專利名稱：狹縫噴嘴前端的調(diào)整裝置和調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及調(diào)整狹縫噴嘴前端的調(diào)整裝置和調(diào)整方法。
背景技術(shù)：
以前，為了在半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等板狀被處理物表面上涂敷抗蝕液等，從噴嘴向放置在旋轉(zhuǎn)器上的被處理物中心部滴涂敷液，通過(guò)旋轉(zhuǎn)器使被處理物旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力使涂敷液向外方擴(kuò)散，但是在該方法中被處理物表面殘留的涂敷液很少，幾乎全部飛散了，被浪費(fèi)了。因此，考慮代替旋轉(zhuǎn)器涂敷，使噴嘴自身開(kāi)有所定寬度的涂敷液噴出口，通過(guò)移動(dòng)噴嘴在被處理物表面涂敷所定寬度的涂敷液。
如果使用如上所述具有所定寬度的涂敷液噴出口的狹縫噴嘴，雖然不發(fā)生涂敷液浪費(fèi)，而且能夠高效地涂敷，但是變寬部分噴嘴前端周邊部分涂敷液蔓延量多，如果干燥成為產(chǎn)生異物的原因。因此，必須通過(guò)在涂敷之后清洗把噴嘴前端和它周邊的涂敷液除去。
因此，記載有如下清洗裝置，是清洗開(kāi)有所定寬度的涂敷液噴出口的狹縫噴嘴的裝置，設(shè)計(jì)有噴嘴放置臺(tái)，上面形成有與狹縫噴嘴的寬度大致相等的清洗部，所述清洗部上開(kāi)有與清洗液供給源連接的狹縫和與吸引裝置連接的排氣孔，從狹縫供給的清洗液溶解附著在噴嘴前端和它周邊部分的涂敷液和及其干燥物等，而且把溶解涂敷液成分的清洗液從排氣孔排出(參見(jiàn)專利文獻(xiàn)1的第2頁(yè)～第3頁(yè)和圖3)。
而且，記載有如下狹縫噴嘴清洗裝置，同時(shí)設(shè)置狹縫噴嘴的清洗部和清洗液的蓄留部，在把狹縫噴嘴放置在清洗部狀態(tài)下實(shí)質(zhì)上形成密閉空間，而且，使氣體供給管和清洗液供給管鄰近清洗部的長(zhǎng)度方向一端，氣體排出管鄰近另一端，從氣體供給管供給的氣體從氣體排出管排出，在清洗部?jī)?nèi)部形成氣流，來(lái)自清洗液供給管的清洗液順著所述氣流飛濺到狹縫噴嘴的表面，清洗狹縫噴嘴(參加專利文獻(xiàn)2的第2頁(yè)～第3頁(yè)和圖1)。
而且，記載有如下噴嘴清洗裝置，在放置狹縫噴嘴狀態(tài)下實(shí)質(zhì)上形成密閉空間的清洗部?jī)?nèi)，沿著長(zhǎng)度方向形成有多個(gè)清洗液噴出口，對(duì)著所述狹縫噴嘴前端，而且，使各個(gè)狹縫噴嘴的清洗液噴出口方向與垂直于狹縫噴嘴的方向具有一定角度(65°-75°)角度(參見(jiàn)專利文獻(xiàn)3的第3頁(yè)～第4頁(yè)和圖2)。
專利文獻(xiàn)13381216號(hào)專利公報(bào)專利文獻(xiàn)2平10-308338號(hào)發(fā)明專利公報(bào)專利文獻(xiàn)32000-288488號(hào)專利公報(bào)因此，上述3381216號(hào)專利公報(bào)、平10-308338號(hào)發(fā)明專利公報(bào)和2000-288488號(hào)專利公報(bào)公開(kāi)的噴嘴清洗裝置全部是一邊對(duì)著噴嘴前端供給清洗液一邊流動(dòng)清洗。在這種情況下存在的問(wèn)題是不能均勻清洗噴嘴前端，同時(shí)需要大量清洗液。
而且，上述噴嘴清洗裝置中，清洗完的噴嘴需要用設(shè)置在其他地方的干燥器干燥，在整個(gè)裝置緊湊性方面存在問(wèn)題。
除了清洗液流動(dòng)清洗的形式之外，考慮把噴嘴前端浸漬在清洗液中的形式?？墒窃诮n式情況下，在浸漬時(shí)清洗液從狹縫噴嘴的開(kāi)口部浸入，涂敷液被稀釋，最初液珠擴(kuò)展時(shí)不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問(wèn)題提出的，目的是提供一種狹縫噴嘴調(diào)整裝置和使用所述調(diào)整裝置的狹縫噴嘴調(diào)整方法，不發(fā)生狹縫噴嘴前端清洗不均勻，而且能夠節(jié)約清洗液，結(jié)構(gòu)緊湊。
解決上述課題的本發(fā)明的狹縫噴嘴的調(diào)整裝置由干燥噴嘴的干燥部、清洗狹縫噴嘴的浸漬式清洗部和調(diào)整狹縫噴嘴噴出口的預(yù)混合部構(gòu)成，而且上述干燥部和上述預(yù)混合部鄰近上述浸漬式清洗部設(shè)計(jì)，而且設(shè)置在同一個(gè)裝置上。
這樣，由于鄰近浸漬式清洗部具有干燥部和預(yù)混合部，清洗后的狹縫噴嘴前端被物理干燥，能夠縮短到開(kāi)始涂敷之前的時(shí)間，能夠迅速且有效地調(diào)整狹縫噴嘴的前端。
浸漬式清洗狹縫噴嘴能夠減少清洗液的使用量，清洗效果好，清洗后的噴嘴前端如果不容易干燥，則到開(kāi)始涂敷之前需要過(guò)長(zhǎng)時(shí)間，因此本發(fā)明鄰近浸漬式清洗部設(shè)計(jì)有干燥部。
本發(fā)明能夠在清洗狹縫噴嘴之后馬上干燥，進(jìn)行預(yù)混合，排出噴嘴前端被稀釋的涂敷液，在開(kāi)始涂敷時(shí)形成均勻的涂敷液珠。不限于浸漬式，雖然在清洗噴嘴前端時(shí)不能防止從開(kāi)口部浸入清洗液，但是通過(guò)上述結(jié)構(gòu)，能夠獲得均勻的涂敷液珠。
而且，上述浸漬式清洗部在超過(guò)一定時(shí)間不使用狹縫噴嘴時(shí)，能夠保持浸漬狹縫噴嘴的前端，兼作干燥防止部，不需要特別設(shè)計(jì)干燥防止部，實(shí)現(xiàn)了節(jié)約空間的效果。
而且，供給上述浸漬式清洗部的清洗液如果超過(guò)一定量，就流出到鄰近的預(yù)混合部，不浪費(fèi)清洗液，可以再利用。
而且，上述干燥部雖然吹送N2氣體干燥狹縫噴嘴的前端，但是可以根據(jù)需要向狹縫噴嘴的前端吹送清洗液進(jìn)行清洗，切換為清洗部。
而且，上述預(yù)混合部不僅具有從浸漬式清洗部溢出的清洗液，而且在預(yù)混合部設(shè)置有與循環(huán)路徑相連的排出口和返回口，使預(yù)混合部?jī)?nèi)的清洗液通過(guò)循環(huán)用過(guò)濾器進(jìn)行循環(huán)，長(zhǎng)久保持清洗液，減少使用量。而且，預(yù)混合部設(shè)計(jì)有從供給箱供給新清洗液的供給口。
而且，最好能夠通過(guò)上述浸漬式清洗部上開(kāi)口的排出口和預(yù)混合部上開(kāi)口的排出口的升降調(diào)整液面？。
而且，通常每次向浸漬式清洗部供給少量新的清洗液，不斷補(bǔ)充清洗液，因此浸漬式清洗部保持一定程度的清潔度。雖然在預(yù)混合部清洗蒸濺輥，但是也可以并用蒸濺輥之外的其他物理手段(例如刮漿板)，因此清洗液不必達(dá)到浸漬式清洗部的清潔度。雖然在涂敷處理之前必須對(duì)被處理物進(jìn)行預(yù)混合，但是噴嘴前端可以在處理多個(gè)之后或者經(jīng)過(guò)一定時(shí)間之后進(jìn)行清洗。
而且，使用上述狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置的狹縫噴嘴前端調(diào)整方法中，上述狹縫噴嘴最好在向被處理物供給涂敷液之前通過(guò)預(yù)混合部調(diào)整狹縫噴嘴前端。
而且，最好上述狹縫噴嘴經(jīng)過(guò)多次處理之后或者一定時(shí)間之后，在浸漬式清洗部清洗狹縫噴嘴的前端，然后在干燥部干燥狹縫噴嘴前端，最后在預(yù)混合部調(diào)整狹縫噴嘴前端。
發(fā)明的技術(shù)效果如下如上所述，根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)具有鄰近浸漬式清洗部的干燥部和預(yù)混合部，使清洗后的狹縫噴嘴前端物理干燥，使涂敷開(kāi)始之前的時(shí)間縮短，因此能夠迅速而且有效地調(diào)整狹縫噴嘴的前端。
而且，在狹縫噴嘴清洗之后預(yù)混合，排出狹縫噴嘴前端被稀釋的涂敷液，能夠在開(kāi)始涂敷時(shí)形成均勻的涂敷液珠。
而且，在超過(guò)一定時(shí)間不使用狹縫噴嘴時(shí)浸漬式清洗部兼作保持浸漬狹縫噴嘴前端的干燥防止部，不需要特別設(shè)置干燥防止部，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省空間的效果。
而且，如果供給浸漬式清洗部的清洗液超過(guò)一定量就流到鄰近的預(yù)混合部，不浪費(fèi)清洗液，實(shí)現(xiàn)再利用。
而且，干燥部吹送N2氣干燥狹縫噴嘴的前端，能夠根據(jù)需要向狹縫噴嘴的前端吹送清洗液進(jìn)行清洗，切換為清洗部。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)圖；圖2是圖1中的a-a截面圖中預(yù)混合部的布管圖；圖3中(a)是圖2中的b-b截面圖，(b)是圖2中的c-c截面圖；圖4是圖1中的d-d截面圖中的清洗部的布管圖；圖5中(a)是預(yù)混合部的其他實(shí)施例，(b)是(a)中的e-e截面圖。
符號(hào)說(shuō)明1調(diào)整裝置 2浸漬式清洗部(兼作干燥防止部) 3預(yù)混合部4用于循環(huán)液的過(guò)濾器 5溢出部 6蒸濺輥 7刮漿板 8干燥器9干燥氣體供給管(兼作清洗液供給管) 10排氣部 (A)浸漬式清洗部上的清洗液供給口 (B)清洗液排出口 (C)預(yù)混合部上的清洗液供給口 (D)清洗液排出口 (E)循環(huán)路徑上的排出口 (F)從循環(huán)路徑返回的口 (G)從預(yù)混合部到費(fèi)液箱的排出口具體實(shí)施方式
下面根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施例。其中，圖1是根據(jù)本發(fā)明的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)圖，圖2是圖1中的預(yù)混合部的布管圖，圖3中(a)和(b)分別是圖2中的b-b截面圖和c-c截面圖，圖4是圖1中的d-d截面圖中的清洗部的布管圖，圖5中(a)是預(yù)混合部的其他實(shí)施例，(b)是(a)中的e-e截面圖。
如圖1所示，狹縫噴嘴前端的調(diào)整裝置1的中間設(shè)置有浸漬式清洗部2，所述浸漬式清洗部的底面設(shè)置有供給清洗液的供給口(A)和能夠調(diào)節(jié)清洗液液面的排出口(B)(參照?qǐng)D3)。
而且，在調(diào)整裝置1中設(shè)置有鄰近浸漬式清洗部2的預(yù)混合部3。所述預(yù)混合部3的底面設(shè)計(jì)有供給新清洗液的供給口(C)和排出其費(fèi)液的排出口(D)；設(shè)計(jì)有使清洗液循環(huán)的排出口(E)和使通過(guò)用于循環(huán)液的過(guò)濾器4凈化的清洗液返回的返回口(F)(參照?qǐng)D3)，而且設(shè)計(jì)有能夠調(diào)整清洗液液面的排出口(G)(調(diào)整排出口的高度實(shí)現(xiàn)液面調(diào)整)。
而且，在浸漬式清洗部2和預(yù)混合部3之間設(shè)計(jì)有溢出部5，從浸漬式清洗部2溢出的清洗液流入預(yù)混合部3再利用。
而且，預(yù)混合部3中設(shè)置有蒸濺輥6，而且還設(shè)計(jì)有物理清洗所述蒸濺輥6的刮漿板7。
而且，調(diào)整裝置1中在浸漬式清洗部2附近設(shè)計(jì)有干燥狹縫噴嘴的干燥部8。所述干燥部8在兩側(cè)設(shè)計(jì)有干燥氣體供給管9，在下方設(shè)計(jì)有排氣部10。
如圖4所示，浸漬式清洗部2上開(kāi)有通常以20cc/min流量供給新清洗液的供給口(A)，開(kāi)有把費(fèi)液排出到費(fèi)液箱的排出口(B)。所述排出口(B)具有通過(guò)升降調(diào)整液面的功能，不僅用于調(diào)整液面，而且在通過(guò)浸漬式清洗部2完成狹縫噴嘴的清洗之后排出全部清洗液，把漂浮在液面的異物排出。
而且，如圖2所示，預(yù)混合部3的底面開(kāi)有從圖中未示出的供給箱供給新清洗液的供給口(C)和全部排出預(yù)混合部3內(nèi)的清洗液的排出口(D)。從浸漬式清洗部2經(jīng)過(guò)溢出部5溢出的清洗液流入預(yù)混合部3，被再利用。而且，預(yù)混合部3的底部設(shè)置有清洗液循環(huán)路徑，從所述循環(huán)路徑上的排出口(E)排出的清洗液通過(guò)用于循環(huán)液的過(guò)濾器4過(guò)濾異物，再供給返回口(F)。因此，清洗液通過(guò)用于循環(huán)液的過(guò)濾器4能夠延長(zhǎng)清洗液的使用期間。而且，預(yù)混合部3的底面設(shè)計(jì)有把清洗液排出到費(fèi)液箱的液面調(diào)整用排出口(G)，所述液面調(diào)整用排出口(G)能夠調(diào)整排出口的高度進(jìn)行液面調(diào)整。
而且，如圖1至圖3所示，在預(yù)混合部3中設(shè)計(jì)有蒸濺輥6和刮漿板7。所述刮漿板7物理清洗附著在蒸濺輥6上的涂敷液。而且，液面調(diào)整用排出口(G)調(diào)整成刮漿板7沒(méi)于水中的程度。物理清洗蒸濺輥6不限于刮漿板7，刷子也可以，象氣刀這樣的強(qiáng)力吹送氣體或液體的裝置也可以。
這樣，在浸漬式清洗部2清洗完狹縫噴嘴之后，在干燥部8從干燥氣體供給管9吹送N2氣干燥狹縫噴嘴的前端和側(cè)面，最后在預(yù)混合部3進(jìn)行預(yù)備噴出，開(kāi)始在基板上涂敷。通常以20cc/min流量向浸漬式清洗部2供給新清洗液，超過(guò)溢出部5的清洗液流入預(yù)混合部3，被再利用。
圖5(a)是3(a)和(b)的其他實(shí)施例，循環(huán)液返回口(F)不位于預(yù)混合部3的底面，而且位于更靠近蒸濺輥6的位置。通過(guò)從該位置供給循環(huán)液，可能使附著在蒸濺輥6上的涂敷液通過(guò)液流的力量下落。
圖5(b)是(a)中的e-e截面圖，示出循環(huán)液返回口(F)的長(zhǎng)度與蒸濺輥6的長(zhǎng)度幾乎相同。
擔(dān)心浸漬式清洗裝置中一度脫離噴嘴的涂敷液再次附著，本發(fā)明中清洗液通常流動(dòng)，因此一度脫離的涂敷液不會(huì)再次附著到噴嘴上。
即，為了使用狹縫噴嘴向被處理基板供給涂敷液時(shí)，開(kāi)始涂敷部分不厚，預(yù)先通過(guò)預(yù)混合部3的蒸濺輥6進(jìn)行預(yù)先噴出，使狹縫噴嘴前端均勻。所述處理必須在涂敷被處理基板時(shí)進(jìn)行。因此在反復(fù)供給涂敷液過(guò)程中涂敷液附著在狹縫噴嘴的側(cè)面，如果剝落則成為異物。因此，一定期間或者多次供給涂敷液之后，把狹縫噴嘴的前端浸漬在浸漬式清洗部2中，不僅清洗狹縫噴嘴的前端，也清洗狹縫噴嘴的側(cè)面。此時(shí)，擔(dān)心清洗液從狹縫噴嘴的噴出口浸漬到內(nèi)部，供給涂敷液到狹縫噴嘴的前端附近，在涂敷基板時(shí)必須預(yù)混合，因此不受清洗液的影響。
以前從噴出口向狹縫噴嘴前端噴射清洗液的清洗類型中，難以從與狹縫噴嘴的長(zhǎng)度幾乎相同的清洗部上開(kāi)設(shè)的多個(gè)噴射口以均勻壓力均勻地供給清洗液，發(fā)生清洗不均勻。而且由于清洗液是流動(dòng)的，需要大量清洗液，如果狹縫噴嘴長(zhǎng)則清洗部也變長(zhǎng)，噴射口也必須增加，加工困難。因此，本發(fā)明的浸漬式清洗裝置能夠節(jié)約清洗液，而且清洗裝置本身緊湊，成本降低。
而且在浸漬式清洗部2長(zhǎng)期不清洗狹縫噴嘴情況下，浸漬式清洗部2可以作為干燥防止部使用。此時(shí)，通過(guò)浸漬狹縫噴嘴的前端防止狹縫噴嘴干燥。而且，干燥部8通常吹送N2氣體干燥狹縫噴嘴的前端，能夠根據(jù)需要吹送清洗液，切換使用。
產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用本發(fā)明的浸漬式清洗裝置能夠提供縮短開(kāi)始涂敷之前的時(shí)間和結(jié)構(gòu)緊湊的裝置，因此在半導(dǎo)體制造工廠等，能夠節(jié)約清洗液，而且清洗裝置本身也結(jié)構(gòu)緊湊，降低成本。
權(quán)利要求
1.一種狹縫噴嘴調(diào)整裝置，調(diào)整開(kāi)有所定寬度的涂敷液噴出口的狹縫噴嘴前端，其特征在于該裝置由清洗狹縫噴嘴的浸漬式清洗部、干燥清洗后的噴嘴的干燥部及調(diào)整狹縫噴嘴的噴出口的預(yù)混合部構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于在鄰近上述浸漬式清洗部一側(cè)設(shè)計(jì)上述干燥部，在另一側(cè)設(shè)計(jì)上述預(yù)混合部，而且上述浸漬式清洗部、干燥部和預(yù)混合部設(shè)置在同一裝置上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于上述浸漬式清洗部在超過(guò)一定時(shí)間不使用狹縫噴嘴時(shí)兼作保持浸漬狹縫噴嘴前端的干燥防止部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任何一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于如果供給上述浸漬式清洗部的清洗液超過(guò)一定量，就流出到相鄰的預(yù)混合部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任何一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于上述干燥部可以切換為清洗部，向狹縫噴嘴的前端吹送清洗液進(jìn)行清洗。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任何一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于上述預(yù)混合部具有與循環(huán)路徑相連的排出口和返回口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任何一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置，其特征在于通過(guò)上述浸漬式清洗部上開(kāi)口的排出口和預(yù)混合部上開(kāi)口的排出口的升降調(diào)整液面。
8.一種狹縫噴嘴前端調(diào)整方法，是使用權(quán)利要求1至7中任何一項(xiàng)所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整裝置調(diào)整狹縫噴嘴前端，其特征在于上述狹縫噴嘴在涂敷液供給被處理物表面之前在預(yù)混合部調(diào)整狹縫噴嘴前端。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的狹縫噴嘴前端調(diào)整方法，其特征在于上述狹縫噴嘴在經(jīng)過(guò)多次處理或者一定時(shí)間之后，在浸漬式清洗部清洗狹縫噴嘴的前端，然后在干燥部干燥狹縫噴嘴的前端，最后在預(yù)混合部調(diào)整狹縫噴嘴的前端。
全文摘要
本發(fā)明的目的是提供一種狹縫噴嘴調(diào)整裝置和使用所述調(diào)整裝置的狹縫噴嘴調(diào)整方法，不發(fā)生狹縫噴嘴清洗不均勻，而且能夠節(jié)約清洗液，結(jié)構(gòu)緊湊。開(kāi)有所定寬度的涂敷液噴出口的狹縫噴嘴前端的調(diào)整裝置由清洗狹縫噴嘴的浸漬式清洗部、干燥清洗后的噴嘴的干燥部及調(diào)整狹縫噴嘴的噴出口的預(yù)混合部構(gòu)成，而且設(shè)置在同一裝置上。浸漬式清洗部在超過(guò)一定時(shí)間不使用狹縫噴嘴時(shí)兼作干燥防止部，保持浸漬狹縫噴嘴的前端。
文檔編號(hào)B08B3/02GK1672806SQ20051006772
公開(kāi)日2005年9月28日 申請(qǐng)日期2005年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月25日
發(fā)明者島井太, 河田茂 申請(qǐng)人:東京応化工業(yè)株式會(huì)社