùn)，依次進(jìn)
行除塵。此時(shí)，除塵頭160作為通常進(jìn)行下游側(cè)噴射室162 (P)的清潔氣 體的噴射及上游側(cè)吸入室161 (V)的吸入塵埃的結(jié)構(gòu)。
首先如圖20所示，被除塵的除塵對(duì)象IO從除塵頭160的正下方向搬運(yùn) 方向搬運(yùn)。此時(shí)，除塵對(duì)象10的上表面成為除塵對(duì)象面。除塵頭160中， 清潔氣體從下游側(cè)噴射室162 (P)向除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象面噴射，通過(guò) 由上游側(cè)吸入室161 (V)吸入飛散的塵埃，進(jìn)行除塵對(duì)象10的除塵對(duì)象 面的除塵。
然后，繼續(xù)這樣搬運(yùn)，如圖21所示，相鄰的兩個(gè)除塵對(duì)象IO之間的間 隙到達(dá)除塵頭160的正下方時(shí)，來(lái)自除塵頭160的下游側(cè)噴射室162 (P) 的清潔氣體通過(guò)通過(guò)孔240，在接受部200的接受空間230的曲面(半圓柱 體210的內(nèi)側(cè)的半圓形的曲面)接受。這樣的清潔氣體沿著曲面230移動(dòng)， 或者到達(dá)相對(duì)板220的背面而轉(zhuǎn)換方向，向著通過(guò)孔240移動(dòng)，清潔氣體 被上游側(cè)吸入室161 (V)向上側(cè)吸入。通過(guò)使吸入量多于噴射量，可以減 少向除塵對(duì)象方向的漏吹。這樣，通過(guò)鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象10間的間隙的 清潔氣體不會(huì)使無(wú)用的塵埃飛散，可保持良好的除塵環(huán)境。進(jìn)而，可以在 噴出清潔氣體的狀態(tài)下連續(xù)除塵，可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的簡(jiǎn)化或減少不必要的異 物混入的可能性。本形態(tài)的除塵裝置6是這樣的結(jié)構(gòu)。
另外，進(jìn)一步的變形形態(tài)也是可以的，例如，也可相對(duì)于圖16、圖17 中說(shuō)明的除塵裝置140、圖18、圖19中說(shuō)明的除塵頭150、圖20、圖21 中說(shuō)明的除塵頭160,使圖10、圖11說(shuō)明的接受部500相對(duì)的除塵裝置。 作為一例，參照附圖對(duì)于使圖10，圖11說(shuō)明的接受部500相對(duì)于圖16、 圖17中說(shuō)明的除塵頭140而相對(duì)的除塵裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖22是其他形態(tài) 的除塵裝置的說(shuō)明圖。即使向這樣的圓弧體510從噴射口 142a、 143噴射清 潔氣體，也可以接受清潔氣體，從吸入口 141a吸入，作為本發(fā)明的除塵裝 置7起作用。
另外，相對(duì)于圖18、圖19說(shuō)明的除塵頭150，使以圖10、圖11說(shuō)明 的接受部500相對(duì)的除塵裝置，或相對(duì)于圖20、圖21說(shuō)明的除塵頭160, 使以圖10、圖11說(shuō)明的接受部500相對(duì)的除塵裝置，也同樣起作用，也可 以為作為這樣的除塵裝置。
另外，也可以是進(jìn)一步的變形形態(tài)，例如，也可以是相對(duì)于圖16、圖17中說(shuō)明的具有兩個(gè)噴射口 142a、 143a的除塵頭140，使兩個(gè)圓弧體的接 受部相對(duì)的除塵裝置。圖23是其他形態(tài)的除塵裝置的說(shuō)明圖。第一支承部 530、第一圓弧體540構(gòu)成的接受部構(gòu)成為可通過(guò)第一移動(dòng)部410向箭頭b 方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，第一圓弧體540配置在噴射口 142a的下側(cè)。同樣，第二 支承部550、第二圓弧體560構(gòu)成的接受部構(gòu)成為可通過(guò)第二移動(dòng)部420向 箭頭c方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，第二圓弧體560配置在噴射口 143a的下側(cè)。即使 從噴射口 i42a、 143a向這樣的第一圓弧體540、第二圓弧體560噴射清潔 氣體，也可以接受清潔氣體，來(lái)從吸入口 141a吸入，起到本發(fā)明的除塵裝 置8的作用。也可以作為這樣的除塵裝置8。
以上說(shuō)明的本形態(tài)的除塵裝置1~8中，可以作進(jìn)一步的各種變形，例 如，在沖妻受部200、 500、 600的下側(cè)連通吸入管，使流入接受空間的清潔 氣體通過(guò)吸入管以排氣泵排氣到其他的位置，或者也可以在不影響除塵的 位置配置吸入管的另一端，直接就這樣排出氣體。
進(jìn)而，也可以是除去除塵頭110、 140、 150、 160的離子發(fā)生器120的 形態(tài)，取代除塵頭IIO、 140、 150、 160的離子發(fā)生器而搭載超聲波振蕩器 的形態(tài)，在除塵頭110、 140、 150、 160的離子發(fā)生器120上也加上超聲波 振蕩器的形態(tài)。這樣的形態(tài)本發(fā)明也可實(shí)施。
19
權(quán)利要求
1.一種除塵裝置，其特征在于，具有分別至少具備各一個(gè)具有吸入口的吸入室和具有噴射口的噴射室的除塵頭，向除塵頭內(nèi)依次搬運(yùn)多個(gè)除塵對(duì)象的搬運(yùn)部，與除塵頭相對(duì)配置、接受從噴射室的噴射口噴射的清潔氣體并改變方向的接受部；從噴射室的噴射口向除塵對(duì)象噴射清潔氣體時(shí)的吸入室，從其吸入口吸入從除塵對(duì)象折返的清潔氣體，另外，從噴射室的噴射口朝向鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象間的間隙噴射清潔氣體時(shí)的吸入室，從其吸入口吸入在接受部轉(zhuǎn)換方向的清潔氣體。
2. 如權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于，所述接受部包括清潔氣體通過(guò)的通過(guò)孔和接受空間，該接受空間為由平面和曲面隔開(kāi)、且與通過(guò)孔連通的剖面弓形空間，曲面與吸入口或噴射口相對(duì)并且平面位于與除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向大致平行的位置；在接受空間的曲面接受從噴射室的噴射口噴射并通過(guò)通過(guò)孔的清潔氣體后，使該清潔氣體在接受空間的平面轉(zhuǎn)換方向，從吸入室的吸入口吸入。
3. 如權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于，具有具有與除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向大致平行的表面的相對(duì)板；形成于相對(duì)4反、與噴射口和吸入口面對(duì)的通過(guò)孔；固定于相對(duì)板的半圓柱體；由相對(duì)板的平面和半圓柱體的曲面隔開(kāi)，半圓柱體的曲面與吸入口或噴^j"口相對(duì)，并且相對(duì)板的平面位于與除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向大致平行的位置的剖面弓形空間、即與通過(guò)孔連通的接受空間；在接受空間接受從噴射室的噴射口噴射并通過(guò)通過(guò)孔的清潔氣體后，使該清潔氣體在接受空間的平面轉(zhuǎn)換方向，從吸入室的吸入口吸入。
4. 如權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于，所述接受部具備具有與噴射口和吸入口面對(duì)的曲面形的接受面的圓弧體，從吸入室的吸入口吸入在圓弧體的接受面轉(zhuǎn)換了方向的清潔氣體。
5. 如權(quán)利要求1所述的除塵裝置，其特征在于，所述接受部具備具有與噴射口和吸入口面對(duì)的平面形的4妻受面的箱體，從吸入室的吸入口吸入在箱體的接受面轉(zhuǎn)換方向的清潔氣體。
6. 如權(quán)利要求1 ~5中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配置噴射室和夾著該噴射室的上游、下游吸入室。
7. 如權(quán)利要求1 ~5中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配置吸入室和夾著該吸入室的上游、下游噴射室。
8. 如權(quán)利要求1 ~5中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配置上游噴射室和下游吸入室。
9. 如權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，所述除塵頭沿除塵對(duì)象的搬運(yùn)方向排列配置上游吸入室和下游噴射室。
10. 如權(quán)利要求1 ~9中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，具有配置在噴射室內(nèi)、在施加了高電壓的發(fā)射極附近生成離子的離子發(fā)生器，從噴射室的噴射口噴射包含離子的清潔氣體。
11. 如權(quán)利要求1 ~ 10中任一項(xiàng)所述的除塵裝置，其特征在于，具有使所述接受部相對(duì)于除塵頭離開(kāi)、接近的移動(dòng)部。
12. 如權(quán)利要求11所述的除塵裝置，其特征在于，將所述接受部及所述移動(dòng)部作為一組，設(shè)置與多個(gè)噴射部數(shù)量相等的組數(shù)的所述接受部和所述移動(dòng)部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種除塵裝置，該除塵裝置僅在除塵對(duì)象的一側(cè)除塵，通過(guò)增加與除塵頭相對(duì)的、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的接受部，改變通過(guò)鄰接的除塵對(duì)象間的間隙的來(lái)自噴射室的清潔氣體的流動(dòng)方向后由吸入室吸入來(lái)減低不必要的塵埃飛散。該除塵裝置(1)具有與除塵頭(100)相對(duì)配置、接受從噴射室(111)的噴射口(111a)噴射的清潔氣體而轉(zhuǎn)換方向的接受部(200)，從噴射室(111)的噴射口(111a)朝向鄰接的兩個(gè)除塵對(duì)象(10)間的間隙噴射清潔氣體，將在接受部(200)轉(zhuǎn)換方向的清潔氣體從上游側(cè)吸入室(112)的吸入口(112a)及下游側(cè)吸入室(113)的吸入口(113a)吸入。
文檔編號(hào)B08B5/00GK101664744SQ20081018672
公開(kāi)日2010年3月10日 申請(qǐng)日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月4日
發(fā)明者管野盛利 申請(qǐng)人:修谷魯電子機(jī)器股份有限公司